JP2022055510A - 保持パッド - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献2の技術によれば、熱融着による均一な接合が容易ではなく、例えば、温度調節の精度が不十分であると均一な接合が困難となる。さらに、特許文献2の技術によれば、接合面以外の箇所まで熱により溶解するおそれもあり、最終的に得られる保持用膜体の形状に大きく悪影響を及ぼすおそれもある。さらに、被研磨物を保持する為には涙型連続気泡が必須であるところ、この涙型連続気泡は余分な熱で樹脂が流動し容易に変形し失われるという問題もあった。
[1]
被研磨物を保持するための保持面と当該保持面とは異なる接合面を有する樹脂層を備える、保持パッドであって、
前記樹脂層の流動開始温度が、150℃~200℃であり、
前記接合面における空隙率が、40~60%である、保持パッド。
[2]
前記樹脂層の空隙率が、70~90%である、[1]に記載の保持パッド。
本実施形態の保持パッドは、被研磨物を保持するための保持面と当該保持面とは異なる接合面を有する樹脂層を備える、保持パッドであって、前記樹脂層が、前記樹脂層の流動開始温度が、150℃~200℃であり、前記接合面における空隙率が、40~60%である。本実施形態の保持パッドは、このように構成されているため、熱融着による保持パッド同士の接合が容易であり、均一な形状の接合体を与えることができる。本明細書中、「接合体」とは、本実施形態の保持パッドを、その接合面を介して、他の保持パッドと接合したものを意味する。なお、本明細書中、本実施形態の保持パッドの接合を説明する際の便宜上、「他の保持パッド」との用語を用いる場合があるが、他の保持パッドは、本実施形態の保持パッドに該当するものが好ましい。また、接合体を構成する保持パッドの数は特に限定されず、2以上であってもよいし4以上であってもよい。
本実施形態における樹脂層は、被研磨物を保持するための保持面を有する。本実施形態の保持パッドは、保持面に適量の水を含ませて被研磨物を押し付けることで、保持面と被研磨物の表面との相互作用により被研磨物を保持することができる。当該保持面は、被研磨物を保持しやすいように被研磨物よりやや大きく設計されていてもよい。さらに、保持面は、複数の被研磨物を同時に保持できるよう構成されていてもよい。
なお、流動開始温度を前述した所定範囲とするためには、例えば、用いる樹脂の重合度、ソフトセグメント/ハードゼグメント比率や組成、架橋度等を調整すればよい。
特にポリウレタン樹脂を用いる場合、ポリウレタン樹脂の原料であるポリオールの種類、鎖伸長剤の使用量、及びポリイソシアネートの種類により流動開始温度を調整することができる。流動開始温度を高く調整する方法としては、例えば、ポリオールとして結晶性の高いポリオールを用いること、鎖伸長剤の使用量を多くすること、ポリイソシアネートとして、結晶性の高いポリイソシアネートを用いることなどが挙げられる。また、流動開始温度を低く調整する方法としては、例えば、ポリオールとして結晶性の低いポリオールを用いること、鎖伸長剤の使用量を少なくすること、ポリイソシアネートとして、結晶性の低いポリイソシアネートを用いることなどが挙げられる。
本実施形態における樹脂層の硬度は、好ましくはショアA硬度10°以上ショアD硬度70°以下であり、より好ましくはショアA硬度10°以上ショアA硬度80°以下であり、さらに好ましくはショアA硬度10°以上ショアA硬度50°以下である。ショアA硬度が10°以上であることにより、高い研磨圧により研磨加工された際に保持パッドの沈み込みが抑制され、被研磨物の一層高度な平坦化が達成される傾向にある。また、ショアD硬度が70°以下であることにより、研磨時の衝撃に由来する研磨物表面の研磨傷の発生をより抑制できる傾向にある。各硬度は、例えば、本実施形態における樹脂層に含まれる発泡の量を制御することにより、調整することができる。なお、ショアA硬度及びショアD硬度は、JIS-K-6253(2012)に準拠して測定することができる。
本実施形態の保持パッドは、保持面の周縁上に配され、かつ、前記被研磨物を囲むための枠材を備えるものであってもよい。上記枠材は、保持パッドにおける保持面の周囲にある面上に設けられ、研磨加工中に被研磨物が横ずれを起こして、保持パッドにおける保持面から脱落することを防止する(横ずれ範囲を規制する)ものである。
本実施形態の保持パッドの製造方法は、上述した本実施形態の保持パッドの構成が得られる方法である限り、特に限定されるものではない。以下、図1を参照しつつ本実施形態の保持パッドの好適な製造方法を例示する。
まず、マトリックス樹脂となる原料樹脂であるポリエステル系ポリウレタン樹脂の35%DMF溶液100質量部に対して、粘度調整用のDMF50質量部、水8質量部、顔料であるカーボンブラックを7.3質量%含むDMF分散液を44質量部(カーボンブラックとして3.2質量部)、疎水性添加剤2.5質量部、親水性添加剤1.0質量部を添加して、混合撹拌し、樹脂溶液を調製した。すなわち、樹脂100質量部に対し、カーボンブラック量は4.9質量部とした。次に、成膜用基材として、PETフィルムを用意し、上記樹脂溶液を、ナイフコータを用いてPETフィルムへ塗布し塗膜を得た。
次いで、得られた塗膜を成膜用基材と共に、凝固液である水からなる18℃の凝固浴に浸漬し、樹脂を凝固再生して前駆体シートを得た。前駆体シートを凝固浴から取り出し、PETフィルムを前駆体シートから剥離した後、前駆体シートを水からなる室温の洗浄液(脱溶剤浴)に浸漬し、溶媒であるDMFを除去して、乾燥しつつ巻き取った。得られた樹脂シート(樹脂層)の保持面とは反対側の面(成膜用基材を剥離した側の面であって、成膜用基材に接触していた面)に対してバフ処理を施した。
なお、この樹脂シートの流動開始温度は190℃であった。
次いで、得られたシートと同じ樹脂シートを用意し、互いの上層付近を半田コテで熱融着させた。熱融着させたシートのバフ処理を施した面に市販のPET基材と市販の離型シートからなる両面テープを貼り合わせ実施例1に係る接合体とした。
マトリックス樹脂として実施例1とは別種のポリエステル系ポリウレタン樹脂を用い、流動開始温度が175℃となるようにした上、実施例1のカーボンブラックを10.9質量%含むDMF分散液を44質量部(カーボンブラックとして4.8質量部)、すなわち、樹脂100質量部に対し、カーボンブラック量を7.4質量部に変更した以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
マトリックス樹脂として実施例1とは別種のポリエステル系ポリウレタン樹脂を用い、流動開始温度が220℃となるようにした以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
マトリックス樹脂としてポリエステル系ポリウレタン樹脂をポリエーテル系ポリウレタン樹脂に変更し、流動開始温度が145℃となるようにした以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
実施例1のカーボンブラックを、2.6質量%含むDMF分散液を44質量部(カーボンブラックとして1.1質量部)、すなわち、樹脂100質量部に対し、カーボンブラック量を1.7質量部に変更した以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
実施例1のカーボンブラックを、15.1質量%含むDMF分散液を44質量部(カーボンブラックとして6.6質量部)、すなわち、樹脂100質量部に対し、カーボンブラック量を10.2質量部に変更した以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
粘度調整用のDMFを60質量部とした以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
粘度調整用のDMFを30質量部とした以外は実施例1と同様の処方で接合体を作製した。
保持パッド(接合体を作製する前の樹脂シート)から樹脂層(10g)を切り出し、サンプルとした。熱流動評価装置(島津製作所社製 CFT-100D)を用い、穴形状が直径2.0mm、長さが5.0mmのダイを使用し、試験圧力100g/cm2、昇温速度10℃/分の条件にて当該サンプルの流動開始温度を測定した。
保持パッドの樹脂層の空隙率は以下のように求めた。
接合体を作製する前の樹脂シートの保持面(両面テープを貼り合わせた面とは反対側の面)に対して垂直にスライスし、得られた断面における断層画像を、3次元計測X線CT装置(ヤマト科学社製 TDM1000H-II(2K))を用いて取得した。次いで、得られた断層画像に対して画像処理ソフト(Volume Graphics社製 VG Studio MAX 3.0)を用いて、断面全体の気泡部分の占める面積を測定し算出した。
(研磨条件)
使用研磨機 :オスカー研磨機(スピードファム社製 SP-1200)
研磨速度(回転数):61rpm
加工圧力 :76gf/cm2
スラリー :セリウムスラリー
被研磨物 :LCD用ガラス基板(355mm×406mm×0.5mm)
研磨時間 :30min×20回
上記研磨の後、研磨性能を評価した。この評価では、日本工業規格(JIS B0601:’82)に準じた方法で、ろ波中心うねりから平坦度aを測定した。平坦度aの測定では、表面粗さ形状測定機(株式会社東京精密製、サーフコム480A)を使用し、以下に示す測定条件に設定した。研磨加工後のガラス基板表面の凹凸に起因して得られる測定曲線から、隣り合う凸部(山部)と凸部との間の幅W、及び、凸部と凹部(谷部)との高さSを算出した後、幅Wを横軸、高さSを縦軸とした散布図を作成した。得られた散布図から、一次式S=aWの近似直線を求め、傾きaを研磨加工後の最終の平坦度aとした。一般に、平坦性が高くなるほど幅Wが大きくなり高さSが小さくなるため、傾きaが小さいほど平坦性に優れることを示すこととなる。
また、空隙率を調整した比較例3と4に関し、比較例3は空隙率が高く、薄肉化によるへたりが起き、比較例4は空隙率が低く熱融着時に樹脂層が広く変性が起こったために、被研磨物の平坦性が低下したもの思われる。
なお、カーボンブラック量を調整した実施例3と4に関し、特に実施例4では熱伝導性が高くなり、熱融着時に接合面のみならずその周辺の樹脂層が変性したため、実施例1に比べると被研磨物の平坦性が低下したものと思われる。
Claims (2)
- 被研磨物を保持するための保持面と当該保持面とは異なる接合面を有する樹脂層を備える、保持パッドであって、
前記樹脂層の流動開始温度が、150℃~200℃であり、
前記接合面における空隙率が、40~60%である、保持パッド。 - 前記樹脂層の空隙率が、70~90%である、請求項1に記載の保持パッド。
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