JP2022053208A - データ生成方法、荷電粒子ビーム照射装置及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施形態に係る描画装置100の概略構成図である。図1に示すように、描画装置100は、描画部150と制御部160を備えている。描画装置100は、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の一例である。描画部150は、電子鏡筒102と描画室103を備えている。電子鏡筒102内には、電子銃201、照明レンズ202、成形アパーチャアレイプレート203、ブランキングアパーチャアレイプレート204、縮小レンズ205、制限アパーチャ部材206、対物レンズ207及び偏向器208が配置されている。
a・h2+b・h+c=0
a=(1/β-1/α)×0.5
b=2×LB
c=Ac
P1y=h
P2x=LB+h/β
P2y=h
P3x=la+(h/α)
P3y=h=2×Ac/LB
la=La×LB/(La+Lb)
α=My(Mx-la)
P4x=LB/2
P4y=h=2×Ac/LB
電子ビーム描画では、必要な照射量を複数回の描画(露光)に分ける多重描画が行われることがある。この場合、描画(パス)毎に異なる頂点を用いてポリゴン化を行い、照射量を算出してもよい。
110 制御計算機
111 面積密度算出部
112 照射時間算出部
113 データ処理部
114 描画制御部
Claims (13)
- 荷電粒子ビームの照射対象を所定サイズで分割した複数のピクセルの各々におけるポリゴンによる被覆率を計算するデータ生成方法であって、
パターン形状を定義するパラメトリック曲線を、複数のパラメトリック曲線に分割し、
分割後の複数のパラメトリック曲線の各々について、該パラメトリック曲線の制御点の端点を結ぶ線分と該パラメトリック曲線とで囲まれた領域の面積を算出し、
前記制御点の端点を結ぶ線分を一辺とし、算出した前記面積と同等の面積を有する図形の頂点の位置を算出し、
前記頂点を用いて前記ポリゴンを生成する、データ生成方法。 - 前記パラメトリック曲線はベジェ曲線であることを特徴とする請求項1に記載のデータ生成方法。
- 前記図形は、前記制御点の端点を結ぶ線分を底辺とする台形又は三角形であることを特徴とする請求項2に記載のデータ生成方法。
- 前記パラメトリック曲線の制御点を頂点とする図形を囲うバウンディングボックスのサイズが所定値以下となるまで、パラメトリック曲線の分割を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のデータ生成方法。
- 荷電粒子ビームの照射対象を所定サイズで分割した複数のピクセルの各々におけるポリゴンによる被覆率を計算するステップをコンピュータに実行させるプログラムであって、
パターン形状を定義するパラメトリック曲線を、複数のパラメトリック曲線に分割するステップと、
分割後の複数のパラメトリック曲線の各々について、該パラメトリック曲線の制御点の端点を結ぶ線分と該パラメトリック曲線とで囲まれた領域の面積を算出するステップと、
前記制御点の端点を結ぶ線分を一辺とし、算出した前記面積と同じ面積を有する図形の頂点の位置を算出するステップと、
前記頂点を用いて前記ポリゴンを生成するステップと、
を前記コンピュータに実行させるプログラム。 - 対象物上に荷電粒子ビームを照射する照射部と、
パターン形状を定義するパラメトリック曲線を、複数のパラメトリック曲線に分割し、分割後の複数のパラメトリック曲線の各々について、該パラメトリック曲線の制御点の端点を結ぶ線分と該パラメトリック曲線とで囲まれた領域の面積を算出し、前記制御点の端点を結ぶ線分を一辺とし、算出した前記面積と同じ面積を有する図形の頂点の位置を算出し、前記頂点を用いてポリゴンを生成し、前記荷電粒子ビームの照射対象を所定サイズで分割した複数のピクセルの各々における前記ポリゴンによる被覆率を計算し、前記被覆率に基づいて各ピクセルの照射量を算出し、算出した照射量となるように前記照射部を制御する制御部と、
を備える荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記荷電粒子ビームの照射対象を所定サイズで分割した複数のピクセルの各々におけるポリゴンによる被覆率を計算するデータ生成方法であって、
パターン形状を定義するパラメトリック曲線を、複数のパラメトリック曲線に分割し、
分割後の複数のパラメトリック曲線の各々に対応する複数の制御点の内、荷電粒子ビームの多重描画のパス毎に異なる制御点を使用し、前記パス毎に異なる形状の前記ポリゴンを生成し、
前記パス毎に、前記ポリゴンによる被覆率を計算する、データ生成方法。 - 前記パラメトリック曲線はベジェ曲線であることを特徴とする請求項7に記載のデータ生成方法。
- 前記複数の制御点のうち、曲線上のパス毎に位置が異なる点を使用して、前記ポリゴンを生成することを特徴とする請求項8に記載のデータ生成方法。
- 前記複数の制御点のうち、パス毎に異なる方向点を使用して、前記ポリゴンを生成することを特徴とする請求項8に記載のデータ生成方法。
- 前記パラメトリック曲線の制御点を頂点とする図形を囲うバウンディングボックスのサイズが所定値以下となるまで、パラメトリック曲線の分割を行うことを特徴とする請求項7乃至10のいずれかに記載のデータ生成方法。
- 前記荷電粒子ビームの照射対象を所定サイズで分割した複数のピクセルの各々におけるポリゴンによる被覆率を計算するステップをコンピュータに実行させるプログラムであって、
パターン形状を定義するパラメトリック曲線を、複数のパラメトリック曲線に分割するステップと、
分割後の複数のパラメトリック曲線の各々に対応する複数の制御点の少なくとも一部を使用し、荷電粒子ビームの多重描画のパス毎に異なる形状のポリゴンを生成するステップと、
前記パス毎に、前記ポリゴンによる被覆率を計算するステップと、
を前記コンピュータに実行させるプログラム。 - 対象物上に荷電粒子ビームを照射する照射部と、
パターン形状を定義するパラメトリック曲線を、複数のパラメトリック曲線に分割し、分割後の複数のパラメトリック曲線の各々に対応する複数の制御点の少なくとも一部を使用し、前記荷電粒子ビームの多重描画のパス毎に異なる形状のポリゴンを生成し、前記パス毎に、前記荷電粒子ビームの照射対象を所定サイズで分割した複数のピクセルの各々における前記ポリゴンによる被覆率を計算し、前記被覆率に基づいて各ピクセルの照射量を算出し、算出した照射量となるように前記照射部を制御する制御部と、
を備える荷電粒子ビーム照射装置。
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