JP2022050150A - ロボットハンド、ワーク保持装置及び搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】板状の薄いワークを搬送する際に、搬送姿勢の自由度が高く、搬送速度の低下を抑えられ、狭いワーク投入口にワークを投入することができる。【解決手段】一実施形態に係るワーク保持装置６は、ベース２と、ワークＷをその後端側において把持する把持機構３と、把持機構３をベース２の前後方向に沿って移動させる移動機構４と、ベース２の前端に設けられ、把持機構３により把持されたワークＷを、その前端側において吸着するための少なくとも一の吸着パッド５１，５２と、を具備する。【選択図】 図２

Description

本発明は、ロボットハンド、ワーク保持装置及び搬送装置に関する。

製造ラインにおいて、ワークを搬送する装置としてロボット装置が広く活用されている。ロボット装置には搬送するワークに応じたハンドが装着されている。例えば、板状のワークを搬送するハンドとしては、板状のワークを２本の指状部に載置するようにして搬送するハンドが知られている（例えば、特許文献１）。しかし、特許文献１に開示されているハンドは、ワークを指状部に載置しているため、ワークの投入口が狭く、指状部が挿入できない場合には、使用することができない。一方、板状のワークの基端部を把持して搬送するハンドを使用した場合には、ワークを片持ちで保持しているために、空気抵抗や自重によりワークの先端が撓んでしまい、狭いワーク投入口への挿入位置が定まらないといった問題が発生する。そのため、空気抵抗や自重によるワークの先端の撓みを抑えるために、ワークの搬送速度や搬送姿勢が限定的にならざるを得ない。

特開２００３－１６８７１９号公報

特に、板状の薄いワークを搬送する際に、搬送姿勢の自由度が高く、搬送速度の低下を抑えられ、狭いワーク投入口にワークを投入することができることが望まれている。

本開示の一態様に係るワーク保持装置は、ベース板と、ワークをその後端側において把持する把持機構と、把持機構をベース板の前後方向に沿って移動する移動機構と、ベース板の前端に設けられ、把持されたワークをその前端側において吸着するための少なくとも一の吸着パッドと、を具備する。

搬送姿勢の自由度が高く、搬送速度の低下を抑えられ、狭いワーク投入口にワークを投入することができる。

図１は、本実施形態に係るワーク保持装置を装備したロボット装置を示す側面図である。 図２は、図１のロボットハンドの一例を示す斜視図である。 図３は、図２のロボットハンドの平面図である。 図４は、図２のロボットハンドの側面図である。 図５は、基準姿勢時のロボットハンドによるワークの把持動作の手順の一例を示す側面図である。 図６は、反転姿勢時のロボットハンドによるワークの把持動作の手順の他の例を示す側面図である。 図７は、吸着パッドによるエアの排気動作を示す側面図である。 図８は、ワークの収容動作の直前のロボットハンドをラックとともに示す斜視図である。 図９は、ワークの収容動作の直前のロボットハンドをラックとともに示す側面図である。 図１０は、ワークの収容動作中のロボットハンドをラックとともに示す側面図である。 図１１は、本実施形態の変形例に係るワーク保持装置を装備したロボット装置を示す側面図である。 図１２は、図１１のロボットハンドの一例を示す斜視図である。

以下、図面を参照しながら本実施形態に係るワーク保持装置を説明する。以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。

図１に示すように、本実施形態に係るワーク保持装置６は矩形板状の薄いワークＷのピッキング作業に適した装置である。ワーク保持装置６は、ロボットアーム機構７などの移動装置に取り付けられるロボットハンド１と、ロボットハンド１が有する吸着パッドの内部を加減圧するための加減圧装置８と、ロボットハンド１の動作を制御するハンド制御装置と、を有する。本実施形態では、ロボットアーム機構７を制御するロボット制御装置９が、ハンド制御装置の機能を有するものとして説明する。なお、ハンド制御装置は、ロボット制御装置９と別体であってもよい。

ロボット制御装置９は、ロボットアーム機構７及びロボットハンド１による一連の動作が記述されたタスクプログラムが記憶されたＨＤＤ等の記憶装置、記憶装置に記憶されたプログラムを実行するＣＰＵ等の演算処理装置などを備える。演算処理装置によりタスクプログラムが実行されることで、ロボットアーム機構７及びロボットハンド１は、タスクプログラムで規定されたシーケンスに従って動作し、ベルトコンベア１００により所定の位置に搬送されたワークＷをピックアップし、ベルトコンベア１００からラック２００まで搬送し、ラック２００の所定位置にリリースすることができる。

図２に示すように、ロボットハンド１は、ベース２と、ワークＷをその後端側において把持する把持機構３と、把持機構３をベース２の前後方向に沿って移動させる移動機構４と、把持機構３により把持されたワークＷをその前端側において吸着する吸着部５と、を有する。本実施形態では、ワークＷは矩形板であるため、把持機構３はワークＷをその後端側の２つの角部にできるだけ近い２箇所においてそれぞれ把持できるように構成され、吸着部５はワークＷをその前端側の２つの角部にできるだけ近い２箇所においてそれぞれ吸着できるように構成される。

典型的には、ベース２は、ワークＷよりも長く、ワークＷと同一の幅を有する矩形状のベース板２１と、ベース板２１の後端に垂直に接続された矩形状の接続板２３とを有する。接続板２３の外面にはアダプタ２５が取り付けられる。ロボットハンド１は、アダプタ２５を介して、ロボットアーム機構７のハンド取付部７１に装着される。本実施形態の説明で使用される直交３軸は以下のように定義される。すなわち、接続板２３の外面に直交する軸をＸ軸、ベース板２１の内面に直交する軸をＺ軸、Ｘ軸とＺ軸とに直交する軸をＹ軸と定義する。Ｘ軸方向はロボットハンド１の前後方向（長さ方向）、Ｚ軸方向はロボットハンド１の上下方向（厚み方向）、Ｙ軸方向はロボットハンド１の左右方向（幅方向）に対応する。また、ベース板２１の幅中央を通り、Ｘ軸と平行な直線をベース中心線と定義する。

移動機構４は、把持機構３をベース板２１の前後方向に沿って移動自在に支持する支持機構と、把持機構３の移動を駆動する図示しない駆動部とから構成される。支持機構は、ベース板２１上にその前後方向と平行に設置されるレール４１と、レール４１に移動自在に係合される矩形板状のスライダブロック４３とから構成される。駆動部としては、例えば、ボールネジ及びナットからなるボールネジ機構と、ボールネジを回転駆動するためのサーボモータとから構成される。スライダブロック４３には把持機構３が設置され、ナットはスライダブロック４３に接続されており、ボールネジの回転に従って把持機構３はベース板２１の前後方向に沿って移動する。なお、ボールネジ機構は支持機構を兼用するものであってもよい。

把持機構３は、一対のチャック機構３１，３２と、一対のチャック機構３１，３２の開閉を駆動するチャック駆動機構（図示しない）と、を有する。一対のチャック機構３１，３２は、ベース中心線を挟んで左右両側の、ベース中心線から等距離の位置にそれぞれ配置されるように、スライダブロック４３にそれぞれ固定されている。一方のチャック機構３１は接近・離反自在に設けられた一対のフィンガ３１１，３１２を有し、フィンガ３１１，３１２の開閉方向が上下方向と平行になり、且つフィンガ３１１，３１２の先端が前方を向くようにスライダブロック４３に取り付けられている。同様に、他方のチャック機構３２は接近・離反自在に設けられた一対のフィンガ３２１、３２２を有し、一対のフィンガ３２１，３２２の開閉方向が上下方向と平行になり、且つフィンガ３２１，３２２の先端が前方を向くようにスライダブロック４３に取り付けられている。

吸着部５は、一対の吸着パッド５１，５２を有する。一対の吸着パッド５１，５２は、ベース板２１の前端に配置される。吸着パッド５１，５２各々は、円錐形状の弾性樹脂製の吸盤５１ａ，５２ａを有する。吸盤５１ａ，５２ａは円筒体５１ｂ，５２ｂにそれぞれ連結され、典型的には一体成形される。吸盤５１ａ，５２ａの底部には孔が開けられ、吸盤５１ａ，５２ａの内部は円筒体５１ｂ，５２ｂの内部に連通されている。円筒体５１ｂ，５２ｂは吸盤５１ａ，５２ａと同じく弾性樹脂製であり、吸盤５１ａ，５２ａがワークＷを吸着するとき適宜変形して、ワークＷに加わる過度な圧力を吸収する。

ベース板２１の前端の両側にはポール５３，５４がそれぞれ立設される。ポール５３，５４の先端には吸着パッド５１，５２がそれぞれ設置される。ポール５３，５４の長さは、ベース板２１を基準にして吸着パッド５１，５２の接面の高さがフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）の開閉中心の高さに一致するように設定されている。それにより、把持機構３によりワークＷの後端側が把持され、吸着パッド５１，５２によりワークＷの前端側が吸着されている状態において、ワークＷを平らな状態で維持することができ、ワークＷが変形する事態、ワークＷに折り目が付く事態を回避することができる。なお、一対の吸着パッド５１，５２の接面に一致するＸＹ平面をロボットハンド１のワーク保持面と定義する。

ポール５３，５４には、上下に貫通する配管が形成されている。ポール５３，５４の配管の先端は円筒体５１ｂ，５２ｂにそれぞれ接続される。ポール５３，５４の配管はベース板２１を通過してそれら後端はベース板２１の下面から少し突出しており、ベース板２１の配管の後端には加減圧装置８から延びるエアチューブが接続される。加減圧装置８から吸着パッド５１，５２まで、エアチューブおよびポール５３，５４の配管によりエア流路が形成される。

加減圧装置８は、ポンプ、吸着部５にポンプを接続するエアチューブ、ポンプの吸引口と排気口とをエアチューブに対して切り替える電磁弁からなる。電磁弁の駆動制御により、吸着パッド５１，５２に対するエアの吸引と給気とが切り替えられる。ポンプの吸引口がエアチューブに接続されるとき、吸着パッド５１，５２の内部は減圧され、吸着パッド５１，５２はワークＷを吸着する。ポンプの排気口がエアチューブに接続されるとき、吸着パッド５１，５２の内部は加圧され、吸着パッド５１，５２はワークＷを吸着しない。吸着パッド５１，５２に給気されるとき、ワークＷが少し浮上し、平滑に移動することができる。なお、吸着パッド５１，５２に給気（給気）されず、吸引（減圧）もされないとき、吸着パッド５１，５２の内部は大気圧に等価な状態になるが、その状態であっても、ワークＷは吸着パッド５１，５２上を摺動しながら平滑に移動することができるように、吸着パッド５１，５２は自己潤滑性樹脂で形成されることが好ましい。

なお、吸着パッド５１，５２の内部を加圧状態、減圧状態及び大気圧状態にすることができるのであれば、配管の構成は本実施形態に限定されない。また、本実施形態では、ワーク保持装置６は、単一の加減圧装置８を有する構成としたが、空気を吸引する機能を有する吸引ポンプなどの装置と、空気を排出する機能を有するコンプレッサなどの装置との２つの独立した装置を有する構成としてもよい。

本実施形態に係るワーク保持装置６を用いた矩形板状の薄いワークＷのピックアップ動作を説明する。最初に、図５を参照して、基準姿勢時におけるロボットハンド１によるワークＷのピックアップ動作を説明する。なお、基準姿勢は、レール４１の上に把持機構３が載置された姿勢（ベース板２１の内面が上向きになる姿勢）をいう。

図５（ａ）に示すように、ロボットハンド１のワーク保持面の高さがベルトコンベア１００により所定の位置まで搬送されたワークＷの厚み中央の位置の高さに一致するように、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１が移動される。ロボットハンド１においては、移動機構４により把持機構３がベース２の後端側の待機位置から前端側の把持位置まで移動される。

図５（ｂ）に示すように、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１が前方に移動される。それにより、一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）の間にワークＷが挿入される。その後、ロボットハンド１において、一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）が閉められる。それにより、ワークＷが、その後端側において一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）により把持される。

図５（ｃ）に示すように、ワークＷをその後端側において把持する把持機構３が移動機構４により、ベース２の前端側の把持位置から後端側の待機位置まで移動される。この間、吸着パッド５１，５２の内部が加圧状態になるように、加減圧装置８が制御される。それにより、図７に示すように、吸着パッド５１，５２からワークＷに向けてエアが吐出することができ、吸着パッド５１，５２の先端縁に対してワークＷが少し浮上させることができるか、又は吸着パッド５１，５２の先端縁にワークＷが接触してしまう場合であっても、吸着パッド５１，５２の先端縁とワークＷとの間に発生する摩擦力を抑え、自重によりワークＷが吸着パッド５１，５２の先端縁を押圧しながら移動してしまう事態を回避できる。いずれにしても、吸着パッド５１，５２からワークＷに向けてエアを吐出することで、吸着パッド５１，５２の先端縁がワークＷにより擦れて摩耗するのを抑えられるとともに、ワークＷに傷がつくのを抑えられる。ワークＷを把持した把持機構３が移動機構４により待機位置まで移動された後、吸着パッド５１，５２の内部が加圧状態から減圧状態にするように、加減圧装置８が制御される。それにより、吸着パッド５１，５２は、ワークＷをその前端側において吸着することができる。

図６を参照して、反転姿勢時におけるロボットハンド１によるワークＷの把持動作を説明する。なお、反転姿勢は、基準姿勢時のロボットハンド１をＸ軸周りに１８０度回転させ、レール４１の下に把持機構３が吊り下げられた姿勢（ベース板２１の内面が下向きになる姿勢）をいう。

図６（ａ）に示すように、ロボットハンド１のワーク保持面の高さがベルトコンベア１００により所定の位置まで搬送されたワークＷの厚み中央の位置の高さに一致するように、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１が移動される。ロボットハンド１においては、移動機構４により把持機構３がベース２の後端側の待機位置から前端側の把持位置まで移動される。

図６（ｂ）に示すように、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１が前方に移動される。それにより、一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）の間にワークＷが挿入される。その後、ロボットハンド１において、一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）が閉められる。それにより、ワークＷが、その後端側において一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）により把持される。

図６（ｃ）に示すように、ベルトコンベア上のワークＷの位置が変化しないように、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１が前方に移動されるのと同時に、移動機構４によりワークＷを把持する把持機構３がベース２の前端側の把持位置から後端側の待機位置まで移動される。この間、吸着パッド５１，５２の内部が加圧状態になるように、加減圧装置８が制御されてもよい。それにより、吸着パッド５１，５２からワークＷに向けてエアを吐出し、ワークＷの前端側をベルトコンベア１００の載置面に押し付けることができるため、何かしらの理由によりワークＷの前端側が動いてしまう事態を回避することができる。また、ワークＷの吸着箇所についた粉塵をエアにより飛ばすことができる。これらは、吸着パッド５１，５２にワークＷが接触して吸着パッド５１，５２が破損するリスクの低減に寄与するとともに、吸着パッド５１，５２によるワークＷの吸着動作の確実性の向上にも寄与する。その後、吸着パッド５１，５２の内部が減圧状態になるように、加減圧装置８が制御される。それにより、吸着パッド５１，５２は、ワークＷをその前端側において吸着することができる。

なお、把持機構３の待機位置は、ワークＷを把持した把持機構３が待機位置まで移動されたときに、ワークＷの前端が、ベース２の前端よりも前方にわずかに突出するように決められている。それにより、後に説明するワークＷのラック２００への収容動作において、吸着パッド５１，５２がワークＷを吸着した状態で、ラック２００のワーク投入口にベース２の前端から突出したワークＷの前端部分を挿し込むことができる。これは、ワークＷの収容動作の確実性を向上させることに寄与する。また、把持機構３の把持位置は、把持機構３が把持位置に移動された状態で、一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）の先端が、ベース２の前端よりも前方に突出するように決められている。それにより、一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）をワークＷに近づけていく動作中に、ベース２がベルトコンベア１００などの周囲の装置や部材に衝突するリスクを低減することができる。

次に、図８～図１０を参照して、本実施形態に係るワーク保持装置６によるラック２００へのワークＷの収容動作を説明する。図８、図９に示すように、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１が移動され、ロボットハンド１に保持されたワークＷの前端部分がワーク投入口に挿し込まれる。その後、吸着パッド５１，５２の内部が減圧状態から大気圧状態に遷移するように、加減圧装置８が制御される。それにより、ワークＷの前端側は自由となる。次に、図１０に示すように、移動機構４により把持機構３がベース２の後端側の待機位置から前端位置まで移動される。この間、吸着パッド５１，５２の内部が大気圧状態から加圧状態に遷移するように、加減圧装置８が制御される。それにより、図７に示すように、吸着パッド５１，５２からワークＷに向けてエアを吐出することができ、吸着パッド５１，５２の先端縁とワークＷとの間に発生する摩擦力を抑え、自重によりワークＷが吸着パッド５１，５２の先端縁に接触しながら移動することによる吸着パッド５１，５２の先端縁の摩耗を抑制するとともに、吸着パッドの５１，５２先端縁に接触することによってワークＷに傷がついてしまう事態を回避することができる。その後、把持機構３の一対のフィンガ３１１，３１２（３２１，３２２）が開かれ、ワークＷがラック２００に収容される。

以上説明した本実施形態に係るワーク保持装置６によれば、把持機構３はワークＷをその後端側の左右両縁付近の２箇所において把持することができ、吸着パッド５１，５２はワークＷをその前端側の左右両縁付近も２箇所において吸着することができる。その結果、ワーク保持装置６は、矩形板状のワークＷの四隅を保持することができる。それにより、自重によりワークＷの部分が撓む事態や搬送中の空気抵抗によりワークＷが折れ曲がる事態を回避することができ、搬送速度の低下を抑えられる。また、ワーク保持装置６によりワークＷがベース２に対して一時的に固定できるため、搬送時、収容時におけるロボットハンド１の姿勢の自由度を高くすることができる。それにより、ベルトコンベア１００からのワークＷのピックアップ時において、周辺環境に応じて、ロボットハンド１の姿勢を基準姿勢、反転姿勢から選択することができるだけではなく、ワーク投入口の向きが上向きであったり、上向きから少し傾斜していたりなど、ラック２００のワーク投入口の向きに柔軟に対応することができる。また、搬送速度の低下を抑えられ、搬送中のロボットハンド１の姿勢が自由であることで、全体のタスク時間を短縮することができる。

また、図１０に示すように、ワーク保持装置６によるラック２００へのワークＷの収容動作は、ロボットアーム機構７によりロボットハンド１がワーク投入口の外側に移動された後、ロボットハンド１の移動機構4を前方に移動させるだけでよい。ワーク投入口からラック２００の内部にロボットハンド１を進入させる必要がないため、ラック２００のワーク投入口がワークＷの厚みとほぼ同じ高さしかないような狭い場合であっても、ワーク保持装置６を使用して、ワークＷをラック２００に収容することができる。

本実施形態では、ワークＷが矩形状の薄い板としたため、ワークＷの四隅を保持できるように一対の吸着パッド５１，５２と一対のチャック機構３１，３２を有する構成としたが、ワークＷの形状、大きさ、重さなどに応じて、吸着パッドの数、チャック機構の数を任意に変更することができる。また、複数のチャック機構を左右方向だけでなく、前後方向にずらしてスライダブロック４３に設けてもよい。また、複数の吸着パッドを左右方向だけでなく、前後方向にずらした位置に設けてもよい。また、一対のチャック機構３１，３２が単一の移動機構４で移動される構成ではなく、チャック機構それぞれが独立して移動できるように構成してもよい。また、単一のチャック機構に２組の一対のフィンガを開閉自在に設けるように構成してもよい。

ワークＷを吸着できるのであれば、その吸着構造は本実施形態に限定されない。例えば、ワークＷが磁性材料からなるものであれば、磁力によりワークＷを吸着することができる電磁石を使うことができる。以下、本実施形態に係るワーク保持装置６における吸着パッド５１，５２を電磁石５５，５６に代替えした変形例に係るワーク保持装置６０を説明する。図１１に示すように、変形例に係るワーク保持装置６０は、電磁石駆動部８０を有する。電磁石駆動部８０は、ロボット制御装置９０の制御に従って、電磁石５５，５６に電流を供給し、電流供給を停止する。

図１２に示すように、一対の電磁石５５，５６は、本実施形態における一対の吸着パッド５１，５２と同じ位置にそれぞれ設けられる。すなわち、ベース板２１の前端の両側にはポール５７、５８がそれぞれ立設される。一対の電磁石５５，５６は、ポール５７、５８の先端にそれぞれ設置される。電磁石５５，５６の先端には、ワークＷが電磁石５５，５６に擦れ傷つくのを抑えるためのパッドが装着されていてもよい。ポール５７、５８の長さは、ベース板２１を基準にして電磁石５５，５６の接面の高さ又は電磁石５５，５６の先端に設けられたパッドの接面の高さフィンガ３１１，３１２（３２１、３２２）の開閉中心の高さに一致するように設定されている。

例えば、変形例に係るワーク保持装置６０によるワークＷのピックアップ動作は、図５（ｃ）を参照して説明することができる。移動機構４によりワークＷを把持する把持機構３がベース２の前端側の把持位置から後端側の待機位置まで移動された後、電磁石５５，５６は、電磁石駆動部８０により帯磁される。それにより、電磁石５５，５６はワークＷを引き寄せ、吸着することができる。変形例に係るワーク保持装置６０によるワークＷの収容動作は、図１０を参照して説明することができる。移動機構４により把持機構３がベース２の後端側の待機位置から前端位置まで移動された後、電磁石５５，５６は、電磁石駆動部８０により消磁され、それにより、ワークＷがラック２００に収容される。

このように、吸着部５として電磁石５５，５６を採用した変形例に係るワーク保持装置６０によれば、吸着部５として吸着パッド５１，５２を採用した本実施形態に係るワーク保持装置６と同様にワークＷのピックアップ動作、搬送動作、収容動作を行うことができ、同様の効果を奏することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１…ロボットハンド、２…ベース、２１…ベース板、２３…接続板、２５…アダプタ、３…把持機構、３１，３２…チャック機構、３１１，３１２，３２１，３２２…フィンガ、４…移動機構、４１…レール、４３…スライダブロック、５…吸着部、５１，５２…吸着パッド、５３，５４…ポール。

Claims (9)

1. 板状のワークを保持するロボットハンドであって、
   ベース板と、
   前記ワークをその後端側において把持する把持機構と、
   前記把持機構を前記ベース板の前後方向に沿って移動する移動機構と、
   前記ベース板の前端に設けられ、前記把持されたワークをその前端側において吸着するための少なくとも一の吸着パッドと、
   を具備するロボットハンド。
2. 前記吸着パッドは、吸盤を有する、請求項１記載のロボットハンド。
3. 前記吸着パッドは、前記吸盤に連通する円筒体を有する、請求項２記載のロボットハンド。
4. 前記吸着パッドは、前記ベース板を基準としてその高さが前記把持機構の把持中心の高さと同じになるように前記ベース板に立設されたポールに支持される、請求項１乃至３のいずれか一項記載のロボットハンド。
5. 前記吸着パッドは一対であり、前記ベース板の左右方向に離間される、請求項１乃至４のいずれか一項記載のロボットハンド。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載のロボットハンドと、
   前記吸着パッドの内部を加減圧する加減圧部と、
   前記加減圧部を制御する制御部と、を具備するワーク保持装置。
7. 前記制御部は、前記吸着パッドで前記ワークを吸着するために前記吸着パッドの内部を減圧させ、前記吸着パッド上で前記ワークを浮上させるために前記吸着パッドの内部を加圧させるために前記加減圧部を制御する、請求項６記載のワーク保持装置。
8. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載のロボットハンドと、
   前記ロボットハンドを移動する移動装置と、
   を具備する搬送装置。
9. 板状のワークを保持するロボットハンドであって、
   ベース板と、
   前記ワークをその後端側において把持する把持機構と、
   前記把持機構を前記ベース板の前後方向に沿って移動する移動機構と、
   前記ベース板の前端に設けられ、前記把持されたワークをその前端側において吸着するための少なくとも一の電磁石と、
   を具備するロボットハンド。

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