JP2022035634A - 磁気ディスク用基板の製造方法 - Google Patents
磁気ディスク用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022035634A JP2022035634A JP2020140099A JP2020140099A JP2022035634A JP 2022035634 A JP2022035634 A JP 2022035634A JP 2020140099 A JP2020140099 A JP 2020140099A JP 2020140099 A JP2020140099 A JP 2020140099A JP 2022035634 A JP2022035634 A JP 2022035634A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- substrate
- less
- outer peripheral
- sub
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
薄型の磁気ディスク用基板であって、
中心からの距離をr1>r2としたとき、r1=半径R-0.5mmとr2=半径R-4.0mmの同心円で囲まれた測定領域において、波長1mm以上5mm以下の算術平均うねりWaが4.0nm以下である、
ことを特徴とする。
前記磁気ディスク用基板と、
前記磁気ディスク用基板の表面に配置された磁性体膜と、
を備えることを特徴とする。
磁気ディスク用基板を研削する研削工程と、
前記研削工程において研削された前記磁気ディスク用基板について、中心からの距離をr1>r2としたとき、r1=半径R-0.5mmとr2=半径R-4.0mmの同心円で囲まれた測定領域において、波長1mm以上5mm以下の算術平均うねりWaを測定するうねり評価工程と、
うねり評価工程において測定された算術平均うねりWaが4.0nm以下であるか否かを判定し、算術平均うねりWaが4.0nm以下である前記磁気ディスク用基板を抽出する判定工程と、
を備えることを特徴とする。
磁気ディスク用基板100として使用されるアルミニウム合金基板は、JIS 5086合金等のAl-Mg系合金製基板またはAl-Fe系合金製基板が用いられる。Al-Mg系合金製基板は、高い強度を有し好適に用いられる。Al-Fe系合金製基板が、高い剛性を有し好適に用いられる。
磁気ディスク用基板100として使用されるガラス基板は、アルミノシリケートガラスが、高い硬度を有するために好適に用いられる。
磁気ディスク10は、図10に示すように、磁気ディスク用基板100と、磁気ディスク用基板100の表面に配置された磁性体膜11と、を有する。
磁気ディスク10の品質評価方法として、次の方法が知られている。それは、回転する磁気ディスク10上にヘッドを浮上させ、磁気ディスク10からの信号をヘッドで検知する方法(以下、メディア評価)である。このメディア評価を合格した磁気ディスクが、次のHDD製造工程へ投入される。磁気ディスク10の板厚が小さくなった場合、メディア評価の不良率が増加する。本願発明者がその原因について調査した結果、メディア評価の不良は、磁気ディスク10外周側の波長λが1mm以上5mm以下の表面うねりに起因することが判明した。その表面うねりは、磁性体膜11を成膜する前後で大きな差がないことも分かった。そのため、磁性体膜11を成膜する前のアルミニウム合金基板またはガラス基板で表面のうねり評価をするほうがより好ましい。また上述の通り、この表面うねりは、アルミニウム合金基板の場合はグラインド工程の砥石、ガラス基板の場合はラッピング工程の砥石に起因する。そのため、グラインド工程またはラッピング工程終了後に基板のうねり評価を行えば、直ちに加工バッチ毎の基板の品質を確認することができるので、より好ましい。なお、上述のうねり評価工程(ステップS107)および判定工程(ステップS108)は、研磨工程(ステップS106)のあとに実施されているが、より好ましくはグラインド工程(ステップS104)の後に実施されるのがよい。また、うねり評価工程(ステップS205)および判定工程(ステップS206)は、研磨工程(ステップS204)のあとに実施されているが、より好ましくはラッピング工程(ステップS203)の後に実施されるのがよい。
グラインド工程が、ディスク外周部のうねりに及ぼす影響を確認するため、各種条件下でグラインド加工を行い、磁気ディスク用アルミニウム合金基板を作製した。
うねり評価方法の有効性を確認するため、各種条件下でうねり評価を行った。
11 磁性体膜
100 磁気ディスク用基板
110 Gサブ
210 キャリア
220 固定砥粒
221 切り溝
MA 測定領域
R 半径
PS 外周ダレ
D 高さ
L 長さ
板厚が0.5mm以下、直径が95mm以上97mm以下である薄型の磁気ディスク用基板であって、
中心からの距離をr1>r2としたとき、r1=半径R-0.5mmとr2=半径R-4.0mmの同心円で囲まれた測定領域において、波長1mm以上5mm以下の算術平均うねりWaが4.0nm以下である、
ことを特徴とする。
Claims (8)
- 薄型の磁気ディスク用基板であって、
中心からの距離をr1>r2としたとき、r1=半径R-0.5mmとr2=半径R-4.0mmの同心円で囲まれた測定領域において、波長1mm以上5mm以下の算術平均うねりWaが4.0nm以下である、
ことを特徴とする磁気ディスク用基板。 - 板厚が0.5mm以下である、
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用基板。 - 直径が95mm以上97mm以下である、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気ディスク用基板。 - 外周部の面取り部の長さが0.15mm以下である、
ことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の磁気ディスク用基板。 - 外周ダレの高さが10μm以下である、
ことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の磁気ディスク用基板。 - 表面の平坦度が20μm以下である、
ことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の磁気ディスク用基板。 - 請求項1から6の何れか1項に記載の磁気ディスク用基板と、
前記磁気ディスク用基板の表面に配置された磁性体膜と、
を備えることを特徴とする磁気ディスク。 - 磁気ディスク用基板を研削する研削工程と、
前記研削工程において研削された前記磁気ディスク用基板について、中心からの距離をr1>r2としたとき、r1=半径R-0.5mmとr2=半径R-4.0mmの同心円で囲まれた測定領域において、波長1mm以上5mm以下の算術平均うねりWaを測定するうねり評価工程と、
前記うねり評価工程において測定された算術平均うねりWaが4.0nm以下であるか否かを判定し、算術平均うねりWaが4.0nm以下である前記磁気ディスク用基板を抽出する判定工程と、
を備えることを特徴とする磁気ディスク用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020140099A JP7009572B1 (ja) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | 磁気ディスク用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020140099A JP7009572B1 (ja) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | 磁気ディスク用基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7009572B1 JP7009572B1 (ja) | 2022-01-25 |
JP2022035634A true JP2022035634A (ja) | 2022-03-04 |
Family
ID=80443520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020140099A Active JP7009572B1 (ja) | 2020-08-21 | 2020-08-21 | 磁気ディスク用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7009572B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7318146B1 (ja) | 2023-02-01 | 2023-07-31 | 古河電気工業株式会社 | 磁気ディスク用基板 |
WO2023189233A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 古河電気工業株式会社 | 磁気ディスク及び磁気ディスク用基板 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007254262A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
JP2009176415A (ja) * | 2009-04-30 | 2009-08-06 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板、磁気ディスクおよび磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2012018707A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体用基板の製造方法、および、該製造方法により製造される垂直磁気記録媒体用基板 |
JP2015040228A (ja) * | 2013-08-20 | 2015-03-02 | 花王株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP2016155750A (ja) * | 2006-06-08 | 2016-09-01 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用基板に供するためのガラス、情報記録媒体用基板および情報記録媒体とそれらの製造方法 |
JP2019029044A (ja) * | 2017-07-25 | 2019-02-21 | 花王株式会社 | シリカスラリー |
WO2019163239A1 (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 株式会社Uacj | 磁気ディスク、並びに、磁気ディスク用のアルミニウム合金基板及び該アルミニウム合金基板の製造方法 |
-
2020
- 2020-08-21 JP JP2020140099A patent/JP7009572B1/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007254262A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
JP2016155750A (ja) * | 2006-06-08 | 2016-09-01 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用基板に供するためのガラス、情報記録媒体用基板および情報記録媒体とそれらの製造方法 |
JP2009176415A (ja) * | 2009-04-30 | 2009-08-06 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板、磁気ディスクおよび磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2012018707A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体用基板の製造方法、および、該製造方法により製造される垂直磁気記録媒体用基板 |
JP2015040228A (ja) * | 2013-08-20 | 2015-03-02 | 花王株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP2019029044A (ja) * | 2017-07-25 | 2019-02-21 | 花王株式会社 | シリカスラリー |
WO2019163239A1 (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 株式会社Uacj | 磁気ディスク、並びに、磁気ディスク用のアルミニウム合金基板及び該アルミニウム合金基板の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023189233A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 古河電気工業株式会社 | 磁気ディスク及び磁気ディスク用基板 |
JP7318146B1 (ja) | 2023-02-01 | 2023-07-31 | 古河電気工業株式会社 | 磁気ディスク用基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7009572B1 (ja) | 2022-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7009572B1 (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
JP7326542B2 (ja) | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク | |
WO2005093720A1 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板 | |
JP6574537B2 (ja) | 磁気ディスク用非磁性基板及び磁気ディスク | |
JP5373511B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板及び磁気ディスク | |
JP5714085B2 (ja) | 磁気ディスク用基板および磁気ディスク | |
JP5755952B2 (ja) | Hdd用ガラス基板の検品・選別方法、hdd用情報記録媒体の製造方法、及びhdd用ガラス基板 | |
JP7113157B1 (ja) | 磁気ディスク及び磁気ディスク用基板 | |
JP5071603B2 (ja) | 磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5177328B2 (ja) | 磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP7459725B2 (ja) | ダミー基板、およびその製造方法 | |
JP5869241B2 (ja) | Hdd用ガラス基板、hdd用ガラス基板の製造方法、及びhdd用磁気記録媒体 | |
CN104584128B (zh) | 信息记录介质用玻璃基板的制造方法 | |
JPWO2013146089A1 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板、磁気ディスク、磁気ディスクドライブ装置 | |
JP6193387B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の元となるガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法、並びに研削工具 | |
CN104798132A (zh) | Hdd用玻璃基板的制造方法 | |
CN111048122A (zh) | 固定磨粒磨石以及基板的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201009 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20201009 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20201016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210305 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210907 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210907 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20210907 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20211011 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20211012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7009572 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |