JP2022035139A - ウェーハ清掃装置、及び保持面清掃装置 - Google Patents
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Abstract
Description
保持パッド20は、その外形が平面視円形状であり、ポーラス部材等からなりウェーハ90を吸着する吸着部200と、吸着部200を支持する枠体201とを備え、吸着部200は真空発生装置又はエジェクター等の吸引源29に吸引管204を介して連通し、吸着部200の露出面(下面)である保持面202でウェーハ90を吸引保持する。
例えば、アーム部232は、水平方向に旋回移動、又は直動移動可能であるとともに、Z軸方向に昇降移動可能となっている。
なお、例えば、桶32がベアリング303等を備えず、従動軸30を固定した状態で支持しており、ウェーハ90の洗浄時において、ロール清掃具40が従動軸30の外側面上で、固定された状態の従動軸30に対して回転するものとしてもよい。
例えば、まず、ウェーハ90は図示しないチャックテーブル上に吸引保持された状態になっている。アーム部232が、ウェーハ90の真上の位置まで保持パッド20を水平方向に移動してから降下させ、保持パッド20の保持面202とウェーハ90の上面902とを接触させる。吸引制御弁297が開かれた状態で吸引源29が作動して生み出される吸引力が、吸引配管294、ロータリージョイント235、スピンドル内吸引路231、及び吸引管204を通り保持パッド20の保持面202に伝達されることで、保持パッド20がウェーハ90の下面905の中心9009と保持パッド20の中心とを略合致させた状態でウェーハ90を吸引保持する。また、図示しないチャックテーブルによるウェーハ90の吸引保持が解除され、アーム部232が上昇してウェーハ90をチャックテーブルから離間させる。
そして、ウェーハ90は回転しているため、所定時間が経過するとウェーハ90の下面905全面がロール清掃具40によって清掃される。
また、ウェーハ90の下面905の逆半径エリア9003にロール清掃具40が接触することによって、保持パッド20の回転速度よりロール清掃具40の回転速度が遅くなる。そのため、ウェーハ90の半径エリア9002を接触したロール清掃具40が擦りながら清掃するため、半径エリア9002のゴミの残りが発生しにくい。
一方で、該ゴミが洗浄水390よりも比重が大きい場合には、該ゴミは桶32の底面上に沈殿し、ロール清掃具40と桶32の底面との間には所定の間隔の隙間が設けられているので、ロール清掃具40に再び付着することはない。この場合には、ウェーハ90を複数枚ウェーハ清掃装置1で洗浄した後、桶32内の洗浄が行われる。
なお、ウェーハ90の下面905の逆半径エリア9003にロール清掃具40が接触することによって、保持パッド20の回転速度よりロール清掃具40の回転速度が遅くなる。そのため、ウェーハ90の半径エリア9002は接触したロール清掃具40によって擦られながら清掃されるため、半径エリア9002のゴミの残りが発生しにくい。
アーム部232が、保持パッド20を水平方向に移動して、保持パッド20とロール清掃具41との位置合わせを行う。該位置合わせは、図5、図6に示すように、保持面202の半径より長く保持面202の直径より短い長さのロール清掃具41の外側面410を、保持面202の中心2009と、保持面202の例えば+Y方向側の半径エリア2002の全域と、保持面202の中心2009を基準として半径エリア2002の反対側(-Y方向側)の逆半径エリア2003のうちの中心2009に近い領域2004と、に対向するように行われる。即ち、ロール清掃具41は、保持面202の+Y方向側の半径全長に重なり、かつ、保持面202の中心2009に重なり、かつ、保持面202の中心2009から-Y方向側の半径に所定の長さだけ重なる。なお、図5に示す例においては、ロール清掃具41は、保持面202の中心2009から-Y方向側の半径に半径の約1/3の長さ重なっているが、例えば保持面202の中心2009から-Y方向側の半径に半径の1/2の長さ重なっていてもよいし、保持面202の中心2009から-Y方向側の半径に半径の1/5の長さ重なっていてもよい。
そして、保持パッド20は回転しているため、所定時間が経過すると保持面202全面がロール清掃具41によって清掃される。
また、保持面202の逆半径エリア2003にロール清掃具41が接触することによって、保持パッド20の回転速度よりロール清掃具41の回転速度が遅くなる。そのため、保持面202の半径エリア2002を接触したロール清掃具41が擦りながら清掃するため、半径エリア2002のゴミの残りが発生しにくい。
なお、保持面202の逆半径エリア2003にロール清掃具41が接触することによって、保持パッド20の回転速度よりロール清掃具41の回転速度が遅くなる。そのため、保持面202の半径エリア2002は接触したロール清掃具41によって擦られながら清掃されるため、半径エリア2002のゴミの残りが発生しにくい。
1:ウェーハ清掃装置
20:保持パッド 200:吸着部 202:保持面 201:枠体 2011:溝 204:吸引管
22:プレート 221:固定ボルト
23:回転機構
230:スピンドル 231:スピンドル内吸引路
232:アーム部 2324:ベアリング
234:モータ 235:ロータリージョイント
29:吸引源 294:吸引配管 297:吸引制御弁
28:エア供給源 288:エア供給管 286:供給制御弁
30:従動軸 303:ベアリング
32:桶 321、322:側壁 320:底板 33:水供給口
39:洗浄水供給手段 399:洗浄水供給源 398:樹脂チューブ
40:ロール清掃具 401:挿入孔 400:外側面
11:ウェーハ清掃装置 31:回転軸 24:回転機構
12:保持面清掃装置 41:ロール清掃具 410:ロール清掃具の外側面
20:保持パッド 202:保持面 2009:保持面の中心 2002:保持面の半径エリア 2003:保持面の逆半径エリア 2004:保持面の逆半径エリアのうちの中心に近い領域
13:保持面清掃装置 24:回転機構
Claims (6)
- 保持パッドの保持面によって上面を保持されたウェーハの下面を清掃するウェーハ清掃装置であって、
該保持面に平行な従動軸と、該従動軸で回転自在に支持されたロール清掃具と、該保持面の中心を回転軸として該保持パッドと該ロール清掃具とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、
該ロール清掃具は、ウェーハの半径より長くウェーハの直径より短い長さで、側面を、該保持面に保持されたウェーハの下面の中心と、ウェーハの下面の半径エリア全域と、ウェーハの下面の該中心を基準として該半径エリアの反対側の逆半径エリアのうちのウェーハの下面の該中心に近い領域と、に接触させ、
該回転機構が該保持パッドと該ロール清掃具とを相対的に該保持面の中心を回転軸として回転させることによって、該ロール清掃具を該従動軸を軸に従動回転させウェーハを清掃するウェーハ清掃装置。 - 保持パッドの保持面によって上面を保持されたウェーハの下面を清掃するウェーハ清掃装置であって、
該保持面に平行な回転軸と、該回転軸で支持されたロール清掃具と、該回転軸を軸として該ロール清掃具を回転させる回転機構と、を備え、
該保持パッドは、該保持面の中心を従動軸として回転自在に支持されており、
該ロール清掃具は、ウェーハの半径より長くウェーハの直径より短い長さで、側面を、該保持面に保持されたウェーハの下面の中心と、ウェーハの下面の半径エリア全域と、ウェーハの下面の該中心を基準として該半径エリアの反対側の逆半径エリアのうちのウェーハの下面の該中心に近い領域と、に接触させ、
該回転機構が該ロール清掃具を該回転軸を軸として回転させることによって、該保持パッドを該従動軸を軸に従動回転させウェーハを清掃するウェーハ清掃装置。 - 前記ロール清掃具、又は前記保持パッドに保持されたウェーハに洗浄水を供給する洗浄水供給手段を備える請求項1、又は請求項2記載のウェーハ清掃装置。
- ウェーハを保持する保持パッドの円形の保持面を清掃する保持面清掃装置であって、
該保持面に平行な従動軸と、該従動軸で回転自在に支持されたロール清掃具と、該保持面の中心を回転軸として該保持パッドと該ロール清掃具とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、
該ロール清掃具は、該保持面の半径より長く該保持面の直径より短い長さで、側面を、該保持面の中心と、該保持面の半径エリア全域と、該保持面の中心を基準として該半径エリアの反対側の逆半径エリアのうちの該保持面の中心に近い領域と、に接触させ、
該回転機構が該保持パッドと該ロール清掃具とを相対的に該保持面の中心を回転軸として回転させることによって、該ロール清掃具を該従動軸を軸に従動回転させ該保持面を清掃する保持面清掃装置。 - ウェーハを保持する保持パッドの円形の保持面を清掃する保持面清掃装置であって、
該保持面に平行な回転軸と、該回転軸で支持されたロール清掃具と、該回転軸を軸として該ロール清掃具を回転させる回転機構と、を備え、
該保持パッドは、該保持面の中心を従動軸として回転自在に支持されており、
該ロール清掃具は、該保持面の半径より長く該保持面の直径より短い長さで、側面を、該保持面の中心と、該保持面の半径エリア全域と、該保持面の中心を基準として該半径エリアの反対側の逆半径エリアのうちの該保持面の中心に近い領域と、に接触させ、
該回転機構が該ロール清掃具を該回転軸を軸として回転させることによって、該保持パッドを該従動軸を軸に従動回転させ該保持面を清掃する保持面清掃装置。 - 前記ロール清掃具、又は前記保持パッドの前記保持面に洗浄水を供給する洗浄水供給手段を備える請求項4、又は請求項5記載の保持面清掃装置。
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