JP2022030435A - ガス供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】障壁構造にかかるコストが過大にならないようにしつつ、放爆可能とする。
【解決手段】ガス供給装置１０は、水素ガスの補給を行う施設の敷地内に設置される。ガス供給装置１０は、水素ガスを取り扱うガス設備と、ガス設備を収容するガス設備収容部４３を有する筐体１２と、ガス設備収容部４３内の空気を排出するダクト部４４と、を備える。筐体１２の側面および上面が障壁部材にて形成される。ダクト部４４は、ガス設備収容部４３に対して水平向きに開口する内側開口部４５と、内側開口部４５に繋がる通路部４６と、通路部４６を筐体１２の外部に開口させる外側開口部４７と、を備え、障壁部材にて形成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、水素ガスの補給を行う施設の敷地内に設置されるガス供給装置に関する。

従来、下記特許文献１及び２に開示されているように、水素ガスの補給を行う施設の敷地内に設置されるガス供給装置が知られている。特許文献１に開示されたガス供給装置では、水素ガスを取り扱う設備を収容する筐体の一部分が障壁部材によって構成されている。一方、特許文献２に開示されたガス供給装置では、水素ガスを取り扱う設備を収容する筐体に、障壁を固定するための支持体が取り付けられている。

特開２０１９－２７５８７号公報 特開２０１９－９０５０１号公報

特許文献１及び２に開示されたガス供給装置では、障壁を設けるためのコストが過大にならないという効果が得られる。しかしながら、放爆に対する考慮はなされていない。

そこで、本発明は、前記従来技術を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、障壁構造にかかるコストが過大にならないようにしつつ、放爆可能な構成のガス供給装置を提供することにある。

前記の目的を達成するため、本発明に係るガス供給装置は、水素ガスの補給を行う施設の敷地内に設置されるガス供給装置であって、前記水素ガスを取り扱うガス設備と、前記ガス設備を収容するガス設備収容部を有する筐体と、前記ガス設備収容部内の空気を排出する、または、前記ガス設備収容部内に外気を取り込むためのダクト部と、を備える。前記筐体の側面および上面が障壁部材にて形成される。前記ダクト部は、前記ガス設備収容部に対して水平向きに開口する内側開口部と、前記内側開口部に繋がる通路部と、前記通路部を前記筐体の外部に開口させる外側開口部と、を備え、障壁部材にて形成されている。

本発明では、ガス設備収容部及びダクト部の双方が障壁部材によって形成されているので、防爆と放爆の両方を実現する構造にすることができる。また、内側開口部が水平向きに開口することにより、ガス設備収容部内にガスの滞留部が発生してしまうことを抑制することができる。

前記ダクト部は、前記筐体の内部に設けられていてもよい。この態様では、ガス供給装置のコンパクト化を図ることができる。屋上に出っ張りができず，筐体上面上のスペースを有効利用できる。

前記通路部は、前記内側開口部の開口方向に対して異なる方向に延びていてもよい。この態様では、ダクト部の長さを短くしたとしても、外側開口部を通してガス設備を見え難くすることができる。

前記外側開口部は、前記筐体の前記上面において上向きに開口してもよく、または、前記筐体の前記側面において水平向きに開口してもよい。この態様では、ダクト部が筐体の上面または側面から出っ張らないため、筐体の高さ方向又は横方向の寸法を抑えることができる。

前記ダクト部は、前記筐体の前記側面に隣接して設けられてもよい。この場合、前記外側開口部は、上向きに開口してもよく、または、水平向きに開口してもよい。この態様では、ダクト部が筐体に隣接していて筐体の寸法に制限されないため、外側開口部を大きくできる。

前記ガス設備は、前記ダクト部によって遮られて前記外側開口部から見えないように配置されていてもよい。この態様では、ガス設備全体が敷地境界に対して遮蔽されるため、一般高圧ガス保安規則に沿ったものとなる。

前記ガス供給装置は、前記筐体の前記上面上に配置された他のダクト部をさらに備えてもよい。この場合、前記他のダクト部は、前記ガス設備収容部に対して下向きに開口する内側開口部と、上向きに開口する外側開口部と、前記内側開口部と前記外側開口部とを繋ぐ通路部と、を備え、障壁部材にて形成されていてもよい。

前記ガス設備は、前記他のダクト部によって遮られて前記外側開口部から見えないように配置されてもよい。この態様では、ガス設備全体が敷地境界に対して遮蔽されるため、一般高圧ガス保安規則に沿ったものとなる。

以上説明したように、本発明によれば、障壁構造にかかるコストが過大にならないようにでき、しかも放爆可能な構成のガス供給装置とすることができる。

実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第１のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第２のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第３のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第４のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第５のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第６のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。 第７のその他の実施形態に係るガス供給装置の斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

図１に示すように、本実施形態に係るガス供給装置１０は、水素ガスの補給を行う施設、例えば水素ステーションの敷地内に設置され、図外のディスペンサに高圧の水素ガスを供給するように構成されている。ディスペンサは、タンク搭載装置としての燃料電池車に水素ガスを補強するものである。

ガス供給装置１０は、水素ガスを取り扱うガス設備を収容する筐体１２を備えている。ガス設備としては、例えば、水素ガスを圧縮する圧縮機構１４と、圧縮機構１４によって圧縮された水素ガスを溜める蓄圧器１６と、が設けられている。蓄圧器１６は、例えば、８０ＭＰａ以上の圧力の水素ガスを溜めることができる。

筐体１２は、底部１８と、底部１８の外周縁に沿って配置された周壁２０と、周壁２０の上端に接続された天井部２２と、を備えている。

底部１８は、前後方向及び左右方向に並ぶ複数のフレーム材を矩形枠体状に組み合わせた枠体を備え、矩形状に形成されている。なお、当該枠体に板材が敷設されていてもよい。底部１８は、例えばコンクリート製の基礎の上に固定されている。

周壁２０は、底部１８の前辺に沿う前面２０ａと、底部１８の左辺に沿う左面２０ｂと、底部１８の後辺に沿う後面２０ｃと、底部１８の右辺に沿う右面２０ｄと、を含む。すなわち、周壁２０は、４つの側面を有している。

周壁２０は、多数の支柱部２４と、支柱部２４間に架け渡された梁部２６と、多数の支柱部２４及び梁部２６に固定された側板２８とを備えている。周壁２０の前面２０ａ、左面２０ｂ、後面２０ｃ及び右面２０ｄはそれぞれ、支柱部２４と梁部２６と側板２８とを備えている。

多数の支柱部２４は、底部１８の周縁部において、互いに間隔をおいて配置されている。すなわち、支柱部２４には、底部１８の四隅に配置された４つの支柱部（角支柱部）２４と、底部１８の前辺、後辺、左辺及び右辺における中間部にそれぞれ配置された少なくとも４つの支柱部（中間支柱部）２４と、が含まれる。

各支柱部２４は、底部１８に立設された下支柱２４ａと、下支柱２４ａの上方に位置する上支柱２４ｂとを備えている。上支柱２４ｂは、後述の中間梁材３０の上に立設されている。

梁部２６は、中間梁材３０と上梁材３２とを備えている。中間梁材３０は、多数の下支柱２４ａに架け渡されるように多数の下支柱２４ａの上端（支柱部２４の中間部）に結合されている。上梁材３２は、多数の上支柱２４ｂに架け渡されるように多数の上支柱２４ｂの上端（支柱部２４の上端）に結合されている。中間梁材３０及び上梁材３２はそれぞれ、底部１８の前辺の上に位置する前梁と、底部１８の後辺の上に位置する後梁（図示省略）と、底部１８の左辺の上に位置する左梁と、底部１８の右辺の上に位置する右梁（図示省略）と、を含む。

筐体１２には、第１梁３４と第２梁３６とが設けられている。第１梁３４は、筐体１２内で延びる梁であり、一端が左梁（中間梁材３０）の中間部に接続されるとともに、他端が右梁（中間梁材３０）の中間部に接続されている。第２梁３６は、筐体１２内において第１梁３４と直交する方向に延びる梁であり、一端が前梁（中間梁材３０）の中間部に接続されるとともに、他端が後梁（中間梁材３０）の中間部に接続されている。

側板２８は、板材によって構成されるとともに、底部１８、隣り合う支柱部２４及び梁部２６によって区画される矩形状の間隙を塞ぐように配置されている。

側板２８は、下側板２８ａと上側板２８ｂとを備えている。下側板２８ａは、底部１８、隣り合う下支柱２４ａ及び中間梁材３０によって区画される矩形状の間隙を塞ぐように配置されるとともに、底部１８、下支柱２４ａ及び中間梁材３０に固定されている。上側板２８ｂは、中間梁材３０、隣り合う上支柱２４ｂ及び上梁材３２によって区画される矩形状の間隙を塞ぐように配置されるとともに、中間梁材３０、上支柱２４ｂ及び上梁材３２に固定されている。下側板２８ａ及び上側板２８ｂにはそれぞれ、周壁２０の前面２０ａに配置される前側板と、周壁２０の左面２０ｂに配置される左側板と、周壁２０の後面２０ｃに配置される後側板と、周壁２０の右面２０ｄに配置される右側板と、が含まれる。

周壁２０には、ガス設備にアクセスするための扉３８が設けられていている。扉３８には、筐体１２の他の部位と同等の鋼板が用いられており、本実施形態では、扉３８も実質的な障壁部材として機能する。なお、周壁２０が扉３８を有しない構造であってもよい。

天井部２２は、筐体１２の上面を構成するものであり、天井梁４０と天井板４２とによって構成されている。

天井梁４０は、上梁材３２の中間部同士を接続する梁材で構成され、前梁の中間部と後梁の中間部とを接続する前後梁と、左梁の中間部と右梁の中間部とを接続する左右梁とを含む。

天井板４２は、上梁材３２によって区画される矩形状の間隙を塞ぐように配置された矩形板材によって構成されている。天井板４２の前辺は、周壁２０における前面２０ａの上縁（上梁材３２のうちの前梁）に結合され、天井板４２の左辺は、周壁２０における左面２０ｂの上縁（上梁材３２のうちの左梁）に結合され、天井板４２の後辺は、周壁２０における後面２０ｃの上縁（上梁材３２のうちの後梁）に結合され、天井板４２の右辺は、周壁２０における右面２０ｄの上縁（上梁材３２のうちの右梁）に結合されている。

筐体１２の側面（周壁２０）は障壁部材にて形成されている。すなわち、周壁２０の前面２０ａ、左面２０ｂ、後面２０ｃ及び右面２０ｄは、それぞれ障壁部材にて形成されている。筐体１２の側面を構成する側板２８が、６ｍｍ以上の鋼板からなるので、筐体１２の側面が障壁部材によって形成されていると言える。ただし、障壁部材と言えるためには、この構成に限られるものではない。例えば側板２８が厚さ３．２ｍｍ以上の鋼板で構成されてもよく、この場合、３０×３０ｍｍ以上の等辺山形鋼で構成された補強材が、縦横４０ｃｍ以下の間隔で溶接によって側板２８に取り付けられて側板２８が補強された構成であればよい。

筐体１２の上面は障壁部材にて形成されている。すなわち、天井部２２を構成する板材（天井板４２）は、６ｍｍ以上の鋼板からなる。ただし、この構成に限られるものではなく、天井板４２は、例えば厚さ３．２ｍｍ以上の鋼板で構成されてもよく、この場合、３０×３０ｍｍ以上の等辺山形鋼で構成された補強材が、縦横４０ｃｍ以下の間隔で溶接によって板材に取り付けられて板材（天井板４２）が補強された構成であればよい。

筐体１２内には、ダクト部４４が配置されている。すなわち、筐体１２は、ガス設備を収容するガス設備収容部４３と、ガス設備収容部４３内の空気を筐体１２の外部に排出するダクト部４４と、備えている。ダクト部４４は、筐体１２における天井部２２と側面（図例では、左面２０ｂ）との接続部に沿って配置されている。このため、ダクト部４４の上面は筐体１２の天井部２２の一部によって構成され、ダクト部４４の外側側面は筐体１２の側面（左面２０ｂ）の一部によって構成されている。

ダクト部４４は、中空の直方体形状に形成されており、ガス設備収容部４３に開口する内側開口部４５と、内側開口部４５に繋がる通路部４６と、通路部４６を筐体１２の外部に開口させる外側開口部４７と、を備えている。内側開口部４５は、矩形状の開口を区画する矩形枠体によって構成されており、筐体１２内に位置している。内側開口部４５は、ガス設備収容部４３に向けて水平向きに開口している。外側開口部４７は、矩形状の開口を区画する矩形枠体によって構成されており、筐体１２の上面において筐体１２の外部に向けて上向きに開口している。

内側開口部４５を構成する矩形枠体は、一対の縦部材と、一対の縦部材の上端同士を繋ぐ上側横部材と、一対の縦部材の下端同士を繋ぐ下側横部材と、を含む。一対の縦部材のうちの一方は、一部の中間支柱部２４（後梁の中間部に接続された中間支柱部２４）における上支柱２４ｂによって構成されている。上側横部材は、一部の天井梁４０（前後梁）の一部によって構成されている。そして、内側開口部４５は、ガス設備収容部４３に向けて水平向きに開口している。すなわち、内側開口部４５は、ダクト部４４の長手方向に直交する方向に水平向きに開口している。

ダクト部４４の通路部４６は、前後方向に延びる形状であり、筐体１２の前面２０ａから後面２０ｃに亘って延びている。すなわち、通路部４６は、内側開口部４５の開口方向に対して異なる方向に延びている。このため、ガス設備は、ダクト部４４によって遮られて外側開口部４７から見えないように配置されている。

通路部４６は、垂直方向に所定の幅を有した状態で水平方向（図例では前後方向）に延びる外側側面と、外側側面と平行で且つ筐体１２の内部に位置する内側側面と、筐体１２の天井部２２の一部によって構成された上面と、上面と平行で且つ筐体１２の内部に位置する下面とを有している。

外側開口部４７を構成する矩形枠体は、前後方向に延びる一部の上梁材３２の一部、左右方向に延びる一部の上梁材３２の一部、及び、前後方向に延びる一部の天井梁４０の一部を利用している。そして、外側開口部４７は、筐体１２の上面において上向きに開口している。

内側開口部４５および外側開口部４７の開口面積（すなわち、ダクト部４４の通路部４６のダクト部前後方向に垂直な断面積）は、全米防火協会（Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｆｉｒｅ Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ：ＮＦＰＡ） 規格６８、爆燃通気による防爆に関する基準（Ｓｔａｎｄａｒｄ ｏｎ Ｅｘｐｌｏｓｉｏｎ Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ ｂｙ Ｄｅｆｌａｇｒａｔｉｏｎ Ｖｅｎｔｉｎｇ）に記載の方法で計算された値よりも大きい。後述する第２ダクト部５４についても同様であり、他の実施形態でも同様である。

ダクト部４４は障壁部材にて形成されている。すなわち、ダクト部４４の通路部４６は、６ｍｍ以上の鋼板からなる。ただし、この構成に限られるものではなく、通路部４６を構成する板材は、例えば厚さ３．２ｍｍ以上の鋼板で構成されてもよく、この場合、３０×３０ｍｍ以上の等辺山形鋼で構成された補強材が、縦横４０ｃｍ以下の間隔で溶接によって板材に取り付けられて板材が補強された構成であればよい。

ダクト部４４内には、送風機５２（換気扇）が配置されている。送風機５２が作動すると、ガス設備収容部４３内の空気がダクト部４４内に吸引される。したがって、ガス設備収容部４３の空気は、ダクト部４４内を通して外部に排気される。なお、送風機５２は省略してもよい。

ダクト部４４の上面又は側面は、筐体１２の上面及び側面と兼用されている。このため、ダクト部４４を形成する障壁部材の一部が、筐体１２を形成する障壁部材の一部と兼用されている。

筐体１２の上面には、他のダクト部（第２ダクト部）５４が配置されている。第２ダクト部５４は、ガス設備収容部４３内に空気（外気）を取り込むためのものである。

第２ダクト部５４は、ガス設備収容部４３に対して下向きに開口する内側開口部５５と、上向きに開口する外側開口部５７と、内側開口部５５と外側開口部５７とを繋ぐ通路部５６と、を備えている。筐体１２の天井部２２には、開口が形成されており、第２ダクト部５４の内側開口部５５は、この開口に向けて開口している。

通路部５６は、筐体１２の開口に対応して配置された内側開口部５５から前後方向に延びている。すなわち、通路部５６は、内側開口部５５の開口方向に対して異なる方向に延びている。そして、通路部５６における他端側に外側開口部５７が設けられている。この外側開口部５７は上向きに開口している。このため、ガス設備は、第２ダクト部５４によって遮られて外側開口部５７から見えないように配置されている。

第２ダクト部５４は、障壁部材にて形成されている。すなわち、第２ダクト部５４は、６ｍｍ以上の鋼板からなる。ただし、この構成に限られるものではなく、第２ダクト部５４を構成する板材は、例えば厚さ３．２ｍｍ以上の鋼板で構成されてもよく、この場合、３０×３０ｍｍ以上の等辺山形鋼で構成された補強材が、縦横４０ｃｍ以下の間隔で溶接によって板材に取り付けられて板材が補強された構成であればよい。

なお、筐体１２には、冷凍機設備を収容する冷凍機筐体（図示省略）が接続されていてもよい。例えば、筐体１２の右面２０ｄに冷凍機筐体が一体的に隣接していてもよい。この場合、冷凍機筐体は必ずしも障壁構造である必要はない。

以上説明したように、本実施形態では、ガス設備収容部４３及びダクト部４４の双方が障壁部材によって形成されているので、防爆と放爆の両方を実現する構造にすることができる。また、ダクト部４４の内側開口部４５がガス設備収容部４３に対して水平向きに開口しているので、ガス設備収容部内にガスの滞留部が発生してしまうことを抑制することができる。

また本実施形態では、ダクト部４４が筐体１２の内部に設けられているので、屋上に出っ張りができず、筐体１２の上面上の作業スペースを確保できる。ガス供給装置１０のコンパクト化も可能となる。

また本実施形態では、ダクト部４４において通路部４６が内側開口部４５の開口方向とは異なる方向に延びているため、ダクト部４４の長さを短くしたとしても、外側開口部４７を通してガス設備を見え難くすることができる。

また本実施形態では、外側開口部４７が、筐体１２の上面において上向きに開口しているため、ダクト部４４が筐体１２の上面及び側面から出っ張らないため、筐体１２の高さ方向又は横方向の寸法を抑えることができる。

また本実施形態では、ガス設備が、ダクト部４４によって遮られて外側開口部４７から見えないように配置されている。このため、ガス設備全体が敷地境界に対して遮蔽されるため、一般高圧ガス保安規則に沿ったものとなる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態では、ダクト部４４の外側開口部４７が１つの開口を形成しているが、これに限られるものではない。図２に示すように、外側開口部４７は、複数（図例では２つ）の開口を形成してもよい。また、内側開口部４５も複数の開口を形成していてもよい。第２ダクト部５４についても同様である。

前記実施形態では、ダクト部４４の外側開口部４７は、筐体１２の天井部２２において上向きに開口しているが、これに限られるものではない。図３に示すように、ダクト部４４の外側開口部４７は、筐体１２の側面において水平向きに開口していてもよい。

前記実施形態では、ダクト部４４は、ガス設備収容部４３内の空気を排出するように構成されているが、これに限られるものではない。図４に示すように、ダクト部４４は、ガス設備収容部４３内に外気を取り込むように構成されていてもよい。この場合、第２ダクト部５４は、ガス設備収容部４３内の空気を排出するように構成され、送風機５２は第２ダクト部５４に配置されてもよい。

前記実施形態では、第２ダクト部５４の太さがダクト部４４の太さと同じ太さであり、第２ダクト部５４の外側開口部５７及び内側開口部５５は、ダクト部４４の外側開口部４７及び内側開口部４５と同じ大きさに形成されているが、これに限られるものではない。図５に示すように、第２ダクト部５４の太さは、ダクト部４４の太さよりも大きくてもよい。すなわち、第２ダクト部５４の外側開口部５７及び内側開口部５５は、ダクト部４４の外側開口部４７及び内側開口部４５よりも大きくてもよい。また、第２ダクト部５４は、省略されていてもよい。

前記実施形態では、ダクト部４４が、筐体１２の前面２０ａから後面２０ｃに亘る長さに形成されているが、これに限られるものではない。図６に示すように、ダクト部４４は、筐体１２の前面２０ａと後面２０ｃとの間の距離よりも短く形成されていてもよい。この場合、ダクト部４４の内側開口部４５は、筐体１２の側面（後面２０ｃ）に向けて開口する。すなわち、内側開口部４５は、ダクト部４４の長手方向に向けて開口している。なお、図６では、第２ダクト部５４がダクト部４４よりも太く形成された構成を示しているが、第２ダクト部５４は、ダクト部４４と同じ太さでもよい。

前記実施形態では、ダクト部４４が筐体１２の内側に配置されているが、これに限られるものではない。図７に示すように、ダクト部４４は筐体１２に隣接するように、筐体１２の外側に配置されていてもよい。この構成では、筐体１２の全体がガス設備収容部４３となる。この場合、ダクト部４４が筐体１２に隣接していて筐体１２の寸法に制限されないため、外側開口部４７を大きく形成できる。

この場合のダクト部４４も、障壁部材によって構成される。ダクト部４４の通路部４６における一方の側面は、筐体１２の側面（図例では、左面２０ｂ）の一部によって構成され、他方の側面は、当該側面から外側に離れた位置で当該側面に平行に配置されている。ダクト部４４の長手方向端面は筐体１２の前面２０ａ及び後面２０ｃから延びている。筐体１２の側面（左面２０ｂ）には開口が形成され、ダクト部４４の内側開口部４５はこの開口に合わせて配置されている。

図７では、ダクト部４４が筐体１２の左右方向の側面に沿って前後方向に延びるように構成されているが、ダクト部４４は、筐体１２の前後方向の側面に沿って左右方向に延びるように構成されていてもよい。

図７のダクト部４４は、外側開口部４７が上向きに開口した例を示すが、図８に示すように、外側開口部４７は、水平向きに開口していてもよい。

前記実施形態では、ダクト部４４が、筐体１２における天井部２２と側面との接続部に沿って配置されているが、これに限られるものではない。例えば、ダクト部４４は、筐体１２内側に向けて当該接続部から水平方向に離れたところに配置されていてもよい。この場合、ダクト部４４の外側側面は筐体１２の側面によって構成されるのではなく、筐体１２内に設けられた壁体によって構成される。

前記実施形態では、ダクト部４４及び第２ダクト部５４が前後方向に延びる形状に形成されたが、これに限られるものではない。ダクト部４４及び第２ダクト部５４は、左右方向に延びる形状に形成されていてもよい。この場合、ダクト部４４及び第２ダクト部５４は、筐体１２の左面２０ｂから右面２０ｄに亘る長さに形成されていてもよく、それよりも短くでもよい。

１０ ：ガス供給装置
１２ ：筐体
４３ ：ガス設備収容部
４４ ：ダクト部
４５ ：内側開口部
４６ ：通路部
４７ ：外側開口部
５４ ：第２ダクト部（他のダクト部）
５５ ：内側開口部
５６ ：通路部
５７ ：外側開口部

Claims (8)

1. 水素ガスの補給を行う施設の敷地内に設置されるガス供給装置であって、
   前記水素ガスを取り扱うガス設備と、
   前記ガス設備を収容するガス設備収容部を有する筐体と、
   前記ガス設備収容部内の空気を排出する、または、前記ガス設備収容部内に外気を取り込むためのダクト部と、
   を備え、
   前記筐体の側面および上面が障壁部材にて形成され、
   前記ダクト部は、前記ガス設備収容部に対して水平向きに開口する内側開口部と、前記内側開口部に繋がる通路部と、前記通路部を前記筐体の外部に開口させる外側開口部と、を備え、障壁部材にて形成されている、ガス供給装置。
2. 前記ダクト部は、前記筐体の内部に設けられている、請求項１に記載のガス供給装置。
3. 前記通路部は、前記内側開口部の開口方向に対して異なる方向に延びている、請求項２に記載のガス供給装置。
4. 前記外側開口部は、前記筐体の前記上面において上向きに開口する、または、前記筐体の前記側面において水平向きに開口する、請求項２または３に記載のガス供給装置。
5. 前記ダクト部は、前記筐体の前記側面に隣接して設けられ、
   前記外側開口部が、上向きに開口する、または、水平向きに開口する、請求項１に記載のガス供給装置。
6. 前記ガス設備は、前記ダクト部によって遮られて前記外側開口部から見えないように配置されている、請求項１または５に記載のガス供給装置。
7. 前記筐体の前記上面上に配置された他のダクト部をさらに備え、
   前記他のダクト部は、前記ガス設備収容部に対して下向きに開口する内側開口部と、上向きに開口する外側開口部と、前記内側開口部と前記外側開口部とを繋ぐ通路部と、を備え、障壁部材にて形成されている、請求項１ないし６のいずれかに記載のガス供給装置。
8. 前記ガス設備は、前記他のダクト部によって遮られて前記外側開口部から見えないように配置される、請求項７に記載のガス供給装置。

Images