JP2022029356A - 噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及び噴射孔プレートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】安定した吐出性能を得ることができる噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及び噴射孔プレートの製造方法を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るノズルプレート５４は、インクを吐出するノズル孔１００が形成されるとともに、－Ｚ側を向く表面５４ａを有する。ノズルプレート５４において、ノズル孔１００の内周面のうちの少なくとも一部の表面エネルギーは、表面５４ａでの表面エネルギーよりも小さい。【選択図】図５

Description

本開示は、噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及び噴射孔プレートの製造方法に関する。

従来、記録紙等の被記録媒体にインク滴を吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。インクジェットヘッドは、チャネルが形成されたヘッドチップと、ヘッドチップに接合されたノズルプレートと、を備えている。
インクジェットヘッドでは、チャネル内の容積が変化することで、チャネル内のインクがノズルプレートに形成されたノズル孔を通じて吐出される。

ここで、例えば下記特許文献１には、ノズルプレート表面（吐出面）のうちノズル孔の周囲に、ノズル孔が開口する窪みが形成された構成が開示されている。下記特許文献１の構成では、吐出面のうち、窪みの内面を親インク性表面とし、窪みの外側を撥インク性表面としている。
この構成によれば、吐出面における親インク性表面（窪み内面）にインク膜が形成されることで、インク滴の吐出方向が安定するとされている。

特開平８－２５６３０号公報

しかしながら、上述した従来技術にあっては、吐出面上においてノズル孔の周囲に均一な厚さのインク膜を形成する点で未だ改善の余地があった。仮にノズル孔の周囲の一部のみにインク又はインクの固化物（以下、まとめて一部付着物という。）が付着している場合には、一部付着物によってノズル孔周囲の表面エネルギーが不均一になる。そのため、インク滴に作用する力（表面張力）のバランスが崩れるため、インク滴が一部付着物に引っ張られる。その結果、インク滴に飛翔曲がりが生じる等、吐出不良に繋がる可能性がある。

本開示は、安定した吐出性能を得ることができる噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及び噴射孔プレートの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係る噴射孔プレートは、液体を噴射する噴射孔が形成されるとともに、液体の噴射方向で下流側を向く噴射面を有する噴射孔プレートであって、前記噴射孔の内面のうちの少なくとも一部である撥液性付与部の表面エネルギーは、前記噴射面での表面エネルギーよりも小さい。

本態様によれば、噴射面での表面エネルギーが噴射孔の内面の表面エネルギーよりも大きくなる。これにより、液体噴射時には、噴射面に付着した液体が噴射面上に濡れ広がり易い。また、噴射停止時には、噴射孔内のうち噴射面付近に存在する液体が、噴射孔の内面と噴射面との表面エネルギーの違いによって噴射面に引っ張られる。
その結果、噴射面上に付着した液体等が噴射面上に局所的に滞留するのを抑制し、噴射面上に均一な液体膜が形成され易い。この場合、噴射面上のうちノズル孔の周囲の表面エネルギーをノズル孔の全周に亘って均一に維持し易い。そのため、噴射孔から噴射される液滴には、液体膜を通過する際、液体膜によって均一な表面張力が作用する。その結果、液滴の飛翔曲がりを抑制して、噴射性能の向上を図ることができる。
一方、噴射孔の内面の表面エネルギーが、噴射面の表面エネルギーよりも小さいことで、噴射孔内と噴射面との間での液切れ性を向上できる。これにより、噴射面に付着した液体が噴射孔内に進入するのを抑制できる。また、噴射面に親液領域を形成した場合であっても、親液領域への液体の過剰な流出を抑制できる。さらに、噴射停止時において、噴射孔内で液体が局所的に存在するのを抑制できる。そのため、噴射孔内での液体の固化を抑制し、噴射孔内に残存する液体によって適正なメニスカスが形成され易くなる。

（２）上記（１）の態様の噴射孔プレートにおいて、前記噴射孔の内面の表面エネルギーは、前記噴射孔の内面のうちの少なくとも前記噴射面との境界部分を含む領域において、前記噴射面での表面エネルギーよりも小さいことが好ましい。
本態様によれば、上述した作用効果をより奏功できる。

（３）上記（１）又は（２）の態様の噴射孔プレートにおいて、前記撥液性付与部には、撥液膜が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、例えば撥液性を有する噴射孔プレートの噴射面に対して親液膜を形成することで、噴射孔の内面と噴射面とで表面エネルギーの差を設ける場合に比べ、噴射孔の内面に均一、かつ適正な撥液性能を付与し易い。また、噴射孔プレート自体の表面エネルギーに関わらず、噴射孔の内面に撥液性能を付与できるので、噴射孔プレートの材料選択の自由度を向上させることができる。

（４）上記（３）の態様の噴射孔プレートにおいて、前記撥液膜は、前記噴射孔の内面全体を被覆していることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔の内面での表面エネルギーを全体に亘って均一にし易い。これにより、噴射孔内において表面エネルギーのバランスが崩れるのを抑制できるので、噴射性能をより確実に向上させることができる。

（５）上記（３）又は（４）の態様の噴射孔プレートにおいて、前記撥液膜の厚さは、前記噴射方向の上流側に向かうに従い薄くなっていることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔の内面のうち少なくとも噴射面との境界部分に撥液膜を確実に形成できる。これにより、例えばワイパが噴射孔の開口縁上を通過する際に撥液膜が摩耗する場合であっても、撥液膜を長期に亘って残存させることができる。すなわち、ワイパによる払拭動作に対する撥液膜の耐久性を向上させることができる。
しかも、撥液膜の形成時において、例えば基材の第１面側から撥液処理を行った際には、噴射孔の内面において噴射方向の下流側から上流側にかけて撥液膜が定着していき易い。その結果、噴射孔の内面において噴射方向の上流側での撥液膜の厚さが薄くなる。この場合、噴射孔の内面のうち噴射方向の上流側での撥液膜の厚さを薄くすることで、基材における第１面の裏面側への撥液膜の回り込みを抑制できる。

（６）上記（３）から（５）の何れかの態様の噴射孔プレートにおいて、前記撥液膜と前記噴射孔の内面との間には、前記撥液膜と前記噴射孔の内面とを密着させるプライマ層が介在していることが好ましい。
本態様によれば、撥液膜と噴射孔の内面との間にプライマ層が介在することで、撥液膜の密着性を向上させることができる。その結果、撥液膜の耐久性を向上させることができる。

（７）上記（６）の態様の噴射孔プレートにおいて、前記プライマ層は、前記撥液膜よりも表面エネルギーが大きくなっており、前記プライマ層は、前記噴射面上に形成されるとともに、前記噴射面上のうちの前記噴射孔の開口部を含んだ領域で露出していることが好ましい。
本態様によれば、プライマ層によって噴射面に親液性を付与できる。これにより、噴射孔プレート自体を親液領域として利用する場合に比べ、均一、かつ適正な親液性能を付与し易い。また、噴射孔プレート自体の表面エネルギーに関わらず、親液領域を形成することができるので、噴射孔プレートの材料選択の自由度を向上させることができる。

（８）上記（１）から（７）の何れかの態様の噴射孔プレートにおいて、前記噴射孔は、前記噴射面に沿う第１方向に間隔をあけて複数形成され、前記噴射面は、前記噴射孔の周囲をそれぞれ取り囲み、前記撥液性付与部の表面エネルギーよりも表面エネルギーが大きい親液領域と、隣り合う前記親液領域同士の間を区画し、前記親液領域よりも表面エネルギーが小さい撥液領域と、を含んでいることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔毎に親液領域を設けることで、液体噴射時において各噴射孔間での相互干渉を軽減できる。そのため、噴射性能を向上させ易い。

（９）上記（１）から（７）の何れかの上記態様の噴射孔プレートにおいて、前記噴射孔は、前記噴射面に沿う第１方向に間隔をあけて複数形成され、前記噴射面は、複数の前記噴射孔が開口するとともに、前記第１方向に連続的に延び、前記撥液性付与部の表面エネルギーよりも表面エネルギーが大きい親液領域と、前記噴射面に沿う方向のうち前記第１方向に交差する第２方向において、前記親液領域の両側に位置し、前記親液領域よりも表面エネルギーが小さい撥液領域と、を含んでいることが好ましい。
本態様によれば、噴射面上における液体の広がりを撥液領域で規制できる。これにより、所望の範囲で所望の厚さの液体膜を形成し易い。
しかも、第１方向で隣り合う噴射孔間に撥液領域が存在しないので、例えばワイパの幅を親液領域の幅以下に設定することで、ワイパが撥液領域を通過しないように噴射面上を払拭できる。したがって、親液領域を均一に払拭できるため、親液領域に古いインクやインクの固化物、その他塵埃等が残存するのを抑制できる。また、撥液領域の摩耗等を抑制できる。

（１０）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（９）の何れかの態様の噴射孔プレートを備えている。
本態様によれば、上記態様の噴射孔プレートを備えているため、長期に亘って噴射性能に優れた信頼性の高い液体噴射ヘッドを提供できる。

（１１）本開示の一態様に係る液体噴射装置は、上記（１０）の態様の液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、上記態様の噴射孔プレートを備えているため、長期に亘って噴射性能に優れた信頼性の高い液体噴射装置を提供できる。

（１２）本開示の一態様に係る噴射孔プレートの製造方法は、貫通孔を有する基材に対して撥液処理を行う第１工程と、前記基材のうち厚さ方向を向く第１面のうち、少なくとも前記貫通孔の周囲に親液処理を行う第２工程と、を備える。
本態様によれば、噴射孔の内面に対して容易に撥液性を付与した上で、噴射孔プレートの噴射面の所望の領域に親液性を付与できる。

（１３）上記（１２）態様の噴射孔プレートの製造方法において、前記第１工程は、前記基材のうち少なくとも前記貫通孔の内面上及び前記第１面上に、前記基材よりも表面エネルギーが小さい撥液膜を形成し、前記第２工程は、前記撥液膜のうち少なくとも前記貫通孔の周囲に位置する前記撥液膜を擦過して除去することが好ましい。
本態様によれば、基材の第１面において、親液性を付与する部分に形成された撥液膜を擦過処理により除去するだけで噴射孔プレートに親液性を付与できる。これにより、従来のように窪み内に親液膜を形成する場合と異なり、フォトレジストによるパターニング等を行う必要がない。その結果、製造効率の向上や、低コスト化を図ることができる。

本開示の一態様によれば、安定した吐出性能を得ることができる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの斜視図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 図６のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。 第１実施形態に係るノズルプレートの底面図である。 第１実施形態に係るノズルプレートの製造方法を示す工程図である。 第１実施形態に係るノズルプレートの製造方法を示す工程図である。 第１実施形態に係るノズルプレートにおいて、払拭動作後の状態を示す断面図である。 第２実施形態に係るノズルプレートの断面図である。 第２実施形態の変形例に係るノズルプレートの断面図である。 第３実施形態に係るノズルプレートの底面図である。 図１２のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に沿う断面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、第1実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、クリーニング機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第１方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（第２方向）は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１６と、を備えている。インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１５に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクとしては、溶剤に水を使用した水性インクを用いることも可能である。

走査機構６は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。具体的に、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２３に搭載された状態で、印字領域Ｓとクリーニング領域Ｃとの間を移動する。印字領域Ｓとは、被記録媒体Ｐ（搬送機構２）に対して上方の領域である。インクジェットヘッド５は、被記録媒体Ｐへの印字動作の際に印字領域ＳをＹ方向に往復移動する。
クリーニング領域Ｃとは、印字領域Ｓに対して＋Ｙ側であって、クリーニング機構７に対して上方の領域である。インクジェットヘッド５は、メンテナンス時や駆動停止時等にクリーニング領域Ｃまで移動する。なお、クリーニング機構７については後述する。

＜インクジェットヘッド５＞
図２は、インクジェットヘッド５の斜視図である。以下の説明では一のインクジェットヘッド５を例にしてインクジェットヘッド５の詳細について説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２３（図１参照）に固定されるベースフレーム３１と、ベースフレーム３１に固定されたヘッドチップ３２と、インク供給機構４（インク配管１６）及びヘッドチップ３２間を接続するインク供給部３３と、ヘッドチップ３２に駆動電圧を印加する制御部３４と、を備えている。

＜ヘッドチップ３２＞
図３は、ヘッドチップ３２の斜視図である。図４は、ヘッドチップ３２の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ３２は、後述する吐出チャネル５５における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのものである。具体的に、ヘッドチップ３２は、アクチュエータプレート５１と、カバープレート５２と、支持プレート５３と、ノズルプレート（噴射孔プレート）５４と、を備えている。

アクチュエータプレート５１には、複数のチャネル５５，５６がＸ方向に間隔をあけて並設されている。上述した複数のチャネル５５，５６は、インクが充填される吐出チャネル５５、及びインクが充填されない非吐出チャネル５６（図４参照）である。吐出チャネル５５及び非吐出チャネル５６は、Ｘ方向に交互に並んで配置されている。なお、チャネル５５内面には、図示しない駆動電極が形成されている。

カバープレート５２は、アクチュエータプレート５１の上端部（＋Ｚ側端部）を露出させた状態で、アクチュエータプレート５１に対して＋Ｙ側から接合されている。カバープレート５２には、共通インク室６１と、複数のスリット６２と、が形成されている。共通インク室６１には、上述したインク供給部３３を通じてインクが流入する。スリット６２は、共通インク室６１のうち、吐出チャネル５５とＹ方向で対向する位置に形成されている。スリット６２は、共通インク室６１内と各吐出チャネル５５内とを各別に連通している。一方、非吐出チャネル５６は、共通インク室６１内には連通していない。

支持プレート５３は、アクチュエータプレート５１及びカバープレート５２を支持するともに、ノズルプレート５４を支持している。支持プレート５３には、Ｚ方向に貫通するとともにＸ方向に沿って延びる嵌合孔５３ａが形成されている。アクチュエータプレート５１及びカバープレート５２は、嵌合孔５３ａ内に嵌め込まれた状態で支持プレート５３に支持されている。

＜ノズルプレート５４＞
図５は、図６のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。
図４、図５に示すように、ノズルプレート５４は、アクチュエータプレート５１、カバープレート５２及び支持プレート５３のそれぞれの下面（－Ｚ側端面）に亘って、例えば接着剤等により固定されている。図５に示すように、ノズルプレート５４は、プレート本体７１と、第１撥液膜７２と、第２撥液膜７３と、を備えている。

プレート本体７１は、Ｚ方向を厚さ方向とする板状に形成されている。プレート本体７１の厚さは、例えば２０～１００μｍ程度とされている。第１実施形態において、プレート本体７１は、樹脂材料（ポリイミド等）や金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造とされている。なお、以下の説明では、プレート本体７１の下面（－Ｚ側端面）を表面７１ａとし、プレート本体７１の上面（＋Ｚ側端面）を裏面７１ｂとする。

プレート本体７１には、プレート本体７１をＺ方向に貫通するノズル孔（噴射孔）１００が形成されている。ノズル孔１００は、Ｚ方向から見た平面視で円形状に形成されるとともに、上方から下方に向かうに従い漸次縮径するテーパ状に形成されている。ノズル孔１００の内径は、Ｚ方向の全体に亘って一様であってもよい。また、ノズル孔１００の平面視外形は適宜変更が可能である。

図４に示すように、ノズル孔１００は、Ｘ方向に間隔をあけて複数形成されている。各ノズル孔１００は、Ｘ方向に直線状に配列されることで、ノズル列１０１を構成している。各ノズル孔１００は、プレート本体７１のうち吐出チャネル５５にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。すなわち、各ノズル孔１００は、隣り合う吐出チャネル５５同士の間隔と同ピッチでＸ方向に間隔をあけて形成されている。これにより、上述した吐出チャネル５５は、ノズル孔１００を通して外部に連通している。一方、非吐出チャネル５６は、ノズルプレート５４により閉塞されている。なお、ノズル孔１００の数やレイアウト等は、適宜変更が可能である。

図６は、ノズルプレート５４の底面図である。
図５、図６に示すように、第１撥液膜７２は、プレート本体７１の表面７１ａ上において、ノズル列１０１に対してＹ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。具体的に、第１撥液膜７２は、Ｘ方向に沿って延びる帯状に形成されている。第１撥液膜７２には、フッ素含有シランカップリング剤や有機フッ素化合物等、プレート本体７１よりも表面エネルギーが小さい材料が好適に用いられている。なお、本明細書において、「表面エネルギー」は、撥液性能や親液性能、表面粗さ等、インクの伝わりに影響を及ぼすエネルギーである。この場合、表面エネルギーが小さい方が撥液性能に優れ、表面エネルギーの大きい方が親液性能に優れているということができる。

ここで、ノズルプレート５４のうち、外部（下方）に露出している面を表面５４ａとする。この場合、ノズルプレート５４のうち、第１撥液膜７２が形成されている部分は、第１撥液膜７２の表面がノズルプレート５４の表面５４ａを構成する。ノズルプレート５４のうち、第１撥液膜７２が形成されていない部分は、プレート本体７１の表面７１ａ自体がノズルプレート５４の表面５４ａを構成する。

第１実施形態では、ノズルプレート５４の表面５４ａのうち、各第１撥液膜７２の間に位置する部分は、プレート本体７１の表面７１ａが露出した親液領域１１０を構成している。上述したノズル孔１００は、親液領域１１０上で開口している。

一方、ノズルプレート５４の表面５４ａのうち、第１撥液膜７２が形成された部分は、親液領域１１０に比べて表面エネルギーが小さい撥液領域１１１を構成している。図示の例において、各撥液領域１１１のＹ方向の幅は、親液領域１１０のＹ方向の幅よりも狭くなっている。但し、撥液領域１１１の幅の方が親液領域１１０よりも広くてもよい。また、各第１撥液膜７２（撥液領域１１１）は、ノズル列１０１に対してＸ方向の外側において、それぞれ接続されていてもよい。すなわち、撥液領域１１１は、ノズル列１０１の周囲を取り囲んでいてもよい。また、撥液領域１１１は、ノズル列１０１を構成する各ノズル孔１００のうち、複数のノズル孔１００毎に区画してもよい。すなわち、ノズル列１０１を構成する全てのノズル孔１００が一の親液領域１１０上で開口している必要はない。

図５に示すように、第２撥液膜７３は、ノズル孔１００の内周面全体に亘って形成されている。第２撥液膜７３は、上方から下方に向かうに従い漸次厚くなっている。第２撥液膜７３の最小厚さは、例えば第１撥液膜７２の最小厚さ以下になっている。但し、第２撥液膜７３の最小厚さは、撥液性が発揮できる程度の厚さ（例えば数ｎｍ程度）を確保していれば、適宜変更が可能である。なお、ノズル孔１００の内周面のうち、第２撥液膜７３が形成された部分（第１実施形態では内周面全体）は、撥液性付与部を構成している。また、第２撥液膜７３は、第１撥液膜７２と同様の材料により、第１撥液膜７２と同一工程で一括形成される（後述する）。

このように、第１実施形態のノズルプレート５４は、ノズル孔１００の内周面に第２撥液膜７３が形成されていることで、ノズル孔１００の内周面での表面エネルギーが、ノズルプレート５４の親液領域１１０での表面エネルギーよりも小さくなっている。第１実施形態では、ノズル孔１００の内周面全体に第２撥液膜７３が形成されていることで、ノズル孔１００の内周面全体に撥液性が付与されている。また、ノズル孔１００の内周面での表面エネルギーは、撥液領域１１１での表面エネルギーと同等になっている。但し、ノズル孔１００の内周面での表面エネルギーと、撥液領域１１１での表面エネルギーと、を異ならせてもよい。

図３に示すように、ノズルプレート５４の表面５４ａは、インクジェットヘッド５がクリーニング領域Ｃに配置された状態で、クリーニング機構７によってクリーニングされる。クリーニング機構７は、ワイパ１２０を備えている。ワイパ１２０は、インクジェットヘッド５がクリーニング領域Ｃに配置された状態で、各インクジェットヘッド５の下方に個別に設けられている。

ワイパ１２０は、例えば弾性変形可能な材料（ゴムや樹脂材料）により板状に形成されている。ワイパ１２０におけるＹ方向の幅は、親液領域１１０の幅以下に設定されていることが好ましい。ワイパ１２０は、Ｘ方向に移動可能に構成されている。ワイパ１２０は、インクジェットヘッド５がクリーニング領域Ｃに配置された状態で、ノズルプレート５４の表面５４ａのうち主に親液領域１１０上に摺接することで、親液領域１１０に付着したインク等を払拭する。第１実施形態において、ワイパ１２０は、インクジェットヘッド５に対して－Ｘ側を上流側とし、下流側である＋Ｘ側に移動する。但し、ワイパ１２０の幅は、親液領域１１０よりも広くてもよい。また、本開示では、ワイパ１２０が＋Ｘ側から－Ｘ側に移動してもよく、Ｙ方向に移動してもよい。

＜ノズルプレート５４の製造方法＞
次に、上述したノズルプレート５４の製造方法について説明する。図７、図８は、図５に対応する断面図であって、ノズルプレート５４の製造方法を説明するための工程図である。以下の説明では、プレート本体（基材）７１に樹脂材料（ポリイミド）を採用した場合を例にして説明する。
第１実施形態のノズルプレート５４の製造方法は、例えばノズル孔形成工程と、撥液膜形成工程（第１工程）と、撥液膜除去工程（第２工程）と、を含んでいる。

図７に示すように、ノズル孔形成工程では、プレート本体７１に対してノズル孔（貫通孔）１００を形成する。具体的には、プレート本体７１の裏面７１ｂからレーザー加工やエッチング等を行う。これにより、テーパ状のノズル孔１００が形成される。なお、プレート本体７１がシリコンの場合には、エッチング等によりノズル孔１００を形成することができる。プレート本体７１がＳＵＳの場合には、レーザー加工やプレス加工等によってノズル孔１００を形成することができる。プレート本体７１がＮｉ－Ｐｄの場合には、電鋳によるプレート本体７１の成形と同時にノズル孔１００を形成することができる。

続いて、図８に示すように、撥液膜形成工程では、ノズル孔１００が形成されたプレート本体７１に対して撥液膜７２，７３の途中膜１５１を形成する。途中膜１５１とは、撥液膜形成工程で形成される撥液膜が上述した撥液膜７２，７３として形成される前の状態であって、プレート本体７１の表面（第１面）７１ａ及びノズル孔１００の内周面に亘って形成される。具体的に、撥液膜形成工程では、まずプレート本体７１の裏面７１ｂ全体にマスク１５０（例えば、テープ等）をする。続いて、プレート本体７１の表面７１ａに、撥液膜７２，７３の液体材料を、各種塗布方法（例えばスプレーコートやディップコート、スピンコート等）を用いて塗布する。すると、プレート本体７１の表面７１ａに塗布された液体材料は、表面７１ａ上を濡れ広がるとともに、ノズル孔１００内にも進入する。これにより、プレート本体７１の表面７１ａ及びノズル孔１００の内周面に亘って撥液膜７２，７３の途中膜１５１が形成される。第１実施形態では、表面７１ａから液体材料を塗布するため、ノズル孔１００に形成された途中膜１５１の厚さは、表面７１ａ側から裏面７１ｂ側に向かうに従い漸次薄くなる。液体材料の塗布後は、加温やエネルギー線（例えば、紫外線等）照射等によって途中膜１５１を硬化させる。その後、プレート本体７１の裏面７１ｂに設けられたマスク１５０を除去する。

なお、撥液膜７２，７３に固体材料（例えば、フッ素化合物等）を用いる場合には、物理蒸着（スパッタリング等）や化学蒸着（プラズマＣＶＤ等）の各種成膜方法を用いて途中膜１５１を形成してもよい。また、撥液膜７２，７３にめっき材料（フッ素化合物含有の複合Ｎｉめっき液や、Ｐｄめっき液等）を用いる場合には、プレート本体７１の材料に応じて電解めっきや無電解めっきを行うことで途中膜１５１を形成してもよい。

次に、撥液膜除去工程では、プレート本体７１に形成された途中膜１５１のうち、プレート本体７１の表面７１ａに形成された途中膜１５１の一部を除去する。第１実施形態の撥液膜除去工程では、擦過処理によって途中膜１５１の一部を削り落とす。撥液膜除去工程で用いる擦過物には、プレート本体７１の材料よりも軟質な材料を選択することが好ましい。このような材料としては、クリーンチーフやワイパーブレード等に採用されるＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）等が挙げられる。但し、擦過物としては、プレート本体７１の表面７１ａを擦過した際に、表面７１ａを傷付けない程度の硬度や表面粗さを有する材料であれば、プレート本体７１の材料等に応じて適宜変更が可能である。

撥液膜除去工程では、プレート本体７１の表面７１ａのうちノズル列１０１を含む部分に対して擦過物をＸ方向に往復移動させる。すると、プレート本体７１の表面７１ａ上のうち、ノズル列１０１を含む部分の途中膜１５１が除去される。これにより、図５に示すように、ノズルプレート５４の表面５４ａ上において、途中膜１５１が除去された部分が、プレート本体７１の表面７１ａが露出した親液領域１１０となる。

一方、撥液膜除去工程において、ノズルプレート５４の表面５４ａのうち親液領域１１０の外側に位置する部分、及びノズル孔１００の内周面には、途中膜１５１が残存する。よって、プレート本体７１の表面７１ａ上に残存した途中膜１５１は、親液領域１１０の外側でプレート本体７１の表面７１ａを被覆する第１撥液膜７２となる。また、ノズル孔１００の内周面に残存した途中膜１５１は、ノズル孔１００の内周面を被覆する第２撥液膜７３となる。
以上により、ノズルプレート５４が完成する。なお、撥液膜除去工程は、擦過処理以外に、レーザーやサンドブラスト等により行うことも可能である。

［プリンタの動作方法］
＜吐出動作時＞
次に、上述したプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに情報を記録する方法について説明する。以下の説明では、吐出直前の状態において、ノズル孔１００内のインクはノズル孔１００の下端開口縁でメニスカスを保っているものとする（図５参照）。具体的に、ノズル孔１００内のインクは、ノズル孔１００内での第２撥液膜７３の表面エネルギーや吐出チャネル５５内の圧力（負圧）等の作用により、上方に窪む凹面状のメニスカスを形成している。

図１に示すように、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２間に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時に走査機構６によってインクジェットヘッド５が印字領域Ｓ上をＹ方向に往復移動する。
この間に、各インクジェットヘッド５において、ヘッドチップ３２の駆動電極に駆動電圧を印加する。これにより、アクチュエータプレート５１に厚みすべり変形を生じさせ、吐出チャネル５５内に充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、吐出チャネル５５の内圧が高まり、インク滴がノズル孔１００を通して吐出される。そして、ノズル孔１００から吐出されたインク滴が被記録媒体Ｐ上に着弾することで、各種情報が被記録媒体Ｐ上に記録される。

ところで、プリンタ１の吐出性能を向上させるには、インク滴がノズル孔１００から吐出される際に、インク滴に影響する、又はインク滴に影響を及ぼすノズル孔１００周囲の表面エネルギーが均一であることが好ましい。すなわち、ノズルプレートの表面のうち、ノズル孔の周囲に一部付着物が付着していると、一部付着物によってノズル孔１００周囲の表面エネルギーが不均一になる。そのため、インク滴に作用する力（表面張力）のバランスが崩れるため、インク滴が一部付着物に引っ張られる。その結果、インク滴に飛翔曲がりが生じる等、吐出不良に繋がる可能性がある。なお、本明細書において、インク滴とは、インクのうち、吐出動作によってメニスカスから被記録媒体Ｐに向けて膨出した部分、及びメニスカスから離脱した部分を含む。

ここで、プリンタ１では、ノズルプレート５４の表面５４ａのうちノズル孔１００が開口する部分が親液領域１１０になっている。そのため、図５に示すように、親液領域１１０には、全域に亘って均一な厚さのインク膜１６０が形成される。ノズルプレート５４の表面５４ａにおいて、ノズル孔１００周囲の表面エネルギーが均一になり易い。インク膜１６０は、例えばインク滴の吐出時等にノズルプレート５４の周囲に飛散したインクが親液領域１１０に付着した後、親液領域１１０上に濡れ広がることで形成される。なお、インク膜１６０は、インクジェットヘッド５に供給されるインクの一部が親液領域１１０上に濡れ広がって形成されていればよい。この場合、インク膜１６０は、吐出動作の前にノズル孔１００からインクを滲み出させることで形成してもよい。

しかも、プリンタ１では、ノズル孔１００の内周面上に第２撥液膜７３が形成されている。したがって、インク膜１６０とノズル孔１００内に保持されたインクとは、ノズル孔１００の下端開口縁（境界部分）とノズルプレート５４の表面５４ａとの間で分離している。そして、ノズル孔１００内には、第２撥液膜７３の作用によって適正なメニスカスが形成される。

このような状態でインクを吐出すると、ノズル孔１００から吐出されるインク滴は、インク膜１６０を通過した後に被記録媒体Ｐに向けて飛翔する。インク滴がインク膜１６０を通過する際、インク滴には均一な力（表面張力）が作用する。その結果、インク滴の飛翔曲がりを抑制して、吐出性能の向上を図ることができる。なお、インク膜１６０は、ノズル孔周囲の表面エネルギーが均一になるように形成されていればよい。そのため、インク膜１６０の粘度（固化等による粘度の変動を含む）や厚さ等の各種条件は、ノズル孔１００の全周に亘って一様であれば適宜変更が可能である。

＜払拭動作時（吐出停止時）＞
インクジェットヘッド５のメンテナンス時等には、インクジェットヘッド５をクリーニング領域Ｃまで移動させ、ノズルプレート５４の払拭動作を行う。具体的には、図３に示すように、クリーニング領域Ｃに配置されたインクジェットヘッド５に対し、ノズルプレート５４の表面５４ａ（親液領域１１０上）にワイパ１２０を摺接させる。すると、ワイパ１２０は、－Ｘ側から＋Ｘ側に移動する過程で、親液領域１１０上に付着したインク等を払拭する。

ところで、ワイパ１２０による払拭動作後であっても、ノズルプレート５４の表面５４ａ（特に親液領域１１０上）にインクが残存する可能性がある。親液領域１１０に残ったインクは、親液領域１１０の表面エネルギーによって、親液領域１１０に濡れ広がる。そのため、払拭動作後（吐出停止時）においても、ノズル孔１００の周囲にインクが局所的に残存することを抑制できる。また、吐出停止時において、ノズル孔１００内に存在するインクのうち、下端開口部周辺に存在するインクは、ノズル孔１００の内周面と親液領域１１０との間の表面エネルギーの作用によって親液領域１１０に引っ張られる。そのため、ノズル孔１００内に存在するインクの一部が親液領域１１０上に濡れ広がるとともに、ノズルプレート５４の表面５４ａ上に残存したインクがノズル孔１００内に進入するのを抑制できる。これにより、親液領域１１０上には全域に亘って均一な厚さのインク膜１６０が形成される。その結果、払拭動作後の吐出再開時であっても、ノズルプレート５４の表面５４ａ上でインクの固化やインクが局所的に存在するのを抑制できる。

上述したようにノズル孔１００内のインクが親液領域１１０に濡れ広がる結果、払拭動作後におけるノズル孔１００内のインクは、吐出動作時よりも減少する。しかし、第１実施形態ではノズル孔１００の内周面に形成された第２撥液膜７３の作用により、ノズル孔１００の内周面の一部のみにインクが残存することを抑制できる。この場合、ノズル孔１００内には、吐出動作時よりも＋Ｚ側に後退した状態でメニスカスが形成される。

このように、第１実施形態のノズルプレート５４は、ノズル孔１００の内周面のうちの少なくとも一部の表面エネルギーが、ノズルプレート５４の親液領域１１０での表面エネルギーよりも小さい構成とした。
この構成によれば、親液領域１１０の表面エネルギーがノズル孔１００の内周面の表面エネルギーよりも大きくなる。これにより、インク吐出時には、ノズルプレート５４の表面５４ａに付着したインクが親液領域１１０に濡れ広がる。また、吐出停止時には、ノズル孔１００内のうち表面５４ａ付近に存在するインクが、ノズル孔１００の内周面と親液領域１１０との表面エネルギーの違いによって親液領域１１０に引っ張られる。
その結果、ノズルプレート５４の表面５４ａ上でのインクの固化やインクが局所的に残存することを抑制し、親液領域１１０に均一なインク膜１６０が形成され易い。これにより、吐出性能を良好に維持できる。
一方、ノズル孔１００の内周面の表面エネルギーが、親液領域１１０の表面エネルギーよりも小さいことで、ノズル孔１００内と親液領域１１０との間での液切れ性を向上できる。これにより、親液領域１１０に付着したインクがノズル孔１００内に進入するのを抑制できる。また、ノズルプレート５４の表面５４ａに親液領域１１０を形成した場合であっても、親液領域１１０へのインクの過剰な流出を抑制できる。さらに、吐出停止時において、ノズル孔１００内でインクが局所的に存在するのを抑制できる。そのため、ノズル孔１００内でのインクの固化を抑制し、ノズル孔１００内に残存するインクによって適正なメニスカスが形成され易くなる。

第１実施形態のノズルプレート５４は、ノズル孔１００の内周面での表面エネルギーは、ノズル孔１００の下端開口縁を含む領域において親液領域１１０での表面エネルギーよりも小さくなっている。
この構成によれば、上述した作用効果をより奏功できる。

第１実施形態のノズルプレート５４は、ノズル孔１００の内周面に第２撥液膜７３を形成することで、ノズル孔１００の内周面に撥液性を付与する構成とした。
この構成によれば、例えば撥液性を有するプレート本体の表面に対して親液膜を形成することで、ノズル孔１００の内周面と親液領域１１０とで表面エネルギーの差を設ける場合に比べ、ノズル孔１００の内周面に均一、かつ適正な撥液性能を付与し易い。また、プレート本体７１自体の表面エネルギーに関わらず、ノズル孔１００の内周面に撥液性能を付与できるので、プレート本体７１の材料選択の自由度を向上させることができる。

第１実施形態のノズルプレート５４は、第２撥液膜７３がノズル孔１００の内周面全体を被覆している構成とした。
この構成によれば、ノズル孔１００の内周面での表面エネルギーを全体に亘って均一にし易い。これにより、ノズル孔１００内において表面エネルギーのバランスが崩れるのを抑制できるので、吐出性能をより確実に向上させることができる。

第１実施形態のノズルプレート５４は、第２撥液膜７３の厚さがインクの吐出方向における下流側（－Ｚ側）から上流側（＋Ｚ側）に向かうに従い薄くなっている構成とした。
この構成によれば、ノズル孔１００の内周面のうち少なくとも親液領域１１０との境界部分（下端開口縁）に第２撥液膜７３を確実に形成できる。これにより、例えばワイパ１２０がノズル孔１００の下端開口縁上を通過する際に第２撥液膜７３が摩耗する場合であっても、第２撥液膜７３を長期に亘って残存させることができる。すなわち、ワイパ１２０による払拭動作に対する第２撥液膜７３の耐久性を向上させることができる。
しかも、撥液膜７２，７３の形成時において、例えばプレート本体７１の表面７１ａ側から撥液処理を行った際には、ノズル孔１００の内周面において吐出方向の下流側から上流側にかけて撥液膜が定着していき易い。その結果、ノズル孔１００の内周面において吐出方向の上流側での第２撥液膜７３の厚さが薄くなる。この場合、ノズル孔１００の内周面のうち吐出方向の上流側での第２撥液膜７３の厚さを薄くすることで、プレート本体７１の裏面７１ｂ側への撥液膜の回り込みを抑制できる。

第１実施形態のノズルプレート５４の表面５４ａは、ノズル列１０１に沿ってＸ方向に延びる親液領域１１０と、親液領域１１０に対してＹ方向の両側に位置する撥液領域１１１と、を含んでいる構成とした。
この構成によれば、ノズルプレート５４の表面５４ａ上におけるインクの広がりを撥液領域１１１で規制できる。これにより、所望の範囲で所望の厚さのインク膜１６０を形成し易い。
しかも、隣り合うノズル孔１００間に撥液領域が存在しないので、例えばワイパ１２０により表面５４ａをＸ方向に沿って払拭する際、ワイパ１２０が撥液領域１１１を通過しない。したがって、親液領域１１０を均一に払拭できるため、従来のように窪み内に親液膜を形成する場合と異なり、古いインクやインクの固化物、その他塵埃等が親液領域１１０に残存するのを抑制できる。また、第１撥液膜７２の摩耗等を抑制できる。

第１実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１は、上述したノズルプレート５４を備えているため、長期に亘って吐出性能に優れた信頼性の高いインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。

第１実施形態のノズルプレート５４の製造方法は、撥液膜形成工程においてノズル孔１００が形成されたプレート本体７１に対して撥液膜７２，７３の途中膜１５１を形成した後、撥液膜除去工程においてプレート本体７１の表面７１ａ上のうち少なくともノズル孔１００の周囲の途中膜１５１を除去する。これにより、ノズル孔１００の内周面に対して容易に撥液性を付与した上で、ノズルプレート５４の表面５４ａの所望の領域に親液性を付与できる。

第１実施形態のノズルプレート５４の製造方法は、撥液膜除去工程において撥液膜形成工程で形成した途中膜１５１の一部を擦過処理により除去する構成とした。
この構成によれば、ノズルプレート５４の表面５４ａにおいて、親液性を付与する部分に形成された途中膜１５１を擦過処理により除去するだけでノズルプレート５４に親液性を付与できる。これにより、従来のように窪み内に親液膜を形成する場合と異なり、フォトレジストによるパターニング等を行う必要がない。その結果、製造効率の向上や、低コスト化を図ることができる。

（第２実施形態）
図１０は、第２実施形態におけるノズルプレート２００の断面図である。第２実施形態では、プレート本体７１がプライマ層２０１により被覆されている点で上述した実施形態と相違している。
図１０に示すノズルプレート２００において、プライマ層２０１は、プレート本体７１の表面７１ａ全域、及びノズル孔１００の内周面全域に亘って形成されている。したがって、第２実施形態の親液領域１１０は、プライマ層２０１が外部に露出することによって形成されている。すなわち、プライマ層２０１は、プレート本体７１の表面７１ａのうちノズル孔１００の開口部を含んだ領域にも形成されている。但し、プライマ層２０１は、少なくとも撥液膜７２，７３とプレート本体７１との間に介在していればよい。すなわち、第２実施形態においても、プレート本体７１の表面７１ａを親液領域１１０にしてもよい。

プライマ層２０１は、撥液膜７２，７３とプレート本体７１との密着性を確保するための下地としての機能を有する。プライマ層２０１は、プレート本体７１との密着性（共有結合等の化学結合力）が撥液膜７２，７３とプレート本体７１との密着性よりも高く、表面エネルギーがプレート本体７１よりも大きい材料であることが好ましい。このような材料としては、シリコン化合物（シランカップリング剤等）や、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）等を用いることができる。なお、プライマ層２０１は、撥液膜形成工程と同様に、プライマ層２０１の液体材料を塗布した後、硬化させることで形成できる（ウェットプロセス）。また、プライマ層２０１に固体材料を用いる場合には、物理蒸着（スパッタリング等）や化学蒸着（プラズマＣＶＤ等）の各種成膜方法（ドライプロセス）を用いてプライマ層２０１を形成してもよい。

第２実施形態のノズルプレート２００では、撥液膜７２，７３とプレート本体７１との間にプライマ層２０１が介在することで、撥液膜７２，７３の密着性を向上させることができる。その結果、撥液膜７２，７３の耐久性を向上させることができる。

第２実施形態のノズルプレート２００では、親液領域１１０がプライマ層２０１により形成されている構成とした。
この構成によれば、プライマ層２０１を親液領域１１０に利用することで、プレート本体７１の表面７１ａを親液領域として利用する場合に比べ、均一、かつ適正な親液性能を付与し易い。また、プレート本体７１自体の表面エネルギーに関わらず、親液領域１１０を形成することができるので、プレート本体７１の材料選択の自由度を向上させることができる。

（変形例）
上述した実施形態では、プレート本体７１の表面７１ａに第１撥液膜７２及びプライマ層２０１を形成した場合について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１１に示すノズルプレート２００のように、少なくとも第２撥液膜７３を有していれば、ノズルプレート２００の表面２００ａ全域が親液領域１１０であってもよい。
この場合には、ワイパ１２０がノズルプレート２００の表面２００ａ上を摺接する際に撥液膜を通過することがないため、ワイパ１２０の移動方向を任意の方向に設定することが可能である。

（第３実施形態）
図１２は、第３実施形態に係るノズルプレート３００の底面図である。図１３は、図１３のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に沿う断面図である。第３実施形態では、ノズルプレート３００の表面３００ａのうち、各ノズル孔１００の周囲のみに親液領域１１０が独立して形成されている点で、上述した実施形態と相違している。
図１２、図１３に示すノズルプレート３００において、親液領域１１０は、ノズルプレート３００の表面３００ａで各ノズル孔１００の周囲を各別に取り囲んでいる。すなわち、親液領域１１０は、各ノズル孔１００のそれぞれに対して個別に設けられている。なお、第３実施形態の親液領域１１０は、ノズルプレート３００の表面３００ａのうちプライマ層２０１が露出している部分である。

一方、撥液領域１１１は、ノズルプレート３００の表面３００ａにおける親液領域１１０以外の部分である。すなわち、撥液領域１１１は、隣り合う親液領域１１０の間を区画している。第３実施形態のノズルプレート３００は、第１実施形態と同様に、撥液膜７２，７３の途中膜１５１を形成後、撥液膜除去工程において、ノズル孔１００の周囲の途中膜１５１を擦過処理により除去することで形成できる。したがって、従来のようにプレート本体自体に窪みを形成する場合に比べて、製造効率の低下を抑制できる。

第３実施形態のノズルプレート３００は、ノズル孔１００毎に親液領域１１０を設けることで、インク吐出時において各ノズル孔１００間での相互干渉を軽減できる。そのため、吐出性能を向上させ易い。

なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、噴射孔プレート及び液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、噴射孔プレートや液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、エッジシュートのヘッドチップについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用してもよい。
また、インクに加わる圧力の方向と、インクの吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用してもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、プレート本体よりも表面エネルギーの小さい撥液膜を用いてノズルプレートに親液領域と撥液領域を形成する場合について説明したが、この構成に限られない。例えば、プレート本体よりも表面エネルギーの大きい親液膜を用いてノズルプレートに親液領域と撥液領域を形成してもよい。この場合、ノズルプレートのうち、撥液領域を構成する部分（例えば、ノズル孔１００の内周面等）では、プレート本体が露出することになる。

上述した実施形態では、ノズル孔１００の内周面全域に第２撥液膜７３が形成された構成について説明したが、この構成に限られない。第２撥液膜７３は、ノズル孔１００の内周面の少なくとも一部（撥液性付与部）に形成されていればよい。この場合、第２撥液膜７３は、少なくともノズル孔１００の下端開口縁を含む部分に形成されていることが好ましい。
上述した実施形態では、プレート本体に対して撥液膜を積層することで親液領域と撥液領域を形成する構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、プレート本体に対して表面処理（改質や加工）を施すことで、親液領域と撥液領域を形成してもよい。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５４…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５４ａ…表面（噴射面）
７１…プレート本体（基材）
７１ａ…表面（第１面）
７３…第２撥液膜（撥液膜）
１００…ノズル孔（噴射孔、貫通孔）
１１０…親液領域
１１１…撥液領域
２００…ノズルプレート（噴射孔プレート）
２００ａ…表面（噴射面）
２０１…プライマ層
３００…ノズルプレート（噴射孔プレート）
３００ａ…表面（噴射面）

Claims (13)

1. 液体を噴射する噴射孔が形成されるとともに、液体の噴射方向で下流側を向く噴射面を有する噴射孔プレートであって、
   前記噴射孔の内面のうちの少なくとも一部である撥液性付与部の表面エネルギーは、前記噴射面での表面エネルギーよりも小さい噴射孔プレート。
2. 前記噴射孔の内面の表面エネルギーは、前記噴射孔の内面のうちの少なくとも前記噴射面との境界部分を含む領域において、前記噴射面での表面エネルギーよりも小さい請求項１に記載の噴射孔プレート。
3. 前記撥液性付与部には、撥液膜が形成されている請求項１又は請求項２に記載の噴射孔プレート。
4. 前記撥液膜は、前記噴射孔の内面全体を被覆している請求項３に記載の噴射孔プレート。
5. 前記撥液膜の厚さは、前記噴射方向の上流側に向かうに従い薄くなっている請求項３又は請求項４に記載の噴射孔プレート。
6. 前記撥液膜と前記噴射孔の内面との間には、前記撥液膜と前記噴射孔の内面とを密着させるプライマ層が介在している請求項３から請求項５の何れか１項に記載の噴射孔プレート。
7. 前記プライマ層は、前記撥液膜よりも表面エネルギーが大きくなっており、
   前記プライマ層は、前記噴射面上に形成されるとともに、前記噴射面上のうちの前記噴射孔の開口部を含んだ領域で露出している請求項６に記載の噴射孔プレート。
8. 前記噴射孔は、前記噴射面に沿う第１方向に間隔をあけて複数形成され、
   前記噴射面は、
   前記噴射孔の周囲をそれぞれ取り囲み、前記撥液性付与部の表面エネルギーよりも表面エネルギーが大きい親液領域と、
   隣り合う前記親液領域同士の間を区画し、前記親液領域よりも表面エネルギーが小さい撥液領域と、を含んでいる請求項１から請求項７の何れか１項に記載の噴射孔プレート。
9. 前記噴射孔は、前記噴射面に沿う第１方向に間隔をあけて複数形成され、
   前記噴射面は、
   複数の前記噴射孔が開口するとともに、前記第１方向に連続的に延び、前記撥液性付与部の表面エネルギーよりも表面エネルギーが大きい親液領域と、
   前記噴射面に沿う方向のうち前記第１方向に交差する第２方向において、前記親液領域の両側に位置し、前記親液領域よりも表面エネルギーが小さい撥液領域と、を含んでいる請求項１から請求項７の何れか１項に記載の噴射孔プレート。
10. 請求項１から請求項９の何れか１項に記載の噴射孔プレートを備えている液体噴射ヘッド。
11. 請求項１０に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
12. 貫通孔を有する基材に対して撥液処理を行う第１工程と、
    前記基材のうち厚さ方向を向く第１面のうち、少なくとも前記貫通孔の周囲に親液処理を行う第２工程と、を備える噴射孔プレートの製造方法。
13. 前記第１工程は、前記基材のうち少なくとも前記貫通孔の内面上及び前記第１面上に、前記基材よりも表面エネルギーが小さい撥液膜を形成し、
    前記第２工程は、前記撥液膜のうち少なくとも前記貫通孔の周囲に位置する前記撥液膜を擦過して除去する請求項１２に記載の噴射孔プレートの製造方法。

Images