JP2022028409A - 磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体及び磁気記憶装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態に係る磁気記録媒体用基板について説明する。図1は、本実施形態に係る磁気記録媒体用基板の一例を示す斜視図であり、図2は、磁気記録媒体用基板の一例を示す部分断面図である。図1及び図2に示すように、本実施形態に係る磁気記録媒体用基板1は、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板(以下、単に、「アルミニウム合金基板」という)11と、アルミニウム合金基板11の表面に形成されているニッケル合金被膜12とを有する。磁気記録媒体用基板1は、円板状に形成され、平面視においてその中心部分に開口部を有している。
アルミニウム合金基板11は、Mg及びCrを含む添加元素と、残部Alとを含有し、不可避不純物を含有してもよい。
アルミニウム合金基板11は、公知の方法で製造することができる。アルミニウム合金基板11は、例えば、アルミニウム合金鋳塊を作製する鋳造工程と、アルミニウム合金鋳塊を板状に圧延してアルミニウム合金板材を得る圧延工程と、アルミニウム合金板材をアルミニウム合金基板11に成形する加工工程とを含む方法によって製造することができる。
ニッケル合金被膜12は、上述の通り、アルミニウム合金基板11の表面に形成されている。すなわち、ニッケル合金被膜12は、アルミニウム合金基板11の、両方の主面(上面及び下面)とその端面とに形成されている。なお、ニッケル合金被膜12は、一方の主面にのみ形成されていてもよい。
本実施形態に係る磁気記録媒体用基板1の製造方法について説明する。本実施形態に係る磁気記録媒体用基板1の製造方法は、アルミニウム合金基板11にニッケル合金被膜12をめっき法によって形成する被膜形成工程と、ニッケル合金被膜付きアルミニウム合金基板の表面に対して研磨加工を施す研磨加工工程とを含む。
アルミニウム合金基板11の表面にめっき法によってニッケル合金被膜12を形成する。
めっき工程で得られたニッケル合金めっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板の表面を研磨する。研磨加工工程は、平滑で、傷が少ないといった表面品質の向上と生産性の向上との両立を図る点から、複数の独立した研磨盤を用いた2段階以上の研磨工程を有する多段階研磨方式を採用することが好ましい。例えば、第1の研磨盤を用いて、アルミナ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する粗研磨工程と、研磨されたアルミニウム合金基板を洗浄した後に、第2の研磨盤を用いて、コロイダルシリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する仕上げ研磨工程を行う。
本実施形態に係る磁気記録媒体用基板を適用した磁気記録媒体について説明する。なお、本実施形態では、磁気記録媒体がアシスト磁気記録媒体である場合について説明するが、それ以外の磁気記録媒体でも同様に適用することができる。
本実施形態に係る磁気記録媒体を用いた磁気記憶装置について説明する。なお、ここでは、磁気記録媒体が図5に示すアシスト磁気記録媒体40である場合について説明する。
Al塊、Mg、Mn、Cr、Si、Fe及びZnを用意した。なお、Al塊、Mg、Mn、Cr、Si、Fe及びZnの各原料は、純度が99.9wt%以上のものを用いた。
[磁気記録媒体用基板の作製]
(ニッケル合金被膜の作製)
アルミニウム合金基板をNiMoP系めっき液に浸漬し、無電解めっき法を用いて、アルミニウム合金基板の表面に、NiMoP系めっき被膜として、Ni-0.9wt%Mo-12.4wt%P-0.0003wt%Fe(Moの含有量0.9wt%、Pの含有量12.4wt%、Feの含有量0.0003wt%、残部Ni)膜を形成した。
研磨盤として、上下一対の定盤を備える3段のラッピングマシーンを用いて、NiMoP系めっき被膜付きのアルミニウム合金基板の表面に対して、研磨加工を施し、磁気記録媒体用基板を作製した。このとき、研磨パッドには、スエードタイプ(Filwel社製)を用いた。そして、第1段目の研磨には、D50が0.5μmのアルミナ砥粒を、第2段目の研磨には、D50が30nmのコロイダルシリカ砥粒を、第3段目の研磨には、D50が10nmのコロイダルシリカ砥粒を用いた。また、研磨時間は、各段で5分間とした。
得られた磁気記録媒体用基板を、真空中で、320℃、20分間加熱した後、磁気記録媒体用基板の飽和磁束密度、波長帯20μm~100μmにおける微小うねり、磁気記録媒体用基板の表面に現れる高さ1nm以上の膨れの密度を測定した。これらの測定結果に基づいて、磁気記録媒体用基板の耐熱性を評価した。磁気記録媒体用基板の耐熱性の評価は、飽和磁束密度が0.10ガウス以下であり、微小うねりが0.100nm以下であり、膨れの密度が0.040個/cm2以下であった場合は、磁気記録媒体用基板の耐熱性は優れていると判断し、○と判定した。飽和磁束密度が0.10ガウスを超えること、微小うねりが0.100nmを超えること、膨れの密度が0.040個/cm2を超えることの少なくとも何れかであった場合は、磁気記録媒体用基板の耐熱性は不良であると判断し、×と判定した。磁気記録媒体用基板の飽和磁束密度、微小うねり及び膨れの密度の測定結果と、耐熱性の評価結果を表1に示す。
磁気記録媒体用基板の飽和磁束密度は、VSMにより測定した。
磁気記録媒体用基板の表面の、波長帯20μm~100μmにおける微小うねりは、AFMにより測定した。
磁気記録媒体用基板の表面に現れる高さ1nm以上の膨れの密度は、AFMの画像解析により測定した。磁気記録媒体用基板の表面に現れる高さ1nm以上の膨れを測定した図を図7に示す。
実施例1において、NiMoP系めっき被膜の組成を表1のように変更したこと以外は、実施例1と同様にして行った。測定結果を表1に示す。
1A ニッケル合金めっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板
11 磁気記録媒体用アルミニウム合金基板(アルミニウム合金基板)
12 ニッケル合金被膜
40 アシスト磁気記録媒体
44 磁性層
50 磁気記憶装置(ハードディスクドライブ)
Claims (5)
- アルミニウム合金基板と、前記アルミニウム合金基板の少なくとも一方の主面に設けられたニッケル合金被膜とを備え、
前記ニッケル合金被膜が、Moを0.5wt%~3wt%、Pを11wt%~15wt%、Feを0.0001wt%~0.001wt%含む磁気記録媒体用基板。 - 320℃、20分の加熱条件で加熱した後に前記ニッケル合金被膜の表面に現れるうねりの高さが、0.100nm以下である請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 320℃、20分の加熱条件で加熱した後に前記ニッケル合金被膜の表面に現れる高さ1nm以上の膨れが、0.060個/cm2未満である請求項1又は2に記載の磁気記録媒体用基板。
- 請求項1~3の何れか一項に記載の磁気記録媒体用基板と、
前記磁気記録媒体用基板の前記ニッケル合金被膜が形成されている側の表面に設けられ、L10型結晶構造を有するFePt合金又はL10型結晶構造を有するCoPt合金を含む磁性層と、
を備える磁気記録媒体。 - 請求項4に記載の磁気記録媒体を備える磁気記憶装置。
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