JP2022024692A - 漏洩検出システムおよびその検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
一態様では、前記検査方法は、前記漏洩検出システムが前記流体ラインからの流体の漏洩がないことを決定した後に行われ、前記漏洩検出システムは、前記供給弁、前記戻り弁、および前記ドレイン弁を閉じ、前記開閉弁を開き、前記流量計によって前記第1の流量を測定し、前記第1の流量が所定のしきい値以下のときに、前記流体ラインから流体の漏洩がないことを決定するように構成されている。
一態様では、前記流体ラインは、熱交換器を備えており、前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている。
一態様では、前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている。
一態様では、前記流体ラインは、熱交換器を備えており、前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている。
一態様では、前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている。
一態様では、前記動作制御部は、前記供給弁、前記戻り弁、および前記ドレイン弁を閉じ、前記開閉弁を開き、前記漏洩検出ライン内の流体の前記第1の流量の測定値を前記流量計から取得し、前記第1の流量が所定のしきい値以下のときに、前記流体ラインから流体の漏洩がないことを決定し、その後、前記供給弁および前記戻り弁が閉じている状態であって、かつ前記開閉弁が開いている状態で、前記ドレイン弁を開き、前記漏洩検出ライン内の流体の前記第2の流量の測定値を前記流量計から取得し、前記第2の流量が前記所定の基準値よりも小さいときに、前記漏洩検出システムに不具合があることを決定するように構成されている。
一態様では、前記流体ラインは、熱交換器を備えており、前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている。
一態様では、前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている。
一態様では、前記流体ラインは、熱交換器を備えており、前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている。
一態様では、前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている。
図1は、研磨装置の一実施形態を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置は、基板の一例であるウェーハWを保持して回転させる研磨ヘッド1と、研磨パッド3を支持する研磨テーブル2と、研磨パッド3の表面に研磨液(例えばスラリー)を供給する研磨液供給ノズル4と、研磨パッド3の表面温度を調整するパッド温度調整システム5とを備えている。研磨パッド3の表面(上面)3aは、ウェーハWを研磨する研磨面を構成する。
2 研磨テーブル
3 研磨パッド
5 パッド温度調整システム
11 熱交換器
30 流体供給システム
31 加熱流体供給タンク
32 ポンプ
39 パッド温度測定器
40 動作制御部
40a 記憶装置
40b 処理装置
63 底面
200 漏洩検出システム
201 漏洩検出ライン
201a メインライン
201b 第1連結ライン
201c 第2連結ライン
201d 第3連結ライン
202A 第1開閉弁
202B 第2開閉弁
203 流量計
205 流量制御弁
210 第3開閉弁
HFL 加熱流体ライン
HFL1 加熱流体供給ライン
HFL2 加熱流体戻りライン
CFL 冷却流体ライン
CFL1 冷却流体供給ライン
CFL2 冷却流体戻りライン
SV1 第1供給弁
SV2 第2供給弁
R1 第1流量制御弁
R2 第2流量制御弁
RV1 第1戻り弁
RV2 第2戻り弁
FM1 第1流量計
FM2 第2流量計
DL1 第1ドレインライン
DL2 第2ドレインライン
DV1 第1ドレイン弁
DV2 第2ドレイン弁
Claims (16)
- 流体ラインからの流体の漏洩を検出する漏洩検出システムの検査方法であって、
前記漏洩検出システムは、
供給弁と戻り弁との間の前記流体ラインに連結された漏洩検出ラインと、
前記漏洩検出ラインに取り付けられた開閉弁と、
前記漏洩検出ラインを流れる流体の流量を測定する流量計と、
前記流量計によって測定された第1の流量に基づいて前記流体ラインからの前記流体の漏洩を検出する動作制御部と、
前記流体ラインおよび前記漏洩検出ラインに連通し、前記流量計の下流側に配置されたドレインラインと、
前記ドレインラインに取り付けられたドレイン弁と、を備えており、
前記検査方法は、
前記供給弁および前記戻り弁が閉じている状態で、前記開閉弁および前記ドレイン弁を開き、
前記流量計によって前記漏洩検出ライン内の流体の第2の流量を測定し、
前記第2の流量が所定の基準値よりも小さいときに、前記漏洩検出システムに不具合があることを決定する、検査方法。 - 前記所定の基準値は、前記漏洩検出システムに不具合がないときに前記ドレインラインを流れる前記流体の流量と同じか、またはそれよりも小さい値である、請求項1に記載の検査方法。
- 前記検査方法は、前記漏洩検出システムが前記流体ラインからの流体の漏洩がないことを決定した後に行われ、
前記漏洩検出システムは、
前記供給弁、前記戻り弁、および前記ドレイン弁を閉じ、
前記開閉弁を開き、
前記流量計によって前記第1の流量を測定し、
前記第1の流量が所定のしきい値以下のときに、前記流体ラインから流体の漏洩がないことを決定するように構成されている、請求項1または2に記載の検査方法。 - 前記流体ラインは、熱交換器を備えており、
前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、
前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の検査方法。 - 前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている、請求項4に記載の検査方法。
- 流体ラインからの流体の漏洩を検出する漏洩検出システムの検査方法であって、
前記漏洩検出システムは、
供給弁と戻り弁との間の前記流体ラインに連結された漏洩検出ラインと、
前記漏洩検出ラインに取り付けられた開閉弁と、
前記漏洩検出ラインを流れる流体の流量を測定する流量計と、
前記流量計によって測定された第1の流量に基づいて前記流体ラインからの前記流体の漏洩を検出する動作制御部と、を備えており、
前記検査方法は、
前記開閉弁が閉じている状態で、前記流量計によって第2の流量を測定し、
前記第2の流量が所定の範囲外のときに、前記漏洩検出システムに不具合があることを決定する、検査方法。 - 前記流体ラインは、熱交換器を備えており、
前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、
前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている、請求項6に記載の検査方法。 - 前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている、請求項7に記載の検査方法。
- 流体ラインからの流体の漏洩を検出する漏洩検出システムであって、
供給弁と戻り弁との間の前記流体ラインに連結された漏洩検出ラインと、
前記漏洩検出ラインに取り付けられた開閉弁と、
前記漏洩検出ラインを流れる流体の流量を測定する流量計と、
前記流量計によって測定された第1の流量に基づいて前記流体ラインからの前記流体の漏洩を検出する動作制御部と、
前記流体ラインおよび前記漏洩検出ラインに連通し、前記流量計の下流側に配置されたドレインラインと、
前記ドレインラインに取り付けられたドレイン弁と、を備えており、
前記動作制御部は、
前記供給弁および前記戻り弁を閉じ、
前記開閉弁および前記ドレイン弁を開き、
前記漏洩検出ライン内の流体の第2の流量の測定値を前記流量計から取得し、
前記第2の流量が所定の基準値よりも小さいときに、前記漏洩検出システムに不具合があることを決定するように構成されている、漏洩検出システム。 - 前記所定の基準値は、前記漏洩検出システムに不具合がないときに前記ドレインラインを流れる前記流体の流量と同じか、またはそれよりも小さい値である、請求項9に記載の漏洩検出システム。
- 前記動作制御部は、
前記供給弁、前記戻り弁、および前記ドレイン弁を閉じ、
前記開閉弁を開き、
前記漏洩検出ライン内の流体の前記第1の流量の測定値を前記流量計から取得し、
前記第1の流量が所定のしきい値以下のときに、前記流体ラインから流体の漏洩がないことを決定し、その後、
前記供給弁および前記戻り弁が閉じている状態であって、かつ前記開閉弁が開いている状態で、前記ドレイン弁を開き、
前記漏洩検出ライン内の流体の前記第2の流量の測定値を前記流量計から取得し、
前記第2の流量が前記所定の基準値よりも小さいときに、前記漏洩検出システムに不具合があることを決定するように構成されている、請求項9または10に記載の漏洩検出システム。 - 前記流体ラインは、熱交換器を備えており、
前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、
前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている、請求項9乃至11のいずれか一項に記載の漏洩検出システム。 - 前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている、請求項12に記載の漏洩検出システム。
- 流体ラインからの流体の漏洩を検出する漏洩検出システムであって、
供給弁と戻り弁との間の前記流体ラインに連結された漏洩検出ラインと、
前記漏洩検出ラインに取り付けられた開閉弁と、
前記漏洩検出ラインを流れる流体の流量を測定する流量計と、
前記流量計によって測定された第1の流量に基づいて前記流体ラインからの前記流体の漏洩を検出する動作制御部と、を備えており、
前記動作制御部は、
前記開閉弁を閉じ、
前記漏洩検出ライン内の流体の第2の流量の測定値を前記流量計から取得し、
前記第2の流量が所定の範囲外にあるときに、前記漏洩検出システムに不具合があることを決定するように構成されている、漏洩検出システム。 - 前記流体ラインは、熱交換器を備えており、
前記供給弁は、前記熱交換器の上流側に配置されており、
前記戻り弁は、前記熱交換器の下流側に配置されている、請求項14に記載の漏洩検出システム。 - 前記熱交換器は、研磨装置の研磨パッド上に配置されている、請求項15に記載の漏洩検出システム。
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