JP2022021591A - セラミック板及びその製造方法、セラミック焼結体の体積抵抗率の調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(セラミック焼結体の作製)
市販の窒化アルミニウム粉末と、酸化イットリウム粉末と、酸化アルミニウム粉末とを、97:1.5:1.5の質量比で配合し、ボールミルを用いて混合して混合粉末を得た。混合粉末100質量部に対し、セルロースエーテル系バインダー(信越化学工業株式会社製、商品名:メトローズ)を6質量部、グリセリン(花王株式会社製、商品名:エキセパール)を5質量部、及びイオン交換水を10質量部添加して、ヘンシェルミキサーを用いて1分間混合し、成形原料を得た。この成形原料を、ドクターブレード法によって成形し、シート状の成形体(厚み:1.4mm)を作製した。
セラミック焼結体を、縦×横×厚さ=50mm×50mm×1.0mmの直方体形状に加工した。JIS C2139:2008に準拠して、体積抵抗率を測定した。測定装置は、三菱ケミカルアナリテック製のハイレスタUXMCP-HT800(商品名)を用いた。測定温度は、23±1℃とした。測定結果は表1にR0として示した。
縦×横×厚さ=50mm×50mm×1.0mmの直方体形状の加工したセラミック焼結体を測定試料として用いた。JIS R1611:2010に準拠し、レーザーフラッシュ法で上記測定試料の熱伝導率を測定した。測定装置は、株式会社リガク製のLF/TCM-8510B(商品名)を用いた。測定温度は、23±1℃とした。測定結果は表1にK0として示した。
UV光源(株式会社GSユアサ製、商品名:MAL200NL、ピーク波長:405nm、波長範囲:200~450nm)を備える搬送ラインを用い、セラミック焼結体を2m/分の搬送速度で搬送した。このとき、セラミック焼結体の上側の主面に上記UV光源から紫外線を照射してセラミック板を作製した。波長10~450nmの紫外線の積算光量は1900mJ/cm2であった。紫外線照射後のセラミック板の主面は、照射前よりも白くなっており、当該主面側に変質部が生成していることが確認された。
紫外線照射することによって得られたセラミック板の体積抵抗率及び熱伝導率を、紫外線照射前と同じ方法で測定した。測定結果は表1に、R1及びK1としてそれぞれ示した。また、照射後のセラミック板から変質部を含む上側半分(板厚の1/2)を除去し、セラミック板の下側半分の体積抵抗率をR0及びR1と同じ方法で測定した。表1には、測定結果の比として、R1/R0、R1/R2及びK1/K0をそれぞれ示す。
セラミック焼結体の搬送速度を、3m/分にしたこと以外は、実施例1と同様にしてセラミック板を作製した。波長10~450nmの紫外線の積算光量、作製したセラミック板の体積抵抗率、及び熱伝導率の測定結果は表1に示すとおりであった。
Claims (7)
- 板状のセラミック焼結体の主面にUV光源からの紫外線を照射し、前記セラミック焼結体の少なくとも一部を変質する照射工程を有する、セラミック板の製造方法。
- 前記照射工程において、前記セラミック焼結体の前記主面に照射される波長10~450nmの紫外線の積算光量は1000mJ/cm2以上である、請求項1に記載のセラミック板の製造方法。
- 前記照射工程で前記紫外線を照射する前の前記セラミック焼結体の体積抵抗率をR0、及び、前記紫外線を照射した後のセラミック焼結体の体積抵抗率をR1としたときに、R1/R0が0.5以下である、請求項1又は2に記載のセラミック板の製造方法。
- 前記セラミック焼結体は窒化アルミニウム焼結体であり、
前記紫外線を照射することによって、体積抵抗率が5×1010Ω・cm以下の窒化アルミニウム板を得る、請求項1~3のいずれか一項に記載のセラミック板の製造方法。 - UV光源からの紫外線を主面に照射することによって生成する変質部を備えるセラミック板。
- 主成分として窒化アルミニウムを含み、体積抵抗率が5×1010Ω・cm以下である請求項5に記載のセラミック板。
- 板状のセラミック焼結体の主面にUV光源からの紫外線を照射することによって、前記セラミック焼結体の体積抵抗率を調整する工程を有する、セラミック焼結体の体積抵抗率の調整方法。
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