JP2022014755A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態は、半導体装置およびその製造方法に関する。
半導体装置が不純物原子を含む場合には、半導体装置の性能に対する不純物原子の影響を好適化することが望ましい。
H. Hayashi et al., "Fabrication of Low-Temperature Bottom-Gate Poly-Si TFTs on Large-Area Substrate by Linear-Beam Excimer Laser Crystallization and Ion Doping Method", IDEM 95-829
半導体装置の性能に対する不純物原子の影響を好適化することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
一の実施形態によれば、半導体装置は、第1方向に交互に積層された複数の電極層と複数の絶縁層とを含む積層膜を備える。さらに、前記装置は、前記積層膜内を前記第1方向に延びる電荷蓄積層と第1半導体層とを含む柱状部を備える。さらに、前記装置は、前記積層膜および前記柱状部上に設けられ、前記第1半導体層に含まれる不純物原子と同じ不純物原子を含み、前記第1方向に前記不純物原子の濃度勾配を有する第2半導体層または第1絶縁膜を備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図1から図24において、同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図1の半導体装置は、例えば3次元フラッシュメモリである。
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図1の半導体装置は、例えば3次元フラッシュメモリである。
図1の半導体装置は、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)回路を含む回路領域1と、メモリセルアレイを含むアレイ領域2とを備えている。メモリセルアレイは、データを記憶する複数のメモリセルを備え、CMOS回路は、メモリセルアレイの動作を制御する周辺回路を備えている。図1の半導体装置は例えば、後述するように、回路領域1を含む回路ウェハと、アレイ領域2を含むアレイウェハとを貼り合わせることで製造される。符号Sは、回路領域1とアレイ領域2との貼合面を示している。
図1は、互いに垂直なX方向、Y方向、およびZ方向を示している。この明細書では、+Z方向を上方向として取り扱い、-Z方向を下方向として取り扱う。例えば、CMOS領域1は、アレイ領域2の-Z方向に図示されているため、アレイ領域2の下に位置している。なお、-Z方向は、重力方向と一致していてもよいし、重力方向と一致していなくてもよい。Z方向は、第1方向の例である。
図1において、回路領域1は、基板11と、トランジスタ12と、層間絶縁膜13と、複数のコンタクトプラグ14と、複数の配線を含む配線層15と、ビアプラグ16と、金属パッド17とを備えている。図1は、配線層15内の複数の配線のうちの3本と、これらの配線下に設けられた3つのコンタクトプラグ14とを示している。基板11は、第1基板の例である。金属パッド17は、第1パッドの例である。
図1において、アレイ領域2は、層間絶縁膜21と、金属パッド22と、ビアプラグ23と、複数の配線を含む配線層24と、複数のコンタクトプラグ25と、積層膜26と、複数の柱状部27と、ソース層28と、絶縁膜29とを備えている。図1は、配線層24内の複数の配線のうちの1本と、この配線上に設けられた3つのコンタクトプラグ25および3つの柱状部27とを示している。金属パッド22は、第2パッドの例である。
さらに、積層膜26は、複数の電極層31と、複数の絶縁層32とを含んでいる。各柱状部27は、メモリ絶縁膜33と、チャネル半導体層34と、コア絶縁膜35と、コア半導体層36とを含んでいる。ソース層28は、半導体層37と、金属層38とを含んでいる。チャネル半導体層34は、第1半導体層の例である。半導体層37は、第2半導体層の例である。
以下、図1を参照して、本実施形態の半導体装置の構造を説明する。
基板11は例えば、Si(シリコン)基板などの半導体基板である。トランジスタ12は、基板11上に設けられており、ゲート絶縁膜とゲート電極とを含んでいる。トランジスタ12は例えば、上述のCMOS回路を構成している。層間絶縁膜13は、基板11上に、トランジスタ12を覆うように形成されている。層間絶縁膜13は例えば、SiO2膜(シリコン酸化膜)、または、SiO2膜とその他の絶縁膜とを含む積層膜である。
コンタクトプラグ14、配線層15、ビアプラグ16、および金属パッド17は、層間絶縁膜13内に形成されている。具体的には、コンタクトプラグ14は、基板11上や、トランジスタ12のゲート電極上に配置されている。図1では、基板11上のコンタクトプラグ14が、トランジスタ12のソース領域およびドレイン領域(図示せず)上に設けられている。配線層15は、コンタクトプラグ14上に配置されている。ビアプラグ16は、配線層15上に配置されている。金属パッド17は、基板11の上方において、ビアプラグ16上に配置されている。金属パッド17は、例えばCu(銅)層である。
層間絶縁膜21は、層間絶縁膜13上に形成されている。層間絶縁膜21は例えば、SiO2膜、または、SiO2膜とその他の絶縁膜とを含む積層膜である。
金属パッド22、ビアプラグ23、配線層24、およびコンタクトプラグ25は、層間絶縁膜21内に形成されている。具体的には、金属パッド22は、基板11の上方において、金属パッド17上に配置されている。金属パッド22は、例えばCu層である。ビアプラグ23は、金属パッド22上に配置されている。配線層24は、ビアプラグ23上に配置されている。図1は、配線層24内の複数の配線のうちの1本を示しており、この配線は例えばビット線として機能する。コンタクトプラグ25は、配線層24上に配置されている。
積層膜26は、層間絶縁膜21上に設けられており、Z方向に交互に積層された複数の電極層31および複数の絶縁層32を含んでいる。電極層31は例えば、W(タングステン)層を含む金属層であり、ワード線として機能する。絶縁層32は例えば、SiO2膜である。本実施形態では、上記複数の電極層31同士は同じ厚さを有しており、上記複数の絶縁層32同士も同じ厚さを有している。ただし、後述するように、これらの絶縁層32のうちの最上位の絶縁層32の厚さは、他の絶縁層32の厚さより厚くしてもよい。
各柱状部27は、積層膜26内に設けられており、メモリ絶縁膜33、チャネル半導体層34、コア絶縁膜35、およびコア半導体層36を含んでいる。メモリ絶縁膜33は、積層膜26の側面に形成されており、Z方向に延びる管状の形状を有している。チャネル半導体層34は、メモリ絶縁膜33の側面に形成されており、Z方向に延びる管状の形状を有している。コア絶縁膜35とコア半導体層36は、チャネル半導体層34の側面に形成されており、Z方向に延びる棒状の形状を有している。具体的には、コア半導体層36がコンタクトプラグ25上に配置されており、コア絶縁膜35がコア半導体層36上に配置されている。
メモリ絶縁膜33は、後述するように、例えばブロック絶縁膜、電荷蓄積層、およびトンネル絶縁膜を順に含んでいる。ブロック絶縁膜は、例えばSiO2膜である。電荷蓄積層は、例えばSiN膜(シリコン窒化膜)である。トンネル絶縁膜は、例えばSiO2膜またはSiON膜(シリコン酸窒化膜)である。チャネル半導体層34は、例えばポリシリコン層である。コア絶縁膜35は、例えばSiO2膜である。コア半導体層36は、例えばポリシリコン層である。上述のメモリセルアレイ内の各メモリセルは、チャネル半導体層34、電荷蓄積層、電極層31等により構成されている。
各柱状部27内のチャネル半導体層34は、金属パッド22より高い位置に設けられているが、コア半導体層36、コンタクトプラグ25、配線層24、およびビアプラグ23を介して金属パッド22に電気的に接続されている。よって、アレイ領域2内のメモリセルアレイは、金属パッド22や金属パッド17を介して、回路領域1内の周辺回路と電気的に接続されている。これにより、メモリセルアレイの動作を周辺回路により制御することが可能となる。
ソース層28は、積層膜26および柱状部27上に順に形成された半導体層37および金属層38を含んでおり、ソース線として機能する。本実施形態では、各柱状部27のチャネル半導体層34がメモリ絶縁膜33から露出しており、半導体層37がチャネル半導体層34上に直接形成されている。さらには、金属層38が半導体層37上に直接形成されている。よって、ソース層28が、各柱状部27のチャネル半導体層34に電気的に接続されている。半導体層37は例えば、ポリシリコン層である。金属層38は例えば、W層、Cu層、またはAl(アルミニウム)層を含んでいる。
絶縁膜29は、ソース層28上に形成されている。絶縁膜29は例えば、SiO2膜である。
ここで、本実施形態の半導体装置に含まれる不純物原子について説明する。
本実施形態の半導体層37は、所定の不純物原子を含んでいる。この不純物原子は、例えばP(リン)原子である。本実施形態では、この不純物原子がさらに、チャネル半導体層34や、上記複数の絶縁層32のうちの少なくとも最上位の絶縁層32にも含まれている。このように、本実施形態の半導体層37と、チャネル半導体層34と、この絶縁層32が同じ不純物原子を含んでいる理由については後述する。
図2は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す拡大断面図である。
図2は、積層膜26内に含まれる3つの電極層31および3つの絶縁層32と、積層膜26内に設けられた1つの柱状部27とを示している。この柱状部27内のメモリ絶縁膜33は、上述のように、積層膜26の側面に順に形成されたブロック絶縁膜33a、電荷蓄積層33b、およびトンネル絶縁膜33cを含んでいる。ブロック絶縁膜33aは、例えばSiO2膜である。電荷蓄積層33bは、例えばSiN膜である。トンネル絶縁膜33cは、例えばSiO2膜またはSiON膜である。
一方、各電極層31は、バリアメタル層31aと、電極材層31bとを含んでいる。バリアメタル層31aは、例えばTiN膜(チタン窒化膜)である。電極材層31bは、例えばW層である。本実施形態の各電極層31は、図2に示すように、ブロック絶縁膜39を介して、上部の絶縁層32の下面、下部の絶縁層32の上面、およびブロック絶縁膜33aの側面に形成されている。ブロック絶縁膜39は例えば、Al2O3膜(アルミニウム酸化膜)であり、ブロック絶縁膜33aと共に各メモリセルのブロック絶縁膜として機能する。このように、本実施形態の積層膜26は、電極層31および絶縁層32に加えてブロック絶縁膜39を含んでいる。ブロック絶縁膜39、バリアメタル層31a、および電極材層31bは、上部の絶縁層32の下面、下部の絶縁層32の上面、およびブロック絶縁膜33aの側面に順に形成されている。
図3から図7は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図3(a)は、アレイ領域2を製造するためのアレイウェハW2を示している。アレイ領域2を製造する際にはまず、基板41上に絶縁膜42を形成し、絶縁膜42上に複数の犠牲層31’と複数の絶縁層32とを交互に形成する(図3(a))。その結果、絶縁膜42上に積層膜26’が形成される。積層膜26’は、Z方向に交互に積層された複数の犠牲層31’と複数の絶縁層32とを含んでいる。基板41は例えば、Si基板などの半導体基板である。基板41は、第2基板の例である。絶縁膜42は例えば、SiN膜である。犠牲層31’は例えば、SiNである。
次に、積層膜26’および絶縁膜42を貫通する複数のメモリホールH1を形成し、各メモリホールH1内にメモリ絶縁膜33、チャネル半導体層34、およびコア絶縁膜35を順に形成する(図3(a))。その結果、これらのメモリホールH1内に、Z方向に延びる複数の柱状部27が形成される。メモリ絶縁膜33は、各メモリホールH1内にブロック絶縁膜33a、電荷蓄積層33b、およびトンネル絶縁膜33cを順に形成することで形成される(図2参照)。
次に、積層膜26’および柱状部27上に絶縁膜43を形成する(図3(a))。絶縁膜43は、例えばSiO2膜である。
次に、絶縁膜43および積層膜26’を貫通するスリット(図示せず)を形成し、スリットを用いたウェットエッチングにより犠牲層31’を除去する(図3(b))。その結果、積層膜26’内の絶縁層32間に複数の空洞H2が形成される。
次に、スリットからこれらの空洞H2内に複数の電極層31を形成する(図4(a))。その結果、Z方向に交互に積層された複数の電極層31と複数の絶縁層32とを含む積層膜26が、絶縁膜42と絶縁膜43との間に形成される。さらに、基板41の上方に、上記複数の柱状部27が積層膜26を貫通する構造が形成される。なお、各空洞H2内に電極層31を形成する際には、各空洞H2内にブロック絶縁膜39、バリアメタル層31a、および電極材層31bが順に形成される(図2参照)。
次に、絶縁膜43を除去し、各柱状部27内のコア絶縁膜35の一部を除去し、コア絶縁膜35の一部が除去された領域にコア半導体層36を埋め込む(図4(b))。その結果、各柱状部27は、メモリ絶縁膜33、チャネル半導体層34、コア絶縁膜35、およびコア半導体層36を含む構造に加工される。
次に、積層膜26および柱状部27上に層間絶縁膜21、金属パッド22、ビアプラグ23、配線層24、および複数のコンタクトプラグ25を形成する(図4(b))。この際、これらのコンタクトプラグ25は、それぞれ対応する柱状部27のコア半導体層36上に形成され、配線層24、ビアプラグ23、および金属パッド22は、これらのコンタクトプラグ25上に順に形成される。
図5(a)は、回路領域1を製造するための回路ウェハW1を示している。図5(a)に示す回路ウェハW1は、基板11上にトランジスタ12、層間絶縁膜13、複数のコンタクトプラグ14、配線層15、ビアプラグ16、および金属パッド17を形成することで製造される(図1参照)。この際、トランジスタ12は基板1上に形成され、これらのコンタクトプラグ14は、基板1上やトランジスタ12上に形成される。さらに、配線層15、ビアプラグ16、および金属パッド17は、これらのコンタクトプラグ14上に順に形成される。基板11は、第1基板の例である。
次に、アレイウェハW2の向きを反転させ、回路ウェハW1とアレイウェハW2とを機械的圧力により貼り合わせる(図5(a))。その結果、層間絶縁膜13と層間絶縁膜21が接着される。次に、回路ウェハW1とアレイウェハW2とをアニールする(図5(a))。その結果、金属パッド17と金属パッド22が接合される。このようにして、基板41上の金属パッド22が基板11上の金属パッド17に貼り合わされ、基板41上の層間絶縁膜21が基板11上の層間絶縁膜13に貼り合わされ、基板41が基板11の上方に積層される。
次に、基板41を除去する(図5(b))。その結果、絶縁膜42や各柱状部27が、基板11の上方に露出する。基板41は、例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)により除去される。図5(b)の工程では、基板41をCMPにより除去するだけでなく、基板11をCMPにより薄膜化してもよい。
次に、絶縁膜42や、各柱状部27のメモリ絶縁膜33の一部を、エッチングにより除去する(図6(a))。メモリ絶縁膜33の除去される部分は、例えば積層膜26から露出している部分である。その結果、各柱状部27のチャネル半導体層34の一部が、積層膜26より高い位置において、メモリ絶縁膜33から露出する。
次に、積層膜26および柱状部27上に、ソース層28の半導体層37を形成する(図6(b))。その結果、半導体層37が各柱状部27のチャネル半導体層34上に形成されるため、半導体層37が各柱状部27のチャネル半導体層34に電気的に接続される。
図6(b)の工程では、半導体層37が、アモルファス半導体層として形成される。このアモルファス半導体層は、例えばa-Si(アモルファスシリコン)層である。本実施形態では、a-Si層としての半導体層37を例えば、Si(シリコン)元素とH(水素)元素とを含むソースガスを用いて形成する。そのため、図6(b)の工程で形成される半導体層37は、不純物原子としてH原子を含んでいる。このH原子は、半導体層37から脱離させることが望ましい。
次に、P(リン)イオンを用いて、半導体層37へのイオン注入を行う(図7(a))。その結果、半導体層37内に不純物原子としてP原子が導入される。後述するように、このP原子は、半導体層37からのH原子の脱離を促進する作用を有する。
次に、半導体層37からH原子を脱離させるために、半導体層37をアニールする(図7(a))。その結果、半導体層37内の少なくとも一部のH原子が半導体層37から脱離して、半導体層37内のH原子の濃度が低下する。図7(a)の工程のアニールは、第1アニールの例である。
このように、本実施形態では、半導体層37から不純物原子であるH原子を脱離させるために、半導体層37内に別の不純物原子であるP原子を導入する。本実施形態では、このP原子が、最終的な半導体層37内、すなわち、製造後の(完成品の)半導体装置の半導体層37内に残存することになる。また、上記のイオン注入では、Pイオンが、各柱状部27のチャネル半導体層34内や、上記複数の絶縁層32のうちの少なくとも最上位の絶縁層32内にも注入される可能性がある。この場合、P原子が、チャネル半導体層34内やこの絶縁層32内にも最終的に残存することになる。なお、P原子は、積層膜26のその他の絶縁層32内にも導入されて最終的に残存してもよい。図7(a)の工程のさらなる詳細については、後述する。
次に、半導体層37をレーザーアニールによりアニールする(図7(b))。その結果、半導体層37が結晶化されて、アモルファス半導体層から多結晶半導体層に変化する。結晶化された半導体層37は、例えばポリシリコン層である。図7(b)の工程のアニールは、第2アニールの例である。
次に、半導体層37上にソース層28の金属層38を形成し、金属層38上に絶縁膜29を形成する(図7(b))。
その後、回路ウェハW1およびアレイウェハW2が複数のチップに切断される。これらのチップは、各チップが回路領域1とアレイ領域2とを含むように切断される。このようにして、図1の半導体装置が製造される。
図8は、第1実施形態の半導体装置の製造方法の詳細を示す断面図である。図8(a)から図8(c)は、図7(a)の工程の詳細を示している。
図8(a)は、イオン注入を行う前の半導体層37を示している。よって、図8(a)の半導体層37は、不純物原子としてH原子を含むa-Si層である。
図8(b)は、半導体層37へのイオン注入を示している。図8(b)の工程により、半導体層37内に不純物原子としてP原子が導入される。図8(b)はさらに、半導体層37内に含まれるSi原子とH原子を模式的に示している。Si原子とH原子は、Si-Si結合や、Si-H結合を形成している。本実施形態によれば、半導体層37内にP原子を導入することで、P原子によりSi-H結合を切断することが可能となる。これにより、半導体層37からのH原子の脱離を促進することが可能となる。
Si-H結合を切断するという観点からいえば、半導体層37内に導入する不純物原子は、Si-H結合を切断可能なP原子以外の不純物原子でもよい。しかしながら、半導体層37内にP原子を導入すれば、半導体層37をn型半導体層とすることができ、半導体層37の性能を向上させることができる。よって、半導体層37内に導入する不純物原子は、P原子とすることが望ましい。
本実施形態のP原子はさらに、各柱状部27のチャネル半導体層34内や、最上位の絶縁層32内にも導入される。本実施形態によれば、チャネル半導体層34内にP原子を導入することで、チャネル半導体層34をn型半導体層とすることができ、チャネル半導体層34の性能を向上させることができる。
本実施形態では、チャネル半導体層34内のP原子の濃度が、チャネル半導体層34の上端からの深さに応じて減少する。チャネル半導体層34の上端は、チャネル半導体層34の+Z方向の先端であり、図8(b)では半導体層37内に位置している。本実施形態のイオン注入は例えば、チャネル半導体層34内のP原子の濃度が、チャネル半導体層34の上端からの深さが200nmの位置において1×1019cm-3以上となる条件で行うことが望ましい。この場合、チャネル半導体層34内のP原子の濃度は、上端の地点と、上端から深さ200nmの地点との間の全領域で、1×1019cm-3以上となる。このような条件は例えば、イオン注入の加速電圧およびドーズ量を調整することで設定可能である。
本実施形態によれば、チャネル半導体層34内のP原子の濃度を、上端付近で高濃度に設定することが可能となり、これによりチャネル半導体層34の性能を向上させることが可能となる。例えば、チャネル半導体層34内のP原子の濃度を上端付近で高濃度に設定することで、メモリセルの消去電流であるGIDL(Gate Induced Drain Leakage)電流を十分に生成することが可能となる。
なお、半導体層37に含まれるP原子は、図8(b)の工程より後に行われるアニールにより拡散し得る。そのため、本実施形態では、このようなアニールにより、半導体層37からチャネル半導体層34にP原子を拡散させてもよい。よって、完成品の半導体装置のチャネル半導体層34内のP原子は、イオン注入時にチャネル半導体層34内に注入されたPイオンに由来してもよいし、その後のアニールによる拡散P原子に由来してもよい。これは、最上位の絶縁層32内のP原子についても同様である。ただし、拡散よりイオン注入の方がP原子の濃度を制御しやすいため、チャネル半導体層34内のP原子の濃度を所望の濃度に制御したい場合には、チャネル半導体層34内のP原子の濃度はイオン注入により調整することが望ましい。
また、チャネル半導体層34に含まれるP原子も、図8(b)の工程より後に行われるアニールにより拡散し得る。この場合、1×1019cm-3以上という上述の濃度は、完成品の半導体装置のチャネル半導体層34でも成り立つことが望ましい。すなわち、完成品の半導体装置において、チャネル半導体層34内のP原子の濃度は、チャネル半導体層34の上端からの深さが200nmの位置において1×1019cm-3以上であることが望ましい。このような濃度は例えば、イオン注入時のチャネル半導体層34内のP原子の濃度を、その後の拡散を考慮に入れて調整することで実現可能である。
図8(c)は、半導体層37のアニール(水素抜きアニール)を示している。図8(c)の工程により、半導体層37からH原子が脱離して、半導体層37内のH原子の濃度が低下する。この際、Si原子と切断されたH原子は、半導体層37から脱離しやすい。
水素抜きアニールは例えば、400℃未満の温度で、半導体層37内のH原子の濃度が10%以下(好ましくは5%以下)になるように行う。水素抜きアニールは、アニール炉を用いて行ってもよいし、半導体層37が溶解しない程度の低強度でのレーザーアニールにより行ってもよい。一方、図7(b)の工程のレーザーアニールは、半導体層37の一部または全部が溶解する程度の高強度で行い、これにより半導体層37をa-Si層からポリシリコン層に変化させる。
仮に半導体層37内に高濃度のH原子が残存していると、半導体層37内にてH原子がH2分子を形成し、半導体層37内でボイドやレーザーアニール時のアブレーションが生じる可能性がある。一方、半導体層37内のH原子は、400℃以上の高温のアニールにより、半導体層37から脱離させることも可能である。しかしながら、このような高温のアニールは、Cu層である金属パッド17、22に悪影響を与える可能性がある。
本実施形態では、半導体層37内にP原子を導入し、その後のアニールにより半導体層37からH原子を脱離させる。よって、本実施形態によれば、400℃未満の低温のアニールにより、半導体層37からH原子を脱離させることが可能となる。これにより、金属パッド17、22への悪影響を抑制しつつ、半導体層37内のボイドやレーザーアニール時のアブレーションを抑制することが可能となる。
また、本実施形態では、H原子の脱離を促進するための不純物原子としてP原子を使用している。このP原子は、半導体層37やチャネル半導体層34の性能を向上させる作用も有している。よって、本実施形態によれば、イオン注入により、脱離促進と性能向上という2つの目的を同時に実現することが可能となる。よって、半導体層37やチャネル半導体層34の性能を向上させるためのイオン注入を、H原子の脱離を促進するためのイオン注入と別個に行う必要がなくなる。これにより、半導体装置の製造に要する時間を短縮することが可能となる。
図9は、第1実施形態の半導体装置内のP(リン)原子の濃度について説明するためのグラフである。
図9(a)の縦軸は、図1のチャネル半導体層34内の各地点におけるP原子の濃度を示している。図9(a)の横軸は、図1のチャネル半導体層34内の各地点の、チャネル半導体層34の上端からの深さを示している。この深さの方向は、Z方向に平行である。以下、P原子の濃度を「P濃度」とも表記する。
図9(a)の曲線A1~A5は、チャネル半導体層34内のP濃度プロファイルの5つの例を示している。チャネル半導体層34内のP濃度プロファイルは、どのような形に設定してもよいが、例えば曲線A1~A5のいずれかの形に設定可能である。
曲線A1は傾いた直線となっており、P濃度が線形に減少している。曲線A2は上に凸な曲線となっており、P濃度が非線形に減少している。曲線A3は下に凸な曲線となっており、P濃度が非線形に減少している。曲線A4は、水平な直線部分と傾いた直線部分とを順に含んでおり、P濃度が、一定に保たれた後に所定の深さから減少している。曲線A5は、傾いた直線部分と水平な直線部分とを順に含んでおり、P濃度が、所定の深さまで減少した後に一定に保たれている。曲線A1~A5は、P濃度が深さに応じて減少する減少関数となっている。さらには、曲線A1~A3は、P濃度が深さに応じて単調に減少する単調減少関数となっている。このように、チャネル半導体層34内のP原子は、Z方向に濃度勾配を有し得る。
上述のように、チャネル半導体層34内のP濃度は、チャネル半導体層34の上端からの深さが300nmの位置において1×1018cm-3以上であることが望ましく、より好ましくは、チャネル半導体層34の上端からの深さが200nmの位置において1×1019cm-3以上であることが望ましい。そのため、チャネル半導体層34内のP濃度プロファイルを曲線A1のように設定する場合には、曲線A1の深さ300nmにおけるP濃度は、1×1018cm-3以上に設定することが望ましい。これは、チャネル半導体層34内のP濃度プロファイルを曲線A2~A5のいずれかのように設定する場合でも同様である。本実施形態のチャネル半導体層34内のP濃度プロファイルは、例えばガウシアン分布に従うように設定される。
図9(a)では、曲線A1~A5の深さ0nmにおけるP濃度が、1×1020cm-3に設定されているが、その他の値に設定してもよい。
図9(b)の縦軸は、図1の半導体層37や最上位の絶縁層32内の各地点におけるP原子の濃度(P濃度)を示している。図9(b)の横軸は、図1の半導体層37や最上位の絶縁層32内の各地点の、半導体層37の上面からの深さを示している。この深さの方向も、Z方向に平行である。なお、図9(b)のグラフでは、上述のように、最上位の絶縁層32の厚さを、他の絶縁層32の厚さより厚く設定した場合を想定している。
図9(b)の曲線B1は、半導体層37や最上位の絶縁層32内のP濃度プロファイルの例を示している。半導体層37や最上位の絶縁層32内のP濃度プロファイルは、どのような形に設定してもよいが、例えば曲線B1の形に設定可能である。
曲線B1では、半導体層37内のP濃度が、いずれの地点でも1×1019cm-3以上という高濃度になっている。このようなP濃度は例えば、イオン注入の加速電圧を高く設定することで実現可能である。この場合には、半導体層37内のP濃度だけでなく、最上位の絶縁層32内のP濃度も高くなる。このように、イオン注入の加速電圧を高く設定すると、完成品の半導体装置において最上位の絶縁層32内に(さらにはその他の絶縁層32内にも)P原子が含まれ得ることとなる。曲線B1では、最上位の絶縁層32内のP濃度は深さに応じて減少している。本実施形態の半導体層37や最上位の絶縁層32内のP濃度プロファイルは、例えばガウシアン分布に従うように設定される。このように、半導体層37内や最上位の絶縁層32内のP原子は、Z方向に濃度勾配を有し得る。
図10は、第1実施形態の変形例の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図10(a)および図10(b)の工程はそれぞれ、図7(a)および図7(b)の工程に対応している。図6(b)に示す半導体層37は、柱状部27の突出部に起因して、凹凸のある上面を有するように形成されてもよい。図10(a)は、このようにして形成された半導体層37を示している。この場合には、この半導体層37に対してイオン注入やアニールが行われ(図10(a))、さらにこの半導体層37に対してレーザーアニールが行われる(図10(b))。その後、半導体層37上に金属層38が形成され、金属層38上に絶縁膜29が形成され、絶縁膜29の上面がCMPにより平坦化される。なお、このCMPは省略してもよい。
以上のように、本実施形態では、半導体層38を形成し、その後に半導体層38内にP原子を導入し、その後に半導体層38をアニールする。よって、本実施形態によれば、低温のアニールにより半導体層38からH原子を脱離させることが可能となる。さらに、本実施形態によれば、H原子の脱離のためのP原子の導入により、半導体層38およびチャネル半導体層34内にP原子を導入することが可能となり、これにより半導体層38およびチャネル半導体層34の性能を向上させることが可能となる。
このように、本実施形態によれば、半導体装置の性能に対する不純物原子(P原子やH原子)の影響を好適化することが可能となる。例えば、P原子のメリットを享受しつつ、H原子に起因する問題を抑制することが可能となる。なお、本実施形態の手法は、P原子やH原子以外の不純物原子に適用してもよい。
(第2実施形態)
図11は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。本実施形態の半導体装置は、例えば3次元フラッシュメモリであるが、第1実施形態の半導体装置(図1)とは異なる構造を有している。以下、本実施形態の半導体装置の構造を、第1実施形態の半導体装置の構造との相違点を中心に説明する。
図11は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。本実施形態の半導体装置は、例えば3次元フラッシュメモリであるが、第1実施形態の半導体装置(図1)とは異なる構造を有している。以下、本実施形態の半導体装置の構造を、第1実施形態の半導体装置の構造との相違点を中心に説明する。
本実施形態の半導体装置は、図11に示すように、基板51と、層間絶縁膜52と、積層膜53と、層間絶縁膜54と、複数の柱状部55と、層間絶縁膜56と、複数組の絶縁膜57および配線層58と、複数のコンタクトプラグ59とを備えている。層間絶縁膜56は、第1絶縁膜の例である。
さらに、積層膜53は、複数の電極層61と、複数の絶縁層62とを含んでいる。各柱状部55は、半導体層63と、メモリ絶縁膜64と、チャネル半導体層65と、コア絶縁膜66と、コア半導体層67とを含んでいる。チャネル半導体層65は、第1半導体層の例である。
基板51は例えば、Si基板などの半導体基板である。層間絶縁膜52は、基板51上に形成されている。層間絶縁膜52は例えば、SiO2膜である。
積層膜53は、層間絶縁膜52上に設けられており、Z方向に交互に積層された複数の電極層61と複数の絶縁層62とを含んでいる。電極層61は例えば、W層を含む金属層であり、ワード線として機能する。絶縁層62は例えば、SiO2膜である。層間絶縁膜54は、積層膜53上に形成されている。層間絶縁膜54は例えば、SiO2膜である。
各柱状部55は、層間絶縁膜52、積層膜53、および層間絶縁膜54内に設けられており、半導体層63、メモリ絶縁膜64、チャネル半導体層65、コア絶縁膜66、およびコア半導体層67を含んでいる。
半導体層63は、層間絶縁膜52および積層膜53内において基板51上に設けられ、基板51に電気的に接続されている。半導体層63は、各柱状部55の底部を形成しており、Z方向に延びる棒状の形状を有している。メモリ絶縁膜64は、積層膜53および層間絶縁膜54の側面に形成されており、Z方向に延びる管状の形状を有している。チャネル半導体層65は、メモリ絶縁膜64の側面や半導体層63の上面に形成されており、Z方向に延びる管状の形状を有している。チャネル半導体層65は、半導体層63に電気的に接続されている。コア絶縁膜66は、チャネル半導体層65の側面や上面に形成されており、Z方向に延びる棒状の形状を有している。コア半導体層67は、チャネル半導体層65の側面やコア絶縁膜66の上面に形成されており、Z方向に延びる棒状の形状を有している。コア半導体層67は、チャネル半導体層65に電気的に接続されている。
半導体層63は例えば、基板61からのエピタキシャル成長により形成された単結晶シリコン層である。メモリ絶縁膜64は、後述するように、例えばブロック絶縁膜、電荷蓄積層、およびトンネル絶縁膜を順に含んでいる。ブロック絶縁膜は、例えばSiO2膜である。電荷蓄積層は、例えばSiN膜である。トンネル絶縁膜は、例えばSiO2膜またはSiON膜である。チャネル半導体層65は、例えばポリシリコン層である。コア絶縁膜66は、例えばSiO2膜である。コア半導体層66は、例えばポリシリコン層である。本実施形態の3次元フラッシュメモリの各メモリセルは、チャネル半導体層65、電荷蓄積層、電極層61等により構成されている。
層間絶縁膜56は、層間絶縁膜54および柱状部55上に形成されている。層間絶縁膜56は例えば、シリコン酸化膜である。各組の絶縁膜57および配線層58は、層間絶縁膜52、積層膜53、層間絶縁膜54、および層間絶縁膜56内に順に形成されており、Z方向に延びている。配線層58は、基板に電気的に接続されている。
コンタクトプラグ59は、層間絶縁膜56内に設けられており、柱状部55上に配置されている。各コンタクトプラグ59は、対応する柱状部55のコア半導体層67上に形成されており、これによりコア半導体層67、チャネル半導体層65、半導体層63、および基板51に電気的に接続されている。コンタクトプラグ59は、プラグの例である。
ここで、本実施形態の半導体装置に含まれる不純物原子について説明する。
本実施形態の層間絶縁膜56は、所定の不純物原子を含んでいる。この不純物原子は、例えばH(水素)原子である。本実施形態では、この不純物原子がさらに、チャネル半導体層65にも含まれている。このように、本実施形態の層間絶縁膜56とチャネル半導体層65が同じ不純物原子を含んでいる理由については後述する。
図12は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す拡大断面図である。
図12は、積層膜53内に含まれる3つの電極層61および3つの絶縁層62と、積層膜53内に設けられた1つの柱状部55とを示している。この柱状部55内のメモリ絶縁膜64は、上述のように、積層膜53の側面に順に形成されたブロック絶縁膜64a、電荷蓄積層64b、およびトンネル絶縁膜64cを含んでいる。ブロック絶縁膜64aは、例えばSiO2膜である。電荷蓄積層64bは、例えばSiN膜である。トンネル絶縁膜64cは、例えばSiO2膜またはSiON膜である。
一方、各電極層61は、バリアメタル層61aと、電極材層61bとを含んでいる。バリアメタル層61aは、例えばTiN膜である。電極材層61bは、例えばW層である。本実施形態の各電極層61は、図12に示すように、ブロック絶縁膜68を介して、上部の絶縁層62の下面、下部の絶縁層62の上面、およびブロック絶縁膜64aの側面に形成されている。ブロック絶縁膜68は例えば、Al2O3膜であり、ブロック絶縁膜64aと共に各メモリセルのブロック絶縁膜として機能する。このように、本実施形態の積層膜53は、電極層61および絶縁層62に加えてブロック絶縁膜68を含んでいる。ブロック絶縁膜68、バリアメタル層61a、および電極材層61bは、上部の絶縁層62の下面、下部の絶縁層62の上面、およびブロック絶縁膜64aの側面に順に形成されている。
図13から図21は、第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、基板51上に層間絶縁膜52を形成し、層間絶縁膜52上に複数の犠牲層61’と複数の絶縁層62とを交互に形成する(図13(a))。その結果、層間絶縁膜52上に積層膜53’が形成される。積層膜53’は、Z方向に交互に積層された複数の犠牲層61’と複数の絶縁層62とを含んでいる。犠牲層61’は例えば、SiNである。次に、積層膜53’上に層間絶縁膜54を形成する(図13(a))。
次に、層間絶縁膜52、積層膜53’、および層間絶縁膜54を貫通する複数のメモリホールH3を形成する(図13(b))。その結果、これらのメモリホールH3内に、基板51の表面が露出する。次に、基板51からのエピタキシャル成長により、各メモリホールH3内の基板51上に半導体層63を形成する(図14(a))。
次に、基板51の全面にメモリ絶縁膜64を形成する(図14(b))。その結果、メモリ絶縁膜64が、メモリホールH3の内部や外部に形成され、具体的には、半導体層63の上面や、積層膜53’および層間絶縁膜54の側面や、層間絶縁膜54の上面に形成される。メモリ絶縁膜64は、基板51の全面にブロック絶縁膜64a、電荷蓄積層64b、およびトンネル絶縁膜64cを順に形成することで形成される(図12参照)。
次に、半導体層63の上面や、層間絶縁膜54の上面から、メモリ絶縁膜64を除去する(図15(a))。その結果、各メモリホールH3内に、半導体層63の上面が露出する。
次に、基板51の全面にチャネル半導体層65を形成する(図15(b))。その結果、チャネル半導体層65が、メモリホールH3の内部や外部に形成され、具体的には、半導体層63の上面や、メモリ絶縁膜64の側面や、層間絶縁膜54の上面に形成される。
次に、各メモリホールH3内にコア絶縁膜66を埋め込む(図16(a))。その結果、コア絶縁膜66が、各メモリホールH3内においてチャネル半導体層65の上面や側面に形成される。
次に、各メモリホールH3内のコア絶縁膜66の一部を、エッチバックにより除去する(図16(b))。その結果、各メモリホールH3内のコア絶縁膜66上に、凹部H4が形成される。
次に、基板51の全面にコア半導体層67を形成する(図17(a))。その結果、コア半導体層67の一部が、各凹部H4内に形成される。図17(a)の工程では、コア半導体層67が、アモルファス半導体層として形成され、後の工程で結晶化されて多結晶半導体層に変化する。このアモルファス半導体層は、例えばa-Si(アモルファスシリコン)層である。
次に、凹部H4外のコア半導体層67を、RIE(Reactive Ion Etching)により除去する(図17(b))。その結果、上記複数のメモリホールH3内に、Z方向に延びる複数の柱状部55が形成される。各柱状部55は、半導体層63、メモリ絶縁膜64、チャネル半導体層65、コア絶縁膜66、およびコア半導体層67を含むように形成される。
次に、層間絶縁膜54および柱状部55上に層間絶縁膜56を形成する(図18(a))。次に、層間絶縁膜52、積層膜53’、層間絶縁膜54、および層間絶縁膜56を貫通する複数のスリットH5を、RIEにより形成する(図18(b))。
次に、これらのスリットH5を用いたウェットエッチングにより、犠牲層61’を除去する(図19(a))。その結果、積層膜53’内の絶縁層62間に複数の空洞H6が形成される。
次に、これらのスリットH5からこれらの空洞H6内に、複数の電極層61を形成する(図19(b)))。その結果、Z方向に交互に積層された複数の電極層61と複数の絶縁層62とを含む積層膜53が、層間絶縁膜52と層間絶縁膜54との間に形成される。さらに、基板51上に、上記複数の柱状部55が層間絶縁膜52、積層膜53、および層間絶縁膜54を貫通する構造が形成される。図19(b)では、層間絶縁膜56が、これらの柱状部55上に設けられており、かつ、積層膜53上に層間絶縁膜54を介して設けられている。なお、各空洞H6内に電極層61を形成する際には、各空洞H6内にブロック絶縁膜68、バリアメタル層61a、および電極材層61bが順に形成される(図12参照)。
次に、各スリットH5内に絶縁膜57を形成し、各スリットH5の底部から絶縁膜57を除去し、その後に各スリットH5内に配線層58を形成する(図20(a))。その結果、上記複数のスリットH5内に上記複数組の絶縁膜57および配線層58が形成される。各スリットH5内の配線層58は、基板51に電気的に接続される。
次に、層間絶縁膜56、絶縁膜57、および配線層58上に半導体層71を形成する(図20(b))。図20(b)の工程では、半導体層71が、アモルファス半導体層として形成される。このアモルファス半導体層は、例えばa-Si層である。本実施形態では、a-Si層としての半導体層71を例えば、Si元素とH元素とを含むソースガスを用いて形成する。そのため、図20(b)の工程で形成される半導体層71は、不純物原子としてH原子を含んでいる。半導体層71は、第1膜の例である。
次に、P(リン)イオンを用いて、半導体層71へのイオン注入を行う(図21(a))。その結果、半導体層71内に不純物原子としてP原子が導入される。第1実施形態にて半導体層37について説明したように、このP原子は、半導体層71からのH原子の脱離を促進する作用を有する。後述するように、本実施形態では、半導体層71から脱離するH原子を、ダングリングボンドを終端するために有効利用する。
半導体層71は、どのような目的で形成されてもよい。例えば、半導体層71は、基板51上の配線層として使用する目的で形成されてもよいし、半導体装置の製造工程でハードマスク層として使用する目的で形成されてもよい。前者の場合には、半導体層71は完成品の半導体装置内に残存することになるが、後者の場合には、半導体層71は完成品の半導体装置内には残存しないこととなる。本実施形態の半導体層71は、基板51上の不図示の層を加工するためのハードマスク層として形成されるため、後述するように完成品の半導体装置内には残存しない。そのため、本実施形態では、半導体層71の代わりに金属層や絶縁膜や積層膜を上記ハードマスク層として形成してもよい。
また、イオン注入に用いるイオンは、半導体層71からのH原子の脱離を促進することが可能なその他のイオンでもよい。このようなイオンは、例えばB(ボロン)イオン、As(ヒ素)イオン、Si(シリコン)イオン、またはO(酸素)イオンである。例えば、半導体層71を配線層として使用する場合には、Si系の半導体層71内にSiイオンを注入してもよい。この場合、半導体層71もイオンもSi元素からなるため、半導体層71に対するイオンの悪影響を抑制することが可能となる。一方、半導体層71を配線層として使用する場合において、半導体層71内にPイオン、Bイオン、またはAsイオンを注入して、半導体層71をp型半導体層またはn型半導体層としてもよい。
本実施形態のイオン注入は例えば、高エネルギーイオン注入機を用いて60keV程度またはそれ未満の注入エネルギーで行う。また、本実施形態のイオン注入のドーズ量は、例えば1×1015cm-2以上に設定される。
次に、半導体層71からH原子を脱離させるために、半導体層71をアニールする(図21(a))。その結果、半導体層71内の少なくとも一部のH原子が半導体層71から脱離して、半導体層71内のH原子の濃度が低下する。
本実施形態では、半導体層71から脱離したH原子が、チャネル半導体層65内に導入される。本実施形態のチャネル半導体層65は、ポリシリコン層であり、Si原子のダングリングボンドを含んでいる。本実施形態によれば、半導体層71から脱離したH原子により、チャネル半導体層65内のダングリングボンドを終端させることが可能となる。これにより、チャネル半導体層65やメモリセルの信頼性を向上させることが可能となる。その結果、本実施形態のチャネル半導体層65は、完成品の半導体装置において、不純物原子としてH原子を含むものとなる。
ダングリングボンドはさらに、チャネル半導体層65とトンネル絶縁膜64c(図12参照)との界面にも高密度に存在し得る。本実施形態では、半導体層71から脱離したH原子が、チャネル半導体層65とトンネル絶縁膜64cとの界面にも到達する。本実施形態によれば、半導体層71から脱離したH原子により、チャネル半導体層65とトンネル絶縁膜64cとの界面のダングリングボンドを終端させることが可能となる。その結果、H原子は、完成品の半導体装置において、チャネル半導体層65とトンネル絶縁膜64cとの界面や、トンネル絶縁膜64c内にも含まれ得る。
本実施形態では、半導体層71から脱離したH原子が、層間絶縁膜56を介して、チャネル半導体層65やトンネル絶縁膜64cに到達する。よって、本実施形態の完成品の半導体装置では、半導体層71から脱離したH原子が、層間絶縁膜56内にも存在する。本実施形態では、半導体層71の下面が層間絶縁膜56の上面と広い領域で接していることから、半導体層71から脱離したH原子が層間絶縁膜56内に導入されやすい。本実施形態の完成品の半導体装置では、半導体層71から脱離したH原子がさらに、層間絶縁膜54内や、上記複数の絶縁層62のうちの少なくとも最上位の絶縁層62内に存在していてもよい。なお、本実施形態の半導体層71、層間絶縁膜56、チャネル半導体層65、およびトンネル絶縁膜64c内のH原子は、第1実施形態の半導体層37、最上位の絶縁層32、およびチャネル半導体層34内のP原子と同様の理由で、Z方向に濃度勾配を有し得る。
半導体層71をアニールする温度(アニール温度)は、どのような温度でもよい。半導体層71からH原子を効率よく脱離させるためには、アニール温度を高温に設定することが望ましい。一方、アニール温度を高くしすぎると、アニールが半導体装置内の金属層に悪影響を及ぼすおそれがある。よって、アニール温度は、金属層に悪影響を及ぼさない程度の高温に設定することが望ましい。本実施形態の半導体層71のアニール温度は、例えば400℃~500℃に設定される。
本実施形態の半導体層71は、基板51上の不図示の層を加工するためのハードマスク層として形成される場合、この加工が終了し、かつ、図21(a)の工程が終了した後に除去される(図21(b))。さらに、層間絶縁膜56内の柱状部55上に開口部が形成され、開口部内にコンタクトプラグ59が形成される(図21(b))。その結果、各コンタクトプラグ59が、対応する柱状部55のコア半導体層67上に形成され、コア半導体層67と電気的に接続される。
その後、基板51上に種々の配線層、プラグ、層間絶縁膜などが形成される。このようにして、図11の半導体装置が製造される。
ここで、本実施形態の半導体層71のさらなる詳細について説明する。
本実施形態では、半導体層71から脱離したH原子を用いて、ダングリングボンドを終端する。これにより、チャネル半導体層65やトンネル絶縁膜64cの信頼性や、チャネル半導体層65やトンネル絶縁膜64cを含むメモリセルの信頼性を向上させることが可能となる。
また、本実施形態では、ハードマスク用の半導体層71を、ダングリングボンドの終端用にも使用する。よって、本実施形態によれば、半導体層71をこれら2つの目的に有効活用することが可能となる。すなわち、半導体層71を、ハードマスク用のみに使用して除去せずに、ダングリングボンドの終端用にも使用してから除去することが可能となる。ただし、本実施形態では、半導体層71を、ダングリングボンドの終端用のみに使用してもよい。
また、本実施形態では、半導体層71を形成した時点から、半導体層71はH原子を含んでいる。しかしながら、半導体層71を形成した後に、熱処理やプラズマ処理などにより半導体層71内にH原子を導入してもよい。この場合、半導体層71内にH原子が導入された後に、図21(a)の工程におけるイオン注入やアニールが行われる。
また、本実施形態では、図21(a)の工程におけるイオン注入とアニールとの間に、半導体層71上に絶縁膜を形成してもよい。これにより、アニール時に半導体層71内のH原子が半導体層71の上面から放出されるのを抑制し、半導体層71の下面から放出されやすくすることが可能となる。別言すると、H原子の上方向への拡散を、上記絶縁膜により抑制することが可能となる。その結果、ダングリングボンドをより効率的に終端することが可能となる。この場合、上記絶縁膜は、H原子の拡散のバリア性を有することが望ましい。このような絶縁膜の例は、SiN膜やAl2O3膜である。逆に、本実施形態では、H原子の拡散のバリア性を有する半導体層や金属層を、上記絶縁膜の代わりに半導体層71上に形成してもよい。なお、後述する第3実施形態では、H原子の拡散のバリア性を有するバリア層99を使用する例について説明する。
また、本実施形態の半導体層71は、ダングリングボンドを終端することが可能なH原子以外の原子を含んでいてもよい。このような原子の例は、F(フッ素)原子やCl(塩素)原子である。また、半導体層71内のH原子は、通常の1H原子(軽水素原子)でもよいし、2H原子(重水素原子:D原子)でもよい。これらのいずれの不純物原子を使用する場合においても、当該不純物原子は、半導体層71を形成した時点から半導体層71内に含まれていてもよいし、半導体層71を形成した後に半導体層71内に導入されてもよい。例えば、半導体層71がF原子を含む場合には、半導体層71から脱離したF原子がチャネル半導体層65等に導入され、ダングリングボンドを終端し、完成品の半導体装置のチャネル半導体層65等に含まれることになる。
また、本実施形態のP原子は、図21(a)の工程におけるイオン注入により、半導体層71内に導入される。この際、P原子は、半導体層71以外の層内にも導入される可能性がある。本実施形態のイオン注入では、P原子が例えば、層間絶縁膜56、層間絶縁膜54、チャネル半導体層65、コア半導体層67、上記複数の絶縁層62のうちの少なくとも最上位の絶縁層62等にも導入される可能性がある。この場合、P原子が、完成品の半導体装置の層間絶縁膜56等に含まれることになる。例えば、P原子がチャネル半導体層65内やコア半導体層67に導入されることで、チャネル半導体層65やコア半導体層67の性能を向上させることが可能となる。このようなP原子については、図22を参照してさらに説明する。
図22は、第2実施形態の半導体層71等に含まれるP(リン)原子の濃度について説明するためのグラフである。
図22の縦軸は、図21(a)の半導体層71や層間絶縁膜56内の各地点におけるP原子の濃度(P濃度)を示している。図22の横軸は、図21(a)の半導体層71や層間絶縁膜56内の各地点の、半導体層71の上面からの深さを示している。符号Tは、半導体層71の厚さを示している。図22の深さの方向は、Z方向に平行である。
図22の曲線は、半導体層71や層間絶縁膜56内のP濃度プロファイルの例を示している。このP濃度プロファイルは、図9(b)の曲線B1のP濃度プロファイルと同様の形状を有している。具体的には、層間絶縁膜56内のP濃度が、深さに応じて減少している。本実施形態の完成品の半導体装置においては、図21(a)の工程が行われた痕跡として、層間絶縁膜56が、図22のようなP濃度プロファイルを有するP原子を含むこととなる。これは、層間絶縁膜56以外の層がP原子を含む場合にも同様である。このように、半導体層71内や層間絶縁膜56内のP原子は、Z方向に濃度勾配を有し得る。
なお、図21(a)の工程後に層間絶縁膜56内のP原子が大きく拡散する場合には、完成品の半導体装置における層間絶縁膜56内のP濃度プロファイルは、図22に示すP濃度プロファイルから大きく変化する可能性がある。一方、図21(a)の工程後に層間絶縁膜56内のP原子があまり拡散しない場合には、完成品の半導体装置における層間絶縁膜56内のP濃度プロファイルは、図22に示すP濃度プロファイルと同様になる。
以上のように、本実施形態では、半導体層71を形成し、その後に半導体層71内にP原子を導入し、その後に半導体層71をアニールする。よって、本実施形態によれば、半導体層71から離脱したH原子により、チャネル半導体層65等にH原子を導入することが可能となり、チャネル半導体層65等のダングリングボンドを終端することが可能となる。これにより、チャネル半導体層65等の信頼性を向上させることが可能となる。
このように、本実施形態によれば、半導体装置の性能に対する不純物原子(P原子やH原子)の影響を好適化することが可能となる。例えば、P原子を用いてダングリングボンドの終端用のH原子を発生させることや、このようにして発生したH原子によりダングリングボンドを終端することが可能となる。なお、本実施形態の手法は、上述のように、P原子やH原子以外の不純物原子に適用してもよい。また、半導体層71内に導入される原子は、上述のSi原子のように、不純物原子以外でもよい。
(第3実施形態)
図23は、第3実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。本実施形態の半導体装置は、複数のプレーナ(平面)型のトランジスタを備えている。以下、本実施形態の半導体装置の構造を、第1および第2実施形態の半導体装置の構造との相違点を中心に説明する。
図23は、第3実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。本実施形態の半導体装置は、複数のプレーナ(平面)型のトランジスタを備えている。以下、本実施形態の半導体装置の構造を、第1および第2実施形態の半導体装置の構造との相違点を中心に説明する。
図23の半導体装置は、基板81と、複数の素子分離領域82と、各トランジスタのゲート絶縁膜83、ゲート電極84、複数の側壁絶縁膜85、複数のエクステンション領域86、およびソース/ドレイン領域87と、層間絶縁膜88と、複数のコンタクトプラグ89と、複数の配線を含む配線層90と、層間絶縁膜91と、ビアプラグ92と、複数の配線を含む配線層93と、層間絶縁膜94と、ビアプラグ95と、複数の配線を含む配線層96と、パッシベーション膜97とを備えている。
基板81は例えば、Si基板などの半導体基板である。基板81は、Si基板以外の半導体基板でもよいし、SOI(Silicon on Insulator)基板でもよい。素子分離領域82は、トランジスタ同士を分離するために基板81内に形成されている。素子分離領域82は、STI(Shallow Trench Isolation)とも呼ばれる。
各トランジスタは、基板81上に順に形成されたゲート絶縁膜83とゲート電極84とを含んでいる。ゲート絶縁膜83は例えば、SiO2膜または高誘電率膜(High-k膜)である。ゲート電極84は例えば、ポリシリコン層、金属層、または、ポリシリコン層と金属層とを含む積層膜である。側壁絶縁膜85は、基板81上においてゲート電極84の側面に形成されている。エクステンション領域86は、基板81内にゲート電極84を挟むように形成されている。ソース/ドレイン領域87も、基板81内にゲート電極84を挟むように形成されている。ただし、エクステンション領域86は、ソース/ドレイン領域87の間に挟まれている。なお、基板81上に形成されるトランジスタは、FinFETやナノワイヤFETでもよい。
層間絶縁膜88は、基板81上にトランジスタを覆うように形成されている。層間絶縁膜88は例えば、SiO2膜、または、SiO2膜とその他の絶縁膜とを含む積層膜である。コンタクトプラグ89は、層間絶縁膜88内に形成されており、ゲート電極84上やソース/ドレイン領域87上に配置されている。
配線層90は、層間絶縁膜88上においてコンタクトプラグ89上に形成されている。配線層90は例えば、金属層である。層間絶縁膜91は、層間絶縁膜88上に配線層90を覆うように形成されている。層間絶縁膜91は例えば、SiO2膜、または、SiO2膜とその他の絶縁膜とを含む積層膜である。ビアプラグ92は、層間絶縁膜91内において配線層90上に形成されている。
配線層93は、層間絶縁膜91上においてビアプラグ92上に形成されている。配線層93は例えば、金属層である。層間絶縁膜94は、層間絶縁膜91上に配線層93を覆うように形成されている。層間絶縁膜94は例えば、SiO2膜、または、SiO2膜とその他の絶縁膜とを含む積層膜である。ビアプラグ95は、層間絶縁膜94内において配線層93上に形成されている。
配線層96は、層間絶縁膜94上においてビアプラグ95上に形成されている。配線層96は例えば、金属層であり、ボンディングパッドとして機能する配線を含んでいる。パッシベーション膜97は、層間絶縁膜94上に配線層96を覆うように形成されている。ただし、配線層96内のボンディングパッドは、パッシベーション膜97から露出している。パッシベーション膜97は例えば、SiO2膜などの絶縁膜である。
なお、本実施形態の半導体装置は、3つの配線層90、93、96を備えているが、4つ以上の配線層を備えていてもよい。本実施形態の半導体装置の配線層の個数は、いくつでもよい。
ここで、本実施形態の半導体装置に含まれる不純物原子について説明する。
本実施形態の層間絶縁膜94は、所定の不純物原子を含んでいる。この不純物原子は、例えばH(水素)原子である。本実施形態では、この不純物原子がさらに、基板81にも含まれている。このように、本実施形態の層間絶縁膜94と基板81が同じ不純物原子を含んでいる理由については後述する。
図24は、第3実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、基板81内に素子分離領域82を形成し、基板81上に各トランジスタのゲート絶縁膜83とゲート電極84とを順に形成する(図24(a))。素子分離領域82は例えば、基板81内にドライエッチングによりトレンチを形成し、トレンチ内にSiO2膜を埋め込むことで形成される。
次に、基板81内にエクステンション領域86を形成し、ゲート電極84の側面にエッチバックにより側壁絶縁膜85を形成し、基板81内にソース/ドレイン領域87を形成する(図24(a))。エクステンション領域86やソース/ドレイン領域87は例えば、基板81内にP(リン)、B(ボロン)、As(ヒ素)などの不純物原子を導入することで形成される。
次に、基板81上に層間絶縁膜88を形成し、層間絶縁膜88内にコンタクトプラグ89を形成する(図24(a))。次に、層間絶縁膜88およびコンタクトプラグ89上に配線層90を形成し、層間絶縁膜88および配線層90上に層間絶縁膜91を形成し、層間絶縁膜91内にビアプラグ92を形成する(図24(a))。次に、層間絶縁膜91およびビアプラグ92上に配線層93を形成し、層間絶縁膜91および配線層93上に層間絶縁膜94を形成し、層間絶縁膜94内にビアプラグ95を形成する(図24(a))。
次に、層間絶縁膜94およびビアプラグ95上に半導体層98を形成する(図24(a))。図24(a)の工程では、半導体層98が、アモルファス半導体層として形成される。このアモルファス半導体層は、例えばa-Si層である。本実施形態では、a-Si層としての半導体層98を例えば、Si元素とH元素とを含むソースガスを用いて形成する。そのため、図24(a)の工程で形成される半導体層98は、不純物原子としてH原子を含んでいる。半導体層98は、第1膜の例である。
次に、P(リン)イオンを用いて、半導体層98へのイオン注入を行う(図24(a))。その結果、半導体層98内に不純物原子としてP原子が導入される。第1および第2実施形態にて半導体層37、71について説明したように、このP原子は、半導体層98からのH原子の脱離を促進する作用を有する。後述するように、本実施形態では、半導体層98から脱離するH原子を、ダングリングボンドを終端するために有効利用する。
半導体層98は、どのような目的で形成されてもよい。例えば、半導体層98は、基板51上の配線層として使用する目的で形成されてもよいし、半導体装置の製造工程でハードマスク層として使用する目的で形成されてもよい。前者の場合には、半導体層98は完成品の半導体装置内に残存することになるが、後者の場合には、半導体層98は完成品の半導体装置内には残存しないこととなる。本実施形態の半導体層98は、基板51上の不図示の層を加工するためのハードマスク層として形成されるため、後述するように完成品の半導体装置内には残存しない。そのため、本実施形態では、半導体層98の代わりに金属層や絶縁膜や積層膜を上記ハードマスク層として形成してもよい。
また、イオン注入に用いるイオンは、半導体層98からのH原子の脱離を促進することが可能なその他のイオンでもよい。このようなイオンは、例えばB(ボロン)イオン、As(ヒ素)イオン、Si(シリコン)イオン、またはO(酸素)イオンである。
本実施形態のイオン注入は例えば、高エネルギーイオン注入機を用いて60keV程度またはそれ未満の注入エネルギーで行う。また、本実施形態のイオン注入のドーズ量は、例えば1×1015cm-2以上に設定される。
次に、半導体層98上に絶縁膜99を形成した後、半導体層98からH原子を脱離させるために、半導体層98をアニールする(図24(b))。その結果、半導体層98内の少なくとも一部のH原子が半導体層98から脱離して、半導体層98内のH原子の濃度が低下する。半導体層98をアニールする温度(アニール温度)は、どのような温度でもよいが、例えば400℃~500℃に設定される。絶縁膜99は、第2膜の例である。
本実施形態では、半導体層98から脱離したH原子が、基板81内に導入される。本実施形態の基板81は、Si基板であり、トランジスタのチャネル領域などにSi原子のダングリングボンドを含んでいる。本実施形態によれば、半導体層98から脱離したH原子により、基板81内のダングリングボンドを終端させることが可能となる。これにより、チャネル領域やトランジスタの信頼性を向上させることが可能となる。その結果、本実施形態の基板81は、完成品の半導体装置において、不純物原子としてH原子を含むものとなる。
ダングリングボンドはさらに、基板81とゲート絶縁膜82との界面にも高密度に存在し得る。本実施形態では、半導体層98から脱離したH原子が、基板81とゲート絶縁膜82との界面にも到達する。本実施形態によれば、半導体層98から脱離したH原子により、基板81とゲート絶縁膜82との界面のダングリングボンドを終端させることが可能となる。その結果、H原子は、完成品の半導体装置において、基板81とゲート絶縁膜82との界面や、ゲート絶縁膜82内にも含まれ得る。
本実施形態では、半導体層98から脱離したH原子が、層間絶縁膜94を介して、基板81やゲート絶縁膜82に到達する。よって、本実施形態の完成品の半導体装置では、半導体層98から脱離したH原子が、層間絶縁膜94内にも存在する。本実施形態では、半導体層98の下面が層間絶縁膜94の上面と広い領域で接していることから、半導体層98から脱離したH原子が層間絶縁膜94内に導入されやすい。本実施形態の完成品の半導体装置では、半導体層98から脱離したH原子がさらに、層間絶縁膜91内や層間絶縁膜88内に存在していてもよい。
本実施形態では、図24(b)の工程において、アニールの前に半導体層98上に絶縁膜99を形成する。これにより、アニール時に半導体層98内のH原子が半導体層98の上面から放出されるのを抑制し、半導体層98の下面から放出されやすくすることが可能となる。別言すると、H原子の上方向への拡散を、絶縁膜99により抑制することが可能となる。その結果、ダングリングボンドをより効率的に終端することが可能となる。本実施形態の絶縁膜99は、H原子の拡散のバリア性を有している。このような絶縁膜99の例は、SiN膜やAl2O3膜である。なお、本実施形態では、H原子の拡散のバリア性を有する半導体層や金属層を、絶縁膜99の代わりに半導体層98上に形成してもよい。
本実施形態の半導体層98は、基板81上の不図示の層を加工するためのハードマスク層として形成される場合、この加工が終了し、かつ、図22(a)および図22(b)の工程が終了した後に除去される。本実施形態では、絶縁膜99も同様に、半導体層98を除去する前に除去される。
その後、層間絶縁膜94およびビアプラグ95上に配線層96を形成し、配線層96上にパッシベーション膜97を形成し、パッシベーション膜97を加工してパッシベーション膜97からボンディングパッドを露出させる(図21参照)このようにして、図21の半導体装置が製造される。
ここで、本実施形態の半導体層98のさらなる詳細について説明する。
本実施形態では、半導体層98から脱離したH原子を用いて、ダングリングボンドを終端する。これにより、チャネル領域(基板81)やゲート絶縁膜82の信頼性や、チャネル領域やゲート絶縁膜82を含むトランジスタの信頼性を向上させることが可能となる。
また、本実施形態では、ハードマスク用の半導体層98を、ダングリングボンドの終端用にも使用する。よって、本実施形態によれば、半導体層98をこれら2つの目的に有効活用することが可能となる。すなわち、半導体層98を、ハードマスク用のみに使用して除去せずに、ダングリングボンドの終端用にも使用してから除去することが可能となる。ただし、本実施形態では、半導体層98を、ダングリングボンドの終端用のみに使用してもよい。
また、本実施形態では、半導体層98を形成した時点から、半導体層98はH原子を含んでいる。しかしながら、半導体層98を形成した後に、熱処理やプラズマ処理などにより半導体層98内にH原子を導入してもよい。この場合、半導体層98内にH原子が導入された後に、図24(a)の工程におけるイオン注入や、図24(b)の工程におけるアニールが行われる。
また、本実施形態の半導体層98は、ダングリングボンドを終端することが可能なH原子以外の原子を含んでいてもよい。このような原子の例は、F原子やCl原子である。また、半導体層71内のH原子は、通常の1H(軽水素)原子でもよいし、2H(重水素:D)原子でもよい。これらのいずれの不純物原子を使用する場合においても、当該不純物原子は、半導体層98を形成した時点から半導体層98内に含まれていてもよいし、半導体層98を形成した後に半導体層98内に導入されてもよい。例えば、半導体層98がF原子を含む場合には、半導体層98から脱離したF原子が基板81に導入され、ダングリングボンドを終端し、完成品の半導体装置の基板81等に含まれることになる。
また、本実施形態のP原子は、図24(a)の工程におけるイオン注入により、半導体層98内に導入される。この際、P原子は、半導体層98以外の層内にも導入される可能性がある。本実施形態のイオン注入では、P原子が例えば、層間絶縁膜94、層間絶縁膜91、層間絶縁膜88、ゲート電極84、基板81等にも導入される可能性がある。この場合、P原子が、完成品の半導体装置の層間絶縁膜94等に含まれることになる。
以上のように、本実施形態では、半導体層98を形成し、その後に半導体層98内にP原子を導入し、その後に半導体層98をアニールする。よって、本実施形態によれば、半導体層98から離脱したH原子により、基板81(チャネル領域)等にH原子を導入することが可能となり、基板81等のダングリングボンドを終端することが可能となる。これにより、基板81等の信頼性を向上させることが可能となる。
このように、本実施形態によれば、半導体装置の性能に対する不純物原子(P原子やH原子)の影響を好適化することが可能となる。例えば、P原子を用いてダングリングボンドの終端用のH原子を発生させることや、このようにして発生したH原子によりダングリングボンドを終端することが可能となる。なお、本実施形態の手法は、上述のように、P原子やH原子以外の不純物原子に適用してもよい。また、半導体層98内に導入される原子は、上述のSi原子のように、不純物原子以外でもよい。
なお、第1~第3実施形態では、イオン注入に用いる原子が、脱離される原子と異なる種類の原子となっている。例えば、イオン注入にP原子を用いることで、H原子が脱離されている。しかしながら、イオン注入に用いる原子は、脱離される原子と同じ種類の原子でもよい。例えば、第2実施形態の半導体層71内にHイオンを注入することで、半導体層71からH原子を脱離させてもよい。
これを第1実施形態の半導体層37に適用する場合には、半導体層37内にHイオンを注入すると、半導体層37内のH原子の濃度を減少させたいにもかかわらず、半導体層37内のH原子の濃度が増加するとも考えられる。しかしながら、注入された1個のHイオンは、一般に複数個のSi-H結合を切断する。そのため、半導体層71内に注入されるHイオンの個数よりも、半導体層71から脱離するH原子の個数の方が多くなる。これにより、半導体層37内のH原子の濃度を減少させることが可能となる。
イオン注入にHイオンを用いることには、Hイオンが軽いことから、Hイオンを深い位置まで注入しすいという利点がある。例えば、積層膜26、26’、53、53’のいずれかの内部にイオンを注入する場合には、Hイオンを使用することが望ましい。この場合のHイオンは、通常の1H(軽水素)イオンでも、2H(重水素:D)イオンでもよい。
なお、半導体層71内のH原子を半導体層71外に抜けやすくするために、H原子の脱離のためのアニールを行う前に、半導体層71内に穴や溝などの凹部を形成してもよい。これは、半導体層71以外の層についても同様である。
また、積層膜26、26’、53、53’のような厚い膜からH原子を脱離させる場合には、厚い膜を複数部分に分けて形成してもよい。この場合、厚い膜の一部を形成する工程と、当該一部にイオンを注入する工程と、当該一部をアニールする工程とを、順番に繰り返し行ってもよい。この場合、厚い膜全体の厚さに比べて当該一部の厚さが薄くなることから、イオン注入を容易に行うことが可能となる。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置および方法は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置および方法の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:回路領域、2:アレイ領域、
11:基板、12:トランジスタ、13:層間絶縁膜、
14:コンタクトプラグ、15:配線層、16:ビアプラグ、17:金属パッド、
21:層間絶縁膜、22:金属パッド、23:ビアプラグ、
24:配線層、25:コンタクトプラグ、26:積層膜、26’:積層膜、
27:柱状部、28:ソース層、29:絶縁膜、
31:電極層、31a:バリアメタル層、31b:電極材層、
31’:犠牲層、32:絶縁層、33:メモリ絶縁膜、
33a:ブロック絶縁膜、33b:電荷蓄積層、33c:トンネル絶縁膜、
34:チャネル半導体層、35:コア絶縁膜、36:コア半導体層、
37:半導体層、38:金属層、39:ブロック絶縁膜、
41:基板、42:絶縁膜、43:絶縁膜、
51:基板、52:層間絶縁膜、53:積層膜、53’:積層膜、
54:層間絶縁膜、55:柱状部、56:層間絶縁膜、
57:絶縁膜、58:配線層、59:コンタクトプラグ、
61:電極層、61a:バリアメタル層、61b:電極材層、61’:犠牲層、
62:絶縁層、63:半導体層、64:メモリ絶縁膜、64a:ブロック絶縁膜、
64b:電荷蓄積層、64c:トンネル絶縁膜、65:チャネル半導体層、
66:コア絶縁膜、67:コア半導体層、68:ブロック絶縁膜、71:半導体層、
81:基板、82:素子分離領域、83:ゲート絶縁膜、84:ゲート電極、
85:側壁絶縁膜、86:エクステンション領域、87:ソース/ドレイン領域、
88:層間絶縁膜、89:コンタクトプラグ、90:配線層、91:層間絶縁膜、
92:ビアプラグ、93:配線層、94:層間絶縁膜、95:ビアプラグ、
96:配線層、97:パッシベーション膜、98:半導体層、99:バリア層
11:基板、12:トランジスタ、13:層間絶縁膜、
14:コンタクトプラグ、15:配線層、16:ビアプラグ、17:金属パッド、
21:層間絶縁膜、22:金属パッド、23:ビアプラグ、
24:配線層、25:コンタクトプラグ、26:積層膜、26’:積層膜、
27:柱状部、28:ソース層、29:絶縁膜、
31:電極層、31a:バリアメタル層、31b:電極材層、
31’:犠牲層、32:絶縁層、33:メモリ絶縁膜、
33a:ブロック絶縁膜、33b:電荷蓄積層、33c:トンネル絶縁膜、
34:チャネル半導体層、35:コア絶縁膜、36:コア半導体層、
37:半導体層、38:金属層、39:ブロック絶縁膜、
41:基板、42:絶縁膜、43:絶縁膜、
51:基板、52:層間絶縁膜、53:積層膜、53’:積層膜、
54:層間絶縁膜、55:柱状部、56:層間絶縁膜、
57:絶縁膜、58:配線層、59:コンタクトプラグ、
61:電極層、61a:バリアメタル層、61b:電極材層、61’:犠牲層、
62:絶縁層、63:半導体層、64:メモリ絶縁膜、64a:ブロック絶縁膜、
64b:電荷蓄積層、64c:トンネル絶縁膜、65:チャネル半導体層、
66:コア絶縁膜、67:コア半導体層、68:ブロック絶縁膜、71:半導体層、
81:基板、82:素子分離領域、83:ゲート絶縁膜、84:ゲート電極、
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96:配線層、97:パッシベーション膜、98:半導体層、99:バリア層
Claims (20)
- 第1方向に交互に積層された複数の電極層と複数の絶縁層とを含む積層膜と、
前記積層膜内を前記第1方向に延びる電荷蓄積層と第1半導体層とを含む柱状部と、
前記積層膜および前記柱状部上に設けられ、前記第1半導体層に含まれる不純物原子と同じ不純物原子を含み、前記第1方向に前記不純物原子の濃度勾配を有する第2半導体層または第1絶縁膜と、
を備える半導体装置。 - 前記不純物原子は、リン原子である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1半導体層内の前記不純物原子の濃度は、前記第1半導体層の上端からの深さが200nmの位置において1×1019cm-3以上である、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記複数の絶縁層のうちの少なくとも最上位の絶縁層も、前記第1および第2半導体層に含まれる前記不純物原子と同じ不純物原子を含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 第1基板と、
前記第1基板の上方に設けられた第1パッドと、
前記第1パッド上に設けられた第2パッドとをさらに備え、
前記第1半導体層は、前記第2パッドより高い位置に設けられ、前記第2パッドに電気的に接続されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記不純物原子は、軽水素原子、重水素原子、フッ素原子、または塩素原子である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁膜内において前記柱状部上に設けられ、前記第1半導体層に電気的に接続されたプラグをさらに備える、請求項1または6に記載の半導体装置。
- 第1方向に交互に積層された複数の電極層と複数の絶縁層とを含む積層膜と、前記積層膜内を前記第1方向に延びる電荷蓄積層と第1半導体層とを含む柱状部とを形成し、
前記積層膜および前記柱状部上に第2半導体層を形成し、
前記第2半導体層内に不純物原子を導入し、
前記第2半導体層内に前記不純物原子を導入した後に、前記第2半導体層の第1アニールにより前記第2半導体層内の水素原子の濃度を低減させる、
ことを含む半導体装置の製造方法。 - 前記不純物原子は、リン原子である、請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物原子は、前記第1半導体層内、および/または、前記複数の絶縁層のうちの少なくとも最上位の絶縁層内にも導入される、請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2半導体層は、アモルファス半導体層として形成され、前記第1アニール後に行われる第2アニールにより結晶化される、請求項8から10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1基板上に第1パッドを形成し、
第2基板上に前記積層膜、前記柱状部、および第2パッドを形成し、
前記第1パッドと前記第2パッドとを貼り合わせて、前記第1基板の上方に前記第2基板を積層し、
前記第1基板の上方に前記第2基板を積層した後に、前記第2基板を除去して前記第1半導体層を露出させる、
ことをさらに含み、
前記第2半導体層は、前記第1半導体層を露出させた後に、前記積層膜および前記柱状部上に形成される、請求項8から11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 基板の上方に、不純物原子を含む第1膜を形成し、
前記第1膜内にイオンを注入し、
前記第1膜内に前記イオンを注入した後に、前記第1膜のアニールにより前記第1膜内の前記不純物原子の濃度を低減させる、
ことを含む半導体装置の製造方法。 - 前記イオンは、リンイオン、ボロンイオン、ヒ素イオン、シリコンイオン、または酸素イオンである、請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物原子は、軽水素原子、重水素原子、フッ素原子、または塩素原子である、請求項13または14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物原子は、前記第1膜の形成と前記イオンの注入との間に、前記第1膜内に導入される、請求項13から15のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板上に、第1方向に交互に積層された複数の電極層と複数の絶縁層とを含む積層膜と、前記積層膜内を前記第1方向に延びる電荷蓄積層と第1半導体層とを含む柱状部と、前記積層膜および前記柱状部上に設けられた第1絶縁膜とを形成することをさらに含み、
前記第1膜は、前記第1絶縁膜上に形成され、
前記第1膜のアニールにより前記第1膜から放出された前記不純物原子は、前記第1絶縁膜および前記第1半導体層内に導入される、請求項13から16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1膜のアニール後に、前記第1膜を除去し、
前記第1膜の除去後に、前記第1絶縁膜内における前記柱状部上に、前記第1半導体層に電気的に接続されたプラグを形成する、
ことをさらに含む請求項17に半導体装置の製造方法。 - 前記基板上にゲート絶縁膜とゲート電極とを順に形成することをさらに含み、
前記第1膜は、前記ゲート電極の上方に形成される、請求項13に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1膜内に前記イオンを注入した後に、前記第1膜上に第2膜を形成することをさらに含み、
前記第1膜のアニールは、前記第2膜の形成後に行われ、
前記第1膜のアニールにより前記第1膜から放出された前記不純物原子は、前記基板内に導入される、請求項13または19に記載の半導体装置の製造方法。
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