JP2022014208A - 放電加工装置およびセンサユニット - Google Patents
放電加工装置およびセンサユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022014208A JP2022014208A JP2020116424A JP2020116424A JP2022014208A JP 2022014208 A JP2022014208 A JP 2022014208A JP 2020116424 A JP2020116424 A JP 2020116424A JP 2020116424 A JP2020116424 A JP 2020116424A JP 2022014208 A JP2022014208 A JP 2022014208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- block
- electric discharge
- axis
- fixed
- shaft drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 102200082816 rs34868397 Human genes 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
- B23H7/32—Maintaining desired spacing between electrode and workpiece, e.g. by means of particulate material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H11/00—Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/08—Wire electrodes
- B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
- G01D5/24442—Error prevention by mechanical means by mounting means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H2500/00—Holding and positioning of tool electrodes
- B23H2500/20—Methods or devices for detecting wire or workpiece position
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Description
近年、耐久性向上の観点から高硬度材が金型等の様々な部品に使用されるようになり、放電加工装置には高いレベルでの加工精度の実現が要求されるようになってきた。
また特許文献4の加工誤差の検知方法においては、加工前に位置合わせを行い、加工中に生じた熱膨脹変形誤差を演算して補正値を導出するため、事前に位置合わせ作業が必要となるうえ、演算処理が複雑化するという問題があった。
また本発明の放電加工装置は、前記軸駆動部が、ベースと、前記ベースに対向配置され前記軸方向に往復移動する移動体とから構成され、前記測定用スケールと前記位置検出部は対向配置されるとともに一方が前記ベースに固定され、他方が前記移動体に固定されていることを特徴とする。
さらに本発明のセンサユニットは、直線状の測定用スケールと、前記測定用スケールを走査して測定対象物の直線移動位置を検出する位置検出部と、前記測定用スケールまたは前記位置検出部の両端に固定された前記測定用スケールの延伸方向に対して垂直に立設した一対の調整ブロックを有し、前記調整ブロックは、材質の異なる第1のブロックと第2のブロックから構成され、測定対象物に固定されるとともに温度変化により湾曲することを特徴とする。
また「軸駆動部」とは工具電極を少なくとも1つの軸方向に移動させるための駆動機構であり、例えばV軸方向に移動させる駆動機構としてはコラム、V軸スライダー、レール、リニアガイド等を含む。また、Y軸方向に移動させる駆動機構としてはベッドやコラム、Z軸方向に移動させる駆動機構としてはZ軸スライダー、Z軸ベース、レール、リニアガイド、U軸方向に移動させる駆動機構としてはU軸スライダー、Z軸スライダー、レール、リニアガイドを含む。
さらに「ベース」とは移動体を支持し、移動体を往復移動するためのレール等が固定された部材であり、例えばテーブル、コラム、Z軸ベース、Z軸スライダーである。
そして「移動体」とはベースに対して相対的に軸方向に移動する部材であり、例えばV軸スライダー、コラム、Z軸スライダー、U軸スライダーである。
本発明によれば、調整ブロックを介して測定用スケールまたは位置検出部を軸駆動部に固定して、温度変化時に軸駆動部の熱変位量の大きさ分だけ調整ブロックを軸方向に湾曲させる。そうすれば、測定用スケールまたは位置検出部を自動的に軸方向に移動させることが可能であり、簡単かつ簡易的な構成で熱変位による位置ズレ補正を行うことができる。
また本発明の放電加工装置は、前記第1のブロックがセラミックスで形成され、前記第2のブロックは前記軸駆動部と略同一の線膨張係数を有する材質で形成されていることを特徴とする。
さらに本発明の放電加工装置は、前記調整ブロックが溝部と、前記溝部の幅よりも広い幅を有する幅広部から構成されることを特徴とする。
調整ブロックの湾曲量は第1のブロックと第2のブロックの材質を変更することで調整することが可能で、第1のブロックがセラミックスで形成され、第2のブロックは軸駆動部と略同一の線膨張係数を有する材質で形成されていることが好ましい。
また調整ブロックの湾曲量は、調整ブロックの形状を変更することでも調整可能であり、例えば調整ブロックが溝部と溝部の幅よりも広い幅を有する幅広部から構成されている場合は、溝部の幅と幅広部の幅の差を変更することにより簡単に湾曲量を調整することができる。
以下、図を用いて本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係るワイヤ放電加工装置100の概略を示す斜視図である。
本発明はワイヤ放電加工装置および形彫放電加工装置に適用されるものであるが、以下に記載する実施形態では、ワイヤ放電加工装置を例に挙げて説明を行うものとする。
また以下の説明では、ワイヤ放電加工装置100の機械本機において、U軸スライダー51に垂直アーム61が設けられている側の面(図1の紙面上、Y軸負の方向から機械本機をみた場合の面)を正面とする。そして正面に向かって後側を背面とし、正面に向かって右手側および左手側を側面とする。そして正面に向かって上側から機械本機をみた場合の面を上面とし、下側からみた場合の面を底面とする。
垂直アーム61の下端には上側ガイドユニット82が固定され、コラム2の下方の側壁には、コラム2から延びた下側支持体7が固定されており、一端に下側ガイドユニット81が固定されている。
V軸スライダー52の一端にはZ軸ベース91が一体的に固定されている。
またコラム2、V軸スライダー52、U軸スライダー51およびZ軸スライダー93等の軸駆動部5は、製造上の制約からセラミックスよりも線膨張係数が大きい材料である鋳鉄で形成されている。
図2は、上記実施形態のセンサユニット4の実施形態を示す斜視図であり、図3は、上記実施形態のセンサユニット4の実施形態を示す側面図である。図4は、上記実施形態のセンサユニット4の内部構造を示す模式図であり、図5は、上記実施形態のセンサユニット4の調整ブロック41を示す斜視図である。図10は、上記実施形態のセンサユニット4の調整ブロック41のその他の例(241)を示す斜視図である。ここで、センサユニット4に使用されているボルト等の構成の一部は便宜上図面から省略されている。
本発明のセンサユニット4は、上側ガイドユニット82のV軸方向の直線移動位置を検出する検出器であり、直線状の測定用スケール421と、測定用スケール421を収納するハウジング42と、測定用スケール421を走査して位置情報を得る位置検出部44と、測定用スケール421の両端に測定用スケール421の延伸方向に対して垂直に立設して固定された一対の調整ブロック41,41と、調整ブロック41をV軸スライダー52に固定するための固定部材43とを備える。
ワイヤ放電加工装置100は、放電加工時、センサユニット4が検出するV軸方向の位置により、上側ガイドユニット82を移動させる。
本実施形態において測定用スケール421はハウジング42に収納されているが、測定用スケール421の両端に調整ブロック41,41が固定されていれば、測定用スケール421はハウジング42に収納されていなくてもよい。
第1のブロック411は平板状もしくは直方体形状で、セラミックスで形成されている。第1のブロック411には固定部材43を固定するための孔411aが設けられている。第1のブロック411の背面の締結面M1には、第2のブロック412が固定されている。
第2のブロック412は、第1のブロック411よりも線膨張係数が大きい材質で形成された部材であり、具体的にはV軸スライダー52と略同一の線膨張係数をもつS45C等の金属から形成されている。第2のブロック412は、幅Waの狭い溝部412aと、幅Waよりも広い幅Wbを有する幅広部412bから構成される。第2のブロック412は全体として側面視でL字形状をなす。また第2のブロック412の下部にハウジング42を取り付けるための孔412cが設けられている。
一対の調整ブロック41,41は、第1のブロック411を正面側に配置して測定用スケール421の延伸方向に垂直となるように、ハウジング42の両端に設けられている。
調整ブロック41は、締結面M1にて材質の異なる第1のブロック411と第2のブロック412を接合して形成されているため、外部環境の変化等により調整ブロック41の温度が変化すると、第1のブロック411と第2のブロック412の熱膨張率の差により締結面M1に内部応力が発生し、バイメタル効果により湾曲する。
具体的には、第1のブロック411の材質であるセラミックスは、第2のブロック412の材質である鋳鉄と比べると線膨張係数が約1/2~約1/3であるため、温度上昇時、締結面M1に平行に働く圧縮と引っ張り応力が大きくなり、調整ブロック41に垂直方向(測定用スケール421の延伸方向垂直)から傾斜する力F1が発生する。F1の力により、調整ブロック41はV軸負の方向へ湾曲する(図8)。また温度下降時は、調整ブロック41に垂直方向から傾斜する力F1とは反対の力F2が発生するため、F2の力により、調整ブロック41はV軸正の方向へ湾曲する(図9)。
また固定部材43は、V軸スライダー52に取り付けるための孔43aを有し、孔43aを使用して、V軸スライダー52の下部にハウジング42を取り付ける。正確に上側ガイドユニット82のV軸方向の直線移動位置を測定するため、測定用スケール421がV軸方向に平行に延伸するようにハウジング42を取り付ける。
本実施形態においては、固定部材43を介して調整ブロック41,41をV軸スライダー52に固定しているが、固定部材43を使用せずに調整ブロック41,41を直接V軸スライダー52に固定してもよい。
図7は、外気温上昇時の本発明のV軸スライダー52の変位および調整ブロック41の屈曲状態を示す説明図である。図8は、上側ガイドユニット82の機械温度が上昇した場合のセンサユニット4の動きを示す模式図であり、図9は、上側ガイドユニット82の機械温度が下降した場合のセンサユニット4の動きを示す模式図である。
具体的には、V軸スライダー52の温度が上昇すると、略中央位置Hを基準としてV軸スライダー52の正面側がV軸負の方向へ膨張して上側ガイドユニット82がV軸負の方向に変位する。またV軸スライダー52の温度が下降するとV軸スライダー52の正面側がV軸正の方向へ収縮して上側ガイドユニット82がV軸正の方向に変位する。
このように外気の温度変化等によりV軸スライダー52が伸縮すると、上側ガイドユニット82がV軸方向にずれて、被加工物の加工精度に悪影響を及ぼす。
よって本発明においては、調整ブロック41を介して測定用スケール421をV軸スライダー52に固定することで、V軸スライダー52のV軸方向の位置ズレ量Wcと同じ大きさだけ測定用スケール421をV軸方向に移動させる。
具体的には、調整ブロック41は温度変化によりV軸正の方向またはV軸負の方向に湾曲するように形成されており、測定用スケール421は、両端に配置された一対の調整ブロック41,41の湾曲によりV軸方向に変位する(図8、図9)。
例えば、ワイヤ放電加工装置100の機器温度がTc度上昇した場合、V軸スライダー52の正面側がV軸負の方向に変位量Wcの大きさだけ変位したとする(図7)。その場合、調整ブロック41は温度がTc度上昇するとV軸負の方向に湾曲し、測定用スケール421は追従してV軸負の方向に変位量Wcと同じ大きさだけ移動する(図8)。
また、ワイヤ放電加工装置100の機器温度がTd度下降した場合、V軸スライダー52の正面側がV軸正の方向に変位量Wdの大きさだけ変位したとする。その場合、調整ブロック41も同様に温度がTd度下降すると、V軸正の方向に湾曲し、測定用スケール421は追従してV軸正の方向に変位量Wdと同じ大きさだけ移動する(図9)。
図12は、調整ブロック41の温度が23℃である場合を基準として、温度が変化した場合の調整ブロック41の測定用スケール固定位置におけるV軸方向の変位量[μm]を示すグラフである。ここで三角マーカーを線で結んだグラフは正面側に配置された調整ブロック41の変位を示し、四角マーカーを線で結んだグラフは背面側に配置された調整ブロック41の変位を示したものである。
図12のグラフが示す通り、基準の温度である23℃よりも温度が上昇した場合は、測定用スケール421の固定位置がV軸負の方向に変位し、23℃よりも温度が下降した場合は、測定用スケール421の固定位置がV軸正の方向に変位することがわかる。
上記の実施形態のセンサユニット4においては調整ブロック41が測定用スケール421の両端に設けられていたが、調整ブロック341が位置検出部44の両端に設けられたセンサユニット34を用いてもよい(図11)。この場合、材質の異なる第1のブロック3411と第2のブロック3412を測定用スケール421に固定する場合とは反対の配置、具体的には第1のブロック3411を第2のブロック3412の背面側に固定する。
例えば、ワイヤ放電加工装置100の機器温度が上昇した場合、V軸スライダー52の正面側がV軸負の方向に変位するが、調整ブロック341は温度が上昇するとV軸正の方向に湾曲するため、位置検出部44は追従してV軸正の方向に移動する。また、ワイヤ放電加工装置100の機器温度が下降した場合、V軸スライダー52の正面側がV軸正の方向に変位するが、調整ブロック341は温度が下降するとV軸負の方向に湾曲し、位置検出部44は追従してV軸負の方向に移動する。
このように、位置検出部44に調整ブロック341を取り付けた場合であっても、熱変位による補正を行うことができる。
ここで調整ブロック341のコラム2への固定は、固定部材343を介して取り付けられていてもよいし、固定部材343を介さずに直接取り付けられていてもよい。
また既知のリニアエンコーダにおいては、測定用スケール421を収納したハウジング42の上部に固定部材43が一体的に形成されており、延伸方向中央位置で固定部材43を軸駆動部5に固定するように形成されているものもある。そのような形状のリニアエンコーダを使用した場合であっても、ハウジング42の両端に調整ブロック41,41を設け、固定部材43を軸駆動部5に固定する代わりに調整ブロック41,41を軸駆動部5に固定することで同様の効果を得ることができる。
さらに本実施形態では、垂直アーム61をU軸、V軸、Y軸、Z軸方向に移動させ、テーブル3をX軸方向に移動する構成であったが、テーブル3をY軸およびX軸方向に移動させる構成としてもよい。
そして本実施形態においては、Z軸スライダー93と垂直アーム61の間にU軸スライダー51を設けて、U軸スライダー51により垂直アーム61をU軸方向に往復移動させる構成としたが、コラム2の上にU軸サドルを設けてU軸方向に移動する構成としてもよい。
2 コラム
4,34 センサユニット
41 調整ブロック
5 軸駆動部
51 U軸スライダー
52 V軸スライダー
61 垂直アーム
7 下側支持体
81 下側ガイドユニット
82 上側ガイドユニット
91 Z軸ベース
93 Z軸スライダー
W ワイヤ電極
100 ワイヤ放電加工装置
Claims (6)
- 工具電極を少なくとも1つの軸方向に移動させる軸駆動部と、前記軸駆動部の前記軸方向の直線移動位置を検出するセンサユニットを備え、
前記センサユニットは、直線状の測定用スケールと、前記測定用スケールを走査して位置情報を得る位置検出部と、前記測定用スケールまたは前記位置検出部の両端に固定された前記測定用スケールの延伸方向に対して垂直に立設した一対の調整ブロックを有し、
前記調整ブロックは、前記軸駆動部に固定されるとともに温度変化により前記軸方向に湾曲することを特徴とする放電加工装置。 - 前記軸駆動部は、ベースと、前記ベースに対向配置され前記軸方向に往復移動する移動体とから構成され、前記測定用スケールと前記位置検出部は対向配置されるとともに、一方が前記ベースに固定され、他方が前記移動体に固定されていることを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記調整ブロックは、材質の異なる第1のブロックと第2のブロックから構成されることを特徴とする請求項1または2記載の放電加工装置。
- 前記第1のブロックはセラミックスで形成され、前記第2のブロックは前記軸駆動部と略同一の線膨張係数を有する材質で形成されていることを特徴とする請求項3記載の放電加工装置。
- 前記調整ブロックは、溝部と、前記溝部の幅よりも広い幅を有する幅広部から構成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の放電加工装置。
- 直線状の測定用スケールと、前記測定用スケールを走査して測定対象物の直線移動位置を検出する位置検出部と、前記測定用スケールまたは前記位置検出部の両端に固定された前記測定用スケールの延伸方向に対して垂直に立設した一対の調整ブロックを有し、
前記調整ブロックは、材質の異なる第1のブロックと第2のブロックから構成され、測定対象物に固定されるとともに温度変化により湾曲することを特徴とするセンサユニット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020116424A JP6940663B1 (ja) | 2020-07-06 | 2020-07-06 | 放電加工装置およびセンサユニット |
CN202110658916.6A CN113894374A (zh) | 2020-07-06 | 2021-06-15 | 放电加工机及传感器单元 |
US17/352,351 US20220001474A1 (en) | 2020-07-06 | 2021-06-20 | Electric discharge machine and sensor unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020116424A JP6940663B1 (ja) | 2020-07-06 | 2020-07-06 | 放電加工装置およびセンサユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6940663B1 JP6940663B1 (ja) | 2021-09-29 |
JP2022014208A true JP2022014208A (ja) | 2022-01-19 |
Family
ID=77846958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020116424A Active JP6940663B1 (ja) | 2020-07-06 | 2020-07-06 | 放電加工装置およびセンサユニット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220001474A1 (ja) |
JP (1) | JP6940663B1 (ja) |
CN (1) | CN113894374A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024084697A1 (ja) * | 2022-10-21 | 2024-04-25 | ファナック株式会社 | ワイヤ放電加工システム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07318341A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Yotaro Hatamura | 変形量検出手段付き並びに変位スケール付き直線運動装置 |
JP2015094610A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械及びその伸縮量測定方法 |
JP6854953B1 (ja) * | 2020-06-16 | 2021-04-07 | 株式会社ソディック | ワイヤ放電加工装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62176735A (ja) * | 1986-01-29 | 1987-08-03 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤ放電加工装置 |
CA2165942A1 (en) * | 1993-07-06 | 1995-01-19 | Christoph Gerber | Calorimetric sensor |
JPH1177473A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-23 | Nikon Corp | 送り装置 |
JP2005040917A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Mitsubishi Electric Corp | 放電加工装置 |
DE102011111849A1 (de) * | 2011-08-27 | 2013-02-28 | Robert Bosch Gmbh | Linearbewegungsvorrichtung mit an einem Bimetallabschnitt befestigter Abtastvorrichtung einer Wegmesseinrichtung |
WO2014038075A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | 株式会社牧野フライス製作所 | 放電加工機の加工槽昇降装置および加工槽昇降方法 |
JP5870143B2 (ja) * | 2014-04-03 | 2016-02-24 | ファナック株式会社 | 上下ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機 |
JP6208727B2 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-10-04 | ファナック株式会社 | 加工液中にワークを浸した状態でのタッチプローブによる測定機能を有するワイヤ放電加工機 |
CN205717305U (zh) * | 2016-07-01 | 2016-11-23 | 四川东方能源科技股份有限公司 | 一种空预器径向密封组件 |
CN206084053U (zh) * | 2016-10-26 | 2017-04-12 | 深圳市力锐数控机床有限公司 | 线切割电极丝张紧装置 |
-
2020
- 2020-07-06 JP JP2020116424A patent/JP6940663B1/ja active Active
-
2021
- 2021-06-15 CN CN202110658916.6A patent/CN113894374A/zh active Pending
- 2021-06-20 US US17/352,351 patent/US20220001474A1/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07318341A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Yotaro Hatamura | 変形量検出手段付き並びに変位スケール付き直線運動装置 |
JP2015094610A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械及びその伸縮量測定方法 |
JP6854953B1 (ja) * | 2020-06-16 | 2021-04-07 | 株式会社ソディック | ワイヤ放電加工装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024084697A1 (ja) * | 2022-10-21 | 2024-04-25 | ファナック株式会社 | ワイヤ放電加工システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220001474A1 (en) | 2022-01-06 |
CN113894374A (zh) | 2022-01-07 |
JP6940663B1 (ja) | 2021-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4840144B2 (ja) | 位置決め装置及び位置決め方法 | |
JP5606697B2 (ja) | カッティングプロッタ | |
EP2019345A1 (en) | Method of measuring position detection error in machine tool | |
KR101192696B1 (ko) | 선반 및 선반에 의한 가공 방법 | |
JP5719625B2 (ja) | 工作機械 | |
JP5570459B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP5970267B2 (ja) | ワーク曲げ角度測定装置およびプレスブレーキ | |
KR102555532B1 (ko) | 와이어 방전 가공 장치 | |
JP6940663B1 (ja) | 放電加工装置およびセンサユニット | |
JP5091702B2 (ja) | プローブの真直度測定方法 | |
CN109421003A (zh) | 框架结构中的定位装置 | |
JP4402078B2 (ja) | ステージ装置 | |
KR101244264B1 (ko) | 형상 측정기 | |
JP2016196044A (ja) | 金型 | |
US8920080B2 (en) | Machine tool | |
JP2008059016A (ja) | 位置決め制御装置および位置決め制御方法 | |
JP7254997B2 (ja) | 測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 | |
JP7411132B1 (ja) | ワーク形状測定方法、及びワーク形状測定装置。 | |
JP5027963B2 (ja) | 工作機械の熱変位測定方法 | |
EP2754992A1 (en) | Optical profilometer | |
CN116007499A (zh) | 三坐标影像测量机 | |
JP2015055517A (ja) | 産業機械及びシフト量算出方法 | |
JP2003156323A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
Ishizu et al. | MINUTE FORM MEASURING SYSTEM | |
JPS61293728A (ja) | 放電加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210208 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210824 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6940663 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |