JP2022010794A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の面と、第1の方向にて前記第1の面とは反対方向に設けられる第2の面とを備える板状部材と、
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向と略直交する平面上に配置される第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体における一方の端部と前記第1の方向に延びる接続部材を介して接続される、前記第1の方向と略直交する第2の方向に延びるドライバ電極と、
前記板状部材の前記第2の面に形成されたキャビティの底面に設置されて前記ドライバ電極と接続部材を介して接続された端子パッドと、を備え、
前記板状部材の前記第1の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記第1発熱抵抗体は、前記第1の方向から見たときに、前記端子パッドの配置領域以外に配置され、前記第1の方向にて、前記端子パッドより前記第2の面側に配置され、
前記ドライバ電極は、前記第1の方向にて、前記第1発熱抵抗体より前記第1の面側に配置されていることを特徴とする。
前記板状部材の前記第2の面に接続された筒状の支持部材と、
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向にて前記端子パッドより前記第1の面側に配置される第2発熱抵抗体と、を有し、
前記第1の方向から見たときに、
前記第1発熱抵抗体は、前記支持部材の外側に位置し、
前記第2発熱抵抗体の少なくとも一部は、前記支持部材の内側に位置していることが好ましい。
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向から見たときに、前記板状部材の周縁部に位置する第3発熱抵抗体を有し、
前記第3発熱抵抗体は、前記第1の方向にて前記第1発熱抵抗体より前記第1の面側に配置されていることが好ましい。
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向から見たときに、前記支持部材の外側に位置する第4発熱抵抗体を有し、
前記第4発熱抵抗体は、
前記第2の方向にて、前記第1発熱抵抗体よりも前記支持部材側に位置し、
前記第1の方向にて、前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体の間に配置されていることが好ましい。
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とは、前記支持部材の周辺にて、前記第1の方向にて重複するように配置されていることが好ましい。
第1実施形態の保持装置1は、図1~図3に示すように、板状部材10と、支持部材40とを有し、チャンバ70内に設置される。以下の説明においては、説明の便宜上、図1に示すようにXYZ軸を定義するものとする。ここで、Z軸は保持装置1の軸方向(図1の上下方向)の軸であり、X軸とY軸は保持装置1の径方向の軸である。なお、Z軸方向は、本開示の「第1の方向」の一例であり、X軸又はY軸方向(径方向)は、本開示の「第2の方向」の一例である。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、支持部材を備えていない点が第1実施形態とは異なる。そこで、第1実施形態と同様の構成については同符号を付して説明を適宜省略し、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
次に、第3実施形態について説明する。第3実施形態は、第1実施形態と基本的な構成は同じであるが、第3発熱抵抗体を更に備えている点が第1実施形態とは異なる。そこで、第1実施形態と同様の構成については同符号を付して説明を適宜省略し、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
次に、第4実施形態について説明する。第4実施形態は、第1実施形態と基本的な構成は同じであるが、第4発熱抵抗体を更に備えている点が第1実施形態とは異なる。そこで、第1実施形態と同様の構成については同符号を付して説明を適宜省略し、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
最後に、第5実施形態について説明する。第5実施形態は、第1実施形態と基本的な構成は同じであるが、第2発熱抵抗体50bを外側領域Aoutにも配置している点が第1実施形態とは異なる。そこで、第1実施形態と同様の構成については同符号を付して説明を適宜省略し、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
10 板状部材
11 保持面(第1の面)
12 裏面(第2の面)
21 キャビティ
22 周縁部
28 ドライバ電極
29 ビア(接続部材)
30 端子パッド
40 支持部材
41 給電端子
50 発熱抵抗体
50a 第1発熱抵抗体
50b 第2発熱抵抗体
50c 第3発熱抵抗体
50d 第4発熱抵抗体
Ain 内側領域
Aout 外側領域
W ウエハ(対象物)
Claims (5)
- 第1の面と、第1の方向にて前記第1の面とは反対方向に設けられる第2の面とを備える板状部材と、
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向と略直交する平面上に配置される第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体における一方の端部と前記第1の方向に延びる接続部材を介して接続される、前記第1の方向と略直交する第2の方向に延びるドライバ電極と、
前記板状部材の前記第2の面に形成されたキャビティの底面に設置されて前記ドライバ電極と接続部材を介して接続された端子パッドと、を備え、
前記板状部材の前記第1の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記第1発熱抵抗体は、前記第1の方向から見たときに、前記端子パッドの配置領域以外に配置され、前記第1の方向にて、前記端子パッドより前記第2の面側に配置され、
前記ドライバ電極は、前記第1の方向にて、前記第1発熱抵抗体より前記第1の面側に配置されている
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載する保持装置において、
前記板状部材の前記第2の面に接続された筒状の支持部材と、
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向にて前記端子パッドより前記第1の面側に配置される第2発熱抵抗体と、を有し、
前記第1の方向から見たときに、
前記第1発熱抵抗体は、前記支持部材の外側に位置し、
前記第2発熱抵抗体の少なくとも一部は、前記支持部材の内側に位置している
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1又は請求項2に記載する保持装置において、
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向から見たときに、前記板状部材の周縁部に位置する第3発熱抵抗体を有し、
前記第3発熱抵抗体は、前記第1の方向にて前記第1発熱抵抗体より前記第1の面側に配置されている
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項2に記載する保持装置において、
前記板状部材の内部に設けられ、前記第1の方向から見たときに、前記支持部材の外側に位置する第4発熱抵抗体を有し、
前記第4発熱抵抗体は、
前記第2の方向にて、前記第1発熱抵抗体よりも前記支持部材側に位置し、
前記第1の方向にて、前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体の間に配置されている
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項2に記載する保持装置において、
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とは、前記支持部材の周辺にて、前記第1の方向にて重複するように配置されている
ことを特徴とする保持装置。
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