JP2022008157A - 液滴パターンを生成するためのシステムおよび方法 - Google Patents
液滴パターンを生成するためのシステムおよび方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022008157A JP2022008157A JP2021096736A JP2021096736A JP2022008157A JP 2022008157 A JP2022008157 A JP 2022008157A JP 2021096736 A JP2021096736 A JP 2021096736A JP 2021096736 A JP2021096736 A JP 2021096736A JP 2022008157 A JP2022008157 A JP 2022008157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- regions
- child
- droplet
- volume
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7042—Alignment for lithographic apparatus using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping or imprinting
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
- B29C2059/023—Microembossing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】装置、システムおよび方法は、(a)矩形領域にわたる材料の体積の空間的な分布を表すフィールド材料マップを受信し、(b)前記矩形領域を、分割軸に沿って、材料体積がほぼ等しい2つの矩形子領域に分割し、(c)各矩形子領域の前記材料体積が特定体積の範囲内にあるかどうかを判定し、(d)前記特定体積の前記範囲内にない各矩形子領域について(b)を実行し、この際に、各矩形子領域を前記矩形領域として、前記矩形子領域を生成するために用いられた前記分割軸に対して90度回転させた分割軸に沿って分割を行い、(e)全ての矩形子領域が(c)の基準を満たすまで(b)~(d)を繰り返し、(f)(c)の前記基準を満たす各矩形子領域の中に1以上の液滴位置を含む液滴パターンを出力する。
【選択図】図4
Description
パターニング表面112は、基板102上の成形可能材料の液滴124から形成されるパターン化層125のレリーフパターンの基礎(例えば、反転)を形成するパターンを定義する。いくつかの実施形態では、パターニング表面112にはフィーチャがなく、このようなケースでは平坦な表面が基板102上の成形可能材料から形成される。いくつかの実施形態(例えば、インクジェットベースの適応平坦化を実行する実施形態)では、パターニング表面112にはフィーチャがなく、基板102と実質的に同じ大きさであり、このようなケースでは、平坦な表面が基板102全体にわたって成形可能材料から形成される。
<アルゴリズム>
Input: region,drop volume, m, field
Output: zero ortwo smaller regions resulting from a split, the region is recursively splituntil the total material volume of the region is equal to m*drop volume
If region type ishorizontal, then split_type ← vertical
If region type isvertical, then split_type ← horizontal
Marginal_distribution ←MarginalDistribution(split_type,field,xmin,xmax,ymin,ymax)
total_region_volume <←Sum(marginal_distribution)
if(total_region_volume < m*drop_volume)
return zero regions
half_region_volume ←total_region_volume/2
cumulative_sum ← 0.0
split_index = 0;
iterate over i suchthat i runs from xmin (ymin) to xmax (ymax) for horizontal (vertical) regions
cumulative_sum ←cumulative_sum + marginal_distribution[i]
if cumulative_sum > half_region_volume
split_index ← xmin (ymin)+ i + 1 for horizontal (vertical) regions
break out of the loop
// get the center ofthe field cell at half the distribution
split_location =field->CellStart(child_dimension,split_index);
low_region.type ← split_type
high_region.type ← split_type
low_child.xmin = xmin
low_child.xmax = xmax
low_child.ymin = ymin
low_child.ymax = ymax
high_child.xmin = xmin
high_child.xmax = xmax
high_child.ymin = ymin
high_child.ymax = ymax
if split_type isvertical then:
low_child.xmax ← split_index
high_child.xmin ← split_index
if split_type ishorizontal then:
low_child.ymax ← split_index
high_child.ymin ← split_index
SplitRegion(low_child,drop volume, m, field)
SplitRegion(high_child,drop volume, m, field)
return low_child,high_child
このアルゴリズムでは、水平領域は、それより大きな領域を水平方向に分割することによって生成された領域であり、垂直領域は、それより大きな領域を垂直方向に分割することによって生成された領域である。各領域は、水平(xmin,xmax)方向及び垂直(ymin,ymax)方向の両方において、それに含まれる画素の開始インデックス及び終了インデックスを格納する。このアルゴリズムはMarginalDistributionを呼び出し、これは水平領域の画素の列の数に等しい長さを有するアレイを返し、アレイ内のすべてのエントリは対応する列に沿った画素材料体積の合計を有するか、または垂直領域の画素の行の数に等しい長さを有するアレイを返し、アレイ内のすべてのエントリは、対応する行に沿った画素材料体積の合計を有する。最後に、各領域には、分割される2つの領域(low_childとhigh_child)へのポインタが格納される。
その後、フローはブロックB1260で終了する。
また、液滴パターン生成装置1335のハードウエア・コンポーネントは、1以上のバスまたは他の電気接続を介して通信する。バスには、ユニバーサルシリアルバス(USB)、IEEE1394 バス、PCI(Peripheral成分相互接続)バス、PCIe(Peripheral成分相互接続Express)バス、AGP(Accelerated GraphicsPort)バス、SATA(Serial AT Attachment)バス、SCSI(Smallコンピュータシステムインタフェース)バスなどがある。
したがって、リソグラフィ制御モジュール1334Fを含む液滴パターン生成装置1335のいくつかの実施形態は、ナノインプリント・リソグラフィ制御装置としても動作することができる。
Claims (20)
- (a)矩形領域にわたる材料の体積の空間的な分布を表すフィールド材料マップを受信する工程と、
(b)前記矩形領域を、分割軸に沿って、材料体積はほぼ等しい2つの矩形子領域に分割する工程と、
(c)各矩形子領域の前記材料体積が特定体積の範囲内にあるかどうかを判定する工程と、
(d)前記特定体積の前記範囲内にない各矩形子領域について(b)を実行する工程であって、この際に、各矩形子領域を前記矩形領域として、前記矩形子領域を生成するために用いられた前記分割軸に対して90度回転させた分割軸に沿って分割を行う、工程と、
(e)全ての矩形子領域が(c)の基準を満たすまで(b)~(d)を繰り返す工程と、
(f)(c)の前記基準を満たす各矩形子領域の中に1以上の液滴位置を含む液滴パターンを出力する工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記液滴パターンは、(c)の前記基準を満たす各矩形子領域の中に2以上の液滴位置を含み、各矩形小領域の中の2以上の液滴位置のそれぞれの向きは、テンプレートおよび基板のうちの1以上の方向性を考慮に入れる、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記フィールド材料マップは、複数のタイルを含み、各タイルはそれぞれの材料体積を有し、各タイルは、液滴の半径の10分の1の幅を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記特定体積は、前記液滴体積の整数倍である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 各領域のめいめいの中心がめいめいの液滴位置を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記矩形領域を分割軸に沿って2つの矩形子領域に分割する工程は、前記矩形領域内の前記材料体積の周辺合計を計算する工程を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記液滴パターンに従って基板に成形可能材料を供給する工程と、
テンプレートを用いて前記基板上の前記成形可能材料をインプリントする工程と、
前記成形可能材料がインプリントされた前記基板を処理することによって物品を製造する工程と、
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 装置であって、
1以上のコンピュータ可読媒体と、
前記1以上のコンピュータ可読媒体と通信する1以上のプロセッサと、を備え、
前記1以上のプロセッサおよび前記1以上のコンピュータ可読媒体は、前記装置に、
フィールド材料マップを取得すること、
前記フィールド材料マップ内の領域を2つの子領域に分割すること、
前記2つの子領域の各々の材料体積が閾値体積の範囲内にないと判断すること、
前記2つの領域の各々の前記材料体積が前記閾値体積の前記範囲内にないとの判断に応答して、
前記2つの子領域の各々を2つの追加の子領域に分割し、
前記追加の子領域の各々の材料体積が前記閾値体積の前記範囲内にあると判断し、
前記追加の子領域の各々の前記材料体積が前記閾値体積の前記範囲内にあるとの判断に応答して、前記追加の子領域の各々に1以上の液滴位置を含む液滴パターンを生成すること、
を実行させるように構成されていることを特徴とする装置。 - 前記液滴パターンは、前記追加の子領域の各々に、等しい個数の液滴位置を含む、ことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記1以上のプロセッサおよび前記1以上のコンピュータ可読媒体は、前記装置に更に、より大きな領域を前記領域と別の領域とに分割することによって前記フィールド材料マップ内の前記領域を生成することを実行させるように構成されている、ことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記追加の子領域の各々の前記材料体積は、互いに等しいか、互いにほぼ等しい、ことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記1以上のプロセッサおよび前記1以上のコンピュータ可読媒体は、前記装置に更に、液滴体積を取得させるように構成され、前記追加の子領域の各々の前記材料体積は、前記液滴体積の整数倍に等しいか、ほぼ等しい、ことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記2つの子領域の各々を前記2つの追加の子領域に分割するために、前記1以上のプロセッサおよび前記1以上のコンピュータ可読媒体は、前記装置に更に、前記2つの子領域の前記材料体積の周辺合計を計算させるように構成されている、ことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記フィールド材料マップ内の前記領域を前記2つの子領域に分割するために、前記1以上のプロセッサおよび前記1以上のコンピュータ可読媒体は、前記装置に更に、前記フィールド材料マップ内の前記領域を第1軸に沿って前記2つの子領域に分割させるように構成され、
前記2つの子領域の各々を前記2つの追加の子領域に分割するために、前記1以上のプロセッサおよび前記1以上のコンピュータ可読媒体は、前記装置に更に、前記2つの子領域の各々を、前記第1軸に垂直な第2軸に沿って前記2つの追加の子領域に分割させるように構成されている、ことを特徴とする請求項8に記載の装置。 - 1以上の演算装置によって実行されるときに、前記1以上の演算装置に、
フィールド材料マップを取得する工程と、
前記フィールド材料マップを2つの領域に分割する工程と、
前記2つの領域をより多くの領域に再帰的に分割する工程であって、各再帰的分割により、親領域でもない各子領域のそれぞれの材料体積が特定体積の範囲内になるまで、それぞれの親領域から2つの子領域を生成する工程と、
親領域でもない子領域のそれぞれに1以上の液滴位置を含む液滴パターンを生成する工程と、
を含む動作を実行させる命令を格納した1以上のコンピュータ可読記憶媒体。 - 前記動作は更に、液滴体積を取得する工程を含み、
前記特定体積は、前記液滴体積の整数倍である、ことを特徴とする請求項15に記載の1以上のコンピュータ可読記憶媒体。 - 前記2つの領域をより多くの領域に再帰的に分割することは、前記2つの領域における材料体積の周辺合計を計算することを含む、ことを特徴とする請求項15に記載の1以上のコンピュータ可読記憶媒体。
- 少なくともいくつかの領域は、子領域および親領域の両方である、ことを特徴とする請求項15に記載の1以上のコンピュータ可読記憶媒体。
- 前記液滴パターンは、親領域でもない前記子領域の各々に2つ以上の液滴位置を含み、各子領域における前記2つ以上の液滴位置は等方性である、ことを特徴とする請求項15に記載の1以上のコンピュータ可読記憶媒体。
- 前記液滴パターンは、親領域でもない前記子領域の各々に2つ以上の液滴位置を含み、各子領域における前記2つ以上の液滴位置は異方性である、ことを特徴とする請求項15に記載の1以上のコンピュータ可読記憶媒体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/912,495 | 2020-06-25 | ||
US16/912,495 US11474441B2 (en) | 2020-06-25 | 2020-06-25 | Systems and methods for generating drop patterns |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022008157A true JP2022008157A (ja) | 2022-01-13 |
JP7223062B2 JP7223062B2 (ja) | 2023-02-15 |
Family
ID=79032596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021096736A Active JP7223062B2 (ja) | 2020-06-25 | 2021-06-09 | 液滴パターンを生成するためのシステムおよび方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11474441B2 (ja) |
JP (1) | JP7223062B2 (ja) |
KR (1) | KR20220000369A (ja) |
TW (1) | TW202200486A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11556055B2 (en) * | 2020-06-19 | 2023-01-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Systems and methods for generating drop patterns |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001293851A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-23 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録方法、及びインクジェット式記録装置 |
JP2008193061A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-08-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2012004354A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Canon Inc | インプリント方法及びインプリント装置、サンプルショット抽出方法、並びにそれを用いた物品の製造方法 |
JP2015233101A (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6936194B2 (en) | 2002-09-05 | 2005-08-30 | Molecular Imprints, Inc. | Functional patterning material for imprint lithography processes |
US8349241B2 (en) | 2002-10-04 | 2013-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability |
US20040065252A1 (en) | 2002-10-04 | 2004-04-08 | Sreenivasan Sidlgata V. | Method of forming a layer on a substrate to facilitate fabrication of metrology standards |
US8142850B2 (en) | 2006-04-03 | 2012-03-27 | Molecular Imprints, Inc. | Patterning a plurality of fields on a substrate to compensate for differing evaporation times |
JP4819577B2 (ja) | 2006-05-31 | 2011-11-24 | キヤノン株式会社 | パターン転写方法およびパターン転写装置 |
US8119052B2 (en) | 2007-11-02 | 2012-02-21 | Molecular Imprints, Inc. | Drop pattern generation for imprint lithography |
US20100096470A1 (en) | 2008-10-17 | 2010-04-22 | Molecular Imprints, Inc. | Drop volume reduction |
US8512797B2 (en) | 2008-10-21 | 2013-08-20 | Molecular Imprints, Inc. | Drop pattern generation with edge weighting |
US8586126B2 (en) | 2008-10-21 | 2013-11-19 | Molecular Imprints, Inc. | Robust optimization to generate drop patterns in imprint lithography which are tolerant of variations in drop volume and drop placement |
JP5462903B2 (ja) | 2012-03-23 | 2014-04-02 | 株式会社東芝 | 滴状体配置方法、パターン形成方法、滴状体配置プログラム、滴状体配置装置、およびテンプレートのパターンの設計方法 |
WO2015006695A1 (en) | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Canon Nanotechnologies, Inc. | Drop pattern generation for imprint lithography with directionally-patterned templates |
JP6262015B2 (ja) | 2014-02-17 | 2018-01-17 | 東芝メモリ株式会社 | レジスト配置方法およびレジスト配置プログラム |
US10259164B2 (en) | 2016-06-22 | 2019-04-16 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus for 3D printing of point cloud data |
JP2018121004A (ja) | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 東芝メモリ株式会社 | パターン形成方法、インプリント装置およびドロップレシピ調整プログラム |
US11209730B2 (en) * | 2019-03-14 | 2021-12-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods of generating drop patterns, systems for shaping films with the drop pattern, and methods of manufacturing an article with the drop pattern |
-
2020
- 2020-06-25 US US16/912,495 patent/US11474441B2/en active Active
-
2021
- 2021-05-17 TW TW110117686A patent/TW202200486A/zh unknown
- 2021-06-09 JP JP2021096736A patent/JP7223062B2/ja active Active
- 2021-06-23 KR KR1020210081374A patent/KR20220000369A/ko active Search and Examination
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001293851A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-23 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録方法、及びインクジェット式記録装置 |
JP2008193061A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-08-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2012004354A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Canon Inc | インプリント方法及びインプリント装置、サンプルショット抽出方法、並びにそれを用いた物品の製造方法 |
JP2015233101A (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210405547A1 (en) | 2021-12-30 |
JP7223062B2 (ja) | 2023-02-15 |
KR20220000369A (ko) | 2022-01-03 |
TW202200486A (zh) | 2022-01-01 |
US11474441B2 (en) | 2022-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7691313B2 (en) | Method for expelling gas positioned between a substrate and a mold | |
US10585350B2 (en) | Microlithographic fabrication of structures | |
KR100674223B1 (ko) | 임프린트 리소그래피 | |
KR101293059B1 (ko) | 기판과 몰드 사이에 위치되는 기체를 축출하기 위한 방법 | |
JP5084823B2 (ja) | 基板上の複数のフィールドをパターニングすること | |
CN104221127B (zh) | 用于压印光刻的无缝大面积主模板的制造 | |
TWI439328B (zh) | 具邊緣加權之液滴圖案產生技術 | |
KR102241025B1 (ko) | 임프린트 리소그래피 주형 및 제로-갭 임프린팅 방법 | |
JP6538695B2 (ja) | パーシャルフィールドインプリントのための非対称的なテンプレート形状の調節 | |
KR20080114678A (ko) | 임프린트 리소그래피 시스템 | |
US20090014917A1 (en) | Drop Pattern Generation for Imprint Lithography | |
TW201144088A (en) | Pattern transfer method and apparatus | |
CN104636016A (zh) | 触屏传感器 | |
JP7223062B2 (ja) | 液滴パターンを生成するためのシステムおよび方法 | |
JP2019537271A (ja) | インプリントリソグラフィプロセスにおける光学層の構成 | |
KR102247865B1 (ko) | 임프린트 리소그래피를 위한 유체 액적 방법 및 장치 | |
JP2023501765A (ja) | ウェハプロセス、物品を製造する装置および方法 | |
US10634993B2 (en) | Fluid droplet methodology and apparatus for imprint lithography | |
US11215921B2 (en) | Residual layer thickness compensation in nano-fabrication by modified drop pattern | |
US11567414B2 (en) | Devices, systems, and methods for the hybrid generation of drop patterns | |
Hiroshima et al. | Throughput of ultraviolet nanoimprint in pentafluoropropane using spin coat films under thin residual layer conditions | |
US20200073232A1 (en) | System and Method for Illuminating Edges of an Imprint Field with a Gradient Dosage | |
US11556055B2 (en) | Systems and methods for generating drop patterns | |
US20230120053A1 (en) | Nanoimprint Lithography Template with Peripheral Pockets, System of Using the Template, and Method of Using the Template | |
US10304690B2 (en) | Fluid dispense methodology and apparatus for imprint lithography |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230203 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7223062 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |