JP2021507459A - 運動量分解型光電子分光装置および運動量分解型光電子分光法 - Google Patents
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Abstract
Description
10−10hPaまで真空化可能な真空チャンバにおいて、電子放出試料を起点として光軸の方向に、電子放出試料および集束システムが相前後して配置されている。
容器VG=0V;
第1の円筒形V1=−16.8V;
第2の円筒形V2=−16.65V;
検出器表面VD=−17V
を印加する。
フェルミエネルギを下回るエネルギ(例えば16.98eV)を有する電子の運動量分布を記録するために、すべてのマイナスの電圧を比例して減少させる(VG=0V、V1=−16.78V、V2=−16.63V、VD=−16.98V)。
Claims (19)
- 運動量分解型光電子分光装置であって、
前記運動量分解型光電子分光装置には、光軸の方向に相前後して、少なくとも真空中に配置されている複数の構成要素が含まれており、前記構成要素はそれぞれ、少なくとも1つの電子放出試料および集束システムであり、
前記集束システムは、少なくとも1つの電子レンズと少なくとも1つの検出器とから構成されており、
前記電子レンズは、前記光軸の方向に相前後しかつ互いに特定の間隔で配置されている3つの円筒形構成要素から構成されており、
第1の前記円筒形構成要素の電位はゼロであり、かつ後続して配置されている2つの前記円筒形構成要素の電位は非ゼロであり、
2つの前記円筒形構成要素は、同じ電位を有さず、
前記集束システムにより、それぞれ実質的に同じ運動エネルギを有する電子を集束して検出し、前記電子のうち、同じ運動量で前記電子放出試料を出た電子が、前記同じ運動エネルギについての、前記集束システムの焦平面の実質的に一点に集束され、
前記検出器は、前記集束システムの前記焦平面に配置されている1つ以上の空間分解型検出器であり、
前記集束システムでは、前記電子レンズの前記円筒形構成要素および/または前記検出器に、変化させた電圧を印加することにより、集束対象でありかつ検出対象の前記電子のフェルミエネルギまでの前記運動エネルギの下限を設定可能である、
運動量分解型光電子分光装置。 - 前記構成要素は、少なくとも測定中に高真空または超高真空状態にあるチャンバに配置されている、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 前記電子放出試料は、検査対象の材料から構成されている、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 前記集束システムの前記電子レンズにより、電場が生成され、前記電場により、電子の特定の運動エネルギについて焦平面が生成され、前記焦平面では、特定かつ同じ運動エネルギおよび同じ運動量を有する前記電子の集束が実現される、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 前記集束システムの前記電子レンズは、容器から構成されており、前記容器は、円筒形状の入口開口部を有しかつ前記容器内には別の2つの円筒形構成要素が相前後して配置されている、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 少なくとも1つの前記検出器が、前記電子レンズの前記焦平面にマイクロチャネルプレートとして配置されている、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 1つ以上の前記検出器は、前記容器内で前記光軸に対して横方向に、3つの前記円筒形構成要素の後ろに配置されている、請求項6記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 前記検出器の前にメッシュが配置されており、前記メッシュは、有利には前記容器にも、かつ/または有利には前記電子レンズの前記焦平面にも配置されている、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 前記電子レンズおよび/または前記電子レンズの前記焦平面における前記検出器は、電圧を印加することにより、集束対象でありかつ検出対象である前記電子の前記運動エネルギの検出可能性が、変更できるように構成されている、請求項1記載の運動量分解型光電子分光装置。
- 運動量分解型光電子分光法であって、
電子放出試料から電子を放出させ、集束システムを通過させて案内し、
前記集束システムによって電場を生成し、前記電場により、特定の運動エネルギに対応付けられる前記集束システムの焦平面において、所望の運動エネルギからフェルミエネルギまでの電子の集束を実現し、
前記所望の運動エネルギおよび実質的に同じ運動量を有するすべての電子、すなわち前記電子放出試料からの実質的に同じ出射方向のすべての電子を、前記集束システムの前記焦平面における検出器の実質的に一点に集束して検出する、
運動量分解型光電子分光法。 - シンクロトロン放射光、レーザビーム、またはヘリウムランプのような別のビーム源のビームの形態の光子ビームを用いて、前記電子放出試料の表面から電子を放出させ、さらに有利には前記光子ビームは、単色の光子ビームである、請求項10記載の方法。
- 実質的にフェルミエネルギを有する電子だけを前記集束システムによって集束して検出する、請求項10記載の方法。
- 前記電子レンズおよび/または前記集束システムの前記焦平面における前記検出器に、変化させた電圧を印加することにより、前記集束対象の前記電子のフェルミエネルギまでの所望の前記運動エネルギを設定する、請求項10記載の方法。
- 前記集束システムにより、検出対象の電子の所望の前記運動エネルギを下回る運動エネルギを有する実質的にすべての電子を前記検出器の前で減速し、これによって前記電子が検出されないようにする、請求項10記載の方法。
- 前記集束システムにより、検出対象の前記電子のフェルミエネルギまでの所望の前記運動エネルギを有する実質的にすべての電子を、前記検出器の前で加速して検出する、請求項10記載の方法。
- 前記電子レンズの前記焦平面における前記検出器の前のメッシュを用いて、前記フェルミエネルギまでの所望の前記運動エネルギを有する検出対象の前記電子の加速を実現する、請求項15記載の方法。
- フェルミエネルギを下回る所望の運動エネルギにおいて、電子の運動量分布を特定するために、フェルミエネルギまでの所望の運動エネルギを有する電子の集束を実現して運動量分布を特定し、
引き続いて、フェルミエネルギまでのより高い運動エネルギを有する電子の集束を実現して運動量分布を特定し、
引き続いて、所望の前記運動エネルギにおける前記運動量分布から、より高いエネルギにおける前記運動量分布を取り除く、
請求項10記載の方法。 - 放出された前記電子の前記運動エネルギに依存して、前記電子の前記運動量分布を画像表示として特定する、請求項10記載の方法。
- 放出された前記電子の前記運動量分布の特定した値から、前記電子のエネルギに依存して、前記電子放出試料の物性についての情報を導出する、請求項10記載の方法。
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