JP2021501913A - 試料を走査するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
12,12’ 照明ドット
14 走査線
16 走査ステップ
18 走査スィープ
20 照明ドットのグループ
40 予め設定された領域
41,41’ 走査された領域
42,42’ 走査された領域の縁部
44 走査された領域の部分
50 顕微鏡
52 制御ユニット
54 ダイクロイックミラー
56 偏向ミラー
60 走査装置
62,78 光学素子
64 偏向素子
70 照明ユニット
72 光源
74 照明光束
76 照明光束を分割する装置
80 検出ユニット
80’ ピンホール検出ユニット
82 カメラセンサ
84 バンドパスフィルタ
86 多光子ブロック
87 ピンホールアレイ
88 ドット検出器
89 ピンホール
90 レンズ光学系
100 試料
P 両矢印
Claims (17)
- 試料(100)を走査するための方法であって、
少なくとも2つの照明ドット(12)は、ドットパターン(10)の形成のために生成され、前記ドットパターン(10)は、調整可能な数の前記照明ドット(12)を有しており、
任意に選択可能な少なくとも1つのパラメータは、前記ドットパターン(10)を定めるために事前設定されているかまたは調整され、
前記任意に選択可能なパラメータによって定められた前記ドットパターン(10)は、前記試料(100)の予め設定された少なくとも1つの領域(40)を走査するために、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)に割り当てられた走査線(14)を生成するための第1の方向と、前記生成された走査線(14)にそれぞれ後続する走査線(14)を生成するための第2の方向と、に沿って移動し、前記第2の方向の方向における前記ドットパターンの移動は、同じサイズの走査ステップ(16)で、または一定の速度で行われ、
前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)は、前記第2の方向に沿った線上に配置されていることを特徴とする、
方法。 - 前記第1の方向に沿った前記ドットパターン(10)の移動の際に、前記予め設定された領域(40)は、連続的にまたは段階的に走査される、
請求項1記載の方法。 - 前記第2の方向に沿った前記ドットパターン(10)の移動の際に、前記予め設定された領域(40)は、段階的にまたは連続的に走査され、前記段階的または連続的な走査の際に、前記ドットパターン(10)は、1つの走査ステップ(16)において前記第2の方向に沿って少なくとも1つの走査線(14)だけ移動する、
請求項1または2記載の方法。 - 前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)は、等距離に配置されているか、または前記照明ドット(12)の少なくとも2つのグループ(20)を形成し、前記グループ(20)の各々の前記照明ドット(12)は、等距離に配置されている、
請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。 - 前記任意に選択可能な少なくとも1つのパラメータとして、前記走査線(14)において定められる前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)間の距離および/または前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)のグループ(20)の数が調整される、
請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。 - 前記任意に選択可能な少なくとも1つのパラメータとして、前記走査線(14)において定められる前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)間の距離が調整され、前記ドットパターン(10)は、前記予め設定された領域(40)を走査するために、少なくとも2つの走査スィープ(18)において前記第1および第2の方向に沿って移動する、
請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。 - 前記走査スィープ(18)の各々において、前記予め設定された領域(40)の一部が走査され、前記予め設定された領域(40)の順次連続する前記走査スィープ(18)で走査された部分は、それぞれ、前記第2の方向に沿って少なくとも1つの走査線(14)だけ相互にオフセットされている、
請求項6記載の方法。 - 前記走査スィープ(18)の各々において、前記ドットパターン(10)が1つの走査ステップ(16)において、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の数と、前記走査線(14)において定められる前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)間の距離と、の積に等しい、前記走査線(14)の数だけ前記第2の方向に沿って移動することにより、前記予め設定された領域(40)の段階的な走査が前記第2の方向に沿って行われる、
請求項6または7記載の方法。 - 前記任意に選択可能な少なくとも1つのパラメータとして、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)のグループ(20)の数が調整され、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の前記グループ(20)の調整された数は、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の数の約数であり、前記グループ(20)の各々の照明ドット(12)は、同じ数を有する、
請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。 - 前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の前記グループ(20)の唯一つに割り当てられている、前記走査線(14)において定められる前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)間の距離は、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の前記グループ(20)の調整された数に等しい、
請求項9記載の方法。 - 前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の順次連続するグループ(20)に割り当てられている、前記走査線(14)において定められる前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)間の距離は、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の前記グループ(20)の調整された数と1との合計に等しい、
請求項9または10記載の方法。 - 唯一の走査スィープにおいて、前記ドットパターン(10)が1つの走査ステップ(16)において、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)の数に等しい、走査線(14)の数だけ前記第2の方向に沿って移動することにより、前記予め設定された領域(40)の段階的な走査が前記第2の方向に沿って行われる、
請求項9から11までのいずれか1項記載の方法。 - 前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)は、音響光学偏向器(AOD)を用いて、またはビームスプリッタを用いて照明光束(74)から生成される、
請求項1から12までのいずれか1項記載の方法。 - 前記第2の方向に沿った前記ドットパターン(10)の移動の際に、前記予め設定された領域(40)は、段階的に走査され、後続の走査ステップ(16)では、前記ドットパターン(10)は、前記第2の方向に、および、前記第2の方向とは逆向きに移動する、
請求項1から13までのいずれか1項記載の方法。 - 試料(100)を走査するための装置(60)であって、
前記装置(60)は、ドットパターン(10)を形成するための少なくとも2つの照明ドット(12)を生成する照明ユニット(70)を備え、前記ドットパターン(10)は、調整可能な数の照明ドット(12)を有し、
前記装置(60)は、前記照明ユニット(70)を制御するための制御ユニット(52)を含み、前記制御ユニット(52)は、前記ドットパターン(10)を定めるための任意に選択可能な少なくとも1つのパラメータが事前設定されているかまたは調整されるように前記照明ユニット(70)を制御し、
前記照明ユニット(70)は、前記任意に選択可能なパラメータによって定められた前記ドットパターン(10)を、前記試料(100)の予め設定された少なくとも1つの領域を走査するために、前記ドットパターン(10)の前記照明ドット(12)に割り当てられた走査線(14)を生成するための第1の方向と、生成された前記走査線(14)にそれぞれ後続する走査線(14)を生成するための第2の方向と、に沿って移動させることを特徴とする、
装置(60)。 - 前記照明ユニット(70)は、少なくとも1つの音響光学偏向器(AOD)または少なくとも1つのビームスプリッタを含む、
請求項15記載の装置(60)。 - 請求項15または16記載の装置(60)を備えた顕微鏡(50)。
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