JP2021185123A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 第１の部材を準備するステップと、
   第２の部材を準備するステップと、
   該第１の部材と該第２の部材とのうちの少なくとも一方に少なくとも１つの溝を形成するステップと、
   該第１の部材と該第２の部材との間で該溝にわたって固体アルミニウム材料のストリップを配置するステップと、
   該第１の部材および該第２の部材を共に該固体アルミニウム材料に接触させて、アセンブリを形成するステップと、
   該固体アルミニウム材料の融点を超える温度で該アセンブリに力および熱を加えて、該固体アルミニウム材料が該溝に流入するようにするステップと、
   該第１の部材を該第２の部材に、隣接する面に沿って結合するように、該溝が形成されている部材の濡れ温度以上で該アセンブリに追加の熱を加えるステップと、
   該アセンブリを冷却するステップと、
   を有し、
   該隣接する面に沿った該第１の部材と該第２の部材との間の間隔が５μｍ未満である、結合方法。
2. 該第１および第２の部材を準備するステップは、該第１および第２の部材の該隣接する面の表面粗さを５μｍから１００ナノメートルの間とすることを含む、請求項１に記載の方法。
3. 該第１部材および該第２の部材が、窒化アルミニウム（ＡＩＮ）、アルミナ、ジルコニア、及び炭化ケイ素（ＳｉＣ）からなる群から選択される、請求項１に記載の方法。
4. 該第１の部材と該第２の部材のそれぞれが窒化アルミニウム（ＡＩＮ）である、請求項１に記載の方法。
5. 該濡れ温度が８５０℃を超える、請求項４に記載の方法。
6. 該固体アルミニウム材料のストリップの純度が約９７％以上であり、該アセンブリは約８００℃を超える温度にまで加熱され、該アセンブリに加えられる該力は約０，１ＭＰａから６．５ＭＰａの間である、請求項１に記載の方法。
7. 該アセンブリに追加の熱を加えるステップが、該アセンブリを約１０ ^－３ Ｔｏｒｒの真空条件下で１１００℃にまで加熱することを含む、請求項１に記載の方法。
8. 該アセンブリに追加の熱を加えるステップが、該アセンブリを約１０ ^－６ Ｔｏｒｒの真空条件下で８００℃にまで加熱することを含む、請求項１に記載の方法。
9. 該固体アルミニウム材料がアルミホイルである、請求項１に記載の方法。
10. 該固体アルミニウム材料が物理蒸着（ＰＶＤ）プロセスによって配置される、請求項１に記載の方法。
11. 該少なくとも１つの溝は深さと幅を有し、該溝の該幅は該溝の該深さの５倍から２０倍である、請求項１に記載の方法。
12. 該第１の部材と該第２の部材のそれぞれが平板である、請求項１に記載の方法。
13. 該第１の部材が平板であり、該第２の部材が中空シャフトである、請求項１に記載の方法。
14. ２ｍｍ未満の距離だけ離間された複数の溝を形成するステップをさらに有する、請求項１に記載の方法。