JP2021181900A - 波面計測装置、波面計測方法、並びに、光学系および光学素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
80、81 偏向素子(偏向部)
90、91 波面センサ(受光部)
100 コンピュータ(算出部)
Claims (12)
- 光源から出射して被検物を介した光を偏向し、前記光の第1の方向における光束幅を変化させる偏向部と、
前記偏向部からの前記光を受光する受光部と、
前記受光部の出力と、前記第1の方向および該第1の方向とは異なる第2の方向のそれぞれに関して規格化した関数とを用いて、前記偏向部に入射する前の前記光の波面を算出する算出部と、を有することを特徴とする波面計測装置。 - 前記第2の方向は、前記第1の方向と垂直な方向であることを特徴とする請求項1に記載の波面計測装置。
- 前記受光部は、マイクロレンズアレイを有することを特徴する請求項1または2に記載の波面計測装置。
- 前記受光部は、ハルトマンマスクを有することを特徴する請求項1または2に記載の波面計測装置。
- 前記受光部は、イメージセンサであることを特徴とする請求項1または2に記載の波面計測装置。
- 前記偏向部に入射する前の前記光は、前記第1の方向における前記光束幅が前記第2の方向における前記光束幅よりも小さく、
前記偏向部は、前記光の前記第1の方向における前記光束幅を拡大することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の波面計測装置。 - 前記偏向部に入射する前の前記光は、前記第1の方向における前記光束幅が前記第2の方向における前記光束幅よりも大きく、
前記偏向部は、前記光の前記第1の方向における前記光束幅を縮小することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の波面計測装置。 - 前記受光部の前記第1の方向における受光面の幅は、前記第2の方向における前記幅よりも小さく、
前記偏向部は、前記光の前記第1の方向における前記光束幅を縮小することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の波面計測装置。 - 前記受光部の前記第1の方向における受光面の幅は、前記第2の方向における前記幅よりも大きく、
前記偏向部は、前記光の前記第1の方向における前記光束幅を拡大することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の波面計測装置。 - 偏向部を用いて、光源から出射して被検物を介した光を偏向し、前記光の第1の方向における光束幅を変化させるステップと、
受光部を用いて、前記偏向部からの前記光を受光するステップと、
前記受光部の出力と、前記第1の方向および該第1の方向とは異なる第2の方向のそれぞれに関して規格化した関数とを用いて、前記偏向部に入射する前の前記光の波面を算出するステップと、を有することを特徴とする波面計測方法。 - 光学系の製造方法であって、
前記光学系を組み立てるステップと、
偏向部を用いて、光源から出射して前記光学系を介した光を偏向し、前記光の第1の方向における光束幅を変化させるステップと、
受光部を用いて、前記偏向部からの前記光を受光するステップと、
前記受光部の出力と、前記第1の方向および該第1の方向とは異なる第2の方向のそれぞれに関して規格化した関数とを用いて、前記偏向部に入射する前の前記光の波面を算出するステップと、
前記波面に基づいて前記光学系の光学性能を評価するステップと、を有することを特徴とする製造方法。 - 光学素子の製造方法であって、
前記光学素子を成形するステップと、
偏向部を用いて、光源から出射して前記光学素子を介した光を偏向し、前記光の第1の方向における光束幅を変化させるステップと、
受光部を用いて、前記偏向部からの前記光を受光するステップと、
前記受光部の出力と、前記第1の方向および該第1の方向とは異なる第2の方向のそれぞれに関して規格化した関数とを用いて、前記偏向部に入射する前の前記光の波面を算出するステップと、
前記波面に基づいて前記光学素子の光学性能を評価するステップと、を有することを特徴とする製造方法。
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