JP2021170057A - 光導波路素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図6は、本発明の実施形態に係わるコンバータの一例を示す。図6に示すコンバータ1は、スロット導波路と矩形導波路との間に設けられ、スロット導波路と矩形導波路とを結合する光導波路素子として使用される。この実施例では、コンバータ1は、スロット導波路を伝搬する光を矩形導波路に導く。
光集積素子が光変調器を含む場合、マッハツェンダ干渉計を構成する上アーム光導波路および下アーム光導波路は、それぞれスロット導波路で構成されることがある。そして、光変調器を構成するスロット導波路の近傍には、例えば、図12(a)に示すように、EOポリマーが塗布される。すなわち、スロット導波路の上部クラッドの材料として、EOポリマーが使用されることがある。なお、図12に表記される「EOP」は、EOポリマーを表す。
コンバータ1を構成する光導波路(11、12)のコアの断面の形状は、例えば、図13(a)に示すように、矩形である。ただし、本発明の実施形態は、この構成に限定されるものではない。例えば、コンバータ1を構成する光導波路は、図13(b)に示すように、スラブを有するリブ導波路であってもよい。また、矩形導波路、リブ導波路などの導波路の角は、製造上生じる角の丸みを帯びていても良く、実質的にまたはほぼ直角であればよい。導波路の側壁角は基板に対して垂直となっているが、製造上生じる傾斜を持っていても良い。
入力光が基本モード成分TE0および高次モード成分TE1を含むときは、高次モード成分TE1は、離間部3において導波路12に導かれる。そして、この高次モード成分TE1は、導波路12の先端において反射し、テーパ部2に戻ってくることがある。戻ってきた光は、側壁荒れによって再度反射し信号光と干渉する恐れがある。また、変調器の前段にレーザーを使用する場合、戻り光により発振波長が不安定動作する恐れがある。
コンバータ1は、上述したように、スロット導波路と矩形導波路との間に設けられる。ただし、コンバータ1を構成する導波路(R1、R2)の幅は、必ずしもスロット導波路および/または矩形導波路の幅と同じではない。そこで、コンバータ1は、導波路の幅を変換する構成を備えてもよい。
スロット導波路がスラブを有し、コンバータ1を構成する各導波路11、12の断面の形状が矩形である場合、コンバータ1は、図16に示すように、スロット導波路とテーパ部2との間にスラブ発生部6を備えてもよい。スラブは、コアと同じ材料でレールより低く形成される。スラブ発生部6は、光の進行方向においてスラブ領域が徐々に狭くなるように形成される。すなわち、スロット導波路が形成されるX1−X1断面では、横方向にスラブが広がっている。スラブ発生部6が設けられるX2−X2断面では、X1−X1断面と比較して、スラブが形成される領域が小さくなっている。そして、テーパ部2が設けられるX3−X3断面では、スラブは形成されない。このように、スラブ発生部6において光の進行方向においてスラブ領域が徐々に狭くなるように形成されると、断熱変換が実現されるので、コンバータ1の低損失化に寄与する。
光集積素子が光変調器を含む場合、光変調器を構成する光導波路はスロット導波路で構成されることがある。この場合、スロット導波路の各コアにキャリアがドーピングされることがある。例えば、光導波路の近傍にEOポリマーが塗布される光変調器において、EOポリマーに電圧を印加するために、コアにキャリアをドーピングして電気抵抗を小さくする構成が知られている。
2 テーパ部
3 離間部
4、5 導波路幅変換部
6 スラブ発生部
11(11a、11b) 導波路
12(12a、12b) 導波路
21 光終端器
100 光集積素子
Claims (6)
- スロット導波路と矩形導波路との間に設けられる光導波路素子であって、
テーパ部と、
前記テーパ部と前記矩形導波路との間に設けられる離間部と、を備え、
前記テーパ部は、
前記スロット導波路の一方のコアと結合する第1のコアと、
前記スロット導波路の他方のコアと結合し、前記第1のコアに平行に形成された第2のコアと、を備え、
前記離間部は、
前記第1のコアおよび前記矩形導波路に結合する第3のコアと、
前記第2のコアに結合する第4のコアと、を備え、
前記スロット導波路が設けられる側の前記テーパ部の端部である第1の端部において、前記第1のコアの断面積および前記第2のコアの断面積は互いに実質的に同じであり、
前記離間部が設けられる側の前記テーパ部の端部である第2の端部において、前記第1のコアの断面積は前記第2のコアの断面積より大きく、
前記テーパ部において、前記第1のコアの断面の形状は、前記第1の端部と前記第2の端部との間で連続的に変化し、
前記離間部において、前記第3のコアと前記第4のコアとの間隔が連続的に広くなっていく
ことを特徴とする光導波路素子。 - 前記第4のコアの先端に光終端器をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。 - 前記スロット導波路の一方のコアと前記第1の端部における前記第1のコアとの間で幅が連続的に変化する導波路、及び、前記スロット導波路の他方のコアと前記第1の端部における前記第2のコアとの間で幅が連続的に変化する導波路を更に備える
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光導波路素子。 - 前記テーパ部が設けられていない側の前記離間部の端部における前記第3のコアと前記矩形導波路との間で幅が連続的に変化する導波路を更に備える
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の光導波路素子。 - 前記第1〜第2のコアの断面の形状はそれぞれ矩形であり、
前記第1の端部の近傍かつ前記第1〜第2のコアの周辺の領域に、前記第1〜第2のコアと同じ材料で前記第1〜第2のコアの高さより低いスラブを備える
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の光導波路素子。 - 前記スロット導波路のコアにはキャリアがドーピングされている
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の光導波路素子。
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