JP2021145532A - アクチュエータ、駆動装置 - Google Patents
アクチュエータ、駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021145532A JP2021145532A JP2020044464A JP2020044464A JP2021145532A JP 2021145532 A JP2021145532 A JP 2021145532A JP 2020044464 A JP2020044464 A JP 2020044464A JP 2020044464 A JP2020044464 A JP 2020044464A JP 2021145532 A JP2021145532 A JP 2021145532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- rotor
- vibration
- contact
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】コンパクトなアクチュエータを提供すること。【解決手段】ステータ2と、前記ステータ2に接触し、前記ステータ2に対して相対運動するロータ3とを備え、ステータ2は、環状体であり、該環状体は、周回方向に沿う第1面と、前記周回方向に沿い、かつ、前記第1面に直交する第2面とを有し、前記第1面、前記第2面の各々に、通電により前記各面に楕円振動を発生させる振動発生部材23が設けられており、ロータ3は、前記ステータ2に対して前記接触する部分において湾曲軌跡を描くように、前記楕円振動により生成される駆動力により前記相対運動する、アクチュエータ1である。【選択図】図1
Description
本発明は、多自由度方向に動作可能なアクチュエータ、及び、当該アクチュエータを構成するための駆動装置に関するものである。
球面等の多自由度方向に動作可能なアクチュエータとして、例えば特許文献1に記載のものがある。特許文献1に記載のアクチュエータは、軸方向を適宜の方向に選んで回転部材を回転させることができるアクチュエータを提供することを課題とし、この課題を解決する手段として、球面体(または部分球面体)からなる回転部材と、中心軸と同一方向に柱状の穴を有する多角柱部材と、前記多角柱部材の側面に設けられた振動発生部材(圧電素子)とを備える。そして、前記回転部材の球面部分が、前記柱状の穴を覆うように前記多角柱部材の端部に設けられ、前記振動発生部材が所定域の周波数で駆動されることにより、前記回転部材は、回転軸が任意の方向の軸まわりのトルクを前記多角柱部材の端部から受けるものとされている。
ところで、この特許文献1に記載のアクチュエータでは、多角柱部材の各側面に振動発生部材が設けられており、これらの振動発生部材(圧電素子)のうち、少なくとも1つの素子を所定域の周波数で駆動させることで、回転部材が所定方向の軸を中心に回転する。例えば、特許文献1における図1(A)の圧電素子(当該図面の符号「132」)の場合、X軸及びZ軸それぞれの方向に沿って伸縮する。この圧電素子の伸縮動作により、回転部材を所定方向に回転する駆動力を生成する。このため、回転部材に十分にトルクを与えるためには、多角柱部材の側面の面積(すなわち、幅方向と高さ方向双方の寸法)を確保する必要があった。よって、特に多角柱部材の高さ方向寸法を短縮することが難しいので、アクチュエータのコンパクト化が困難であった。
そこで本発明は、コンパクトなアクチュエータ及び駆動装置を提供することを課題とする。
本発明は、固定部と、前記固定部に接触し、前記固定部に対して相対運動する可動部とを備え、前記固定部、前記可動部のうち一方は、環状体であり、該環状体は、周回方向に沿う第1面と、前記周回方向に沿い、かつ、前記第1面に直交する第2面とを有し、前記第1面、前記第2面の各々に、通電により前記各面に楕円振動を発生させる振動発生部材が設けられており、前記固定部、前記可動部のうち他方は、前記一方に対して前記接触する部分において湾曲軌跡を描くように、前記楕円振動により生成される駆動力により前記相対運動する、アクチュエータである。
ここで、「楕円振動により生成される駆動力」とは、固定部と可動部が直接的に接触する際に生じる摩擦力や、固定部と可動部との間に、例えばグリス層などを介在させ、粘性力を利用して間接的に与えられる駆動力も含まれる。
この構成によれば、固定部、可動部のうち一方が環状体であって、第1面、第2面の各々に、通電により前記各面に楕円振動を発生させる振動発生部材が設けられる。これにより、前記一方をコンパクトに形成できる。
また、前記固定部、前記可動部のうち前記他方における、前記一方に前記接触する部分は球面とされていて、前記一方の前記環状体における内縁に対して前記接触するものとできる。
この構成によれば、環状体における内縁から楕円振動が伝達され、可動部が球面に沿って運動する。このため、可動部を運動させるための構成を簡単にできる。
また本発明は、周回方向に沿う第1面と、前記周回方向に沿い、かつ、前記第1面に直交する第2面とを有する環状体と、前記第1面、前記第2面の各々に、通電により前記各面に楕円振動を発生させる振動発生部材と、を有し、前記楕円振動による摩擦力により、接触した可動部を運動させる、駆動装置である。
この構成によれば、駆動装置をコンパクトに形成できる。
本発明は、固定部、可動部のうち、環状体である一方をコンパクトに形成できる。よって、コンパクトなアクチュエータ及び駆動装置を提供できる。
本発明に係るアクチュエータ1につき、一実施形態を取り上げて、構成を簡略的に示した図面とともに以下説明を行う。なお、上下方向及び水平方向の表現は、図1の状態における方向である。
本実施形態のアクチュエータ1は、図1に示すように、固定部としてのステータ2と可動部としてのロータ3とを備える。なお、最終的には適合するロータ3と組み合わされてアクチュエータ1を構成することになるが、ステータ2を駆動装置として単体で製造及び流通させることもできる。図示のように、ステータ2の上方にロータ3が載せられている。
ステータ2は、本実施形態のアクチュエータ1において、一定位置から移動しないよう不動(ただし、後述の楕円振動を発生させるための、一定位置内でのステータ2の移動、また、ばねやダンパー等の支持部に支持されたことによる支持部の変位に伴う移動は除く)とされている。図示していないが、ステータ2は前記支持部により周囲から支持されている。ステータ2は、図2に示すように、平面視における中央に上下に貫通した開口部を有する環状体である。ステータ2は、金属等の単一素材により、一体に形成されている。なお、ステータ2は、複数の部材を連結してひと固まりに形成することもできる。しかし、固有振動数の設定を容易にする観点では、一体に形成することが好ましい。
本実施形態のステータ2は、図2に示すように、平面視形状で正方形状枠体とされている。詳しくは、当該枠体の平面視における外縁形状が角のある正方形、内縁形状が角の取れた(アールのある)正方形とされている。正方形状の枠体の各枠部分の横断面形状は、図4(b)に示すように、水平方向寸法に比べて上下方向寸法が小さい、横長長方形とされている。つまりステータ2は全体として、水平方向寸法に比べて上下方向寸法が小さい扁平な形状である。ステータ2は、枠体における周回方向に沿う第1面21と、周回方向に沿い、かつ、前記第1面21に直交する第2面22とを有する。ステータ2を水平設置した場合、第1面21は水平面となり、第2面22は垂直面となる。第1面21はステータ2における上下各面21U,21Dであり、第2面22はステータ2における内外各側面である。ステータ2の内縁のうち上側の角がロータ3に対する接触縁24である。図4(b)に示すように、接触縁24の長手方向中央の接触点24Pにロータ3(球状であるロータ本体31の表面)が接触する。本実施形態でのステータ2とロータ3との接触はほぼ点接触となっており、正方形状の各辺の中央にて4か所で接触している。
第1面21、第2面22の各々に、通電により各面に楕円振動を発生させる振動発生部材が設けられている。振動発生部材は、通電により伸縮または湾曲するように変形するものであって、本実施形態では圧電素子23が用いられている。本実施形態では、図2(b)に示すように、第1面21のうち下面21Dの、長手方向中央かつ外縁寄りの領域に、前記下面21Dの長手方向に沿うように底面圧電素子23VA〜VDが貼付されている。また図2(a)(b)に示すように、第2面22のうち外面の、長手方向中央の領域に、前記外面の、長手方向に沿うように側面圧電素子23HA〜HDが貼付されている。図示していないが、各圧電素子23は、アンプ及び位相調整部に対して電気的に接続されており、位相の調整された状態で通電がなされる。
ここで、図5〜図7と共に、ステータ2の振動モードにつき説明する。なお、図5〜図7には図示の都合で符号は付していないが、ステータ2を示している。図中の実線は、ステータ2が変形していない状態を示している。以下の各振動モードにおける、正方形状枠体の各枠には水平または垂直方向への変形が繰り返される定在波が生じる。
図5は水平たわみ振動モードを示す。これは、ステータ2の対向する二辺を有する領域が、水平方向(ステータ2の面方向/外方向、内方向)で互いに逆方向にたわむような振動である。図5に矢印で示したように、対向する二辺の一方の組が内側に変形している場合、同時に、対向する二辺の他方の組が外側に変形する。この変形が、隣り合う二辺で繰り返される。
図6は垂直たわみ振動モードを示す。これは、ステータ2の対向する二辺を有する領域が、上下方向(ステータ2の厚み方向/上方向、下方向)で互いに逆方向にたわむような振動である。垂直たわみ振動モードには、図6(a)に示すように、対向する二辺を有する一組の領域が振動する第1モードと、図6(b)に示すように、図6(a)の一組とは隣り合う関係にある、対向する二辺を有する一組の領域が振動する第2モードとがある。
ここで、本実施形態のステータ2は、側面圧電素子23HA〜HDの動作による水平たわみ振動モードと、底面圧電素子23VA〜VDの動作による垂直たわみ振動モードとが、略等しい固有振動数を持つような形状とされている。このようにステータ2の形状を設定することで、側面圧電素子23HA〜HDと底面圧電素子23VA〜VDとで特別な動作をさせたり、振動に関連する特別な構成を付加したりすることなく、各振動モードを実現できる。ステータ2の形状の設定に関し、具体的に、ステータ2の大きさは基本的にロータ3の大きさによって決まる。一方、ステータ2の厚さ(上下寸法)と固有振動数とは相関関係があるので、ステータ2の大きさを変化させない場合、厚さを適宜設定することにより、水平たわみ振動モードと垂直たわみ振動モードとが略等しい固有振動数を持つようにできる。
更に、図7は高次水平たわみ振動モードを示す。これは、ステータ2の対向する二辺を有する領域が、水平方向(ステータ2の面方向/外方向、内方向)で互いに同方向にたわむような振動である。この振動は、ステータ2の対向する二辺を有する領域の、長手方向中央部(各図で正方形状枠体の各枠の幅方向に矢印を付した部分)が腹となり、それと隣り合う関係にある、対向する二辺を有する領域の、長手方向中央部(各図で正方形状枠体の各枠の長手方向に矢印を付した部分)が節となるような振動である。高次水平たわみ振動モードには、図7(a)に示すように、対向する二辺を有する一組の領域に腹がある第1モードと、図6(b)に示すように、図6(a)の一組とは隣り合う関係にある、対向する二辺を有する一組の領域に腹がある第2モードとがある。
前述した3種の振動モード各々につき、固有振動数付近の周波数で、各圧電素子23に交流電圧を印加する。水平たわみ振動モードでは、側面A圧電素子23HAと側面C圧電素子23HCとを正相で駆動させ、側面B圧電素子23HBと側面D圧電素子23HDとを逆相で駆動させる。
垂直たわみ振動モードのうち第1モードでは、底面A圧電素子23VAを正相で駆動させ、底面C圧電素子23VCを逆相で駆動させる。第2モードでは、底面B圧電素子23VBを逆相で駆動させ、底面D圧電素子23VDを正相で駆動させる。
高次水平たわみ振動モードのうち第1モードでは、側面B圧電素子23HBを正相で駆動させ、側面D圧電素子23HDを逆相で駆動させる。第2モードでは、側面A圧電素子23HAを逆相で駆動させ、側面C圧電素子23HCを正相で駆動させる。
前記各振動モードを、位相差または振幅差をもって組み合わせることにより、ロータ3を任意の軸まわりに回転させることができる。これについては後述する。
ロータ3は、ステータ2に接触し、ステータ2に対して相対運動する部分である。本実施形態のロータ3は球状(真球状)であって、中実体または中空体であるロータ本体31と、ロータ本体31から突出した突出部32とを備える。ロータ本体31はステータ2に対して運動する部分であり、突出部32はロータ本体31の動力を取り出す等できる部分である。このため、突出部32に対して動力が伝達される種々の部材を接続することができる。
ロータ3はステータ2に対して、両者が接触する部分において湾曲軌跡を描くように運動する。ロータ本体31は、ステータ2に対して、ステータ2に、前記楕円振動により生成される駆動力が伝達されるように接触している。本実施形態ではロータ3にかかる重力により、ロータ3がステータ2に接触している。なお、重力に加え、積極的に外力を加えることで、接触状態を安定させることもできる。ロータ本体31における、ステータ2に接触する部分は、一定曲率の球面とされている。そして、ステータ2の環状体における内縁に対して接触する。本実施形態では、ロータ本体31が球状(真球状)であることから、運動軌跡は一定曲率の軌跡となる。
次に、ステータ2の前記各振動モードとロータ3の回転運動との関係について説明する。前記各振動モードを、位相差または振幅差をもって組み合わせることにより、ロータ3を任意の軸まわりに回転させることができる。例えば、X軸まわりにロータ3を回転させるには、図5に示す水平たわみ振動モードと、図6(a)に示す垂直たわみ振動モード(第1モード)とを位相差90°で組み合わせて励起する。これにより,ステータ2における図示左下部分及び図示右上部分の内縁がX軸まわりの楕円軌跡を描いて振動する。
また例えば、Y軸まわりにロータ3を回転させるには、図5に示す水平たわみ振動モードと,図6(b)に示す垂直たわみ振動モード(第2モード)とを位相差90°で組み合わせて励起する。これにより、ステータ2における図示右下部分及び図示左上部分の内縁がY軸まわりの楕円軌跡を描いて振動する。
また、例えばZ軸まわりにロータ3を回転させるには、図7(a)に示す高次水平たわみ振動モードの第1モードと、図7(b)に示す第2モードとを位相差90°で組み合わせて励起する。これにより、水平面内のたわみ変形による進行波がステータ2の周回方向に生成され,ステータ2の内縁がZ軸まわりの楕円軌跡を描いて振動する。
このように前記各振動モードで振動するステータ2は、ロータ3との接触部分(接触点24P)で、X軸まわり、Y軸まわりに関しては図4(b)に輪状に描いた矢印2R1で示したような楕円振動が発生する。Z軸まわりに関して図4(c)に輪状に描いた矢印2R2で示したような楕円振動が発生する。矢印2R1,2R2の方向は接触点24Pの経時的な変位方向である。ステータ2に対してロータ3は摩擦をもって接触しているので、摩擦力がロータ3にかかって、図4(a)(b)に矢印3R1で示し、また、図4(a)(c)に矢印3R2で示すようにロータ3が回転する。このように、ステータ2の楕円振動が、摩擦力(言い換えると、ステータ2の楕円振動により生成される駆動力)によりロータ3に伝達されてロータ3が運動(回転運動)するので、ロータ3を運動させるための構成を簡単にできる。
前記各振動モードの組み合わせ方により、前述のX軸、Y軸、Z軸に限らず、例えば斜め方向に延びる軸等、中間的な方向に延びる軸まわりでロータ3を回転させることも可能である。また、ロータ3の回転速度に関しては、各圧電素子23の動作に係る振幅(つまり、各圧電素子23にかける電圧)を変更すること、また、位相差の変更により楕円振動の軌跡(楕円形状の扁平率)を変更することで調整できる。なお、ロータ3の回転トルクに関しては、前述のように、ロータ3がステータ2に接触する際に重力に加えて積極的に外力を加える場合、この外力の大小により調整できる。
以上、本実施形態のアクチュエータ1では、1個のステータ2と1個のロータ3との組み合わせで構成できるため、従来の多自由度方向に動作可能なアクチュエータ1に比べて構造を単純化できる。また、本実施形態のステータ2は扁平な形状であるためコンパクトである。そして、このステータ2をロータ3と組み合わせても格別突出する部分が発生しない。よって、全体としてコンパクトなアクチュエータ1とできる。よって、各種装置への組み込む際の、小型化の要求に十分応じられる。また、コンパクトで構成部品点数も少ないので、軽量化できる。また、ステータ2に対してロータ3は楕円振動を受ける部分で接触するだけのため、ロータ3の動作範囲が限定されにくく、全周または全周に近い動作範囲を実現できる。また、ステータ2とロータ3との間での摩擦力でロータ3が動作するので、空気中、真空中、液中を問わず使用が可能である。
以上、本発明につき一実施形態を取り上げて説明してきたが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
例えば、前記実施形態では、固定部であるステータ2に対して可動部であるロータ3が運動するよう構成されていた。しかし、前記運動は相対運動であればよい。このため、前記実施形態のロータ3と同一形状のものを固定部とし、前記実施形態のステータ2と同一形状のものを可動部とすることもできる。
また、ステータ2の形状は、前記実施形態では製造上の容易性により正方形枠状であったが、これに限られず、例えば円環状や多角形(三角形または五角形以上)環状であってもよい。また、外縁形状と内縁形状(開口部の形状)とが異なっていてもよい。
また、振動発生部材は前記実施形態では圧電素子23であった。しかしこれに限定されず、振動を発生させる種々の素子を用いることができる。また、ステータ2における振動発生部材の設置数も限定されない。
また、ステータ2において振動発生部材が設けられる面は、前記実施形態では第1面21のうち下面21D、及び、第2面22のうち外面であった。しかしこれ以外に、第1面21のうち上面21Uであってもよい。また、第2面22のうち内面であってもよい。内面であっても、ステータ2に接触するロータ3と干渉しないように振動発生部材を貼付すれば問題ない。
また、前記実施形態では、ステータ2の内縁がロータ3に接触していた。しかし、ステータ2におけるロータ3の接触箇所は、ステータ2の外縁やステータ2における枠体の内外方向での中間部であってもよい。このような場合であっても、例えばステータ2からブラケットを突出させることで、ブラケットにロータ3を接触させることができる。
また、前記実施形態では、ロータ3におけるロータ本体31は球状(真球状)であった。しかし、これに限定されず、半球状等、部分的な球状であってもよい。また、ステータ2に対する接触部分が球面のような面に限らず、線(例えばワイヤー等で形成される)であってもよく、ロータ3にステータ2に対して接触するラインが実在すればよい。また、前記実施形態と同様にロータ本体31を球状(真球状)とする場合であっても、ロータ本体31を網状体で構成された球体とすることもできる。
また、前記実施形態でのステータ2とロータ3との接触は点接触であったが、線接触や面接触であってもよい。
また、ステータ2とロータ3との上下関係も限定されない。また、前記実施形態では、ステータ2に対してロータ3の大部分は上方に位置していた。しかしこれに限定されず、ロータ3の略半分だけが上方に位置していてもよい。
また、ロータ3に突出部32を複数設けてもよい。また、突出部32を設けなくてもよい。この場合、例えばロータ本体31にカメラ等の撮像素子やセンサを直接組み込むこともできる。
また、ロータ3は、ステータ2と同様に金属製であってもよい。しかし、これに限定されず、プラスチック製やその他の素材から作製されていてもよい。
1 アクチュエータ
2 固定部、駆動装置、ステータ
21 第1面
21D 第1面(下面)
21U 第1面(上面)
22 第2面
23 振動発生部材、圧電素子
23HA〜HD 側面圧電素子
23VA〜VD 底面圧電素子
24 接触縁
24P 接触点
3 可動部、ロータ
31 ロータ本体
32 突出部
2R1,2R2 楕円振動の方向
3R1,3R2 ロータの回転方向
2 固定部、駆動装置、ステータ
21 第1面
21D 第1面(下面)
21U 第1面(上面)
22 第2面
23 振動発生部材、圧電素子
23HA〜HD 側面圧電素子
23VA〜VD 底面圧電素子
24 接触縁
24P 接触点
3 可動部、ロータ
31 ロータ本体
32 突出部
2R1,2R2 楕円振動の方向
3R1,3R2 ロータの回転方向
Claims (3)
- 固定部と、前記固定部に接触し、前記固定部に対して相対運動する可動部とを備え、
前記固定部、前記可動部のうち一方は、環状体であり、該環状体は、周回方向に沿う第1面と、前記周回方向に沿い、かつ、前記第1面に直交する第2面とを有し、
前記第1面、前記第2面の各々に、通電により前記各面に楕円振動を発生させる振動発生部材が設けられており、
前記固定部、前記可動部のうち他方は、前記一方に対して前記接触する部分において湾曲軌跡を描くように、前記楕円振動により生成される駆動力により前記相対運動する、アクチュエータ。 - 前記固定部、前記可動部のうち前記他方における、前記一方に前記接触する部分は球面とされていて、前記一方の前記環状体における内縁に対して前記接触する、請求項1に記載のアクチュエータ。
- 周回方向に沿う第1面と、前記周回方向に沿い、かつ、前記第1面に直交する第2面とを有する環状体と、
前記第1面、前記第2面の各々に、通電により前記各面に楕円振動を発生させる振動発生部材と、を有し、
前記楕円振動による摩擦力により、接触した可動部を運動させる、駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020044464A JP2021145532A (ja) | 2020-03-13 | 2020-03-13 | アクチュエータ、駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020044464A JP2021145532A (ja) | 2020-03-13 | 2020-03-13 | アクチュエータ、駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021145532A true JP2021145532A (ja) | 2021-09-24 |
Family
ID=77767458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020044464A Pending JP2021145532A (ja) | 2020-03-13 | 2020-03-13 | アクチュエータ、駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021145532A (ja) |
-
2020
- 2020-03-13 JP JP2020044464A patent/JP2021145532A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5872417A (en) | Multiple degrees of freedom vibration actuator | |
KR101108455B1 (ko) | 초음파 모터 | |
JP3129219B2 (ja) | 光スキャナ | |
JPH0510912B2 (ja) | ||
JP5211463B2 (ja) | 振動アクチュエータ | |
JP4983648B2 (ja) | 光走査装置 | |
WO2019065182A1 (ja) | 超音波センサ | |
JPH11235062A (ja) | 振動アクチュエータ駆動装置及びレンズ鏡筒 | |
JP6788493B2 (ja) | 振動波モータおよびこれを用いた装置 | |
JP4043497B2 (ja) | 超音波振動子の振動特性の調整方法およびそれに用いられる超音波振動子 | |
JP6269223B2 (ja) | 圧電モーター | |
JP2021145532A (ja) | アクチュエータ、駆動装置 | |
JP4838463B2 (ja) | 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置 | |
JPH0965674A (ja) | 振動アクチュエータ | |
JP2010166720A (ja) | 超音波モータ駆動装置 | |
JP7081819B2 (ja) | 力覚発生装置 | |
JPH0226283A (ja) | 回転力制御機構 | |
JPH08182351A (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JP4654884B2 (ja) | 多自由度超音波モータ | |
JPH04145880A (ja) | 超音波モータ | |
JP6269224B2 (ja) | 圧電モーター | |
JP5985004B2 (ja) | 振動型モータ及びそれを有するレンズ装置 | |
JP4650221B2 (ja) | 多自由度超音波モータ | |
JP2021101593A (ja) | 圧電駆動装置、圧電モーター、および、ロボット | |
JP6624961B2 (ja) | 旋回駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230908 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20240308 |