JP2021134951A - 極低温冷凍機および極低温システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 真空容器に装着可能であり、液体冷媒容器を冷却する極低温冷凍機であって、
前記極低温冷凍機が前記真空容器の装着口に装着されるとき前記装着口との間に冷媒ガス室を形成し、前記冷媒ガス室の昇圧により取り外し方向に移動可能な取付フランジと、
前記真空容器内に配置される被冷却物を冷却する冷却ステージであって、前記被冷却物に接触する冷却位置から前記被冷却物から離れる非冷却位置に前記取付フランジの前記取り外し方向への移動に伴って移動可能な冷却ステージと、を備え、
前記冷媒ガス室が、前記液体冷媒容器に接続されていることを特徴とする極低温冷凍機。 - 前記取付フランジは、
前記真空容器の第1ガイド面に摺動可能に接触する第1フランジ周面と、
前記真空容器の第2ガイド面に摺動可能に接触し、前記第1フランジ周面よりも小径の第2フランジ周面と、
前記第1フランジ周面と前記第2フランジ周面とをつなぎ、前記取り外し方向とは反対方向を向く冷媒ガス室形成面と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の極低温冷凍機。 - 前記取付フランジは、
前記第1ガイド面と前記第1フランジ周面の間に保持され、前記真空容器の外部環境から前記冷媒ガス室を封止する第1シールと、
前記第2ガイド面と前記第2フランジ周面の間に保持され、前記真空容器内の真空領域から前記冷媒ガス室を封止する第2シールと、を備えることを特徴とする請求項2に記載の極低温冷凍機。 - 前記取付フランジは、前記取り外し方向とは反対方向に前記取付フランジを前記真空容器へと弾性的に押し付ける押付機構を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の極低温冷凍機。
- 前記液体冷媒容器と、前記液体冷媒容器を前記冷媒ガス室に接続する冷媒ガス配管と、をさらに備え、前記液体冷媒容器が、前記冷却ステージに固定されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の極低温冷凍機。
- 前記冷媒ガス配管は、前記液体冷媒容器から前記冷媒ガス室に冷媒ガスを導入可能とするように配置された逆止弁を備えることを特徴とする請求項5に記載の極低温冷凍機。
- 真空容器内に配置される液体冷媒容器であって、真空領域から液体冷媒を隔てる容器壁と、前記容器壁に設けられた再凝縮部と、を備える液体冷媒容器と、
前記真空容器に装着され、前記液体冷媒容器を冷却する極低温冷凍機であって、
前記極低温冷凍機が前記真空容器の装着口に装着されるとき前記装着口との間に冷媒ガス室を形成し、前記冷媒ガス室の昇圧により取り外し方向に移動可能な取付フランジと、
前記真空領域に配置され前記再凝縮部を冷却する冷却ステージであって、前記再凝縮部に接触する冷却位置から前記再凝縮部から離れる非冷却位置に前記取付フランジの前記取り外し方向への移動に伴って移動可能な冷却ステージと、を備える極低温冷凍機と、を備え、
前記冷媒ガス室が、前記液体冷媒容器に接続されていることを特徴とする極低温システム。 - 前記液体冷媒容器を前記冷媒ガス室に接続する冷媒ガス配管をさらに備え、
前記冷媒ガス配管は、前記液体冷媒容器から前記冷媒ガス室に冷媒ガスを導入可能とするように配置された逆止弁を備えることを特徴とする請求項7に記載の極低温システム。
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