JP2021132151A - 光モジュール及び光モジュールの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制する光モジュールを得ること。【解決手段】光モジュール１は、複数の発光点を含むマルチエミッタ半導体レーザバー２と、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイ４を含むレンズユニット５とを有する。レンズユニット５は、コリメートレンズアレイ４を保持する保持部材６を更に含む。上記の複数のビームの伝搬方向と直交する平面であってコリメートレンズアレイ４を含む平面でのコリメートレンズアレイ４の反りの向きは、上記の複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって上記の複数の発光点を含む平面での上記の複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じである。【選択図】図１

Description

本開示は、レーザ光を出力する光モジュール及び光モジュールの製造方法に関する。

従来、ワークを加工するためにレーザ光を出力する光モジュールが用いられている。例えば、複数の発光点を含むマルチエミッタ半導体レーザバーと、マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイとを有する光モジュールが提案されている。従来、板状部と、板状部の下面に設けられたレンズ部と、板状部を挟んで板状部に沿って延びる一対のリブ部とを有するレンズ部品も提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第５８９９９２５号公報

上述の通り、複数の発光点を含むマルチエミッタ半導体レーザバーと、マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイとを有する光モジュールが知られている。当該光モジュールでは、複数の発光点を結ぶ線の反りの向きがコリメートレンズアレイの反りの向きと異なると、マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームが直進しなくなる。複数のビームが直進しないと、加工に使用することができるレーザ光の量が低下する。レーザ光の量が低下すると、ワークの加工が困難になる。

特許文献１はレンズ側の変形を抑制する技術を開示しているが、特許文献１が開示している技術を考慮しても、上記の光モジュールにおける複数の発光点を結ぶ線の反りの向きとコリメートレンズアレイの反りの向きとが異なる状況は生じる。つまり、従来の技術では、光モジュールから出力されるレーザ光の伝搬の損失が発生する場合がある。

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制する光モジュールを得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示に係る光モジュールは、複数の発光点を含むマルチエミッタ半導体レーザバーと、マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイを含むレンズユニットとを有する。レンズユニットは、コリメートレンズアレイを保持する保持部材を更に含む。複数のビームの伝搬方向と直交する平面であってコリメートレンズアレイを含む平面でのコリメートレンズアレイの反りの向きは、複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって複数の発光点を含む平面での複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じである。

本開示に係る光モジュールは、出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制することができるという効果を奏する。

実施の形態１に係る光モジュールの側面を模式的に示す図 実施の形態１に係る光モジュールの平面を模式的に示す図 実施の形態１に係る光モジュールの正面を模式的に示す図 実施の形態１に係る光モジュールの製造方法を説明するための図 実施の形態２に係る光モジュールの側面を模式的に示す図 実施の形態２に係る光モジュールの正面を模式的に示す図

以下に、実施の形態に係る光モジュール及び光モジュールの製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る光モジュール１の側面を模式的に示す図である。本願の図面において、「Ｘ」、「Ｙ」及び「Ｚ」の各々は軸を示しており、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の各々は、他の二つの軸と直交している。図１は、Ｙ軸とＺ軸とを含む平面に平行な光モジュール１の側面を模式的に示している。図２は、実施の形態１に係る光モジュール１の平面を模式的に示す図である。更に言うと、図２は、Ｘ軸とＺ軸とを含む平面に平行な光モジュール１の平面を模式的に示している。

光モジュール１は、複数の発光点を含むマルチエミッタ半導体レーザバー２を有する。マルチエミッタ半導体レーザバー２は、レーザ光を出力する素子である。例えば、マルチエミッタ半導体レーザバー２のレーザ光の出力に主に寄与する半導体は、ヒ化ガリウムである。例えば、マルチエミッタ半導体レーザバー２の発振出力は、数百ワット以上である。上述の通り、マルチエミッタ半導体レーザバー２は、複数の発光点を有するので、複数のビームを出力する。複数の発光点の詳細については、後述する。

光モジュール１は、マルチエミッタ半導体レーザバー２が載置されて、マルチエミッタ半導体レーザバー２で発生する熱を放散させる冷却構造体３を更に有する。例えば、冷却構造体３には水の流路が形成されていて、水が流路を流れることによって、冷却構造体３はマルチエミッタ半導体レーザバー２で発生する熱を放散させる。

光モジュール１は、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイ４を含むレンズユニット５を更に有する。コリメートレンズアレイ４は、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームが伝搬する向きにおいて、マルチエミッタ半導体レーザバー２より前方に設けられている。コリメートレンズアレイ４の長手方向は、Ｘ軸の方向である。例えば、コリメートレンズアレイ４では、長手方向の中心に対して、Ｘ軸の正の向きの形状とＸ軸の負の向きの形状とが対称である。

レンズユニット５は、コリメートレンズアレイ４を保持する保持部材６を更に有する。保持部材６は、コリメートレンズアレイ４を保持するための第１の保持部材７と第２の保持部材８とを有する。図面では、第１の保持部材７と第２の保持部材８とを区別するために、ハッチングが第２の保持部材８に付加されている。第１の保持部材７と第２の保持部材８とは、コリメートレンズアレイ４が反っている方向でコリメートレンズアレイ４を挟んでいる。第１の保持部材７及び第２の保持部材８の各々を構成する材料がコリメートレンズアレイ４を構成する材料と同じであることが好ましい。

レンズユニット５は、コリメートレンズアレイ４と第１の保持部材７とを接合している第１の接合部材９と、コリメートレンズアレイ４と第２の保持部材８とを接合している第２の接合部材１０とを更に有する。第１の接合部材９を構成する材料と第２の接合部材１０を構成する材料とが同じであることが好ましい。

光モジュール１は、冷却構造体３とレンズユニット５とを接合している第３の接合部材１１を更に有する。具体的には、第３の接合部材１１は、第１の保持部材７又は第２の保持部材８と冷却構造体３とを接合する。図１は、第３の接合部材１１が第２の保持部材８と冷却構造体３とを接合している状況を示している。第３の接合部材１１が紫外線硬化材料で形成されていることが好ましい。第１の接合部材９及び第２の接合部材１０の各々の耐熱強度が第３の接合部材１１の耐熱強度より大きいことが好ましい。図１及び図２には、マルチエミッタ半導体レーザバー２に電流を供給する給電機構は示されていない。

図３は、実施の形態１に係る光モジュール１の正面を模式的に示す図である。正面は、マルチエミッタ半導体レーザバー２が複数のビームを出力する側の面である。更に言うと、正面は、Ｘ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面である。図１から理解することができるように、Ｚ軸の正の側からＺ軸の負の側の向きに正面を見ると、マルチエミッタ半導体レーザバー２が有する複数の発光点２ａはコリメートレンズアレイ４によって隠れる。しかしながら、図３には、マルチエミッタ半導体レーザバー２が有する複数の発光点２ａが示されている。図３における複数の発光点２ａは、マルチエミッタ半導体レーザバー２が複数の発光点２ａを有することを説明するために示されている。

図３には、コリメートレンズアレイ４の反りを示す円弧４ａが示されている。円弧４ａは、一点鎖線で示されている。コリメートレンズアレイ４の反りは、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームの伝搬方向と直交する平面であってコリメートレンズアレイ４を含む平面でのコリメートレンズアレイ４の反りである。円弧４ａが示す通り、図３のコリメートレンズアレイ４の反りの向きは、Ｙ軸の負の側に突出する向きである。

光モジュール１では、コリメートレンズアレイ４の反りの向きは、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって複数の発光点２ａを含む平面での複数の発光点２ａを結ぶ線の反りの向きと同じである。

次に、実施の形態１に係る光モジュールの製造方法を説明する。まず、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって複数の発光点２ａを含む平面での複数の発光点２ａを結ぶ線の反りの向きを測定する。次に、コリメートレンズアレイ４で平行にされるビームの伝搬方向と直交する平面であってコリメートレンズアレイ４を含む平面でのコリメートレンズアレイ４の反りの向きを測定する。次に、第１の保持部材７と第２の保持部材８とを用いて、測定されたコリメートレンズアレイ４の反りの向きを、測定された複数の発光点２ａを結ぶ線の反りの向きと同じにする。

次に、コリメートレンズアレイ４の反りの向きを、測定された複数の発光点２ａを結ぶ線の反りの向きと同じにする動作を説明する。図４は、実施の形態１に係る光モジュールの製造方法を説明するための図である。図４の矢印Ａ及び矢印Ｂより左側で示されているように、コリメートレンズアレイ４の反りの向きがＹ軸の負の側に突出する向きである場合を想定する。

矢印Ａより右側において示されているように、マルチエミッタ半導体レーザバー２の複数の発光点２ａを結ぶ線２ｂの反りの向きがＹ軸の負の側に突出する向きである場合、矢印Ａ１より右側において示されているように、レンズユニット５のＺ軸と平行な中心軸の周りにレンズユニット５を回転させない。そして、レンズユニット５を、第３の接合部材１１を用いて、マルチエミッタ半導体レーザバー２が載置されている冷却構造体３に接合する。具体的には、第２の保持部材８を第３の接合部材１１を用いて冷却構造体３に接合する。これにより、光モジュール１は製造される。なお、複数の発光点２ａを結ぶ線２ｂは、実線で示されている。

矢印Ｂより右側において示されているように、マルチエミッタ半導体レーザバー２の複数の発光点２ａを結ぶ線２ｂの反りの向きがＹ軸の正の側に突出する向きである場合、矢印Ｂ１より右側において示されているように、第１の保持部材７と第２の保持部材８とを用いて、レンズユニット５のＺ軸と平行な中心軸の周りにレンズユニット５を半回転させて、コリメートレンズアレイ４の反りの向きをＹ軸の正の側に突出する向きにする。そして、レンズユニット５を、第３の接合部材１１を用いて、マルチエミッタ半導体レーザバー２が載置されている冷却構造体３に接合する。具体的には、第１の保持部材７を第３の接合部材１１を用いて冷却構造体３に接合する。これにより、光モジュール１は製造される。

上述の通り、実施の形態１に係る光モジュール１では、コリメートレンズアレイ４の反りの向きは、マルチエミッタ半導体レーザバー２が有する複数の発光点２ａを結ぶ線２ｂの反りの向きと同じである。そのため、マルチエミッタ半導体レーザバー２が出力する複数のビームが直進しなくなることは抑制される。したがって、光モジュール１は、出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制することができる。言い換えると、光モジュール１は、出力するレーザ光を効率良く伝搬させることができる。

実施の形態１では、コリメートレンズアレイ４の反りの向きを、複数の発光点２ａを結ぶ線２ｂの反りの向きと同じにして光モジュール１を製造する。したがって、実施の形態１に係る光モジュールの製造方法によれば、出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制する光モジュール１を製造することができる。

なお、第１の保持部材７と第２の保持部材８とは、図示されていない部材によって接続されていてもよい。

実施の形態２．
図５は、実施の形態２に係る光モジュール２１の側面を模式的に示す図である。図５は、Ｙ軸とＺ軸とを含む平面に平行な光モジュール２１の側面を模式的に示している。光モジュール２１は、複数の発光点を含むマルチエミッタ半導体レーザバー２２を有する。マルチエミッタ半導体レーザバー２２は、レーザ光を出力する素子である。例えば、マルチエミッタ半導体レーザバー２２のレーザ光の出力に主に寄与する半導体は、ヒ化ガリウムである。例えば、マルチエミッタ半導体レーザバー２２の発振出力は、数百ワット以上である。上述の通り、マルチエミッタ半導体レーザバー２２は、複数の発光点を有するので、複数のビームを出力する。複数の発光点の詳細については、後述する。

光モジュール２１は、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が載置されて、マルチエミッタ半導体レーザバー２２で発生する熱を放散させる冷却構造体３を更に有する。例えば、冷却構造体３には水の流路が形成されていて、水が流路を流れることによって、冷却構造体３はマルチエミッタ半導体レーザバー２２で発生する熱を放散させる。

光モジュール２１は、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイ４を含むレンズユニット２５を更に有する。コリメートレンズアレイ４は、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームが伝搬する向きにおいて、マルチエミッタ半導体レーザバー２２より前方に設けられている。コリメートレンズアレイ４の長手方向は、Ｘ軸の方向である。例えば、コリメートレンズアレイ４では、長手方向の中心に対して、Ｘ軸の正の向きの形状とＸ軸の負の向きの形状とが対称である。

レンズユニット２５は、コリメートレンズアレイ４を保持する保持部材２６を更に有する。保持部材２６は、コリメートレンズアレイ４を保持するための第３の保持部材２７と第４の保持部材２８とを有する。図５では、ハッチングが第３の保持部材２７の一部に付加されている。第４の保持部材２８は、図５に示されておらず、図６に示されている。図６を用いて後述するが、第３の保持部材２７と第４の保持部材２８とは、コリメートレンズアレイ４の反りの向きと直交する方向でコリメートレンズアレイ４を挟んでおり、コリメートレンズアレイ４で平行にされる複数のビームを通過させる。

第３の保持部材２７及び第４の保持部材２８の各々は、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームの伝搬方向と平行な方向において、コリメートレンズアレイ４からマルチエミッタ半導体レーザバー２２への向きに突出している突出部を有する。図５においてハッチングが付加されている第３の保持部材２７の一部は、第３の保持部材２７が有する突出部２７ａである。第４の保持部材２８が有する突出部は、突出部２７ａと同様のものであって、図示されていない。

マルチエミッタ半導体レーザバー２２には、第３の保持部材２７の突出部２７ａと第４の保持部材２８の突出部とのうちの一方が嵌め込まれる第１の凹部２２ａと、第３の保持部材２７の突出部２７ａと第４の保持部材２８の突出部とのうちの他方が嵌め込まれる第２の凹部とが形成されている。図５は、第３の保持部材２７の突出部２７ａが第１の凹部２２ａに嵌め込まれている状況を示している。第２の凹部は、第１の凹部２２ａと同様のものであって、図示されていない。

第３の保持部材２７の突出部２７ａ、第４の保持部材２８の突出部、第１の凹部２２ａ及び第２の凹部はいずれも光モジュール２１の側面には存在しないが、説明の便宜上、図５には、第３の保持部材２７の突出部２７ａと第１の凹部２２ａとが示されている。図５の光モジュール２１では、第３の保持部材２７の突出部２７ａは第１の凹部２２ａに嵌め込まれており、第４の保持部材２８の突出部は第２の凹部に嵌め込まれている。第３の保持部材２７及び第４の保持部材２８の各々を構成する材料がコリメートレンズアレイ４を構成する材料と同じであることが好ましい。

光モジュール２１は、冷却構造体３とレンズユニット２５の第３の保持部材２７とを接合している第４の接合部材２９と、冷却構造体３とレンズユニット２５の第４の保持部材２８とを接合している第５の接合部材３０とを更に有する。第５の接合部材３０は、図５に示されておらず、図６に示されている。第４の接合部材２９及び第５の接合部材３０の各々が紫外線硬化材料で形成されていることが好ましい。図５には、マルチエミッタ半導体レーザバー２２に電流を供給する給電機構は示されていない。

図６は、実施の形態２に係る光モジュール２１の正面を模式的に示す図である。正面は、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が複数のビームを出力する側の面である。更に言うと、正面は、Ｘ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面である。図５から理解することができるように、Ｚ軸の正の側からＺ軸の負の側の向きに正面を見ると、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が有する複数の発光点２２ｂはコリメートレンズアレイ４によって隠れる。しかしながら、図６には、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が有する複数の発光点２２ｂが示されている。図６における複数の発光点２２ｂは、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が複数の発光点２２ｂを有することを説明するために示されている。

図６には、コリメートレンズアレイ４の反りを示す円弧４ａが示されている。円弧４ａは、一点鎖線で示されている。コリメートレンズアレイ４の反りは、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームの伝搬方向と直交する平面であってコリメートレンズアレイ４を含む平面でのコリメートレンズアレイ４の反りである。円弧４ａが示す通り、図６のコリメートレンズアレイ４の反りの向きは、Ｙ軸の負の側に突出する向きである。

光モジュール２１では、コリメートレンズアレイ４の反りの向きは、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって複数の発光点２２ｂを含む平面での複数の発光点２２ｂを結ぶ線の反りの向きと同じである。

次に、実施の形態２に係る光モジュールの製造方法を説明する。まず、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって複数の発光点２２ｂを含む平面での複数の発光点２２ｂを結ぶ線の反りの向きを測定する。次に、コリメートレンズアレイ４で平行にされるビームの伝搬方向と直交する平面であってコリメートレンズアレイ４を含む平面でのコリメートレンズアレイ４の反りの向きを測定する。次に、第３の保持部材２７と第４の保持部材２８とを用いて、測定されたコリメートレンズアレイ４の反りの向きを、測定された複数の発光点２２ｂを結ぶ線の反りの向きと同じにする。

次に、コリメートレンズアレイ４の反りの向きを複数の発光点２２ｂを結ぶ線の反りの向きと同じにした状態で、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームの伝搬方向において、第３の保持部材２７の突出部２７ａと第４の保持部材２８の突出部とのうちの一方を第１の凹部２２ａに嵌め込み、第３の保持部材２７の突出部２７ａと第４の保持部材２８の突出部とのうちの他方を第２の凹部に嵌め込む。これにより、光モジュール２１は製造される。

上述の通り、実施の形態２に係る光モジュール２１では、コリメートレンズアレイ４の反りの向きは、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が有する複数の発光点２２ｂを結ぶ線の反りの向きと同じである。そのため、マルチエミッタ半導体レーザバー２２が出力する複数のビームが直進しなくなることは抑制される。したがって、光モジュール２１は、出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制することができる。言い換えると、光モジュール２１は、出力するレーザ光を効率良く伝搬させることができる。

実施の形態２では、コリメートレンズアレイ４の反りの向きを、複数の発光点２２ｂを結ぶ線の反りの向きと同じにして光モジュール２１を製造する。したがって、実施の形態２に係る光モジュールの製造方法によれば、出力するレーザ光の伝搬の損失の発生を抑制する光モジュール２１を製造することができる。

以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、実施の形態同士を組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略又は変更することも可能である。

１，２１ 光モジュール、２，２２ マルチエミッタ半導体レーザバー、２ａ，２２ｂ 発光点、２ｂ 複数の発光点を結ぶ線、３ 冷却構造体、４ コリメートレンズアレイ、５，２５ レンズユニット、６，２６ 保持部材、７ 第１の保持部材、８ 第２の保持部材、９ 第１の接合部材、１０ 第２の接合部材、１１ 第３の接合部材、２２ａ 第１の凹部、２７ 第３の保持部材、２７ａ 突出部、２８ 第４の保持部材、２９ 第４の接合部材、３０ 第５の接合部材。

Claims (6)

1. 複数の発光点を有するマルチエミッタ半導体レーザバーと、
   前記マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイを有するレンズユニットとを備え、
   前記レンズユニットは、前記コリメートレンズアレイを保持する保持部材を更に有し、
   前記複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって前記コリメートレンズアレイを含む平面での前記コリメートレンズアレイの反りの向きは、前記複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって前記複数の発光点を含む平面での前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じである
   ことを特徴とする光モジュール。
2. 前記保持部材は、前記コリメートレンズアレイが反っている方向で前記コリメートレンズアレイを挟んで前記コリメートレンズアレイを保持するための第１の保持部材と第２の保持部材とを有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記保持部材は、前記コリメートレンズアレイの反りの向きと直交する方向で前記コリメートレンズアレイを挟んでいると共に前記コリメートレンズアレイで平行にされる複数のビームを通過させる第３の保持部材と第４の保持部材とを有し、
   前記第３の保持部材及び前記第４の保持部材の各々は、前記複数のビームの伝搬方向と平行な方向において、前記コリメートレンズアレイから前記マルチエミッタ半導体レーザバーへの向きに突出している突出部を有しており、
   前記マルチエミッタ半導体レーザバーには、前記第３の保持部材の前記突出部が嵌め込まれる第１の凹部と、前記第４の保持部材の前記突出部が嵌め込まれる第２の凹部とが形成されており、
   前記第３の保持部材の前記突出部は、前記第１の凹部に嵌め込まれており、
   前記第４の保持部材の前記突出部は、前記第２の凹部に嵌め込まれている
   ことを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
4. 複数の発光点を有するマルチエミッタ半導体レーザバーと、前記マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームを平行にするためのコリメートレンズアレイとを有する光モジュールを製造する光モジュールの製造方法であって、
   前記コリメートレンズアレイは、保持部材によって保持されており、
   前記複数のビームの伝搬方向と直交する平面であって前記複数の発光点を含む平面での前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きを測定するステップと、
   前記コリメートレンズアレイで平行にされるビームの伝搬方向と直交する平面であって前記コリメートレンズアレイを含む平面での前記コリメートレンズアレイの反りの向きを測定するステップと、
   前記保持部材を用いて、測定された前記コリメートレンズアレイの反りの向きを、測定された前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じにするステップと
   を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
5. 前記保持部材は、前記コリメートレンズアレイが反っている方向で前記コリメートレンズアレイを挟んで前記コリメートレンズアレイを保持するための第１の保持部材と第２の保持部材とを有し、
   前記コリメートレンズアレイの反りの向きを前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じにするステップでは、前記第１の保持部材及び前記第２の保持部材を用いて、前記コリメートレンズアレイの反りの向きを前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じにする
   ことを特徴とする請求項４に記載の光モジュールの製造方法。
6. 前記保持部材を用いて前記コリメートレンズアレイを前記マルチエミッタ半導体レーザバーに取り付けるステップを更に含み、
   前記保持部材は、前記コリメートレンズアレイの反りの向きと直交する方向で前記コリメートレンズアレイを挟んでいると共に前記コリメートレンズアレイで平行にされる複数のビームを通過させる第３の保持部材と第４の保持部材とを有し、
   前記第３の保持部材及び前記第４の保持部材の各々は、前記コリメートレンズアレイで平行にされる複数のビームの伝搬方向において突出している突出部を有しており、
   前記マルチエミッタ半導体レーザバーには、前記第３の保持部材の前記突出部と前記第４の保持部材の前記突出部とのうちの一方が嵌め込まれる第１の凹部と、前記第３の保持部材の前記突出部と前記第４の保持部材の前記突出部とのうちの他方が嵌め込まれる第２の凹部とが形成されており、
   前記コリメートレンズアレイの反りの向きを前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じにするステップでは、前記第３の保持部材及び前記第４の保持部材を用いて、前記コリメートレンズアレイの反りの向きを前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じにし、
   前記コリメートレンズアレイを前記マルチエミッタ半導体レーザバーに取り付けるステップでは、前記コリメートレンズアレイの反りの向きを前記複数の発光点を結ぶ線の反りの向きと同じにした状態で、前記マルチエミッタ半導体レーザバーが出力する複数のビームの伝搬方向において、前記第３の保持部材の前記突出部と前記第４の保持部材の前記突出部とのうちの一方を前記第１の凹部に嵌め込み、前記第３の保持部材の前記突出部と前記第４の保持部材の前記突出部とのうちの他方を前記第２の凹部に嵌め込む
   ことを特徴とする請求項４に記載の光モジュールの製造方法。

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