JP2021130154A - 移動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スライドテーブルの大型化を抑制しつつ、リニアモータの吸引力に起因するスライドテーブルの変形を抑制可能な移動装置を提供する。【解決手段】固定子７４ｓが移動方向に沿って上面に配列される基台７１と、案内面７２ｈ、７２ｖを有する一対のガイド７２と、テーブル状の本体部７３ａとスライド面７３ｈ、７３ｖを有する一対の脚部７３ｂとを備えるスライドテーブル７３と、スライド面７３ｈ、７３ｖに複数の静圧ポケット７３ｈｐ、７３ｖｐを配置し、各静圧ポケット７３ｈｐ、７３ｖｐへ流体を供給してスライドテーブル７３をスライド可能に支持する静圧支持構造７８と、一対の脚部７３ｂから移動方向との直交方向に延び、固定子７４ｓに対向して可動子７４ｍが取り付けられる取付用構造部７３ｃとを備える。【選択図】図２

Description

本発明は、移動装置に関する。

従来、工作機械において、基台と、移動対象を載置するスライドテーブルを基台上で静圧支持し、スライドテーブルを移動方向へ駆動するリニアモータとを備えた移動装置が提案されている（例えば、特許文献１等参照。）。スライドテーブルは、テーブル状の本体部と、本体部の幅方向両端から下方へ延びる脚部とを有している。基台には、幅方向両側の脚部の外側面に対向する案内面を有する案内部材が設けられる。また、本体部の下面にはリニアモータの可動子が設けられ、基台の幅方向中央の上面には移動方向に沿って固定子が配置されている。

特開２００８−２２９７７３号公報

しかしながら、上述した従来の移動装置では、スライドテーブル側に設けられたリニアモータの可動子が、固定子や基台などの金属との相互間に磁力による強力な吸引力が発生し、これによりスライドテーブルの本体部が歪む等の変形が生じる恐れがある。このため、従来の移動装置では、スライドテーブルの変形を抑制するために高剛性とする必要があり、スライドテーブルを大型化する等の対策が施されているが、これに起因して装置全体の重量が増大するという問題が生じている。

本発明は、スライドテーブルの大型化を抑制しつつ、リニアモータの吸引力に起因するスライドテーブルの変形を抑制可能な移動装置を提供することを目的とする。

本発明に係る移動装置は、リニアモータを構成する固定子が移動方向に沿って上面に配列される基台と、前記基台に前記移動方向との直交方向に間隔を隔てて設けられて前記移動方向に延びる案内面を有する一対のガイドと、移動対象が載置されるテーブル状の本体部と、前記本体部の前記移動方向との直交方向両側から下方へ延びて前記一対のガイドの前記案内面に対向するスライド面を有する一対の脚部とを備えるスライドテーブルと、前記案内面と前記スライド面との間に流体を供給する流体供給部と、前記案内面及び前記スライド面の少なくとも一方に複数の静圧ポケットを配置し、前記流体供給部から前記各静圧ポケットへ前記流体を供給して前記スライドテーブルをスライド可能に支持する静圧支持構造と、前記一対の脚部から前記移動方向との直交方向に延び、前記固定子に対向して前記リニアモータを構成する可動子が取り付けられる取付用構造部とを備える。

この発明によれば、リニアモータを構成する可動子が、一対の脚部から移動方向との直交方向に延びる取付用構造部に取り付けられているので、基台上面に設けられる固定子との間に作用するリニアモータの吸引力が取付用構造部によって吸収される。よって、工具やワーク等の移動対象が搭載されるスライドテーブルの本体部は、リニアモータの吸引力に起因する変形が確実に抑制され、吸引力の移動対象への影響を低減することができるという効果を奏する。

本発明の実施形態に係る工作機械の全体構成図である。 図１のII−II線矢視断面図である。 比較例に係る砥石台送り装置における力の作用を模式的に示す説明図である。 実施形態に係る砥石台送り装置における力の作用を模式的に示す説明図である。 第１変形例に係る砥石台送り装置における力の作用を模式的に示す説明図である。 第２変形例に係る砥石台送り装置における力の作用を模式的に示す説明図である。 第３変形例に係る砥石台送り装置における力の作用を模式的に示す説明図である。 第４変形例に係る砥石台送り装置における力の作用を模式的に示す説明図である。

以下、本発明の移動装置を適用した工作機械の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
（１．工作機械１の全体構成）
本発明の実施形態に係る工作機械１は、図１に示すように、円筒状の工作物Ｗを回転させながら研削加工を行うテーブルトラバース型の研削装置である。工作機械１は、ベッド２と、工作物支持装置１０と、テーブル２０と、テーブル案内装置３０と、テーブル駆動モータ４０と、砥石車５０と、砥石台６０と、本発明の移動装置としての砥石台送り装置７０と、制御装置１００とを主に備える。

ベッド２は、工作機械１の基台となる部位である。ベッド２には、研削条件等に関する各種パラメータが入力される操作盤３が設けられ、操作盤３は、作業者により操作される。工作物支持装置１０は、円筒状に形成された長尺の工作物Ｗの軸線方向（図１左右方向）両端を支持する。工作物支持装置１０は、主軸台１１と、心押台１２とを備える。主軸台１１は、工作物Ｗの一端（図１左端）を支持する。主軸台１１は、Ｚ軸方向に平行な軸線周りに回転する主軸１３と、主軸１３を軸線周りに駆動する主軸モータ１４とを備える。心押台１２は、Ｚ軸方向において主軸台１１と対向する位置に設けられ、工作物Ｗの他端（図１右端）を支持する。工作物支持装置１０は、主軸台１１及び心押台１２によって工作物Ｗの軸方向両端を支持した状態で主軸モータ１４を駆動させることにより、工作物Ｗ を軸線回りに回転させる。

テーブル２０は、工作物支持装置１０を支持する。テーブル案内装置３０は、ベッド２に対し、テーブル２０をＺ軸方向へ案内する静圧油圧案内装置である。静圧油圧案内装置は、テーブル２０をＺ軸方向へ移動させる際に発生する摩擦抵抗を抑制できる。テーブル駆動モータ４０は、テーブル２０をＺ軸方向（テーブル案内装置３０による案内方向）へ駆動するシャフトモータである。

砥石車５０は、工作物支持装置１０に支持された工作物Ｗを研削する。砥石台６０は、砥石軸受６１を備え、砥石車５０が取付けられる砥石軸５２を、Ｚ軸に平行な軸線周りに回転可能に支持する。砥石台６０には、砥石車モータ５１が固定され、砥石車５０は、砥石車モータ５１の駆動によって軸線回りに回転する。砥石台送り装置７０は、ベッド２に対し、砥石台６０をＸ軸方向へ案内する静圧油圧案内装置であり、工作物支持装置１０に支持された工作物Ｗに対して砥石車５０を相対的に接近又は離間させる方向（Ｘ軸方向）へ案内する。砥石台送り装置７０は、リニアモータ７４を備え、砥石台６０をＸ軸方向（砥石台送り装置７０による案内方向）へ駆動する。制御装置１００は、主として、工作機械１に設けられた各種モータの駆動制御等を行う。

（２．砥石台送り装置７０の構成）
砥石台送り装置７０は、図２に示すように、基台７１と、一対のガイド７２と、スライドテーブル７３と、リニアモータ７４と、静圧支持構造７８と、油圧ポンプ７９とを備えて構成される。

基台７１は、平坦な上面の幅方向（すなわちＺ軸方向）両側に、一対のガイド７２，７２が一体的に立設されている。基台７１は、例えば、鋳物によって構成される。一対のガイド７２，７２は、スライドテーブル７３をＸ軸方向に案内するブロック状部材であって、Ｘ軸方向に沿って平行に距離を隔てて延在している。尚、本明細書において、「幅方向」は、基台７１上面と平行且つスライドテーブル７３の移動方向（案内方向、すなわちＸ軸方向）との直交方向（すなわちＺ軸方向）を意味するものとする。

一対のガイド７２，７２は、互いに対向する幅方向内側の側面に、それぞれ縦案内面７２ｖ，７２ｖを有している。つまり、縦案内面７２ｖ，７２ｖは、Ｚ軸を法線方向としている。さらに、一対のガイド７２，７２は、水平な上面に、それぞれ水平案内面７２ｈ，７２ｈを有している。つまり、水平案内面７２ｈ，７２ｈは、Ｙ軸方向を法線方向とし、Ｚ軸を法線方向とする縦案内面７２ｖ，７２ｖに対して直交している。本実施形態においては、一対の水平案内面７２ｈ，７２ｈは、同一高さで形成される。また、一対の水平案内面７２ｈ，７２ｈは、一対の縦案内面７２ｖ，７２ｖに対してそれぞれ外側に位置している。

また、基台７１の上面には、一対のガイド７２，７２間の幅方向中央に、リニアモータ７４を構成する固定子７４ｓが、送り方向であるＸ軸方向に沿って配置されている。固定子７４ｓは、プレート状の磁石を有している。

スライドテーブル７３は、砥石台６０が載置されるテーブル状の本体部７３ａと、本体部の幅方向（すなわちＺ軸方向）両端から下方へ延びる一対の脚部７３ｂ，７３ｂとを有している。スライドテーブル７３は、例えば、鋳鉄によって構成される。また、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間には、ブリッジ状の取付用構造部７３ｃが掛け渡されている。取付用構造部７３ｃは、スライドテーブル７３の本体部７３ａ及び脚部７３ｂと共に鋳造によって一体形成してもよいし、スライドテーブル７３の本体部７３ａ及び脚部７３ｂとは別体で製造後に、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に取付け固定してもよい。取付用構造部７３ｃの下面には、リニアモータ７４の可動子７４ｍが取付けられている。可動子７４ｍは、鉄心と、鉄心に巻回されたコイルとを備えている。

一対の脚部７３ｂ，７３ｂは、幅方向外側の下半分を直方体状に切り欠いた形状に形成され、当該切り欠き部分の外側の側面にそれぞれ縦スライド面７３ｖ，７３ｖを有すると共に、下面にそれぞれ水平スライド面７３ｈ，７３ｈを有している。つまり、縦スライド面７３ｖ，７３ｖは、Ｚ軸を法線方向としている。また、水平スライド面７３ｈ，７３ｈは、Ｙ軸方向を法線方向とし、Ｚ軸を法線方向とする縦スライド面７３ｖ，７３ｖに対して直交している。

そして、スライドテーブル７３が基台７１上に載置されたとき、一対の縦スライド面７３ｖ，７３ｖは、基台７１が備える一対のガイド７２，７２の一対の縦案内面７２ｖ，７２ｖとそれぞれ対向し、一対の水平スライド面７３ｈ，７３ｈは、一対のガイド７２，７２の一対の水平案内面７２ｈ，７２ｈとそれぞれ対向する。また、取付用構造部７３ｃの下面に取付けられた可動子７４ｍは、基台７１の幅方向中央上面に配列された固定子７４ｓと対向してリニアモータ７４を構成する。

一対の縦スライド面７３ｖ，７３ｖには、それぞれ凹状に形成された各静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐが設けられる。同様に、一対の水平スライド面７３ｈ，７３ｈには、それぞれ凹状に形成された各静圧ポケット７３ｈｐ，７３ｈｐが設けられる。

各静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐ，７３ｈｐ，７３ｈｐは、それぞれ可変絞り（図略）を介して油圧ポンプ７９と接続されており、圧油が供給されている。このため、スライドテーブル７３は、基台７１に対して静圧支持される。本実施形態では、静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐ，７３ｈｐ，７３ｈｐを介して供給される流体によってスライドテーブルを摺動支持する構造を静圧支持構造７８と称する。

尚、各静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐ，７３ｈｐ，７３ｈｐは、案内面７２ｈ，７２ｈ、７２ｖ，７２ｖ側に設ける構成としてもよい。すなわち、静圧支持構造７８は、案内面７２ｈ，７２ｈ、７２ｖ，７２ｖ及びスライド面７３ｈ，７３ｈ、７３ｖ，７３ｖの少なくとも一方に複数の静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐ，７３ｈｐ，７３ｈｐを配置し、流体供給部としての油圧ポンプ７９から各静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐ，７３ｈｐ，７３ｈｐへ流体を供給してスライドテーブルを摺動支持する構造である。

（３．砥石台送り装置７０における各部の作用）
次に、砥石台送り装置７０における各部の作用について、比較例と対比しつつ説明する。図３は、比較例の砥石台送り装置７０Ｘにおいて、各部に発生する力を模式的に示す説明図である。図４は、本実施形態の砥石台送り装置７０において、各部に発生する力を模式的に示す説明図である。

比較例の砥石台送り装置７０Ｘは、図３に示すように、本実施形態の取付用構造部７３ｃに対応する構成がスライドテーブル７３に設けられておらず、本体部７３ａの下面にリニアモータ７４の可動子７４ｍが直接取付けられている。比較例の砥石台送り装置７０Ｘにおいて、固定子７４ｓを構成する磁石の吸引力により可動子７４ｍの鉄心及び鋳鉄製のスライドテーブル７３の本体部７３ａが吸引されるため、スライドテーブル７３の本体部７３ａには下向きの吸引力ＦＬが作用する。本体部７３ａは、この下向きの吸引力ＦＬによって、下面が凸状に且つ上面が凹状に変形する。本体部７３ａが変形すると、上面に載置される砥石台６０に傾きが生じて、砥石車５０による工作物Ｗの研削加工精度に影響を及ぼす恐れがある。尚、吸引力ＦＬは、リニアモータ７４の稼働時に発生する推力とは異なるものであり、リニアモータ７４の停止時を含んで常時発生する固定子７４ｓの磁石による吸引力を指している。

また、比較例の砥石台送り装置７０Ｘは、一対の脚部７３ｂ，７３ｂの各縦スライド面７３ｖ，７３ｖには、静圧ポケット７３ｖｐから供給される圧油を介して縦案内面７２ｖ，７２ｖからの押圧力ＦＳが作用する。スライドテーブル７３の脚部７３ｂ，７３ｂは、この内向きの押圧力ＦＳによって幅方向内側へ変形する。スライドテーブル７３の一対の脚部７３ｂ，７３ｂが変形すると、砥石台６０の案内精度が低下して、砥石車５０による工作物Ｗの研削加工精度に影響を及ぼす恐れがある。

一方、本実施形態の砥石台送り装置７０は、図４に示すように、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に掛け渡されたブリッジ状の取付用構造部７３ｃの下面にリニアモータ７４の可動子７４ｍが取付けられているので、磁石を有する固定子７４ｓとの間に作用する吸引力ＦＬは取付用構造部７３ｃで吸収されて、本体部７３ａには作用しない。このため、リニアモータ７４の吸引力ＦＬによって、スライドテーブル７３の本体部７３ａに変形が生じることはなく、本体部７３ａ上の砥石台６０の姿勢が水平に維持されるので、砥石車５０による工作物Ｗの研削加工精度を確保することができる。

また、本実施形態の砥石台送り装置７０は、比較例の砥石台送り装置７０Ｘと同様に、一対の脚部７３ｂ，７３ｂの各縦スライド面７３ｖ，７３ｖには、静圧ポケット７３ｖｐから供給される圧油を介して、縦案内面７２ｖ，７２ｖからの押圧力ＦＳが幅方向内向きに発生する。一方、取付用構造部７３ｃに作用する下向きの吸引力ＦＬは、取付用構造部７３ｃの幅方向両端から一対の脚部７３ｂ，７３ｂに伝達され、一対の脚部７３ｂ，７３ｂには、押圧力ＦＳとは反対向きである幅方向外向きの力ＦＢが作用する。

この力ＦＢは、ＦＢ＝ＦＬ／ｔａｎαと表される。押圧力ＦＳと力ＦＢとは互いに反対向きであるので、角度αを適切な値に設定することでＦＳ＝ＦＢ＝ＦＬ／ｔａｎαが成立し、押圧力ＦＳがＦＢによって完全に相殺される。つまり、スライドテーブル７３の一対の脚部７３ｂ，７３ｂに押圧力ＦＳが作用することによる変形が抑制されるので、砥石台６０の案内精度が確保されて、砥石車５０による研削加工の精度を確保することが可能となる。

（４．まとめ）
上述した実施形態によれば、リニアモータ７４を構成する可動子７４ｍが、一対の脚部７３ｂ，７３ｂから移動方向との直交方向（すなわち幅方向）に延びる取付用構造部７３ｃに取り付けられているので、基台７１側に設けられる固定子７４ｓとの間に作用するリニアモータ７４の吸引力ＦＬが取付用構造部７３ｃによって吸収される。よって、移動対象としての砥石台６０が搭載されるスライドテーブル７３の本体部７３ａは、リニアモータ７４の吸引力ＦＬに起因する変形が確実に抑制され、吸引力ＦＬの砥石台６０への影響を低減し、砥石車５０の研削加工精度を確保することができるという効果を奏する。

また、一対のガイド７２，７２は、案内面として、幅方向の側面にそれぞれ縦案内面７２ｖ，７２ｖが設けられ、一対の脚部７３ｂ，７３ｂは、スライド面として幅方向の側面にそれぞれ縦案内面７２ｖ，７２ｖに対向する縦スライド面７３ｖ，７３ｖが設けられる。そして、取付用構造部７３ｃは、縦案内面７２ｖ，７２ｖから静圧支持構造７８を介して縦スライド面７３ｖ，７３ｖに対して作用する押圧力ＦＳを相殺する作用を有する。よって、一対の脚部７３ｂ，７３ｂの押圧力ＦＳによる変形が抑制されるので、スライドテーブル７３の移動精度が確保される。

より具体的には、一対のガイド７２，７２は、それぞれ幅方向内側の側面に縦案内面７２ｖ，７２ｖが設けられ、一対の脚部７３ｂ，７３ｂは、それぞれ幅方向外側の側面に縦案内面７２ｖ，７２ｖに対向する縦スライド面７３ｖ，７３ｖが設けられている。取付用構造部７３ｃは、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に架け渡されると共に、幅方向両端部７３ｄ，７３ｄが下向きに傾斜して各脚部７３ｂの幅方向内側の側面に接続される。

そして、可動子７４ｍが取り付けられる取付用構造部７３ｃに下向きの吸引力ＦＬが作用することにより一対の脚部７３ｂ，７３ｂに幅方向外向きの力ＦＢが発生し、縦案内面７２ｖ，７２ｖから静圧支持構造７８を介して縦スライド面７３ｖ，７３ｖに対して作用する幅方向内向きの押圧力ＦＳを相殺する。よって、静圧支持構造７８を介した縦案内面７２ｖ，７２ｖからの押圧力ＦＳによる一対の脚部７３ｂ，７３ｂの幅方向内内側への変形が抑制される。

特に、取付用構造部７３ｃは、幅方向両端部７３ｄ，７３ｄの水平方向に対する傾斜角をα、押圧力をＦＳ、リニアモータ７４の吸引力をＦＬとしたとき、ＦＳ＝ＦＬ／ｔａｎαの関係が成立するように設定されることによって、押圧力ＦＳが完全に相殺される。

さらに、取付用構造部７３ｃは、縦スライド面７３ｖ，７３ｖにおける静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐの上下方向範囲内に接続される。よって、幅方向内向きの押圧力ＦＳが作用する範囲内に取付用構造部７３ｃが接続されて幅方向外向きの力ＦＢが作用することで、幅方向内向きの押圧力ＦＳを確実に相殺することができる。特に、取付用構造部７３ｃは、縦スライド面７３ｖ，７３ｖにおける静圧ポケット７３ｖｐ，７３ｖｐの上下方向中央に接続した場合は、幅方向内向きの押圧力ＦＳをより確実に相殺することができる。

また、取付用構造部７３ｃは、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に架け渡されて脚部７３ｂ同士を連結するので、スライドテーブル７３の重量の増大を抑えつつ強度を確保することができる。

（５．第１変形例）
上記実施形態では、スライドテーブル７３の幅方向側面を外側から内側に向かって静圧支持する構成に本発明を適用した形態を示した。本変形例は、図５に示すように、スライドテーブル７３の幅方向側面を内側から外側に向かって静圧支持する構成に本発明を適用した形態を示すものである。尚、上記実施形態と同一部材には同一の符号を付し、それらについての詳細な説明を省略する。

本変形例の砥石台送り装置１７０において、基台７１は、平坦な上面の幅方向（すなわちＺ軸方向）両側に、一対のガイド７２，７２が一体的に立設されている。一対のガイド７２，７２は、幅方向外側の側面に、それぞれ縦案内面７２ｖ，７２ｖを有している。つまり、縦案内面７２ｖ，７２ｖは、Ｚ軸を法線方向としている。さらに、一対のガイド７２，７２は、水平な上面に、それぞれ水平案内面７２ｈ，７２ｈを有している。つまり、水平案内面７２ｈ，７２ｈは、Ｙ軸方向を法線方向とし、Ｚ軸を法線方向とする縦案内面７２ｖ，７２ｖに対して直交している。本実施形態においては、一対の水平案内面７２ｈ，７２ｈは、同一高さで形成される。また、一対の水平案内面７２ｈ，７２ｈは、一対の縦案内面７２ｖ，７２ｖに対してそれぞれ内側に位置している。

スライドテーブル７３において、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間には、取付用構造部７３ｃがブリッジ状に掛け渡されている。取付用構造部７３ｃは、幅方向中央部分が水平に延び、脚部７３ｂ，７３ｂに接続される幅方向両端から所定長さ分が外側に向かって斜め上向きに傾斜している。取付用構造部７３ｃの幅方向中央部分の下面には、リニアモータ７４の可動子７４ｍが取付けられている。

一対の脚部７３ｂ，７３ｂは、幅方向内側の下半分を直方体状に切り欠いた形状に形成され、当該切り欠き部分の内側の側面にそれぞれ縦スライド面７３ｖ，７３ｖを有すると共に、下面にそれぞれ水平スライド面７３ｈ，７３ｈを有している。つまり、一対の縦スライド面７３ｖ，７３ｖは、Ｚ軸を法線方向としている。また、一対の水平スライド面７３ｈ，７３ｈは、Ｙ軸方向を法線方向とし、Ｚ軸を法線方向とする縦スライド面７３ｖ，７３ｖに対して直交している。また、一対の水平スライド面７３ｈ，７３ｈは、一対の縦スライド面７３ｖ，７３ｖに対してそれぞれ内側に位置している。

次に、本変形例の砥石台送り装置１７０の各部の作用について説明する。砥石台送り装置１７０は、上記実施形態と同様に、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に掛け渡されたブリッジ状の取付用構造部７３ｃの下面にリニアモータ７４の可動子７４ｍが取付けられているので、磁石を有する固定子７４ｓとの間に作用する吸引力ＦＬは本体部７３ａには作用しない。このため、リニアモータ７４の吸引力ＦＬによって、スライドテーブル７３の本体部７３ａに変形が生じることはなく、吸引力ＦＬの砥石台６０への影響を低減し、砥石車５０による工作物Ｗの研削加工精度を確保することができる。

次に、本変形例の砥石台送り装置１７０の各部の作用について説明する。砥石台送り装置１７０は、一対の脚部７３ｂ，７３ｂの各縦スライド面７３ｖ，７３ｖには、静圧ポケット７３ｖｐから供給される圧油を介して、縦案内面７２ｖ，７２ｖからの押圧力ＦＳが幅方向外向きに発生する。一方、取付用構造部７３ｃに作用する下向きの吸引力ＦＬは、取付用構造部７３ｃの幅方向両端から一対の脚部７３ｂ，７３ｂに伝達され、一対の脚部７３ｂ，７３ｂには、押圧力ＦＳとは反対向きである幅方向内向きの力ＦＢが作用する。この力ＦＢは、ＦＢ＝ＦＬ／ｔａｎαと表される。押圧力ＦＳと力ＦＢとは互いに反対向きであるので、角度αを適切な値に設定することでＦＳ＝ＦＢの関係が成立し、押圧力ＦＳがＦＢによって相殺される。つまり、スライドテーブル７３の一対の脚部７３ｂ，７３ｂに押圧力ＦＳが作用することによる変形が抑制されるので、砥石台６０送り動作時の案内精度が確保されて、砥石車５０による研削加工の精度を確保することが可能となる。

すなわち、本変形例では、一対のガイド７２，７２は、それぞれ幅方向外側の側面に縦案内面７２ｖ，７２ｖが設けられ、一対の脚部７３ｂ，７３ｂは、それぞれ幅方向内側の側面に縦案内面７２ｖ，７２ｖに対向する縦スライド面７３ｖ，７３ｖが設けられている。取付用構造部７３ｃは、一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に架け渡されると共に、幅方向両端部７３ｄ，７３ｄが上向きに傾斜して各脚部７３ｂ，７３ｂの幅方向内側の側面に接続される。

そして、可動子７４ｍが取り付けられる取付用構造部７３ｃに下向きの吸引力ＦＬが作用することにより一対の脚部７３ｂ，７３ｂに幅方向内向きの力ＦＢが発生し、縦案内面７２ｖ，７２ｖから静圧支持構造７８を介して縦スライド面７３ｖ，７３ｖに対して作用する幅方向外向きの押圧力ＦＳを相殺する。よって、静圧支持構造７８を介した縦案内面７２ｖ，７２ｖからの押圧力ＦＳによる一対の脚部７３ｂ，７３ｂの幅方向外側への変形が抑制される。

（６．第２変形例）
上記実施形態では、取付用構造部７３ｃは、中央部分が水平に延びる直線状とし、脚部７３ｂ，７３ｂに接続される所定長さの幅方向両端部７３ｄ，７３ｄが斜め下向きに傾斜する構造としたが、本変形例の砥石台送り装置２７０は、図６に示すように、取付用構造部７３ｃ全体を上向きに凸となるアーチ状に湾曲させた構造を有するものである。本変形例においても、上記実施形態と同様に、砥石台６０が搭載されるスライドテーブル７３の本体部７３ａは、リニアモータ７４の吸引力ＦＬに起因する変形が確実に抑制され、吸引力ＦＬの砥石台６０への影響を低減することができるという効果を奏する。

また、本変形例においても、取付用構造部７３ｃは、上記実施形態と同様に、幅方向両端部７３ｄ，７３ｄの水平方向に対する傾斜角をα、押圧力をＦＳ、リニアモータ７４の吸引力をＦＬとしたとき、ＦＳ＝ＦＬ／ｔａｎαの関係が成立するように設定されることによって、押圧力ＦＳが完全に相殺される。

（７．第３変形例）
上記実施形態及び第１、第２変形例では、取付用構造部７３ｃの幅方向両端部を斜め下向き又は斜め上向きに傾斜させる構造としたが、本変形例の砥石台送り装置３７０は、図７に示すように、取付用構造部７３ｃが幅方向全体に亘り水平に真っ直ぐ延びて一対の脚部７３ｂ，７３ｂに接続される構造を有している。本変形例においても、砥石台６０が搭載されるスライドテーブル７３の本体部７３ａは、リニアモータ７４の吸引力ＦＬに起因する変形が確実に抑制され、吸引力ＦＬの砥石台６０への影響を低減することができるという効果を奏する。

（８．第４変形例）
上記実施形態及び第１〜第３変形例では、取付用構造部７３ｃが一対の脚部７３ｂ，７３ｂ間に架け渡される構造としたが、本変形例の砥石台送り装置４７０は、図８に示すように、一対の脚部７３ｂ，７３ｂの幅方向内側の側面にそれぞれ片持ち状の取付用構造部７３ｃを設ける構造としたものである。

すなわち、本変形例では、一対の取付用構造部７３ｃが、一対の脚部７３ｂ，７３ｂの幅方向内側の側面からそれぞれ中央に向かって水平に延びており、各取付用構造部７３ｃの下面に可動子７４ｍがそれぞれ取り付けられている。また、基台７１の上面には、固定子７４ｓが各可動子７４ｍの直下となる位置でＸ軸方向に沿って二列に並んで配列されている。

本変形例によれば、リニアモータ７４の吸引力ＦＬが一対の取付用構造部７３ｃで吸収され、リニアモータ７４の吸引力ＦＬによる本体部７３ａの変形が確実に抑制され、上記実施形態と同様に、吸引力ＦＬの砥石台６０への影響を低減することができるという効果を奏する。

（９．その他の変形例）
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々に変更を施すことが可能である。例えば、上記実施形態及び各第５変形例では、研削装置における砥石台送り装置に本発明を適用した例を示したが、これには限られない。研削装置において砥石台をトラバースさせる砥石台トラバース装置に本発明を適用してもよいし、ワークをトラバースさせるテーブルトラバース装置に本発明を適用してもよい。その他、工作機械において静圧支持構造を介してスライドテーブルを所定方向に移動させる構成を有する移動装置へ本発明を適用可能である。

また、上記実施形態及び各第５変形例では、一対の水平案内面及び一対の縦案内面からなる４面支持の静圧支持構造を有する移動装置に本発明を適用した例を示したが、第２の水平面をさらに有する６面支持の静圧支持構造を有する移動装置に本発明を適用することも可能である。さらに、図５に示す第１変形例では、基台７１の幅方向両側にガイド７２を立設してＸ軸方向視で凹字状に形成する構成としたが、基台７１をＸ軸方向視で長方形状に形成して幅方向両側部分をガイド７２として用いる構成としてもよい。

１…工作機械、６０…砥石台（移動対象）、７０…砥石台送り装置（移動装置、実施形態）、７１…基台、７２…ガイド、７２ｈ…水平案内面、７２ｖ…縦案内面、７３…スライドテーブル、７３ａ…本体部、７３ｂ…脚部、７３ｃ…取付用構造部、７３ｄ…幅方向両端部（移動方向との直交方向の両端部）、７３ｈ…水平スライド面、７３ｈｐ…静圧ポケット、７３ｖ…縦スライド面、７３ｖｐ…静圧ポケット、７４…リニアモータ、７４ｓ…固定子、７４ｍ…可動子、７８…静圧支持構造、７９…油圧ポンプ（流体供給部）、１７０…砥石台送り装置（移動装置、第１変形例）、２７０…砥石台送り装置（移動装置、第２変形例）、１７０…砥石台送り装置（移動装置、第１変形例）、２７０…砥石台送り装置（移動装置、第２変形例）、３７０…砥石台送り装置（移動装置、第３変形例）、４７０…砥石台送り装置（移動装置、第４変形例）。

Claims (9)

1. リニアモータを構成する固定子が移動方向に沿って上面に配列される基台と、
   前記基台に前記移動方向との直交方向に間隔を隔てて設けられて前記移動方向に延びる案内面を有する一対のガイドと、
   移動対象が載置されるテーブル状の本体部と、前記本体部の前記移動方向との直交方向両側から下方へ延びて前記一対のガイドの前記案内面に対向するスライド面を有する一対の脚部とを備えるスライドテーブルと、
   前記案内面と前記スライド面との間に流体を供給する流体供給部と、
   前記案内面及び前記スライド面の少なくとも一方に複数の静圧ポケットを配置し、前記流体供給部から前記各静圧ポケットへ前記流体を供給して前記スライドテーブルをスライド可能に支持する静圧支持構造と、
   前記一対の脚部から前記移動方向との直交方向に延び、前記固定子に対向して前記リニアモータを構成する可動子が取り付けられる取付用構造部と、
   を備える、移動装置。
2. 前記一対のガイドは、前記案内面として、前記移動方向との直交方向の側面にそれぞれ縦案内面が設けられ、
   前記一対の脚部は、前記スライド面として、前記移動方向との直交方向の側面にそれぞれ前記縦案内面に対向する縦スライド面が設けられ、
   前記取付用構造部は、前記縦案内面から前記静圧支持構造を介して前記縦スライド面に対して作用する押圧力を相殺する作用を有する、請求項１に記載の移動装置。
3. 前記一対のガイドは、それぞれ前記移動方向との直交方向内側の側面に前記縦案内面が設けられ、
   前記一対の脚部は、それぞれ前記移動方向との直交方向外側の側面に前記縦案内面に対向する前記縦スライド面が設けられ、
   前記取付用構造部は、前記移動方向との直交方向の両端部が前記一対の脚部間に架け渡されると共に、前記両端部が下向きに傾斜して前記各脚部の前記移動方向との直交方向内側の側面に接続される、請求項２に記載の移動装置。
4. 前記一対のガイドは、それぞれ前記移動方向との直交方向外側の側面に前記縦案内面が設けられ、
   前記一対の脚部は、それぞれ前記移動方向との直交方向内側の側面に前記縦案内面に対向する前記縦スライド面が設けられ、
   前記取付用構造部は、前記移動方向との直交方向の両端部が前記一対の脚部間に架け渡されると共に、前記両端部が上向きに傾斜して前記各脚部の前記移動方向との直交方向内側の側面に接続される、請求項２に記載の移動装置。
5. 前記取付用構造部における前記両端部の水平方向に対する傾斜角をα、前記押圧力をＦＳ、前記リニアモータの吸引力をＦＬとしたとき、ＦＳ＝ＦＬ／ｔａｎαの関係が成立する、請求項３又は４に記載の移動装置。
6. 前記取付用構造部は、前記縦スライド面における前記静圧ポケットの上下方向範囲内に接続される、請求項２乃至５の何れか一項に記載の移動装置。
7. 前記取付用構造部は、前記縦スライド面における前記静圧ポケットの上下方向中央に接続される、請求項６に記載の移動装置。
8. 前記取付用構造部は、前記移動方向との直交方向の両端部が前記一対の脚部間に架け渡されて前記脚部同士を連結する、請求項１又は２に記載の移動装置。
9. 前記取付用構造部は、前記一対の脚部の各々に片持ち状に支持される一対の取付用構造部からなる、請求項１又は２に記載の移動装置。

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