JP2021125395A - 発熱フィルム及び発熱フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】導電部の骨見えを抑制でき、透明性(透過率)が高く、また、通電時に十分な発熱量を得られる発熱フィルムを提供する。
【解決手段】
発熱フィルムであって、表面に第1方向に延在する複数の第1溝と、第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第2溝とを有する透明フィルムと、第1及び第2の溝内に存在する導電部とを備える。前記導電部の線幅が0.2〜10μmであり、前記導電部の高さが、0.5〜10μmであり、隣り合う2つの第1溝内に存在する前記導電部間の間隔が、20〜1000μmであり、第1溝内に存在する前記導電部と、第2溝内に存在する導電部との交点の数が、20〜2500個/cm2であり、前記導電部の面積比率が0.1〜10%である。
【選択図】図1
【解決手段】
発熱フィルムであって、表面に第1方向に延在する複数の第1溝と、第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第2溝とを有する透明フィルムと、第1及び第2の溝内に存在する導電部とを備える。前記導電部の線幅が0.2〜10μmであり、前記導電部の高さが、0.5〜10μmであり、隣り合う2つの第1溝内に存在する前記導電部間の間隔が、20〜1000μmであり、第1溝内に存在する前記導電部と、第2溝内に存在する導電部との交点の数が、20〜2500個/cm2であり、前記導電部の面積比率が0.1〜10%である。
【選択図】図1
Description
本発明は、発熱フィルム及び発熱フィルムの製造方法に関する。
自動車等の車両には、運転中の運転者の視界を良好に維持するために窓やミラーに曇り、霜、水滴等の付着防止機構が設けられる場合がある。例えば、自動車のリアウィンドウには、リアウィンドウのガラスにプリントされた電熱線からなるデフォッガーが設けられる。デフォッガーの電熱線によりガラスを温めることで、リアウィンドウの曇り、霜を除去できる(例えば、特許文献1)。また、例えば、自動車のサイドミラーの背面(裏側)には、サイドミラーを温めて水滴の付着を防止するヒーターが設けられる(例えば、特許文献2)。
しかし、デフォッガーは電熱線が視認され、所謂、「骨見え」が生じる。このため、車両の運転者の視界は妨げられ、また、車両の意匠性も低下する。サイドミラーに設けられるヒーターはミラーの背面に設けられているため、車両の運転者の視界や車両の意匠性に影響を与えないが、ミラーの加熱効率が低くなる。加熱効率を改良するためにヒーターをサイドミラーの前面に設けることは、車両の運転者の視界を損ね、車両の意匠性を低下させるため望ましくない。
本発明は、上記課題を解決するものであり、車両の運転者の視界及び車両の意匠性を維持しつつ、車両の窓、ミラー等を効率的に加熱できる発熱フィルムを提供する。
第1の態様に従えば、発熱フィルムであって、表面に第1方向に延在する複数の第1溝と、第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第2溝とを有する透明フィルムと、第1及び第2の溝内に存在する導電部とを備え、前記導電部の線幅が0.2〜10μmであり、前記導電部の高さが、0.5〜10μmであり、隣り合う2つの第1溝内に存在する前記導電部間の間隔が、20〜1000μmであり、第1溝内に存在する前記導電部と、第2溝内に存在する前記導電部との交点の数が、20〜2500個/cm2であり、前記導電部の面積比率が0.1〜10%である発熱フィルムが提供される。
前記発熱フィルムの、波長550nmにおける光の透過率が、60〜98%であってもよい。前記発熱フィルムの面抵抗値が0.003〜70Ω/sq.であってもよい。第1方向における、隣り合う2つの第2溝内に存在する前記導電部間の間隔が1000〜15000μmであってもよい。第2方向が第1方向と直交してもよい。
複数の第1溝内に存在する導電部から構成される第1複線部を複数備え、隣り合う2つの第1複線部は、20〜1000μmの第1間隔で配置され、第1複線部を構成する前記複数の導電部は、第1間隔より小さい第4間隔で配置されていてもよい。第4間隔が、0.2〜20μmであってもよい。
複数の第2溝内に存在する導電部から構成される第2複線部を複数備え、隣り合う2つの第2複線部は、第1方向において第2間隔で配置され、第2複線部を構成する前記複数の導電部は、第1方向において第2間隔より小さい第5間隔で配置されていてもよい。第5間隔が、0.5〜20μmであってもよい。
第2の態様に従えば、第1の態様の発熱フィルムの製造方法であって、表面に、第1溝及び第2溝を有する前記透明フィルムを用意することと、第1溝及び第2溝に導電性材料を充填して、前記導電部を形成することとを含む発熱フィルムの製造方法が提供される。
前記透明フィルムを用意することが、前記導電部に対応する凹凸パターンを有するモールドを用いたインプリントにより、前記透明フィルム上に第1溝及び第2溝を形成することを含んでもよい。前記透明フィルムが、透明支持基材と、透明支持基材上に形成された透明樹脂層とを有し、前記透明フィルムを用意することが、前記導電部に対応する凹凸パターンを有する前記モールドを用意することと、前記モールドの前記凹凸パターンが形成された表面に、光硬化性の樹脂を塗布して塗布層を形成することと、前記塗布層上に、前記透明支持基材を配置することと、前記透明支持基材側から紫外線の光を照射して前記塗布層を硬化させ、前記透明樹脂層を形成することと、前記透明樹脂層から前記モールドを剥離することとを含んでもよい。無電解メッキにより前記導電部を形成してもよい。
本発明の発熱フィルムは、導電部の骨見えを抑制でき、透明性(透過率)が高く、また、通電時に十分な発熱量を得られる。このため、車両の運転者の視界及び車両の意匠性を維持しつつ、車両の窓、ミラー等を効率的に加熱できる発熱フィルムとして利用できる。また、本発明の発熱フィルムは導電部の断線の影響を受け難く、耐久性及び信頼性が高い。
以下、本発明の発熱フィルム及びその製造方法の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
[発熱フィルム]
本実施形態の発熱フィルム10は、図1(a)に示すように、透明支持基材33及びその上に形成された透明樹脂層12から構成される透明フィルム11と、透明フィルム11上に形成された導電部13とを備える。透明樹脂層12は断面が矩形の凹部(溝)11cを有する。凹部11cは、図2に示すように、透明フィルム11の表面11sにおいて、第1方向に延在する第1溝11Aと、第1方向と交差する第2方向に延在する第2溝11Bを含む。第1溝11Aと第2溝11Bを含む凹部(溝)11cは、発熱フィルム10の平面視で格子状のパターン(パターンA)を形成する格子溝である。パターンAでは、第1方向と第2方向とが直交している。導電部13は、透明フィルム11の凹部11c内に導電性材料が充填されてなる。即ち、導電部13は、凹部11c内に存在する。導電部13は、第1溝11Aに充填された第1導電部13Aと、第2溝11Bに充填された第2導電部13Bを含む。図2に示すように、第1導電部13A及び第2導電部13Bは格子状であり、透明フィルム11の表面11aに格子状のパターン(パターンA)を形成する。尚、第1溝11Aと第2溝11Bとを区別する必要がないときは、これらをまとめて指して凹部(溝、格子溝)11cと記載する。同様に、第1導電部13Aと第2導電部13Bとを区別する必要がないときは、これらをまとめて指して、導電部13と記載する。
本実施形態の発熱フィルム10は、図1(a)に示すように、透明支持基材33及びその上に形成された透明樹脂層12から構成される透明フィルム11と、透明フィルム11上に形成された導電部13とを備える。透明樹脂層12は断面が矩形の凹部(溝)11cを有する。凹部11cは、図2に示すように、透明フィルム11の表面11sにおいて、第1方向に延在する第1溝11Aと、第1方向と交差する第2方向に延在する第2溝11Bを含む。第1溝11Aと第2溝11Bを含む凹部(溝)11cは、発熱フィルム10の平面視で格子状のパターン(パターンA)を形成する格子溝である。パターンAでは、第1方向と第2方向とが直交している。導電部13は、透明フィルム11の凹部11c内に導電性材料が充填されてなる。即ち、導電部13は、凹部11c内に存在する。導電部13は、第1溝11Aに充填された第1導電部13Aと、第2溝11Bに充填された第2導電部13Bを含む。図2に示すように、第1導電部13A及び第2導電部13Bは格子状であり、透明フィルム11の表面11aに格子状のパターン(パターンA)を形成する。尚、第1溝11Aと第2溝11Bとを区別する必要がないときは、これらをまとめて指して凹部(溝、格子溝)11cと記載する。同様に、第1導電部13Aと第2導電部13Bとを区別する必要がないときは、これらをまとめて指して、導電部13と記載する。
<透明フィルム>
透明フィルム11は、前述のように、透明支持基材33とその上に積層された透明樹脂層12を有する。
透明フィルム11は、前述のように、透明支持基材33とその上に積層された透明樹脂層12を有する。
透明樹脂層12としては、光硬化および熱硬化、湿気硬化型、化学硬化型(二液混合)等の樹脂を用いることができる。具体的には、例えば、エポキシ系、アクリル系、メタクリル系、ビニルエーテル系、オキセタン系、ウレタン系、メラミン系、ウレア系、ポリエステル系、ポリオレフィン系、フェノール系、架橋型液晶系、フッ素系、シリコーン系、ポリアミド系等のモノマー、オリゴマー、ポリマー等の各種樹脂が挙げられる。透明樹脂層12の厚さは0.5〜500μm、1〜400μm、5〜200μm、又は2〜20μmの範囲内であってよい。厚さが前記下限未満では、透明樹脂層12に形成される凹部11cの深さが不十分となり易く、前記上限を超えると、硬化時に生じる樹脂の体積変化の影響が大きくなる懸念がある。
透明支持基材33としては、可視光を透過する公知のフィルム基材を利用することができる。例えば、ガラス等の透明無機材料からなる基材;ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアリレート等)、(メタ)アクリル系樹脂(ポリメチルメタクリレート等)、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、スチレン系樹脂(ABS樹脂等)、セルロース系樹脂(トリアセチルセルロース等)、ポリイミド系樹脂(ポリイミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂等)、シクロオレフィンポリマー等の樹脂からなる基材などを利用することができる。可撓性の観点から、透明支持基材33は樹脂フィルムであってよい。透明支持基材33の厚さは、光学特性の観点から1〜500μm、10〜300μm、又は20〜150μmであることが好ましい。1μmよりも薄い場合は支持基材としての機能が損なわれる恐れがあり、500μmよりも厚い場合は光透過性が十分でない場合がある。
<導電部>
導電部13は、通電されることにより発熱する。したがって、導電部13は、発熱フィルム10の発熱部である。図1(b)に示すように、導電部13は、透明フィルム11の凹部(溝)11cを充填するように形成されており、凹部11cのフィルムの面内方向の外側にはみ出てはいない。本実施形態では導電部13の上面13s(溝から露出している部分)と透明フィルム11の表面11sの間には段差がなく、両者は同一平面内に位置している。すなわち、凹部11cの深さDと導電部13の高さHは略同一である。尚、透明フィルム11の表面11sとは、透明フィルム11の凹部11cを除く表面部分を意味する。
導電部13は、通電されることにより発熱する。したがって、導電部13は、発熱フィルム10の発熱部である。図1(b)に示すように、導電部13は、透明フィルム11の凹部(溝)11cを充填するように形成されており、凹部11cのフィルムの面内方向の外側にはみ出てはいない。本実施形態では導電部13の上面13s(溝から露出している部分)と透明フィルム11の表面11sの間には段差がなく、両者は同一平面内に位置している。すなわち、凹部11cの深さDと導電部13の高さHは略同一である。尚、透明フィルム11の表面11sとは、透明フィルム11の凹部11cを除く表面部分を意味する。
導電部13の線幅Wは、0.2〜10μmであり、好ましくは、0.5〜10μm、0.7〜8μm、0.9〜6μm、又は1〜5μmである。導電部13の線幅Wが上記範囲の上限を超えると、導電部13が視認可能になり、骨見えが生じ、発熱フィルム10の透明性(透過率)が低下する虞がある。また、導電部13の線幅Wが上記範囲の下限未満であると、導電性が不十分になり発熱量が不足する虞がある。また、導電部13が断線するリスクが高まり、発熱フィルム10の耐久性及び信頼性が低下する。尚、導電部13の線幅Wは、導電部13が延在する方向と垂直な断面における導電部13の幅の最大値である。本実施形態では、第1導電部13Aと、第2導電部13Bとは、同一の線幅Wを有する。しかし、本実施形態はこれに限定されず、第1導電部13A及び第2導電部13Bは、それぞれ異なる線幅Wを有してよい。
導電部13の高さHは、0.5〜10μmであり、好ましくは、0.7〜7μm、1〜5μm又は2〜4μmである。導電部13の高さHが上記範囲の上限を超えると、格子パターンを形成し難くなる。また、導電部13の高さHが上記範囲の下限未満であると、導電性が不十分になり発熱量が不足する虞がある。発熱フィルム10の耐久性及び信頼性が低下する。尚、導電部13の高さHとは、凹部11cの底から導電部13の表面13sまでの距離(導電部13の厚さ)の最大値である。本実施形態では、第1導電部13Aと、第2導電部13Bとは、同一の高さHを有する。しかし、本実施形態はこれに限定されず、第1導電部13A及び第2導電部13Bは、それぞれ異なる高さHを有してよい。
図1(b)に示すように導電部13の高さHは、好ましくは、導電部13の線幅Wの0.1倍以上、0.1〜5倍又は0.5〜2倍であってよい。すなわち、導電部13の延在方向に垂直な面における断面形状の縦横比(アスペクト比)は好ましくは1:10〜5:1又は1:2〜2:1の範囲内であってよい。本実施形態の導電部13の高さHが線幅Wの1倍以上であることにより、導電部13は十分な導電性、発熱性を有することができる。それにより、発熱フィルム10は骨見えのない良好な外観と高導電性を両立することができる。また、導電部13の高さHが線幅Wの5倍より大きい場合、発熱フィルム10を斜めから見た場合に視認性が低下する虞がある。
凹部11cの深さDと導電部13の高さHは、等しくなくてもよい。例えば、図3(a)に示すように凹部11cの深さDより導電部13の高さHが高くてもよい。すなわち、導電部13の盛り上がり部13x(透明フィルム11の表面11sよりも高い部分)が、存在していてもよい。それでも、盛り上がり部13xは、凹部11cの基板面内方向の外側にはみ出ることはない。こうすることにより、導電部13の断面積を大きくすることができ、この結果、格子パターンにおける導電部13の面積比率(被覆率)を上げることなく導電部13の抵抗値を下げることができる。盛り上がり部13xの高さ(表面11sからの高さ)は、0.5μm以下にすることが好ましい。0.5μmを超えると導電部の耐摩耗性が低下する。凹部11cの深さDに対する導電部13の高さHの比(H/D)は、耐摩耗性の観点から1.0<H/D≦1.2、1.0<H/D≦1.15、又は1.0<H/D≦1.10(但し、盛り上がり部13xの高さは0.5μm以下)であることが好ましい。
あるいは、図3(b)に示すように、導電部13が凹部11cの深さより低く、導電部13が凹部11cの内部に部分的に充填されていてもよい。こうすることにより、導電部13が凹部内に完全に収容されるために透明フィルム11の表面の耐摩耗性に優れ、導電部13が劣化し難くなる。凹部11cの深さDに対する導電部13の高さHの比(H/D)は、導電性を確保するという観点から、0.1<H/D、0.3≦H/D、又は0.5≦H/Dであることが好ましい。
本実施形態では、図2に示すように、同一の線幅W、同一の高さHを有する複数の導電部13(第1導電部13A及び第2導電部13B)が規則的に格子状に交差して、透明フィルム11の表面11s上に格子パターン(格子状のパターンA)を形成する。第1導電部13A及び第2導電部13Bが互いに直交することにより導電部13は平面視で均等に分散し、これにより、骨見えが抑制され、透明性が向上する。また、パターンAは、第1導電部13Aと、第2導電部13Bとが交差する(直交する)交点Rを複数有する。詳細は後述するが、パターンAが交点Rを有するため、本実施形態の発熱フィルム10は導電部13の断線の影響を受け難く、耐久性及び信頼性が高い。
隣り合う2つの第1溝11Aに充填された導電部間の間隔、即ち、隣り合う2つの第1導電部13A間の第1間隔P1は、20〜1000μmであり、好ましくは、50〜800μm、80〜600μm又は90〜500μmである。第1間隔P1が上記範囲の下限未満であると、発熱フィルム10の透明性(透過率)が低下する虞がある。また、第1間隔P1が上記範囲の上限を超えると、発熱フィルム10の発熱量が不足する虞がある。また、交点Rの数が減少するため、発熱フィルム10は導電部13の断線の影響を受け易くなり、耐久性及び信頼性が低下する虞がある。尚、第1間隔P1は、第1方向に垂直な方向における、隣り合う2つの第1導電部13Aの間の距離(間隔)である。第1方向と第2方向が直交するパターンAにおいては、第1間隔P1は、第2方向における距離(間隔)である。また、第1間隔P1は、第1方向に垂直な方向における、隣り合う2つの第1導電部13Aの対向する縁(端部)の間の距離である。
第1方向における、隣り合う2つの第2溝11Bに充填された導電部間の間隔、即ち、第1方向における、隣り合う2つの第2導電部13B間の第2間隔P2は、特に限定されない。発熱フィルム10の透明性と発熱量とを両立する観点からは、例えば、20〜20000μm、50〜15000μm、80〜6000μm、又は90〜3000μmであってよい。第2間隔P2が上記範囲であれば、高い透明性(透過率)を実現できる。また、図2に示すパターンAにおいて、第2間隔P2は、第1間隔P1より大きい(広い)が、本実施形態はこれに限定されない。第1間隔P1と第2間隔P2とは、同一であってもよいし、異なってもよい。但し、導電部13の骨見えを抑制し、透明性(透過率)を高める観点からは、第2間隔P2は、第1間隔P1より大きい(広い)方が好ましい。尚、第2間隔P2は、第1方向における、隣り合う2つの第2導電部13Bの対向する縁(端部)の間の距離である。
第1間隔P1及び第2間隔P2は、導電部13の線幅Wと共に、導電部13の骨見えに影響を与える場合がある。導電部13の線幅Wの大きさに依存するが、第1間隔P1及び第2間隔P2が小さく(狭く)なると、導電部13の骨見えがより抑制される場合がある。これは、第1間隔P1及び第2間隔P2の大きさを人間の目が認識できなくなり、導電部13の格子パターンがより目立たなくなるためだと推測される。例えば、導電部13の線幅Wが2μm以下であるとき、第1間隔P1が300μm未満で、且つ第2間隔P2が5000μm以下であると、骨見えがより抑制されるため好ましい。更に、上述のように、第2間隔P2は狭過ぎると透明性が低下する虞があるため、第2間隔P2は、例えば、1000以上であることが好ましい。したがって、骨見えを抑制し、且つ高い透明性を得るためには、例えば、導電部13の線幅Wが2μm以下であるとき、第1間隔P1が300μm未満で、且つ第2間隔P2が1000〜5000μm以下であることが好ましい。
格子状の導電部13における交点Rの数、即ち、第1溝11A内に存在する第1導電部13Aと、第2溝11B内に存在する第2導電部13Bとの交点Rの数は、20〜2500個/cm2であり、好ましくは、30〜2000個/cm2又は50〜1500個/cm2である。本実施形態において、発熱部である導電部13に断線が生じた場合、断線部の周辺には通電できず発熱できなくなり、発熱フィルム10の表面11sの一部は、発熱フィルムとしての機能できなくなる。発熱フィルム10の表面11sにおいて、1箇所の導電部13の断線により発熱に寄与できなくなる面積を「断線影響面積」と定義する。格子パターンにおいて、交点Rの数が多いほど断線影響面積は小さくなる。即ち、交点Rの数が多いほど、発熱フィルム10は導電部13の断線の影響を受け難くなり、発熱フィルム10の耐久性及び信頼性が高くなる。格子パターンにおける交点Rの数が上記範囲の下限未満であると、発熱フィルム10は十分な耐久性及び信頼性を得られない。反対に、格子パターンにおける交点Rの数が上記範囲の上限を超えると、発熱フィルム10の透明性(透過率)が低下する虞がある。
また、導電部13の面積比率は、0.1〜10%であり、好ましくは、0.2〜3%又は0.3〜1%である。導電部13の面積比率が上記範囲の下限未満であると、発熱量が不足する虞がある。導電部13の面積比率が上記範囲の上限を超えると、発熱フィルム10の透明性(透過率)が低下する虞がある。尚、導電部13の面積比率とは、発熱フィルム10の平面視において、発熱フィルム10の表面の格子状の導電部13が形成されている領域(格子状のパターンAが形成されている領域)における導電部13の被覆率である。
導電部13の材料としては、ニッケル、銅、亜鉛、クロム、パラジウム、銀、スズ、鉛、金、アルミニウムなどの金属、並びにこれらの金属の合金や化合物等が挙げられる。導電性の観点からは、ニッケル、銅、銀、金等の金属並びにこれらの金属の合金や化合物等が好ましく、フレキシブル性の観点からは、銀、銅、ニッケル等の金属又は合金が好ましい。
本実施形態の発熱フィルム10の波長550nmの光の透過率は、好ましくは、60〜98%、80〜95%又は85〜92%であってよい。透過率が上記範囲内であれば、発熱フィルム10は十分な透明性を有する。
本実施形態の発熱フィルム10の面抵抗値は、好ましくは、0.003〜70Ω/sq.、0.05〜30Ω/sq.又は0.1〜20Ω/sq.であってよい。面抵抗値がこの範囲であれば、発熱フィルム10は通電時に十分な発熱量を得られる。
本実施形態の発熱フィルム10の昇温速度は、好ましくは、0.02〜0.5℃/sec.、0.03〜0.4℃/sec.、又は0.04〜0.3℃/sec.であってよい。昇温速度がこの範囲であれば、発熱フィルムは通電時に十分な発熱特性を発揮できる。尚、昇温速度は、例えば、後述の実施例で説明する測定方法及び測定条件で測定できる。
発熱フィルム10は、導電部13に通電して発熱するために、導電部13の末端に連結する引き出し配線を備えていてもよい。引き出し配線は、導電部13の上面13sと同じ高さにしてよく、特に、導電部13の上面13s及び透明フィルム11aの表面11sとの間には段差がなく、いずれも同一平面内に位置してよい。引き出し配線の材料としては、導電部13の材料として例示したものと同様のものを用いることができる。
以上説明したように、本実施形態の発熱フィルム10は、第1導電部13A及び第2導電部13Bの線幅W及び高さH、格子パターンにおける第1間隔P1、交点の数、及び導電部の面積比率が所定の範囲内である。これにより、本実施形態の発熱フィルム10は、導電部の骨見えを抑制でき、透明性(透過率)が高く、また、通電時に十分な発熱量を得られる。更に、本実施形態の発熱フィルムは、導電部の断線の影響を受け難く、耐久性及び信頼性が高い。このため、本実施形態の発熱フィルム10は、車両の運転者の視界及び車両の意匠性を低下させずに、車両の窓、ミラー等を効率的に加熱できる発熱フィルムとして利用できる。
[発熱フィルムの製造方法]
図4のフローチャートに示すように、発熱フィルム10の製造方法は、表面11sに、格子溝11c(第1溝11A及び第2溝11B)が形成された透明フィルム11を用意することと(図4のステップS1)と、格子溝11cに導電性材料を充填して、導電部13(第1導電部13A及び第2導電部13B)を形成することとを含む(図4のステップS2)。発熱フィルム10は、例えば、導電部13に対応する凹凸パターンを有するモールドを使用し、インプリントにより凹凸付き透明フィルム11を形成し、次いで、無電解メッキにより凹部に導電部材を充填することにより製造してもよい。以下に、発熱フィルム10の製造方法の具体例を図5及び6を参照しながら説明する。
図4のフローチャートに示すように、発熱フィルム10の製造方法は、表面11sに、格子溝11c(第1溝11A及び第2溝11B)が形成された透明フィルム11を用意することと(図4のステップS1)と、格子溝11cに導電性材料を充填して、導電部13(第1導電部13A及び第2導電部13B)を形成することとを含む(図4のステップS2)。発熱フィルム10は、例えば、導電部13に対応する凹凸パターンを有するモールドを使用し、インプリントにより凹凸付き透明フィルム11を形成し、次いで、無電解メッキにより凹部に導電部材を充填することにより製造してもよい。以下に、発熱フィルム10の製造方法の具体例を図5及び6を参照しながら説明する。
<モールドの準備工程>
図5(a)に示すように、表面に、断面形状として矩形の凸部20aが所定間隔で形成された凹凸パターン付きモールド20を準備する。モールドの凹凸パターンは平面視で複数の直線部が所定間隔で交差する格子パターンである(図2のパターンA参照)。凸部20aの高さ及び幅並びに凸部20a間の間隔は、前述の導電部13の設計寸法と同一となるようにする。モールド20は、例えば、シリコン基板上に塗布したフォトレジストに所定パターンのマスクを介して感光及びエッチングするフォトリソグラフィ法を用いて作製することができる。モールド20の表面には次の工程のために離型剤を塗布するのが好ましい。
図5(a)に示すように、表面に、断面形状として矩形の凸部20aが所定間隔で形成された凹凸パターン付きモールド20を準備する。モールドの凹凸パターンは平面視で複数の直線部が所定間隔で交差する格子パターンである(図2のパターンA参照)。凸部20aの高さ及び幅並びに凸部20a間の間隔は、前述の導電部13の設計寸法と同一となるようにする。モールド20は、例えば、シリコン基板上に塗布したフォトレジストに所定パターンのマスクを介して感光及びエッチングするフォトリソグラフィ法を用いて作製することができる。モールド20の表面には次の工程のために離型剤を塗布するのが好ましい。
<インプリントによる透明フィルムの調製工程>
次いで、モールド20の凸部20aが形成された表面に、紫外線硬化樹脂のような光硬化性の樹脂を塗布して塗布層22を形成する。次いで、塗布層22上に、例えば、PETフィルムのような合成樹脂から成る透明支持基材33を配置して図5(b)に示すような積層体を形成する。次いで、この積層体に、透明支持基材33側から紫外線の光を照射する。これにより、塗布層22を構成する光硬化性樹脂を硬化させ、透明樹脂層12を形成する。次いで、図5(c)に示すように、モールド20を積層体の透明樹脂層12から剥離して、モールドの凸部20aのパターンに対応する格子状の凹部(格子溝)11cが表面に形成された透明樹脂層12を備える透明フィルム11が得られる。
次いで、モールド20の凸部20aが形成された表面に、紫外線硬化樹脂のような光硬化性の樹脂を塗布して塗布層22を形成する。次いで、塗布層22上に、例えば、PETフィルムのような合成樹脂から成る透明支持基材33を配置して図5(b)に示すような積層体を形成する。次いで、この積層体に、透明支持基材33側から紫外線の光を照射する。これにより、塗布層22を構成する光硬化性樹脂を硬化させ、透明樹脂層12を形成する。次いで、図5(c)に示すように、モールド20を積層体の透明樹脂層12から剥離して、モールドの凸部20aのパターンに対応する格子状の凹部(格子溝)11cが表面に形成された透明樹脂層12を備える透明フィルム11が得られる。
<無電解メッキによる導電部の形成>
上記のようにして得られた透明フィルム11の透明樹脂層12の凹部11cに以下のようにして無電解メッキにより導電部13を形成した。
上記のようにして得られた透明フィルム11の透明樹脂層12の凹部11cに以下のようにして無電解メッキにより導電部13を形成した。
(A)メッキ触媒下地層の形成(シランカップリング処理)
無電解メッキを施す際に、メッキ膜の強固な密着性を確保するためにメッキ膜を施す部位にシランカップリング処理を施すことが好ましい。このような処理に用いるシランカップリング剤としては、例えば、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシランや、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−(N−フェニル)アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン化合物やその他の反応性官能基を有するシラン化合物を用いることができる。このようなシランカップリング剤の溶液を透明フィルム11の表面11sの塗布することで、図6(a)に示すように、透明樹脂層12の凹部11c含む表面に下地層28を形成する。下地層28の透明樹脂層12の表面への密着性を向上させるために、下地層形成材料の溶液の塗布後、透明フィルム11を加熱してもよい。また、下地層形成材料の溶液の塗布前に、透明樹脂層12の表面にUV光を照射して透明樹脂層12の表面の表面改質を行ってもよい。
無電解メッキを施す際に、メッキ膜の強固な密着性を確保するためにメッキ膜を施す部位にシランカップリング処理を施すことが好ましい。このような処理に用いるシランカップリング剤としては、例えば、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシランや、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−(N−フェニル)アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン化合物やその他の反応性官能基を有するシラン化合物を用いることができる。このようなシランカップリング剤の溶液を透明フィルム11の表面11sの塗布することで、図6(a)に示すように、透明樹脂層12の凹部11c含む表面に下地層28を形成する。下地層28の透明樹脂層12の表面への密着性を向上させるために、下地層形成材料の溶液の塗布後、透明フィルム11を加熱してもよい。また、下地層形成材料の溶液の塗布前に、透明樹脂層12の表面にUV光を照射して透明樹脂層12の表面の表面改質を行ってもよい。
次いで、下地層28が凹部11cの内表面にだけ存在するような処理を施す。この処理は、例えば、凹部11cの開口部を除く透明樹脂層12の表面上の下地層28にだけUV光を照射することを含む。必要に応じて、光を遮断するマスク等を用いてもよい。この結果、図6(b)に示すように凹部11cの内表面にだけ下地層28が存在する透明フィルム11を得ることができる。
(B)メッキ触媒の担持
次に、公知のメッキ触媒液に、上記のようにして得られた凹部11cの内表面にだけ下地層28が存在する透明フィルム11を浸漬する。これにより、凹部11cの内部にのみメッキ触媒である金属のイオン(例えば、パラジウムイオン)が担持された透明フィルム(メッキ用透明フィルムの前駆体)を得る。メッキ触媒液として、塩化パラジウム(II)溶液やテトラクロリド金(III)酸溶液を使用することができる。さらに、この透明フィルムを還元処理することで、凹部11cの内表面にだけパラジウムのようなメッキ触媒が付着した透明フィルム(メッキ用透明フィルム)を得ることができる。
次に、公知のメッキ触媒液に、上記のようにして得られた凹部11cの内表面にだけ下地層28が存在する透明フィルム11を浸漬する。これにより、凹部11cの内部にのみメッキ触媒である金属のイオン(例えば、パラジウムイオン)が担持された透明フィルム(メッキ用透明フィルムの前駆体)を得る。メッキ触媒液として、塩化パラジウム(II)溶液やテトラクロリド金(III)酸溶液を使用することができる。さらに、この透明フィルムを還元処理することで、凹部11cの内表面にだけパラジウムのようなメッキ触媒が付着した透明フィルム(メッキ用透明フィルム)を得ることができる。
(C)無電解メッキ
最後に、透明フィルム11(メッキ用透明フィルム)を無電解メッキ液に浸漬して無電解メッキを施す。無電解メッキにより、凹部11cの内部にのみ導電性材料が形成される。こうして、図6(c)に示すような凹部11cの内部に導電部13が形成された発熱フィルム10を得ることができる。
最後に、透明フィルム11(メッキ用透明フィルム)を無電解メッキ液に浸漬して無電解メッキを施す。無電解メッキにより、凹部11cの内部にのみ導電性材料が形成される。こうして、図6(c)に示すような凹部11cの内部に導電部13が形成された発熱フィルム10を得ることができる。
<変形例>
上述の実施形態では、導電部13が形成する格子パターン(格子状のパターン)として、図2に示す、パターンAを用いたが本実施形態はこれに限定されない。平面視で複数の直線部(導電部13)が所定間隔で交差するパターンであれば、格子パターンとして用いることができる。例えば、パターンAでは、第1間隔P1より第2間隔P2が長いため、各格子の平面形状は矩形(長方形)であるが、第1間隔P1と、第2間隔P2とは等しくてもよい。この場合、各格子の平面形状は正方形となる。
上述の実施形態では、導電部13が形成する格子パターン(格子状のパターン)として、図2に示す、パターンAを用いたが本実施形態はこれに限定されない。平面視で複数の直線部(導電部13)が所定間隔で交差するパターンであれば、格子パターンとして用いることができる。例えば、パターンAでは、第1間隔P1より第2間隔P2が長いため、各格子の平面形状は矩形(長方形)であるが、第1間隔P1と、第2間隔P2とは等しくてもよい。この場合、各格子の平面形状は正方形となる。
また、図2に示すパターンAでは、第1導電部13Aは等間隔の第1間隔P1で配置されるが、本実施形態の格子パターンはこれに限定されない。本実施形態の格子パターンは、図7(a)に示すパターンD1のように、複数の第1導電部13Aにより第1複線部13AWが構成されてもよい。隣り合う2つの第1複線部13AWは第1間隔P1で配置されている。第1複線部13AWにおいて、複数の第1導電部13Aは、第1間隔P1より狭い第4間隔P4で配置される。第1導電部13Aが第1複線部13AWを構成することにより、交点Rの数が増加し、断線影響面積が小さくなる。これにより、パターンD1を用いた発熱フィルム10は導電部13の断線の影響をより受け難くなり、耐久性及び信頼性がより高くなる。第4間隔P4は、例えば、0.2〜20μm、0.3〜15μm又は0.5〜10μmであってよい。パターンD1では、第1複線部13AWは3個(3本)の第1導電部13Aにより構成されるが、本変形例はこれに限定されない。第1複線部13AWを構成する第1導電部13Aの数は、例えば、2〜10個、2〜5個、又は2〜3個としてよい。尚、第4間隔P4は、第1方向に垂直な方向における距離であり、第1複線部13AWにおける、隣り合う2つの第1導電部13Aの対向する縁(端部)の間の距離である。
本実施形態の格子パターンは、図7(b)に示すパターンD2のように、複数の第2導電部13Bにより第2複線部13BWが構成されてもよい。隣り合う2つの第2複線部13BWは、第1方向において第2間隔P2で配置されている。第2複線部13BWにおいて、複数の第2導電部13Bは、第1方向において第2間隔P2より狭い第5間隔P5で配置される。第2導電部13Bが第2複線部13BWを構成することにより、交点Rの数が増加し、断線影響面積が小さくなる。これにより、パターンD2を用いた発熱フィルム10は導電部13の断線の影響をより受け難くなり、耐久性及び信頼性がより高くなる。第5間隔P5は、例えば、0.5〜20μm、0.7〜15μm又は1.0〜10μmであってよい。パターンD2では、第2複線部13BWは3個(3本)の第2導電部13Bにより構成されるが、本変形例はこれに限定されない。第2複線部13BWを構成する第2導電部13Bの数は、例えば、2〜10個、2〜5個、又は2〜3個としてよい。尚、第5間隔P5は、第1方向における距離であり、第2複線部13BWにおける、隣り合う2つの第2導電部13Bの対向する縁(端部)の間の距離である。
パターンD1(図7(a))又はパターンD2(図7(b))を用いた発熱フィルム10では、上述のように導電部13の断線の影響を受け難いため、導電部13の線幅Wを小さく(狭く)してもよい。導電部13の線幅Wを小さくすることで、発熱フィルム10の透明性(透過率)がより向上し、導電部13の骨見えもより抑制できる。また、導電部13の線幅Wが小さい場合でも、第1複線部13AW及び第2複線部13BWは複数の導電部13(第1導電部13A、第2導電部13B)によって構成されるため、発熱フィルム10は十分な発熱量を得られる。パターンD1及びパターンD2において、導電部13の線幅Wは、例えば、0.2〜10μm、好ましくは0.3〜5μm、又は0.5〜3μmとしてよい。
本実施形態の格子パターンは、図8に示すパターンEのように、第1方向と第2方向とか直交しなくてもよい。この場合、パターンEにおける格子の形状は平行四辺形となる。パターンEでは、第2導電部13Bの延在方向である第2方向を第1方向に近づける(傾ける)ことで、引張などの応力がかかった際に導電配線が交わる交差点部へかかる局所的な応力を緩和することができる。
以上、本発明を実施形態により説明してきたが、本発明の発熱フィルム及びこれの製造方法は上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載した技術的思想の範囲内で適宜改変することができる。
以下に、発熱フィルム及びその製造方法の実施例を説明するが、本発明はそれらに限定されない。
[実施例1]
<透明フィルムの調製工程>
モールド20として、一方の表面に断面形状が矩形(高さ2μm、幅1μm)の線状の凸部により、図2に示す格子パターン(パターンA)が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を準備した(図5(a)参照)。Siウエハ表面において、第2方向における、隣り合う凸部間の間隔(第1間隔P1に相当)は100μmとし、第1方向における、隣り合う凸部の間隔(第2間隔P2に相当)は5000μmとした。尚、凸部間の間隔とは、第1方向又は第2方向における、隣り合う2つの凸部の対向する縁(端部)の間の距離である。凸部を有する表面に、フッ素系精密離型剤の膜(膜厚約30nmの超薄膜)を形成することにより離型処理を施した。
<透明フィルムの調製工程>
モールド20として、一方の表面に断面形状が矩形(高さ2μm、幅1μm)の線状の凸部により、図2に示す格子パターン(パターンA)が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を準備した(図5(a)参照)。Siウエハ表面において、第2方向における、隣り合う凸部間の間隔(第1間隔P1に相当)は100μmとし、第1方向における、隣り合う凸部の間隔(第2間隔P2に相当)は5000μmとした。尚、凸部間の間隔とは、第1方向又は第2方向における、隣り合う2つの凸部の対向する縁(端部)の間の距離である。凸部を有する表面に、フッ素系精密離型剤の膜(膜厚約30nmの超薄膜)を形成することにより離型処理を施した。
離型処理を施したモールド20表面に、アクリル系UV硬化樹脂(以下、場合により単に「UV硬化樹脂」と称する)をドロップキャストして、UV硬化樹脂からなる塗布層22を厚さ13μmで形成した。次いで、この塗布層22上に厚さ100μmのPETフィルム(透明支持基材33)を配置して、UV硬化樹脂からなる塗布層22(未硬化の透明樹脂層12)をモールド20とPETフィルム33とで挟み込んだ積層体とした(図5(b)参照)。次いで、この積層体に、PETフィルム33側から高圧水銀ランプを用いて中心波長365nmのUV光を2000mJ/cm2にて照射し、塗布層22を形成するUV硬化樹脂を硬化させ、透明樹脂層12(厚さ10μm)を形成した。次いで、モールド20を積層体の透明樹脂層22から剥離して、モールド20の凸部のパターン形状に由来した格子状の凹部が表面に形成された透明樹脂層22を備える透明フィルム11を得た(図5(c)参照)。透明フィルム11の表面において、第2方向における、隣り合う凹部間の間隔(第1間隔P1に相当)は100μmであり、第1方向における、隣り合う凹部の間隔(第2間隔P2に相当)は5000μmであった。
<メッキ触媒下地層を形成する工程>
シランカップリン処理に用いる下地層原料溶液を次のようにして調製した。エタノール200mL中に3−アミノプロピルトリエトキシシラン1mLを添加し、30分間撹拌し、3−アミノプロピルトリエトキシシランの溶液(下地層原料溶液)(溶媒:エタノール、3−アミノプロピルトリエトキシシランの濃度:0.5体積%)とした。
シランカップリン処理に用いる下地層原料溶液を次のようにして調製した。エタノール200mL中に3−アミノプロピルトリエトキシシラン1mLを添加し、30分間撹拌し、3−アミノプロピルトリエトキシシランの溶液(下地層原料溶液)(溶媒:エタノール、3−アミノプロピルトリエトキシシランの濃度:0.5体積%)とした。
上述のようにして得られた透明フィルム11の透明樹脂層12側表面の全面に3000mJ/cm2にてUV光を照射して、予め透明樹脂層12の表面の表面改質を行った。次いで、バーコーターを用いて、下地層原料溶液を前記表面改質後の透明フィルム11の透明樹脂層12側の表面に膜厚(Wet膜厚)が10μmとなるように塗布した。透明樹脂層12側の表面の全面(凹部11cの内表面を含む全面)に、3−アミノプロピルトリエトキシシランからなる下地層(下地層の材料である3−アミノプロピルトリエトキシシランと透明フィルム上の水酸基との反応物からなる層)28を形成した。その後、透明フィルム11の透明樹脂層12側の表面及び凹部11cの内表面に3−アミノプロピルトリエトキシシランからなる層(下地層28)がより十分に密着するように、透明フィルム11を70℃に加熱されたオーブン内で3分間加熱処理を施した。このようにして、透明フィルム11の透明樹脂層12側の表面及び凹部11cの内表面の全面に亘って、3−アミノプロピルトリエトキシシランからなる下地層28が形成された透明フィルム11を得た(図6(a)参照)。
次いで、下地層28が形成された透明フィルム11の下地層28側表面の全面にUV光を照射した。これにより、透明フィルム11表面および凹部11cの内表面のうち、透明フィルム11表面近傍に存在する下地層28を除去した。この際、凹部11cの内表面のうち、透明フィルム11表面近傍を除く内表面には下地層が存在している。すなわち、透明フィルム11の凹部11cの内表面にのみ選択的に下地層28が形成された透明フィルム11を得た(図6(b)参照)。
<凹部の内部への触媒選択担持工程>
メッキ触媒液として、0.2gの塩化パラジウム(II)に塩酸1.0mLを加え、加熱して溶解させた後、イオン交換水1Lを加えることにより、塩化パラジウム(II)の溶液を得た。次いで、得られたメッキ触媒液に、上述のようにして得られた凹部11cの内表面にのみ下地層28が形成された透明フィルム11を室温条件下で10分間浸漬させることで、凹部11cの内表面上に形成された下地層28上にのみパラジウムイオンが担持されたメッキ用透明フィルムの前駆体が得られた。
メッキ触媒液として、0.2gの塩化パラジウム(II)に塩酸1.0mLを加え、加熱して溶解させた後、イオン交換水1Lを加えることにより、塩化パラジウム(II)の溶液を得た。次いで、得られたメッキ触媒液に、上述のようにして得られた凹部11cの内表面にのみ下地層28が形成された透明フィルム11を室温条件下で10分間浸漬させることで、凹部11cの内表面上に形成された下地層28上にのみパラジウムイオンが担持されたメッキ用透明フィルムの前駆体が得られた。
このメッキ用透明フィルムの前駆体を、イオン交換水で水洗した後、イオン交換水1Lに対して、ジメチルアミンボランを3.2g溶解した還元用の溶液(還元剤を含む処理液)に室温条件で10分間浸漬させた。このようにして、メッキ用透明フィルムの前駆体中の凹部内に選択的に担持されたパラジウムイオンを還元して金属パラジウムとすることにより、凹部の内部に金属パラジウムからなる触媒層が選択的に担持されたメッキ用透明フィルムを得た。
<無電解メッキ工程>
下記のような組成の無電解メッキ液(無電解銅メッキ液)を調製した。
硫酸銅五水和物(Cu2+として):0.03mol/L
ホルムアルデヒド:0.2mol/L
EDTA:0.24mol/L
ポリエチレングリコール: 100ppm
2,2’−ビピリジル: 10ppm
水酸化ナトリウム:pHが12.5〜13.2となる添加量
残余:イオン交換水
下記のような組成の無電解メッキ液(無電解銅メッキ液)を調製した。
硫酸銅五水和物(Cu2+として):0.03mol/L
ホルムアルデヒド:0.2mol/L
EDTA:0.24mol/L
ポリエチレングリコール: 100ppm
2,2’−ビピリジル: 10ppm
水酸化ナトリウム:pHが12.5〜13.2となる添加量
残余:イオン交換水
メッキ用透明フィルム11をメッキ浴中の無電解メッキ液に、浸漬して、温度:60℃、時間:10分の条件で無電解メッキを施した。その後、純水で洗浄し、乾燥した。メッキ用透明フィルム11の凹部11cの内部にのみ銅のメッキ皮膜が形成されていた。こうして、凹部11cの内部に銅からなる金属導電層(導電部13)が形成された発熱フィルム10を得た(図6(c)参照)。尚、導電部の高さHは透明フィルムの凹部の深さDと略同一とした。
[実施例2〜10]
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更した以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表1に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を変更した。
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更した以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表1に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を変更した。
[実施例11]
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更し、更に、無電解メッキ液を変更して無電解ニッケルメッキにより導電部を形成したこと以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表1に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び幅)を変更した。無電解メッキには、以下の組成の無電解メッキ液(無電解ニッケルメッキ液、pH範囲:5.0〜5.5)を用いて無電解メッキを施した(温度:50℃、時間:5分)。
硫酸ニッケル六水和物(Ni2+として):0.10mol/L
酢酸アンモニウム:0.40mol/L
リン酸二水素ナトリウムに水和物:0.20mol/L
残余:イオン交換水
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更し、更に、無電解メッキ液を変更して無電解ニッケルメッキにより導電部を形成したこと以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表1に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び幅)を変更した。無電解メッキには、以下の組成の無電解メッキ液(無電解ニッケルメッキ液、pH範囲:5.0〜5.5)を用いて無電解メッキを施した(温度:50℃、時間:5分)。
硫酸ニッケル六水和物(Ni2+として):0.10mol/L
酢酸アンモニウム:0.40mol/L
リン酸二水素ナトリウムに水和物:0.20mol/L
残余:イオン交換水
[実施例12]
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図7(a)に示すパターンD1が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を調整した。また、パターンD1において、第1複線部13AWを構成する第1導電部13Aの数は3個(3本)とし、第4間隔P4は10μmとした。
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図7(a)に示すパターンD1が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を調整した。また、パターンD1において、第1複線部13AWを構成する第1導電部13Aの数は3個(3本)とし、第4間隔P4は10μmとした。
[実施例13]
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図7(b)に示すパターンD2が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を調整した。また、パターンD2において、第2複線部13BWを構成する第2導電部13Bの数は3個(本)とし、第5間隔P5は10μmとした。
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図7(b)に示すパターンD2が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を調整した。また、パターンD2において、第2複線部13BWを構成する第2導電部13Bの数は3個(本)とし、第5間隔P5は10μmとした。
[実施例14及び15]
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更した以外は、実施例1と同様の方法により、発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を変更した。
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更した以外は、実施例1と同様の方法により、発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を変更した。
[実施例16]
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図7(a)に示すパターンD1が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を調整した。また、パターンD1において、第1複線部13AWを構成する第1導電部13Aの数は10個(10本)とし、第4間隔P4は2μmとした。
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図7(a)に示すパターンD1が形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表2に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を調整した。また、パターンD1において、第1複線部13AWを構成する第1導電部13Aの数は10個(10本)とし、第4間隔P4は2μmとした。
[比較例1及び2]
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更した以外は、実施例1と同様の方法により、発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表3に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を変更した。
モールドとして用いるSiウエハ上のパターンAのサイズを変更した以外は、実施例1と同様の方法により、発熱フィルムを製造した。透明フィルム上に表3に示すサイズのパターンが形成されるように、Siウエハの第1方向及び/又は第2方向における凸部間の間隔、凸部の断面形状(高さ及び/又は幅)を変更した。
[比較例3及び4]
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図9に示すパターンFが形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。パターンFは、所謂、ライン/スペース(L/S)パターンであり、第1方向に延び、表3に示す線幅及び高さを有するライン(導電部)を表3に示すスペース(第1間隔P1)で配置した。
モールドとして、一方の表面に断面形状が矩形の線状の凸部により、図9に示すパターンFが形成されているSiウエハ(300mm×300mm)を用いた以外は、実施例1と同様の方法により発熱フィルムを製造した。パターンFは、所謂、ライン/スペース(L/S)パターンであり、第1方向に延び、表3に示す線幅及び高さを有するライン(導電部)を表3に示すスペース(第1間隔P1)で配置した。
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムについて、導電部の線幅W及び高さH、第1導電部間の第1間隔P1、第2導電部間の第2間隔P2を測定した。また、導電部の形成する各パターンにおける、導電部の面積比率、交点の数及び断線影響面積を計算した。結果を表1〜3に示す。
[発熱フィルムの特性の評価]
<電気特性評価試験>
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムを用い、導電部が形成されている表面側の電気特性を抵抗評価装置(三菱ケミカルアナリテック社製の商品名「ロレスタ‐GX」)を用いて四探針法で計測し、面抵抗値を求めた。このようにして求めた面抵抗値を表1〜3に示す。
<電気特性評価試験>
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムを用い、導電部が形成されている表面側の電気特性を抵抗評価装置(三菱ケミカルアナリテック社製の商品名「ロレスタ‐GX」)を用いて四探針法で計測し、面抵抗値を求めた。このようにして求めた面抵抗値を表1〜3に示す。
<透明性評価試験>
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムについて、次のようにして透明性を評価した。分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製の商品名「日立分光光度計U−4100」)を用い、各発熱フィルムに波長550nmの光を照射して透過率を測定した。測定結果を表1及び2に示す。
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムについて、次のようにして透明性を評価した。分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製の商品名「日立分光光度計U−4100」)を用い、各発熱フィルムに波長550nmの光を照射して透過率を測定した。測定結果を表1及び2に示す。
<骨見え評価試験>
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムについて、400luxの蛍光灯環境下で発熱フィルムの外観を目視にて検査し、以下の基準で配線の骨見えを評価した。測定結果を表1〜3に示す。
実施例1〜16及び比較例1〜4で得られた発熱フィルムについて、400luxの蛍光灯環境下で発熱フィルムの外観を目視にて検査し、以下の基準で配線の骨見えを評価した。測定結果を表1〜3に示す。
<骨見えの評価基準>
◎:30cm離れた正面および斜めからでも配線が視認できない
〇:30cm離れた正面から観察して配線が視認できないが、斜めから観察すると配線が視認できる
△:30cm離れた正面から観察して配線がはっきり視認できる
×:50cm離れた正面から観察して配線がはっきり視認できる
◎:30cm離れた正面および斜めからでも配線が視認できない
〇:30cm離れた正面から観察して配線が視認できないが、斜めから観察すると配線が視認できる
△:30cm離れた正面から観察して配線がはっきり視認できる
×:50cm離れた正面から観察して配線がはっきり視認できる
実施例1〜16の発熱フィルムは、導電部の骨見えが抑制されており、透過率(透明性)が高かった。また、面抵抗値が特定の範囲内(0.003〜70Ω/sq.)にあることから、通電時に十分な発熱量が得られることがわかった。また、交点の数が特定の範囲内(20〜2500個/cm2)であることから、導電部の断線の影響を受け難く、耐久性及び信頼性が高いことがわかった。
また、線幅が7μmとやや大きい実施例10の発熱フィルムは、線幅が1〜3μmの他の実施例と比較して、導電部の骨見えがやや目立った(骨見え評価結果:△)。また、格子パターンとして同じパターンAを用いた実施例1〜11、14及び15を比較する。導電部の線幅Wが2μm以下であり、第1間隔P1が300μm未満であり、第2間隔P2が1000〜5000μm以下である実施例1、3、6及び7は、導電部の骨見えがより抑制されており(骨見え評価結果:◎)、且つ透過率も高かった。
一方、比較例1は、第1間隔P1が1498μmと大きく、且つ交点数が13個/cm2と少ないため、断線影響面積が7.5mm2と大きかった。この結果から、比較例1の発熱フィルムは、導電部の断線の影響を受け易く、耐久性及び信頼性が低いことがわかった。比較例2は、導電部の線幅が15μmと大きいため、骨見えが顕著であった(骨見え評価結果:×)。比較例3は、線幅が55μmと大きく、また、L/Sパターン(パターンF)であるため交点を有さず、断線影響面積が728mm2と大きかった。このため、比較例3の発熱フィルムは、骨見えが顕著であり(骨見え評価結果:×)、また、導電部の断線の影響を受け易く、耐久性及び信頼性が低いことがわかった。また、比較例4は、L/Sパターンであるが線幅が細いため骨見えは抑制できたが(骨見え評価:◎)、交点を有さず、断線影響面積が15mm2と大きいため、導電部の断線の影響を受け易く、耐久性及び信頼性が低いことがわかった。
<発熱特性試験>
実施例6、7及び比較例4で得られた発熱フィルムについて、以下の方法により、昇温速度を測定した。10cm角にカットした発熱フィルム(試料)の端部表面に、第1方向に電流を流すための接続電極として、10cmの長さの線状電極を銀ペーストにより形成した。これにより、接続電極は約10cmの間隔をあけて配置された。発熱フィルム(試料)を−10℃の恒温槽の中に投入し、接続電極の間に5Vの電圧を40秒印加した。電圧印加前後のサンプルの温度をサンプルに張り付けた熱電対によって測定した。発熱フィルムの電圧印加前後の温度差(上昇温度)を印加時間である40秒で割り、発熱フィルムの昇温速度とした。
実施例6、7及び比較例4で得られた発熱フィルムについて、以下の方法により、昇温速度を測定した。10cm角にカットした発熱フィルム(試料)の端部表面に、第1方向に電流を流すための接続電極として、10cmの長さの線状電極を銀ペーストにより形成した。これにより、接続電極は約10cmの間隔をあけて配置された。発熱フィルム(試料)を−10℃の恒温槽の中に投入し、接続電極の間に5Vの電圧を40秒印加した。電圧印加前後のサンプルの温度をサンプルに張り付けた熱電対によって測定した。発熱フィルムの電圧印加前後の温度差(上昇温度)を印加時間である40秒で割り、発熱フィルムの昇温速度とした。
実施例6の発熱フィルムの昇温速度は0.07℃/sec.であり、実施例7の発熱フィルムの昇温速度は0.04℃/sec.であった。これらの値は発熱フィルムとして十分な昇温速度であり、実施例5及び7の発熱フィルムが十分な発熱特性を有していることが確認できた。
一方、比較例4で得られた発熱フィルムは、試験の途中で導電部に断線が発生し、昇温速度を測定することができなかった。
本発明の発熱フィルムは、導電部の骨見えを抑制でき、透明性(透過率)が高く、また、通電時に十分な発熱量を得られる。それゆえ、車両の運転者の視界及び車両の意匠性を低下させずに、車両の窓、ミラー等を効率的に加熱できる発熱フィルムとして利用できる。
10 発熱フィルム
11 透明フィルム
11s 透明フィルム表面
11c 凹部(溝)
12 透明樹脂層
13 導電部
13A 第1導電部
13B 第2導電部
R 交点
20 モールド
20a モールド凸部
28 下地層
33 透明支持基材
11 透明フィルム
11s 透明フィルム表面
11c 凹部(溝)
12 透明樹脂層
13 導電部
13A 第1導電部
13B 第2導電部
R 交点
20 モールド
20a モールド凸部
28 下地層
33 透明支持基材
Claims (13)
- 発熱フィルムであって、
表面に第1方向に延在する複数の第1溝と、第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第2溝とを有する透明フィルムと、
第1及び第2の溝内に存在する導電部とを備え、
前記導電部の線幅が0.2〜10μmであり、
前記導電部の高さが、0.5〜10μmであり、
隣り合う2つの第1溝内に存在する前記導電部間の間隔が、20〜1000μmであり、
第1溝内に存在する前記導電部と、第2溝内に存在する前記導電部との交点の数が、20〜2500個/cm2であり、
前記導電部の面積比率が0.1〜10%である発熱フィルム。 - 前記発熱フィルムの、波長550nmにおける光の透過率が、60〜98%である請求項1に記載の発熱フィルム。
- 前記発熱フィルムの面抵抗値が0.003〜70Ω/sq.である請求項1又は2に記載の発熱フィルム。
- 第1方向における、隣り合う2つの第2溝内に存在する前記導電部間の間隔が1000〜15000μmである請求項1〜3のいずれか一項に記載の発熱フィルム。
- 第2方向が第1方向と直交する請求項1〜4のいずれか一項に記載の発熱フィルム。
- 複数の第1溝内に存在する導電部から構成される第1複線部を複数備え、
隣り合う2つの第1複線部は、20〜1000μmの第1間隔で配置され、
第1複線部を構成する前記複数の導電部は、第1間隔より小さい第4間隔で配置されている請求項1〜5のいずれか一項に記載の発熱フィルム。 - 第4間隔が、0.2〜20μmである請求項6に記載の発熱フィルム。
- 複数の第2溝内に存在する導電部から構成される第2複線部を複数備え、
隣り合う2つの第2複線部は、第1方向において第2間隔で配置され、
第2複線部を構成する前記複数の導電部は、第1方向において第2間隔より小さい第5間隔で配置されている請求項1〜7のいずれか一項に記載の発熱フィルム。 - 第5間隔が、0.5〜20μmである請求項8に記載の発熱フィルム。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の発熱フィルムの製造方法であって、
表面に、第1溝及び第2溝を有する前記透明フィルムを用意することと、
第1溝及び第2溝に導電性材料を充填して、前記導電部を形成することとを含む発熱フィルムの製造方法。 - 前記透明フィルムを用意することが、前記導電部に対応する凹凸パターンを有するモールドを用いたインプリントにより、前記透明フィルム上に第1溝及び第2溝を形成することを含む請求項10に記載の発熱フィルムの製造方法。
- 前記透明フィルムが、透明支持基材と、透明支持基材上に形成された透明樹脂層とを有し、
前記透明フィルムを用意することが、
前記導電部に対応する凹凸パターンを有する前記モールドを用意することと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された表面に、光硬化性の樹脂を塗布して塗布層を形成することと、
前記塗布層上に、前記透明支持基材を配置することと、
前記透明支持基材側から紫外線の光を照射して前記塗布層を硬化させ、前記透明樹脂層を形成することと、
前記透明樹脂層から前記モールドを剥離することとを含む請求項11に記載の発熱フィルムの製造方法。 - 無電解メッキにより前記導電部を形成する請求項10〜12のいずれか一項に記載の発熱フィルムの製造方法。
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