JP2021122046A - Nozzle management machine - Google Patents

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Abstract

To provide a nozzle management machine that has higher practical usefulness.SOLUTION: A nozzle management machine 80 is a machine for managing a suction nozzle used for holding an electric component in an electric component mounting device, and comprises: a nozzle housing device 100 capable of housing a plurality of suction nozzles; and a nozzle inspection device 106 that executes an inspection for the suction nozzle that is housed in the nozzle housing device or the suction nozzle which will be housed. The nozzle management machine is constructed so as to execute both of (a) a tip part state inspection that is the inspection regarding to a state of a tip part of the suction nozzle, and (b) a retreat required inspection that is the inspection regarding to a force required for retreating the tip part of the suction nozzle when the tip part of the suction nozzle can be retreated against an energization force.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機に関する。 The present invention relates to a nozzle management machine for managing a suction nozzle used for holding an electric component in an electric component mounting machine.

多くの電気部品装着機では、電気部品を回路基板に装着する際に、その電気部品は吸着ノズルによって保持される。そのような電気部品装着機において適切な吸着ノズルを用いることは、電気部品の装着精度を高く維持するために重要なことである。これまでに、例えば、吸着ノズルの洗浄に関しては、下記特許文献1に記載された技術が、吸着ノズルの検査に関しては、下記特許文献2,特許文献3に記載された技術が、それぞれ存在している。 In many electric component mounting machines, when an electric component is mounted on a circuit board, the electric component is held by a suction nozzle. It is important to use an appropriate suction nozzle in such an electric component mounting machine in order to maintain high mounting accuracy of the electric component. So far, for example, the techniques described in Patent Document 1 below have existed for cleaning the suction nozzles, and the techniques described in Patent Documents 2 and 3 below have existed for the inspection of suction nozzles. There is.

特開2012−114237号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-114237 特開2012−4306号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-4306 特開2010−258185号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-258185

上記のような特許文献が存在する事実からも解るように、適切な吸着ノズルを使用するためには、吸着ノズルを適切に管理する必要がある。そのため、吸着ノズルの適切な管理を行うことのできるノズル管理機、特に、実用性の高いノズル管理機が望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いノズル管理機を提供することを課題とする。 As can be seen from the fact that the above-mentioned patent documents exist, it is necessary to properly manage the suction nozzle in order to use an appropriate suction nozzle. Therefore, a nozzle management machine capable of appropriately managing suction nozzles, particularly a highly practical nozzle management machine is desired. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a highly practical nozzle management machine.

上記課題を解決するために、本発明のノズル管理機は、
電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置と、
そのノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して検査を行うノズル検査装置と、
そのノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器と
を備え、
前記ノズル検査装置が、(a) 吸着ノズルの先端部の状態に関する検査である先端部状態検査の後に、(b) 吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する検査である後退必要力検査を行うように構成され、
前記不良ノズル留置器が、
一の検査項目について不良と判断された複数の不良ノズルを留置するための留置部を、検査項目に対応して複数有するように構成される。
また、本発明のもう一つのノズル管理機は、
電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置と、
そのノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して検査を行うノズル検査装置と
を備え、
そのノズル検査装置が、(a) 吸着ノズルの先端部の状態に関する先端部状態検査を先端部状態検査位置で真下から行う先端部状態検査装置と、(b) 吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する後退必要力検査を後退必要力検査位置で真下から行う後退必要力検査装置と、(c)
吸着ノズルを、前記先端部状態検査位置と前記後退必要力検査位置とへ移動可能な移動装置と、を備え、
前記先端部状態検査と前記後退必要力検査との両方を行うように構成される。
In order to solve the above problems, the nozzle management machine of the present invention
A nozzle management machine for managing suction nozzles used to hold electric components in an electric component mounting machine.
A nozzle accommodating device that can accommodate multiple suction nozzles,
A nozzle inspection device that inspects the suction nozzles that are or will be housed in the nozzle storage device,
It is equipped with a defective nozzle indwelling device that indwells a defective nozzle, which is a suction nozzle judged to be defective based on the inspection result by the nozzle inspection device.
When the nozzle inspection device is (a) after the tip condition inspection, which is an inspection relating to the condition of the tip of the suction nozzle, (b) the tip of the suction nozzle can be retracted against the urging force. It is configured to perform a retreat required force inspection, which is an inspection related to the force required for retreating the tip of the suction nozzle.
The defective nozzle indweller
It is configured to have a plurality of indwelling portions for indwelling a plurality of defective nozzles determined to be defective for one inspection item, corresponding to the inspection item.
Further, another nozzle management machine of the present invention is
A nozzle management machine for managing suction nozzles used to hold electric components in an electric component mounting machine.
A nozzle accommodating device that can accommodate multiple suction nozzles,
It is equipped with a nozzle inspection device that inspects the suction nozzles that are or will be accommodated in the nozzle accommodating device.
The nozzle inspection device is (a) a tip condition inspection device that inspects the tip condition of the tip of the suction nozzle from directly below at the tip condition inspection position, and (b) the tip of the suction nozzle is an urging force. (C)
The suction nozzle is provided with a moving device capable of moving the suction nozzle to the tip state inspection position and the backward required force inspection position.
It is configured to perform both the tip condition inspection and the retreat required force inspection.

本発明によれば、ノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して、上記先端部状態検査と上記後退必要力検査との両方を行うノズル検査装置が設けられたノズル管理機が実現されるため、そのノズル管理機は、実用性の高いものとなる。 According to the present invention, a nozzle management device provided with a nozzle inspection device that performs both the tip state inspection and the backward required force inspection for the suction nozzle accommodated in or will be accommodated in the nozzle accommodating apparatus. Since the machine is realized, the nozzle management machine becomes highly practical.

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明(以下、「請求可能発明」
という場合がある)の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求の範囲と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、以下の各項に付随する記載,実施形態の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。そして、請求可能発明のいくつかの態様が請求項に係る発明となり得る。
The following inventions are recognized as patentable in the present application (hereinafter, "claimable inventions"".
Some aspects of) will be illustrated and described. As in the claims, each aspect is divided into sections, each section is numbered, and the numbers of other sections are cited as necessary. This is only for facilitating the understanding of claimable inventions, and does not mean that the combinations of the components constituting those inventions are limited to those described in the following sections. That is, the claimable invention should be interpreted in consideration of the description accompanying each of the following paragraphs, the description of the embodiment, etc., and as long as the interpretation is followed, other components are added to the aspects of each paragraph. A mode described above, or a mode in which some components are deleted from the mode described in each section, can be one aspect of the claimable invention. Then, some aspects of the claimable invention can be the claimed invention.

≪基本的構成≫
(1)電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置を備えたノズル管理機。
≪Basic configuration≫
(1) A nozzle management machine for managing a suction nozzle used for holding an electric component in an electric component mounting machine.
A nozzle management machine equipped with a nozzle accommodating device capable of accommodating multiple suction nozzles.

本態様は、ノズル管理機(以下、単に「管理機」と言う場合がある)の基本的構成に関する態様である。上記ノズル収容装置(以下、単に「収容装置」と言う場合がある)自体に工夫を凝らすこと、収容装置に収容された吸着ノズル(以下、単に「ノズル」と言う場合がある)に種々の処置を施す手段を設けること等により、実用性の高いノズル管理機が実現される。 This aspect relates to a basic configuration of a nozzle management machine (hereinafter, may be simply referred to as a “management machine”). Ingenuity in the nozzle accommodating device (hereinafter, may be simply referred to as "accommodation device") itself, and various measures for the suction nozzle accommodated in the accommodating device (hereinafter, may be simply referred to as "nozzle"). A highly practical nozzle management machine can be realized by providing a means for applying the nozzle.

≪ノズル収容装置の構造≫
以下のいくつかの態様は、ノズル収容装置の構造に関する態様である。ちなみに、それらいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に収容装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した収容装置の態様とされても、その態様は、請求可能発明の態様となり得る。
≪Structure of nozzle accommodating device≫
Some of the following aspects relate to the structure of the nozzle accommodating device. By the way, some of these aspects are not the mode in which the management machine is categorized, but the mode in which the accommodating device is simply categorized, that is, the mode in which the accommodating device is independent of other components of the management machine. Even so, that aspect can be a claimable aspect of the invention.

(11)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えた(1)項に記載のノズル管理機。 (11) The nozzle management machine according to item (1), wherein the nozzle accommodating device is provided with a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed.

本態様における「パレット」は、ノズル載置器若しくは収容器(コンテナ)と呼ぶことのできるものであり、本態様では、パレット単位で、複数のノズルが収容される。収容装置からの出し入れ,ノズルに対する処置もパレット単位で行えることで、利便性に富んだ管理機が実現される。 The "pallet" in this embodiment can be called a nozzle mounter or a container, and in this embodiment, a plurality of nozzles are accommodated in units of pallets. A highly convenient management machine can be realized by being able to take in and out of the accommodating device and treat the nozzles on a pallet basis.

(12)前記複数のパレットの各々が、それぞれに1つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有する(11)項に記載のノズル管理機。 (12) The nozzle management machine according to item (11), wherein each of the plurality of pallets has a plurality of mounting portions on which one suction nozzle is mounted.

パレットに上記載置部を設けることにより、パレット内にノズルをしっかりと保持することが可能となる。逆に言えば、上記載置部は、ノズルのズレ動きを防止可能な構造とすることが望ましい。 By providing the above-mentioned resting portion on the pallet, the nozzle can be firmly held in the pallet. Conversely, it is desirable that the above-mentioned placing portion has a structure capable of preventing the displacement movement of the nozzle.

(13)前記複数のパレットの1以上のものが、複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(11)項または(12)項に記載のノズル管理機。 (13) The nozzle management machine according to item (11) or (12), wherein one or more of the plurality of pallets can mount a plurality of types of suction nozzles.

1つのパレットに1種類のノズルしか載置できないとすれば、ノズルの種類に応じてパレットの種類も豊富化しなければならず、その豊富化には、ある意味での面倒さが伴う。複数種のノズルを載置可能なパレットとすれば、パレットの種類を少なくすることが可能であり、その面倒さを回避若しくは軽減できることになる。つまり、本態様では、パレットの汎用化が実現されているのである。また、収容装置全体で考えれば、1種類のノズルしか載置できないパレットを複数種類準備した場合、全体のパレット数には制限があるため、ノズルの種類ごとのパレット数を少なくせざるを得ないことになる。それに対して、複数種のノズルを載置可能なパレットを採用することにより、ノズルの種類にあまり左右されることなく、収容装置を簡便に運用することが可能となる。なお、上記面倒さの回避,収容装置の簡便なる運用といった観点からすれば、当該管理機が対象とするすべての種類のノズルが載置可能なパレットを採用することが望ましい。 If only one type of nozzle can be placed on one pallet, the types of pallets must be enriched according to the types of nozzles, and the enrichment involves trouble in a sense. If a pallet on which a plurality of types of nozzles can be placed is used, the number of types of pallets can be reduced, and the troublesomeness can be avoided or reduced. That is, in this aspect, the pallet is generalized. In addition, considering the entire accommodating device, if multiple types of pallets that can mount only one type of nozzle are prepared, the total number of pallets is limited, so the number of pallets for each type of nozzle must be reduced. It will be. On the other hand, by adopting a pallet on which a plurality of types of nozzles can be placed, it is possible to easily operate the accommodating device without being influenced by the types of nozzles. From the viewpoint of avoiding the above-mentioned troubles and simple operation of the accommodating device, it is desirable to adopt a pallet on which all types of nozzles targeted by the management machine can be placed.

一般的に、ノズルは、後に説明するフランジを有しており、上方から見た場合、円い形状をしている。その円い形状のノズルをパレットに並べて配置した場合、比較的外径の大きなノズルでは、配置効率が悪いものとなる。つまり、パレットの面積に比較してノズル、詳しくは、それのフランジが占める面積が比較的小さくなるのである。そのことに鑑みれば、比較的外径の大きなノズルと比較的外径の小さなノズルとを混在させて配置することにより、つまり、それらを互い違いに配置することにより、載置できるノズルの数を多くすることが可能となる。極端に言えば、大きな外径のノズルの隙間に小さな外径のノズルを配置することで、配置効率は、大きく向上するのである。その観点からすれば、本態様では、互いにサイズの異なる複数種のノズル,特に,フランジの外径の異なる複数種のノズルを載置可能に構成することが望ましい。 Generally, the nozzle has a flange, which will be described later, and has a circular shape when viewed from above. When the circular nozzles are arranged side by side on a pallet, the arrangement efficiency is poor with nozzles having a relatively large outer diameter. That is, the area occupied by the nozzle, more specifically, its flange, is relatively small compared to the area of the pallet. In view of this, by arranging nozzles having a relatively large outer diameter and nozzles having a relatively small outer diameter in a mixed manner, that is, by arranging them alternately, the number of nozzles that can be mounted is increased. It becomes possible to do. Extremely speaking, by arranging the nozzles having a small outer diameter in the gaps between the nozzles having a large outer diameter, the arrangement efficiency is greatly improved. From this point of view, in this embodiment, it is desirable to configure a plurality of types of nozzles having different sizes, particularly a plurality of types of nozzles having different outer diameters of flanges, so that they can be mounted.

(14)前記複数のパレットの各々が、それぞれに1つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有し、前記複数のパレットのうちの前記1以上のものの有する前記複数の載置部の少なくとも一部が、互いに異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(13)項に記載のノズル管理機。 (14) Each of the plurality of pallets has a plurality of mounting portions on which one suction nozzle is mounted, and the plurality of mounting portions of the one or more of the plurality of pallets. The nozzle management machine according to item (13), wherein at least a part of the nozzles is configured to be capable of mounting a plurality of types of suction nozzles different from each other.

本態様におけるパレットでは、簡単に言えば、1つの載置部において複数種のノズルが載置可能とされている。1種類のノズルしか載置できない載置部とすれば、1つのパレットに複数種のノズルを載置する場合、そのパレットには、たくさんの種類の載置部を設けなければならない。その場合、多くの載置部にノズルが載置されない事態も起こり得る。つまり、空となっている載置部が多く存在する可能性が高まるのである。本態様のように、複数種のノズルで共用される載置部を設ければ、パレットを汎用化しつつ、そのパレットに効率的にノズルを載置することが可能となる。なお、サイズにおいて互いに異なる複数種のノズルをも1つの載置部に載置可能に構成すれば、より効率的にノズルをパレットに載置することが可能となる。 In the pallet in this embodiment, simply put, a plurality of types of nozzles can be mounted in one mounting portion. Assuming that a mounting portion capable of mounting only one type of nozzle is used, when mounting a plurality of types of nozzles on one pallet, many types of mounting portions must be provided on the pallet. In that case, a situation may occur in which the nozzle is not mounted on many mounting portions. In other words, there is a high possibility that there are many empty mounting parts. If a mounting portion shared by a plurality of types of nozzles is provided as in this embodiment, it is possible to efficiently mount the nozzles on the pallet while generalizing the pallet. If a plurality of types of nozzles having different sizes can be mounted on one mounting portion, the nozzles can be mounted on the pallet more efficiently.

(15)吸着ノズルが、フランジを有するとともに、前記複数の載置部の各々が、吸着ノズルの径方向の変位をフランジの外周において規制するように構成されており、
前記複数の載置部の前記少なくとも一部が、互いにフランジの外径において異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(14)項に記載のノズル管理機。
(15) The suction nozzle has a flange, and each of the plurality of mounting portions is configured to regulate the radial displacement of the suction nozzle on the outer circumference of the flange.
The nozzle management machine according to item (14), wherein at least a part of the plurality of mounting portions can mount a plurality of types of suction nozzles having different flange outer diameters from each other.

本態様は、簡単に言えば、互いにサイズの異なる複数種のノズルが1つの載置部に載置可能とされた態様である。一般に、上記フランジは、ノズルにおいて最も外径の大きな部分であり、フランジの外周においてノズルの径方向の変位、つまり、ノズルのズレを規制すれば、効果的な規制が可能となる。 Simply put, this aspect is an aspect in which a plurality of types of nozzles having different sizes can be mounted on one mounting portion. In general, the flange is the portion having the largest outer diameter in the nozzle, and effective regulation is possible if the radial displacement of the nozzle, that is, the displacement of the nozzle is regulated on the outer circumference of the flange.

(16)前記複数の載置部の前記少なくとも一部の各々が、吸着ノズルのフランジが嵌
って内周壁においてそのフランジの外周を規制する穴を有しており、その穴の内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジの外径において異なる複数種の吸着ノズルのフランジが、互いに異なる深さの位置で前記穴に嵌るように構成された(15)項に記載のノズル管理機。
(16) Each of the at least a part of the plurality of mounting portions has a hole in the inner peripheral wall to which the flange of the suction nozzle is fitted and regulates the outer circumference of the flange, and the inner peripheral wall of the hole has a depth. The nozzle management machine according to item (15), wherein the flanges of a plurality of types of suction nozzles having different inner dimensions in the directions and different outer diameters of the flanges are configured to fit into the holes at different depths.

本態様は、フランジの外径の異なる複数種のノズルを、フランジの外周を規制しつつ載置可能な載置部の構造に関する態様である。具体的には、載置部の上記穴を、例えば、内周壁の内寸法が互いに異なる複数の段を有する段付き穴としてもよく、また、軸線方向において内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴としてもよい。そのような構造の載置部とすれば、互いにサイズの異なる複数種のノズルの各々を、その各々の径方向の変位をしっかりと規制しつつ、パレットに載置することが可能となる。 This aspect relates to the structure of the mounting portion on which a plurality of types of nozzles having different outer diameters of the flange can be mounted while restricting the outer circumference of the flange. Specifically, the hole of the mounting portion may be, for example, a stepped hole having a plurality of steps having different inner dimensions of the inner peripheral wall, and the inner dimension of the inner peripheral wall gradually decreases in the axial direction. It may be a tapered hole. With the mounting portion having such a structure, it is possible to mount each of a plurality of types of nozzles having different sizes on the pallet while tightly regulating the displacement of each of the nozzles in the radial direction.

(17)前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えた(11)項ないし(16)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (17) The nozzle management machine according to any one of (11) to (16), wherein the nozzle accommodating device includes a pallet moving device for moving the plurality of pallets in the nozzle accommodating device.

本態様によれば、収容装置の中でパレットが移動可能とされていることで、特定の位置における収容装置からのパレットの搬出,収容装置への搬入を行わせることが可能となる。本態様におけるパレット移動装置は、複数のパレットの各々を単独で移動させるように構成されていてもよく、また、複数のパレットを同時にすなわち一緒に移動させるように構成されていてもよい。 According to this aspect, since the pallet is movable in the accommodating device, it is possible to carry out the pallet from the accommodating device and carry it into the accommodating device at a specific position. The pallet moving device in this embodiment may be configured to move each of the plurality of pallets independently, or may be configured to move the plurality of pallets simultaneously, that is, together.

(18)前記パレット移動装置が、前記複数のパレットを同時に循環移動させるパレット循環装置である(17)項に記載のノズル管理機。 (18) The nozzle management machine according to item (17), wherein the pallet moving device is a pallet circulating device that circulates and moves the plurality of pallets at the same time.

本態様におけるパレット移動装置では、その装置の構造を比較的簡便な構造としつつ、その構造に依拠して、複数のパレットを一緒に同じ経路に沿って移動させることが可能である。 In the pallet moving device in this embodiment, it is possible to move a plurality of pallets together along the same route depending on the structure while making the structure of the device relatively simple.

(19)前記複数のパレットの各々が、吸着ノズルが載置される面が上方を向く姿勢で配置されており、
前記パレット循環装置が、前記複数のパレットを、それらの各々がその姿勢を保ったままで、鉛直な一平面に沿って循環させるように構成された(18)項に記載のノズル管理機。
(19) Each of the plurality of pallets is arranged so that the surface on which the suction nozzle is placed faces upward.
The nozzle management machine according to item (18), wherein the pallet circulation device circulates the plurality of pallets along a vertical plane while maintaining their respective postures.

本態様におけるパレット移動装置は、比較的小さな空間において、複数のパレットを循環させることができるため、本態様によれば、比較的コンパクトな収容装置を実現することが可能となる。本態様におけるパレット循環装置は、例えば、タワー式の立体駐車場のような構造の装置と考えることもできる。 Since the pallet moving device in this aspect can circulate a plurality of pallets in a relatively small space, it is possible to realize a relatively compact accommodating device according to this aspect. The pallet circulation device in this embodiment can also be considered as a device having a structure such as a tower-type multi-storey car park.

≪対ノズル処置実行装置,ノズル移送装置≫
以下のいくつかの態様は、対ノズル処置実行装置およびノズル移送装置に関する態様である。
≪Nozzle treatment execution device, nozzle transfer device≫
Some of the following aspects relate to anti-nozzle treatment execution devices and nozzle transfer devices.

(21)当該ノズル管理機が、
前記ノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して、何らかの処置を実行する対ノズル処置実行装置を備えた(1)項ないし(19)項のいずれか
1つに記載のノズル管理機。
(21) The nozzle management machine
6. The item according to any one of paragraphs (1) to (19), which is provided with an anti-nozzle treatment executing device that executes some treatment on the suction nozzle housed in or will be housed in the nozzle accommodating device. Nozzle management machine.

本態様における「対ノズル処置実行装置」は、ノズルに対して何らかの処置を実行する装置であり、具体的には、例えば、後に説明するノズル移載装置,ノズル検査装置,ノズ
ル洗浄装置等が含まれる。対ノズル処置実行装置(以下、単に「処置実行装置」と言う場合がある)を備えることで、ノズル管理機に、ノズルの収容という機能以外に、備わる処置実行装置に応じた種々の機能を持たせることが可能である。
The “nozzle treatment execution device” in this embodiment is a device that executes some treatment on the nozzle, and specifically includes, for example, a nozzle transfer device, a nozzle inspection device, a nozzle cleaning device, and the like, which will be described later. Is done. By providing an anti-nozzle treatment execution device (hereinafter, may be simply referred to as a "treatment execution device"), the nozzle management machine has various functions according to the treatment execution device provided, in addition to the function of accommodating the nozzle. It is possible to make it.

(22)当該ノズル管理機が、
1以上の吸着ノズルを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送するノズル移送装置を備えた(21)項に記載のノズル管理機。
(22) The nozzle management machine
The nozzle management machine according to item (21), comprising a nozzle transfer device for transferring one or more suction nozzles from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device.

本態様における「ノズル移送装置」は、収容装置からの1以上のノズル(以下、「ノズルグループ」と呼ぶ場合もある)の搬出および処置実行装置へのノズルグループの搬入を行う機能を有する装置と考えることができる。このノズル移送装置(以下、単に「移送装置」と言う場合がある)によって、収容装置と処置実行装置との連携が可能となる。 The "nozzle transfer device" in this embodiment is a device having a function of carrying out one or more nozzles (hereinafter, also referred to as "nozzle group") from the accommodating device and carrying the nozzle group into the treatment execution device. I can think. This nozzle transfer device (hereinafter, may be simply referred to as a “transfer device”) enables cooperation between the accommodating device and the treatment execution device.

(23)前記ノズル移送装置が、1以上の吸着ノズルを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するように構成された(22)項に記載のノズル管理機。 (23) The nozzle management machine according to item (22), wherein the nozzle transfer device is configured to transfer one or more suction nozzles from the anti-nozzle treatment execution device to the nozzle accommodating device.

本態様における移送装置は、上述の収容装置からのノズルグループの搬出および処置実行装置へのノズルグループの搬入に加え、処理実行装置からのノズルグループの搬出および収容装置へのノズルグループの搬入を行う機能をも有している。つまり、本態様における移送装置は、ノズルグループを返送する機能を有していると考えることもできるのである。 The transfer device in this embodiment carries out the nozzle group from the above-mentioned accommodating device and the nozzle group into the treatment execution device, as well as the nozzle group from the processing execution device and the nozzle group into the accommodating device. It also has a function. That is, it can be considered that the transfer device in this embodiment has a function of returning the nozzle group.

(24)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、
前記ノズル移送装置が、
前記複数のパレットのうちの1つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置である(22)項または(23)項に記載のノズル管理機。
(24) The nozzle accommodating device is provided with a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed.
The nozzle transfer device
Item (22) or (23) is a pallet transfer device for transferring a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device. Nozzle management machine described.

(25)前記パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの1つを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するように構成された(24)項に記載のノズル管理機。 (25) The nozzle management machine according to item (24), wherein the pallet transfer device transfers one of the plurality of pallets from the anti-nozzle treatment execution device to the nozzle accommodating device.

上記2つの態様は、収容装置内においてノズルがパレットに載置されて収容されている場合に有効な態様であり、移送装置が、そのパレットごと、複数のノズルからなるノズルグループを移送するように構成された態様である。それら2つの態様によれば、収容装置と処置実行装置との間のノズルグループの運搬を比較的容易に行うことが可能となる。なお、上記2つの態様におけるパレット移送装置(以下、単に「移送装置」という場合がある)は、収容装置内のどの位置に位置するかに拘わらず任意のパレットを移送するように構成されていてもよく、また、後に説明するように、特定の位置に位置するパレットだけを移送するように構成されていてもよい。前者の構成は、収容装置がパレット移動装置を有していない場合において有効である。 The above two modes are effective when the nozzles are placed on a pallet and housed in the accommodating device, so that the transfer device transfers a nozzle group composed of a plurality of nozzles for each pallet. It is a configured aspect. According to these two aspects, it becomes possible to carry out the transportation of the nozzle group between the accommodating device and the treatment execution device relatively easily. The pallet transfer device in the above two aspects (hereinafter, may be simply referred to as a "transfer device") is configured to transfer an arbitrary pallet regardless of its position in the accommodating device. Alternatively, as will be described later, it may be configured to transport only the pallets located at a specific position. The former configuration is effective when the accommodating device does not have a pallet moving device.

(26)前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットの各々を当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えており、
前記パレット移送装置が、前記パレット移動装置によって設定位置に移動させられた前記複数のパレットのうちの1つを前記対ノズル処置実行装置に移送するように構成された(24)項または(25)項に記載のノズル管理機。
(26) The nozzle accommodating device includes a pallet moving device that moves each of the plurality of pallets within the nozzle accommodating device.
Item (24) or (25), wherein the pallet transfer device transfers one of the plurality of pallets moved to a set position by the pallet moving device to the anti-nozzle treatment execution device. Nozzle management machine as described in the section.

(27)前記パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの1つを前記対ノズル処
置実行装置から前記設定位置に移送するように構成された(26)項に記載のノズル管理機。
(27) The nozzle management machine according to item (26), wherein the pallet transfer device transfers one of the plurality of pallets from the anti-nozzle treatment execution device to the set position.

上記2つの態様では、移送装置は、収容装置が有する複数のパレットのうち特定の位置に位置する1つのパレットを移送する機能を有し、後者の態様では、移送装置は、さらに、その特定の位置にパレットを返送する機能を有している。言い換えれば、上記2つの態様では、収容装置内においてパレットがパレット移動装置によって特定のステーションに移動させられた場合に、そのステーションと処置実行装置との間でパレットの移送が行われる。上記2つの態様によれば、収容装置内の特定の位置と処置実行装置との間でパレットを移送すればよいことから、移送装置の構造を簡便化することが可能となる。 In the above two aspects, the transfer device has a function of transferring one pallet located at a specific position among the plurality of pallets of the accommodating device, and in the latter aspect, the transfer device further comprises the specific pallet. It has a function to return the pallet to the position. In other words, in the above two aspects, when the pallet is moved to a specific station by the pallet moving device in the accommodating device, the pallet is transferred between the station and the treatment execution device. According to the above two aspects, since the pallet may be transferred between a specific position in the accommodating device and the treatment execution device, the structure of the transfer device can be simplified.

≪複数の対ノズル処置実行装置≫
以下のいくつかの態様は、上述の処置実行装置を複数備えた場合の態様である。
≪Multiple nozzle treatment execution devices≫
Some of the following aspects are aspects when a plurality of the above-mentioned treatment execution devices are provided.

(31)当該ノズル管理機が、
それぞれが前記対ノズル処置実行装置として機能する複数の対ノズル処置実行装置を備えた(21)項ないし(27)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(31) The nozzle management machine
The nozzle management machine according to any one of items (21) to (27), each comprising a plurality of anti-nozzle treatment execution devices each functioning as the anti-nozzle treatment execution device.

本態様には、複数の処置実行装置として、同じ処置を実行する装置を複数備える態様も含まれ、互いに異なる処置を実行する装置を複数備える態様も含まれる。前者の態様によれば、その処置の実行能力の大きな管理機を実現することができ、また、後者の態様によれば、多機能な管理機を実現することができる。 This aspect includes a mode in which a plurality of devices for executing the same treatment are provided as a plurality of treatment execution devices, and also includes a mode in which a plurality of devices for executing different treatments are provided. According to the former aspect, a management machine having a large ability to execute the treatment can be realized, and according to the latter aspect, a multifunctional management machine can be realized.

(32)当該ノズル管理機が、前記複数の対ノズル処置実行装置の各々の動作が、他のものの動作に対して独立して行われるように構成された(31)項に記載のノズル管理機。 (32) The nozzle management machine according to item (31), wherein the nozzle management machine is configured such that each operation of the plurality of anti-nozzle treatment execution devices is performed independently of the operation of another device. ..

管理機が、互いに異なる処置を実行する複数の処置実行装置を備える場合、例えば、それら複数の処置実行装置をノズルが順次渡って、それら複数の処置実行装置の各々による処置がそのノズルに対して実行されるように構成することも可能である。本態様は、そのような構成とは異なり、例えば、複数の処置実行装置が、それぞれ、別のノズルに対して、並行して処置を実行可能に構成された態様と考えることができる。本態様によれば、複数の処置を実行することが可能な管理機であっても、1つのノズルに対して、比較的短い時間でそれら複数の処置を実行することが可能である。 When the management machine is provided with a plurality of treatment execution devices that execute different treatments, for example, the nozzles sequentially pass through the plurality of treatment execution devices, and the treatment by each of the plurality of treatment execution devices is applied to the nozzle. It can also be configured to run. This aspect is different from such a configuration, and can be considered, for example, a mode in which a plurality of treatment execution devices are configured so that treatment can be executed in parallel with respect to different nozzles. According to this aspect, even a management machine capable of executing a plurality of treatments can execute the plurality of treatments on one nozzle in a relatively short time.

(33)当該ノズル管理機が、
前記複数の対ノズル処置実行装置に対応して設けられ、それぞれが、1以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置から前記複数の対ノズル処置実行装置のうちの対応するものに移送するノズル移送装置として機能する複数のノズル移送装置を備えた(31)項または(32)項に記載のノズル管理機。
(33) The nozzle management machine
As a nozzle transfer device provided corresponding to the plurality of anti-nozzle treatment execution devices, each of which transfers one or more suction nozzles from the nozzle accommodating device to the corresponding one of the plurality of anti-nozzle treatment execution devices. The nozzle management machine according to paragraph (31) or (32), which comprises a plurality of functioning nozzle transfer devices.

本態様は、簡単に言えば、処置実行装置ごとに移送装置を備えた態様と考えることができる。先に説明した複数の処置実行装置が互いに独立して動作可能な態様において、特に有効である。 Simply put, this aspect can be considered as an aspect in which a transfer device is provided for each treatment execution device. It is particularly effective in a mode in which the plurality of treatment execution devices described above can operate independently of each other.

(34)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットと、それら複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えており、
前記複数のノズル移送装置の各々が、
前記複数のパレットのうちの1つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置であり、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレット移送装置の各々が、その各々に対応して設定された設定位置に前記パレット移動装置によって移動させられた前記複数のパレットのうちの1つを、前記複数の対ノズル処置実行装置のうちの対応するものに移送するように構成された(33)項に記載のノズル管理機。
(34) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed, and a pallet moving device for moving the plurality of pallets in the nozzle accommodating device.
Each of the plurality of nozzle transfer devices
A pallet transfer device that transfers a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device.
The nozzle management machine
Each of the plurality of pallet transfer devices moves one of the plurality of pallets moved by the pallet moving device to a set position set corresponding to each of the plurality of pallet transfer devices, and the plurality of anti-nozzle treatment execution devices. The nozzle management machine according to paragraph (33), which is configured to transfer to the corresponding one of them.

本態様は、先の態様において、ノズルをパレットごと移送するように構成された態様である。詳しく言えば、本態様では、収容装置内に複数のステーションが設けられ、特定のステーションに位置するパレットが特定の処置実行装置に移送されると考えることができる。 This aspect is the aspect configured to transfer the nozzle together with the pallet in the above aspect. More specifically, in this aspect, it can be considered that a plurality of stations are provided in the accommodating device, and the pallets located at the specific stations are transferred to the specific treatment execution device.

≪ノズル移載装置≫
電気部品装着機では、回路基板にいくつかの電気部品を装着する際、電気部品のサイズ等に応じて、使用するノズルを交換することがあり、多くの電気部品装着機では、交換可能ないくつかのノズルが、ノズルトレイ(以下、単に「トレイ」と言う場合がある)に載置された状態で、当該電気部品装着機に設けられたノズルステーションに配置される。以下のいくつかの態様は、このトレイ、詳しくは、そのトレイへのノズルの移載,そのトレイからのノズルの移載を行う対ノズル処置実行装置に関連した態様である。
≪Nozzle transfer device≫
In an electric component mounting machine, when mounting some electric components on a circuit board, the nozzle used may be replaced depending on the size of the electrical component, etc., and in many electrical component mounting machines, the number of replaceable nozzles may be changed. The nozzle is placed on a nozzle tray (hereinafter, may be simply referred to as a "tray") and is arranged at a nozzle station provided in the electric component mounting machine. Some of the following aspects are related to this tray, specifically, an anti-nozzle treatment execution device that transfers nozzles to and from the tray.

(41)前記電気部品装着機が、その電気部品装着機において使用される1以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、
前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載と、
設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と
の少なくとも一方を実行するノズル移載装置を備えた(21)項ないし(34)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(41) The electric component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electric component mounting machine are mounted on a nozzle tray detachably arranged on the electric component mounting machine. ,
The nozzle management machine serves as the anti-nozzle treatment execution device.
Setting transfer to transfer the suction nozzle housed in the nozzle accommodating device to the nozzle tray located at the set position, and setting transfer.
In order to accommodate the suction nozzles mounted on the nozzle tray located at the set position in the nozzle accommodating device, the nozzle transfer device is provided to perform at least one of the accommodation transfer transferred from the nozzle tray. The nozzle management machine according to any one of paragraphs (21) to (34).

上記「セッティング移載」は、例えば、電気部品装着機においてこれから使用されるノズルをトレイにセッティングするための移載であり、セッティング移載により、収容装置に収容されている複数のノズルのうちのいくつかのものがノズルトレイに配置される。一方、上記「収容移載」は、例えば、電気部品装着機において使用されていたノズルを、収容装置に収容するための移載であり、収容移載により、トレイに載置されている複数のノズルのうちの少なくとも一部が、トレイから取り除かれる。本態様によれば、電気部品装着機におけるノズルの準備,片付け等を効果的に支援可能な管理機が実現される。 The above-mentioned "setting transfer" is, for example, a transfer for setting a nozzle to be used in an electric component mounting machine on a tray, and is a transfer among a plurality of nozzles housed in the accommodating device by the setting transfer. Some are placed in the nozzle tray. On the other hand, the above-mentioned "accommodation transfer" is, for example, a transfer for accommodating a nozzle used in an electric component mounting machine in an accommodating device, and a plurality of nozzles mounted on a tray by the accommodating transfer. At least part of the nozzle is removed from the tray. According to this aspect, a management machine capable of effectively supporting nozzle preparation, tidying up, etc. in an electric component mounting machine is realized.

ちなみに、本態様に係るセッティング移載は、ノズル移載装置(以下、単に「移載装置」と言う場合がある)が、収容装置に収容されているノズルを収容装置から直にトレイに移載することのみを意味するものではなく、例えば、後に説明する移送装置によって収容装置から搬出されたノズルをトレイに移載することを含む概念である。同様に、本態様に係る収容移載は、トレイに載置されていたノズルを収容装置に直に収容することのみを意味するものではなく、移送装置によって収容装置に収容すべく、移載装置がトレイから移載することをも含む概念である。 By the way, in the setting transfer according to this embodiment, the nozzle transfer device (hereinafter, may be simply referred to as “transfer device”) transfers the nozzle housed in the storage device directly from the storage device to the tray. It does not mean only to do, but is a concept including, for example, transferring the nozzles carried out from the accommodating device by the transfer device described later to the tray. Similarly, the accommodation transfer according to this aspect does not mean only to directly accommodate the nozzles placed on the tray in the accommodation device, but to accommodate the nozzles placed in the tray in the accommodation device by the transfer device. Is a concept that also includes transferring from the tray.

(42)前記ノズル移載装置が、前記セッティング移載と前記収容移載との両方を実行するように構成された(41)項に記載のノズル管理機。 (42) The nozzle management machine according to (41), wherein the nozzle transfer device is configured to perform both the setting transfer and the accommodation transfer.

本態様によれば、上記セッティング移載と上記収容移載との両方が可能とされていることで、より実用性の高い管理機が実現される。 According to this aspect, since both the setting transfer and the accommodation transfer are possible, a more practical management machine is realized.

(43)当該ノズル管理機が、1以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送するノズル移送装置を備えており、
前記ノズル移載装置が、
前記セッティング移載の際には、前記ノズル移送装置によって移送された吸着ノズルについての移載を実行するように構成された(41)項または(42)項に記載のノズル管理機。
(43) The nozzle management machine includes a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device.
The nozzle transfer device
The nozzle management machine according to item (41) or (42), which is configured to perform transfer of the suction nozzle transferred by the nozzle transfer device at the time of transfer of the setting.

(44)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、かつ、前記ノズル移送装置が、前記複数のパレットのうちの1つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置であり、
前記ノズル移載装置が、
前記セッティング移載の際には、前記パレット移送装置によって当該ノズル移載装置による移載が可能な位置まで移送された前記複数のパレットのうちの1つに載置されている吸着ノズルについての移載を実行するように構成された(43)項に記載のノズル管理機。
(44) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed, and the nozzle transfer device accommodates one of the plurality of pallets. It is a pallet transfer device configured to transfer a plurality of suction nozzles by transferring from the device to the anti-nozzle treatment execution device.
The nozzle transfer device
At the time of the setting transfer, the suction nozzle mounted on one of the plurality of pallets transferred to a position where the nozzle transfer device can transfer the setting is transferred. The nozzle management machine according to paragraph (43), which is configured to perform loading.

(45)当該ノズル管理機が、1以上の吸着ノズルを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するノズル移送装置を備えており、
前記ノズル移載装置が、
前記収容移載の際には、前記ノズル移送装置を介して前記ノズル収容装置に収容するための移載を実行するように構成された(41)項ないし(44)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(45) The nozzle management machine includes a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the anti-nozzle treatment execution device to the nozzle accommodating device.
The nozzle transfer device
At the time of the accommodation transfer, any one of (41) to (44) configured to perform the transfer for accommodating in the nozzle accommodating device via the nozzle transfer device. Nozzle management machine described.

(46)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、かつ、前記ノズル移送装置が、前記複数のパレットのうちの1つを、前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置であり、
前記ノズル移載装置が、
前記収容移載の際には、前記パレット移送装置によって前記ノズル収容装置から当該ノズル移載装置による移載が可能な位置にまで移送された前記複数のパレットのうちの1つへの移載を実行するように構成された(45)項に記載のノズル管理機。
(46) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed, and the nozzle transfer device sets one of the plurality of pallets on the pair of nozzles. It is a pallet transfer device configured to transfer a plurality of suction nozzles by transferring from the treatment execution device to the nozzle accommodating device.
The nozzle transfer device
At the time of the accommodation transfer, the transfer to one of the plurality of pallets transferred from the nozzle accommodating device to a position where the nozzle transfer device can transfer by the pallet transfer device is performed. The nozzle management machine according to paragraph (45), which is configured to perform.

上記4つの態様は、上述の移送装置に関連する態様であり、それら4つの態様では、移送装置によって収容装置から移送されたノズルのトレイへの移載と、トレイから移載されたノズルのノズル移送装置による収容装置への収容との少なくとも一方が行われる。なお、4つの態様のうちの2つでは、移送装置がパレットを移送することでノズルを移送するパレット移送装置とされており、トレイとパレットとの間で移載が行われる。 The above four aspects are related to the above-mentioned transfer device, and in these four aspects, the nozzle transferred from the accommodating device by the transfer device is transferred to the tray, and the nozzle of the nozzle transferred from the tray is transferred. At least one of the containment by the transfer device and the accommodation in the containment device is performed. In two of the four aspects, the transfer device is a pallet transfer device that transfers the nozzle by transferring the pallet, and the transfer is performed between the tray and the pallet.

(47)吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
前記ノズル移載装置が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有する(41)項ないし(46)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(47) The suction nozzle is given an identifier for recognizing the unique information of the suction nozzle.
The nozzle management machine according to any one of items (41) to (46), wherein the nozzle transfer device has an identifier reader for reading the identifier.

本態様おける「固有情報」には、例えば、典型的なものとして、IDが含まれ、その他、品質に関する良否情報,能力の高さに関する情報等が広く含まれる。収容装置に収容されている複数のノズルの収容位置の把握、つまり、どの位置にどのノズルが収容されているかの把握において、IDはきわめて有用な情報である。このIDを始めとする本態様によれば、固有情報を読み取り可能とされていることで、その固有情報を用いて、収容されているノズルの十分な管理が可能となる。その意味において、識別子の読取は、上述した収容移載の際に行われることが望ましい。ちなみに「識別子」は、バーコード,2Dコー
ド(QRコード(登録商標)等の二次元コード)等を採用することができ、「識別子読取器」は、バーコードリーダ,カメラ等の撮像装置等を採用することが可能である。
The "unique information" in this embodiment includes, for example, an ID as a typical example, and also broadly includes quality information regarding quality, information regarding high ability, and the like. The ID is extremely useful information in grasping the accommodation positions of a plurality of nozzles accommodated in the accommodation device, that is, in grasping which nozzle is accommodated in which position. According to this aspect including this ID, since the unique information can be read, the nozzles accommodated can be sufficiently managed by using the unique information. In that sense, it is desirable that the reading of the identifier be performed at the time of the above-mentioned accommodation transfer. By the way, the "identifier" can be a barcode, a 2D code (two-dimensional code such as a QR code (registered trademark)), etc., and the "identifier reader" can be an image pickup device such as a barcode reader or a camera. It is possible to adopt it.

(48)前記ノズル移載装置が、吸着ノズルを保持するノズル保持具と、そのノズル保持具を移動させる保持具移動装置とを有する(41)項ないし(47)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (48) The item according to any one of (41) to (47), wherein the nozzle transfer device has a nozzle holder for holding a suction nozzle and a holder moving device for moving the nozzle holder. Nozzle management machine.

本態様は、ノズル移載装置の具体的な構造に関する態様である。上記「ノズル保持具」は、チャック,クランプ等の離脱可能にノズルを保持するものを採用することができる。また、「保持具移動装置」は、いわゆるXYZ型ロボットを始めとして、多関節型ロボット等、広く種々の移動装置を採用可能である。 This aspect relates to a specific structure of the nozzle transfer device. As the above-mentioned "nozzle holder", a chuck, a clamp, or the like that holds the nozzle so as to be detachable can be adopted. Further, as the "holding device moving device", a wide variety of moving devices such as a so-called XYZ type robot and an articulated robot can be adopted.

(49)吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
前記ノズル移載装置が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有し、その識別子読取器が前記ノズル保持具とともに前記保持具移動装置によって移動させられるように構成された(48)項に記載のノズル管理機。
(49) The suction nozzle is given an identifier for recognizing the unique information of the suction nozzle.
Item (48), wherein the nozzle transfer device has an identifier reader for reading the identifier, and the identifier reader is moved together with the nozzle holder by the holder moving device. Nozzle management machine.

本態様によれば、ノズルの移載の際、そのノズルに付された識別子を容易に読み取ることが可能であり、利便性に優れた管理機が実現されることになる。 According to this aspect, when the nozzle is transferred, the identifier attached to the nozzle can be easily read, and a highly convenient management machine can be realized.

≪トレイ収容装置≫
以下のいくつかの態様は、上述したノズルトレイの収容に関する態様である。
≪Tray storage device≫
Some of the following aspects are aspects relating to the accommodation of the nozzle tray described above.

(51)当該ノズル管理機が、
それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
前記設定位置と前記トレイ収容装置との間を、1つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
を備えた(41)項ないし(49)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(51) The nozzle management machine
A tray accommodating device capable of accommodating a plurality of nozzle trays, each of which is the nozzle tray,
The nozzle management machine according to any one of (41) to (49), comprising a tray transfer device for transferring one nozzle tray between the set position and the tray accommodating device.

本態様の管理機は、上記トレイ収容装置とトレイ移送装置とを備えることで、トレイをも管理可能な管理機となり得る。例えば、上述の載置装置によるノズルの載置に関連して、トレイ移送装置によってトレイをトレイ収容装置に搬入,トレイ収容装置から搬出することで、利便性に優れた管理機が実現することになる。詳しく言えば、上述の収容移載の後、載置されていたノズルが取り除かれたトレイをトレイ収容装置に収容したり、トレイ収容装置に収容されていたトレイにセッティング移載を行ったりすることが可能となるのである。また、例えば、ノズルが載置されているトレイに不具合が発見されたような場合に、上記収容移載および上記セッティング移載を併用して、そのトレイを、不具合のないトレイに交換するといったことも可能である。 By providing the tray accommodating device and the tray transfer device, the management machine of this aspect can be a management machine capable of managing the tray. For example, in connection with the mounting of the nozzle by the mounting device described above, the tray is carried into the tray storage device by the tray transfer device and carried out from the tray storage device, thereby realizing a highly convenient management machine. Become. More specifically, after the above-mentioned storage transfer, the tray from which the nozzles that have been placed have been removed is stored in the tray storage device, or the setting is transferred to the tray housed in the tray storage device. Is possible. Further, for example, when a defect is found in the tray on which the nozzle is placed, the storage transfer and the setting transfer are used in combination, and the tray is replaced with a tray having no defect. Is also possible.

(52)前記トレイ収容装置が、1以上の吸着ノズルが載置されたノズルトレイを収容可能に構成された(51)項に記載のノズル管理機。 (52) The nozzle management machine according to item (51), wherein the tray accommodating device is configured to accommodate a nozzle tray on which one or more suction nozzles are placed.

本態様によれば、予めノズルがセッティングされたトレイをトレイ収容装置に収容しておくことができるため、電気部品装着機において必要なったとき、迅速に、ノズルがセッティングされたトレイを電気部品装着機に供給できる。 According to this aspect, since the tray in which the nozzle is set can be stored in the tray accommodating device in advance, the tray in which the nozzle is set can be quickly mounted on the electric component when it is necessary in the electric component mounting machine. Can be supplied to the machine.

≪ノズル検査装置≫
以下のいくつかの態様は、ノズルの検査を行う対ノズル処置実行装置に関連する態様で
ある。なお、以下のいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に検査装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した検査装置の態様であっても請求可能発明の態様となり得る。
≪Nozzle inspection device≫
Some of the following aspects relate to anti-nozzle treatment execution devices that inspect nozzles. It should be noted that some of the following aspects are not the mode in which the management machine is categorized, but the mode in which the inspection device is simply categorized, that is, the mode of the inspection device independent of other components of the management machine. Even so, it can be a claimable aspect of the invention.

(61)当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備えた(21)項ないし(52)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (61) The nozzle management machine according to any one of (21) to (52), wherein the nozzle management machine includes a nozzle inspection device for inspecting suction nozzles as the anti-nozzle treatment execution device.

本態様によれば、例えば、収容装置に収容された若しくは収容されるノズルに対して検査を行うことができるため、便利な管理機が実現されることになる。本態様では、ノズル検査装置(以下、単に「検査装置」と言う場合がある)が行う検査の項目については特に限定されないが、後に列挙する各種検査項目の検査を始め、種々の検査項目の検査を検査装置に行わせることが可能である。 According to this aspect, for example, the nozzle housed or housed in the housing device can be inspected, so that a convenient management machine can be realized. In this embodiment, the inspection items performed by the nozzle inspection device (hereinafter, may be simply referred to as “inspection device”) are not particularly limited, but the inspection of various inspection items including the inspection of various inspection items listed later is started. Can be done by an inspection device.

(62)前記ノズル検査装置が、
それぞれが検査項目において互いに異なる、(a)吸着ノズルを通過するエアの流量に関
する検査である通過流量検査、(b)吸着ノズルに付されてその吸着ノズルの固有情報を認
識するための識別子の読取りに関する検査である識別子読取検査、(c)吸着ノズルの先端
部の状態に関する検査である先端部状態検査、(d)吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して
後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する検査である後退必要力検査の少なくとも1つを行うように構成された(61)項に記載のノズル管理機。
(62) The nozzle inspection device
Each of the inspection items is different from each other, (a) passing flow rate inspection, which is an inspection related to the flow rate of air passing through the suction nozzle, and (b) reading the identifier attached to the suction nozzle to recognize the unique information of the suction nozzle. When the identifier reading inspection is an inspection related to, (c) the tip condition inspection is an inspection related to the condition of the tip of the suction nozzle, and (d) the tip of the suction nozzle is retractable against the urging force. The nozzle management machine according to item (61), which is configured to perform at least one of the retreat required force inspections, which is an inspection relating to the force required for retreating the tip of the suction nozzle.

本態様において列挙された4つの検査項目は、ノズルに対する基本的な検査項目である。個々に、詳しく説明すれば、「通過流量検査」は、ノズルを通過する空気の流量がどのぐらい確保されているかを調べる検査であり、主にノズルの詰まりを確認するための検査である。例えば、先端が開放されたノズルに基端側より圧縮空気を連続的に吹き込んだ状態において空気の流量を測定し、その測定された流量が設定された閾流量より小さくなっている場合に、ノズルに詰まりが生じていると判断すればよい。また、そのような手法に代えて、例えば、先端が開放されたノズルに基端側より圧縮空気を連続的に吹き込んだ状態において、その吹き込む空気の圧力を測定し、その圧力が設定された閾圧よりも高くなっている場合に、ノズルに詰まり等が生じていて充分な空気流量が確保されていないと判断してもよい。 The four inspection items listed in this embodiment are basic inspection items for the nozzle. Individually, to be described in detail, the "passing flow rate inspection" is an inspection for checking how much the flow rate of air passing through the nozzle is secured, and is mainly an inspection for checking the clogging of the nozzle. For example, the flow rate of air is measured in a state where compressed air is continuously blown from the base end side into a nozzle with an open tip, and when the measured flow rate is smaller than the set threshold flow rate, the nozzle It can be determined that the air is clogged. Further, instead of such a method, for example, in a state where compressed air is continuously blown from the proximal end side into a nozzle with an open tip, the pressure of the blown air is measured, and the pressure is set as a threshold. If the pressure is higher than the pressure, it may be determined that the nozzle is clogged and a sufficient air flow rate is not secured.

「識別子読取検査」は、例えば、先に説明したノズルに設けられた識別子、詳しく言
えば、フランジの上面に設けられた識別子が充分に読み取れるかどうかについて確認するための検査であり、その検査では、例えば、カメラ等の撮像装置等によって実際に識別子を撮像し、その撮像の結果からその識別子が示すべき固有情報が充分には取得できない場合に識別子不良と判断すればよい。
The "identifier reading inspection" is, for example, an inspection for confirming whether or not the identifier provided on the nozzle described above, specifically, the identifier provided on the upper surface of the flange can be sufficiently read. For example, when an identifier is actually imaged by an imaging device such as a camera and the unique information to be indicated by the identifier cannot be sufficiently acquired from the result of the imaging, it may be determined that the identifier is defective.

「先端部状態検査」は、簡単に言えば、例えば、ノズルの先端部の曲り、先端の欠け,潰れといった形状的な欠陥の有無や、先端部への異物,汚れの付着等の有無について確認するための検査であり、その検査では、例えば、先端部を先端側からカメラ等の撮像装置によって撮像し、その撮像で得られた画像データを基にそれら曲り,欠け,潰れ,異物等の付着等の有無を判断すればよい。 To put it simply, the "tip condition inspection" confirms the presence or absence of shape defects such as bending of the tip of the nozzle, chipping of the tip, and crushing, and the presence or absence of foreign matter or dirt adhering to the tip. In the inspection, for example, the tip portion is imaged from the tip side by an imaging device such as a camera, and based on the image data obtained by the imaging, they are bent, chipped, crushed, adhered to foreign matter, etc. It is sufficient to judge the presence or absence of such.

「後退必要力検査」は、ノズルの動作に関する検査である。ノズルは、一般に、電気部品を回路基板に載置する際のその電気部品に加わる衝撃を緩和するために、電気部品が吸着される先端部が、ノズル保持装置に保持される基端部に対して後退するように構成されている。つまり、ノズルの先端部が、ばね等による付勢力に抗って引っ込むようにされている。後退必要力検査は、例えば、この先端部の後退に要する力(以下、「後退必要力」
と言う場合がある)が、後退必要力が過大である否かについて確認するための検査である。簡単に言えば、ノズルがスムーズに縮むことを確認するための検査と考えることができる。この検査では、例えば、基端部が支持されたノズルの先端部を基端部側に押し込み、ノズルの後退が開始される時点でのその押し込みに要する力を、ロードセル等の荷重センサで測定し、その力が設定された閾力を超えた場合に、そのノズルの動作に異常があると判断すればよい。
The "reverse force test" is a test related to the operation of the nozzle. Nozzles generally have a tip where the electrical component is attracted to a base end that is held by the nozzle holding device in order to mitigate the impact on the electrical component when it is placed on the circuit board. It is configured to retreat. That is, the tip of the nozzle is retracted against the urging force of the spring or the like. The retreat required force test is, for example, the force required for retreating the tip portion (hereinafter, "retract required force").
This is an inspection to confirm whether or not the retreat requirement is excessive. Simply put, it can be thought of as an inspection to confirm that the nozzle shrinks smoothly. In this inspection, for example, the tip of the nozzle on which the proximal end is supported is pushed toward the proximal end, and the force required for the pushing at the time when the nozzle starts to retract is measured by a load sensor such as a load cell. If the force exceeds the set threshold force, it may be determined that the operation of the nozzle is abnormal.

後に説明するように、検査装置は、当該管理機に1つだけしか設けられなくてもよく、また、複数設けられてもよい。検査装置が複数設けられる場合に、それら複数の検査装置は、検査項目が同じであってもよく、互いに検査項目が異なっていてもよい。さらに、上記4つの検査項目についてさらに言及すれば、検査装置は、それら4つの検査項目のうちの1つのみを行うように構成されていてもよく。また、それら4つの検査項目のうちの2以上を行うように構成されていてもよい。2以上の検査項目についての検査を行うように構成すれば、当該管理機に設けるべき検査装置の数を少なくすることができる。 As will be described later, only one inspection device may be provided in the management machine, or a plurality of inspection devices may be provided. When a plurality of inspection devices are provided, the plurality of inspection devices may have the same inspection items or may have different inspection items from each other. Further, further referring to the above four inspection items, the inspection apparatus may be configured to perform only one of the four inspection items. Further, it may be configured to perform two or more of the four inspection items. If the inspection is performed for two or more inspection items, the number of inspection devices to be provided in the management machine can be reduced.

(63)前記ノズル検査装置が、少なくとも前記通過流量検査と前記識別子読取検査との両方を行うように構成された(62)項に記載のノズル管理機。 (63) The nozzle management machine according to item (62), wherein the nozzle inspection device is configured to perform at least both the passing flow rate inspection and the identifier reading inspection.

先に説明したように、通過流量検査および識別子読取検査は、ともに、ノズルの基端部側で行われる。言い換えれば、2つの検査は、同じ方向から行われ、いずれの検査においても、検査を行うための主要構成要素がノズルの基端部側に存在する空間に配置される。したがって、本態様における検査装置は、比較的簡単な構成によって、上記2つの検査項目の検査を行うことが可能である。具体的に言えば、例えば、上記2つの検査にそれぞれ対応した2つの上記主要構成要素を、1つの移動装置によって移動させることで、構成が簡単なものとなるのである。 As described above, both the passing flow rate inspection and the identifier reading inspection are performed on the base end side of the nozzle. In other words, the two inspections are performed from the same direction, and in both inspections, the main components for performing the inspections are arranged in the space existing on the proximal end side of the nozzle. Therefore, the inspection device in this embodiment can inspect the above two inspection items with a relatively simple configuration. Specifically, for example, by moving the two main components corresponding to the two inspections by one moving device, the configuration becomes simple.

(64)前記ノズル検査装置が、少なくとも前記先端部状態検査と前記後退必要力検査との両方を行うように構成された(62)項または(63)項に記載のノズル管理機。 (64) The nozzle management machine according to item (62) or (63), wherein the nozzle inspection device is configured to perform at least both the tip state inspection and the backward required force inspection.

先の態様と異なり、先端部状態検査および後退必要力検査は、検査がノズルの先端部側で行われる。言い換えれば、2つの検査は、同じ方向から行われ、いずれの検査においても、検査を行うための主要構成要素がノズルの先端部側に存在する空間に配置される。したがって、本態様における検査装置は、比較的簡単な構成によって、上記2つの検査項目の検査を行うことが可能である。具体的に言えば、例えば、上記2つの検査にそれぞれ対応した2つの上記主要構成要素を、1つの移動装置によって移動させることで、構成が簡単なものとなるのである。 Unlike the previous embodiment, the tip condition inspection and the backward required force inspection are performed on the tip side of the nozzle. In other words, the two inspections are performed from the same direction, and in both inspections, the main components for performing the inspections are arranged in the space existing on the tip side of the nozzle. Therefore, the inspection device in this embodiment can inspect the above two inspection items with a relatively simple configuration. Specifically, for example, by moving the two main components corresponding to the two inspections by one moving device, the configuration becomes simple.

(65)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレットのうちの1つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの1つに載置された複数の吸着ノズルを、その1つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成された(61)項ないし(64)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(65) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed.
The nozzle management machine
A pallet transfer device for transferring a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the nozzle inspection device is provided.
The nozzle inspection device is configured to inspect a plurality of suction nozzles mounted on one of the plurality of pallets in a state of being mounted on the one pallet. The nozzle management machine according to any one of item (64).

本態様によれば、検査装置による検査が、パレットにノズルを載置したままで行われる。極端に言えば、ノズルが収容装置内において収容されているのと同じ状態で、ノズルの検査が行われる。したがって、収容装置に収容されているノズルを、簡便に検査することが可能である。 According to this aspect, the inspection by the inspection device is performed with the nozzle mounted on the pallet. In the extreme, the nozzle is inspected in the same condition that the nozzle is housed in the containment device. Therefore, it is possible to easily inspect the nozzle housed in the housing device.

(66)当該ノズル管理機が、
それぞれが前記ノズル検査装置として機能し、互いに検査項目が異なる複数のノズル検査装置を備えた(61)項ないし(65)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(66) The nozzle management machine
The nozzle management machine according to any one of items (61) to (65), each of which functions as the nozzle inspection device and includes a plurality of nozzle inspection devices having different inspection items.

本項の態様によれば、多くの検査項目の検査が実行可能な管理機、つまり、充分な検査を実行可能な管理機が実現される。 According to the aspect of this section, a management machine capable of performing inspections of many inspection items, that is, a management machine capable of performing sufficient inspections is realized.

≪検査における基準対象≫
以下のいくつかの態様は、検査の方法に関する限定、詳しくは、検査の基準に関する限定を加えた態様である。
≪Criteria for inspection≫
Some of the following aspects are those with limitations on the method of inspection, and more specifically on the criteria for inspection.

(71)前記ノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられた(61)項ないし(65)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (71) The nozzle management machine according to any one of items (61) to (65) provided with a reference target to be referred to in the inspection by the nozzle inspection device.

本態様によれば、基準対象を参照して検査を行えるため、その検査の適正化が図れることになる。なお、基準対象の参照は、例えば、検査の実施の都度に行われてもよく、定期的に行われてもよい。検査の実施の都度に行われる場合、実際のノズルの検査の前に行われてもよく、後に行われてもよい。また、何らかの条件が変化した場合にのみ行なわれてもよい。さらに、実際のノズルの検査において不具合のあるノズル(以下、「不良ノズル」と言う場合がある)であると判断されたときにのみ行われてもよい。つまり、基準対象の利用目的等に応じ、参照のタイミングは、適切に設定すればよいのである。なお、本態様では、基準対象の配設場所についても限定されない。後に説明するようにパレットに付設されてよく、検査装置の領域内において管理機の躯体等に、固定的に若しくは着脱可能に付設されてもよい。 According to this aspect, since the inspection can be performed with reference to the reference target, the inspection can be optimized. It should be noted that the reference of the reference target may be performed every time the inspection is performed, or may be performed regularly. If it is performed each time the inspection is performed, it may be performed before or after the actual nozzle inspection. Moreover, it may be performed only when some condition changes. Further, it may be performed only when it is determined in the actual nozzle inspection that the nozzle is defective (hereinafter, may be referred to as "defective nozzle"). That is, the reference timing may be set appropriately according to the purpose of use of the reference object. In this embodiment, the location of the reference target is not limited. As will be described later, it may be attached to the pallet, and may be fixedly or detachably attached to the skeleton of the management machine or the like within the area of the inspection device.

(72)前記参照対象物が、前記ノズル検査装置による検査の基準の設定と、前記ノズル検査装置の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用されるものである(71)項に記載のノズル管理機。 (72) The nozzle management machine according to item (71), wherein the reference object is used for at least one of setting an inspection standard by the nozzle inspection device and calibration or verification of the nozzle inspection device. ..

本態様は、上記基準対象の利用目的についての限定を加えた態様である。上記「ノズル検査装置による検査の基準の設定」には、例えば、検査されるノズルが不良ノズルであるかどうかの判断の基準を設定することが含まれる。具体的には、例えば、上述した通過流量検査において送り込む圧縮空気の圧力、つまり、コンプレッサの出力圧(以下、「元圧」と言う場合がある)によって、測定する空気の流量(ノズルの基端側の圧力を測定する場合はその圧力)が変化する。不良ノズルであるかどうかの判断がこの元圧の変化に依存しないように、予め基準対象にて、測定する空気の流量に対する閾流量(ノズルの基端側の圧力を測定する場合には、その圧力に対する閾圧)を設定することが望ましい。例えば、この閾流量(閾圧)の設定が、上記検査の基準の設定に該当する。上記「ノズル検査装置の校正」は、例えば、検査装置による検査の検査条件,検査装置の動作等の適正化が含まれる。具体的には、例えば、上述した識別子読取検査若しくは先端部状態検査等においてはカメラ等の撮像装置が使用される。この撮像装置のピント調整を基準対象で行い、そのピントの調整の後、実際のノズルの撮像を行うことが可能である。そのピントの調整が、ノズル検査装置の校正に該当する。上記「ノズル検査装置の検定」には、例えば、検査装置自体が適正であるかどうかを確認することが含まれる。具体的には、例えば、上述した後退必要力検査において、適正な力が測定されるはずの基準対象を検査装置にて検査し、その測定した力が適正な力でなかった場合に、検査装置自体に不具合があると判断することが可能である。この判断が、検査装置の検定に該当する。 This aspect is an aspect in which the purpose of use of the above standard object is limited. The above-mentioned "setting of inspection criteria by the nozzle inspection device" includes, for example, setting criteria for determining whether or not the nozzle to be inspected is a defective nozzle. Specifically, for example, the flow rate of air to be measured (the base end of the nozzle) is measured by the pressure of the compressed air sent in the above-mentioned passing flow rate inspection, that is, the output pressure of the compressor (hereinafter, may be referred to as “primary pressure”). When measuring the pressure on the side, the pressure) changes. In order so that the judgment of whether or not the nozzle is defective does not depend on this change in the original pressure, the threshold flow rate with respect to the flow rate of the air to be measured (when measuring the pressure on the base end side of the nozzle, the threshold flow rate) is used as a reference target in advance. It is desirable to set the threshold pressure with respect to the pressure. For example, the setting of this threshold flow rate (threshold pressure) corresponds to the setting of the above-mentioned inspection standard. The above-mentioned "calibration of the nozzle inspection device" includes, for example, optimization of inspection conditions for inspection by the inspection device, operation of the inspection device, and the like. Specifically, for example, an imaging device such as a camera is used in the above-mentioned identifier reading inspection or tip state inspection. It is possible to adjust the focus of this imaging device as a reference target, and after adjusting the focus, perform an actual image pickup of the nozzle. The adjustment of the focus corresponds to the calibration of the nozzle inspection device. The above-mentioned "verification of the nozzle inspection device" includes, for example, confirming whether or not the inspection device itself is appropriate. Specifically, for example, in the above-mentioned backward required force inspection, a reference object for which an appropriate force should be measured is inspected by an inspection device, and when the measured force is not an appropriate force, the inspection device is used. It is possible to determine that there is a problem with itself. This judgment corresponds to the verification of the inspection device.

(73)前記基準対象が、それを前記ノズル検査装置によって検査したときに通常良好
な検査結果が得られるように構成された(71)項または(72)項に記載されたノズル管理機。
(73) The nozzle management machine according to item (71) or (72), wherein the reference object is configured to usually obtain good inspection results when it is inspected by the nozzle inspection device.

本態様によれば、基準対象を、上述したノズル検査装置による検査の基準の設定、ノズル検査装置の校正、および、ノズル検査装置の検定に、好適に利用することが可能である。 According to this aspect, the reference object can be suitably used for setting the inspection standard by the nozzle inspection device described above, calibrating the nozzle inspection device, and verifying the nozzle inspection device.

(74)前記基準対象が、吸着ノズルの一部分を模した模擬物である(71)項ないし(73)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (74) The nozzle management machine according to any one of items (71) to (73), wherein the reference object is a simulated object that imitates a part of a suction nozzle.

本態様における上記「模擬物」は、具体的には、例えば、ノズルの先端部のみ,先端部およびその先端部が後退する機構のみ,フランジに付された識別子のみ等を、模して作成されたもの等が相当する。基準対象として、検査項目に応じて、適正な部分の模擬物を作成すればよく、その模擬物の作成は、比較的簡単に行うことができる。 Specifically, the "simulation" in the present embodiment is created by imitating, for example, only the tip of the nozzle, only the tip and the mechanism by which the tip retracts, only the identifier attached to the flange, and the like. It corresponds to the one. As a reference target, a simulated object of an appropriate part may be created according to the inspection item, and the simulated object can be created relatively easily.

(75)前記基準対象が、実際の吸着ノズルである(71)項ないし(73)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (75) The nozzle management machine according to any one of items (71) to (73), wherein the reference target is an actual suction nozzle.

本態様は、簡単に言えば、基準ノズルを基準対象として用いる態様である。本態様によれば、敢えて、なんらの基準対象別途を作成せずして、簡便に基準対象設けることが可能である。 Simply put, this aspect is an aspect in which a reference nozzle is used as a reference object. According to this aspect, it is possible to easily set a reference target without intentionally creating any reference target separately.

(76)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレットのうちの1つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、
前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの1つに載置された複数の吸着ノズルを、その1つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成され、かつ、
前記複数のパレットのうちの少なくとも1つに、前記基準対象が設けられた(71)項ないし(75)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(76) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed.
The nozzle management machine
A pallet transfer device for transferring a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the nozzle inspection device is provided.
The nozzle inspection device is configured to inspect a plurality of suction nozzles mounted on one of the plurality of pallets in a state of being mounted on the one pallet.
The nozzle management machine according to any one of items (71) to (75), wherein the reference target is provided on at least one of the plurality of pallets.

本態様では、基準対象がパレットに載置されていてもよく、また、パレットに付設されてもよい。前者は、特に、基準対象が実際のノズルである場合に有効であり、後者は、基準対象が上記模擬物である場合に有効である。本態様によれば、検査の対象となるノズルの傍に基準対象が設けられているため、その基準対象を充分に活用することが可能となる。 In this aspect, the reference object may be placed on the pallet or may be attached to the pallet. The former is particularly effective when the reference object is an actual nozzle, and the latter is effective when the reference object is the simulated object. According to this aspect, since the reference object is provided near the nozzle to be inspected, the reference object can be fully utilized.

≪不良ノズルに対する処置≫
以下のいくつかの態様は、上記検査装置による検査の結果、不良ノズルと判断された場合におけるその不良ノズルの処置に関連する態様である。
≪Treatment for defective nozzles≫
The following several aspects are aspects related to the treatment of the defective nozzle when it is determined as a defective nozzle as a result of the inspection by the above inspection device.

(81)当該ノズル管理機が、
前記ノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器を備えた(61)項ないし(76)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(81) The nozzle management machine
Item 2. Nozzle management according to any one of (61) to (76), which is provided with a defective nozzle indwelling device for indwelling a defective nozzle which is a suction nozzle determined to be defective based on the inspection result by the nozzle inspection device. Machine.

検査によって不良ノズルと判断された場合、その不良ノズルは、廃棄,修理等のために当該管理機から取り出されることが望ましい。本態様では、不良ノズルは、上記不良ノズル留置器(以下、単に「留置器」と言う場合がある)に留置される。したがって、本態様によれば、不良ノズルを他の良好なノズルと確実に区別することができるため、間違いな
く当該管理機からの取り出しができることになる。なお、その取り出しの利便性を考慮すれば、留置器は、取り出しに容易な箇所に配設されることが望ましく、また、留置器ごと不良ノズルを出すことができるように、当該管理機から取り外し可能なものとされることが望ましい。
If the inspection determines that the nozzle is defective, it is desirable that the defective nozzle be removed from the management machine for disposal, repair, etc. In this aspect, the defective nozzle is placed in the defective nozzle indwelling device (hereinafter, may be simply referred to as "indwelling device"). Therefore, according to this aspect, the defective nozzle can be reliably distinguished from other good nozzles, and the nozzle can be taken out from the management machine without fail. Considering the convenience of taking out the indwelling device, it is desirable that the indwelling device be arranged in a place where it is easy to take out, and the indwelling device is removed from the management machine so that a defective nozzle can be ejected together with the indwelling device. It is desirable to be possible.

(82)前記不良ノズル留置器が、
それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有する(81)項に記載のノズル管理機。
(82) The defective nozzle indwelling device
The nozzle management machine according to item (81), each having a plurality of indwelling portions for indwelling defective nozzles that are different from each other in the inspection items judged to be defective.

本態様によれば、複数の留置部によって、不良ノズルが、不良された検査項目ごとに仕分けされるため、当該管理機のオペレータが、不良ノズルの不良要因を容易に認識でき、後の修理等の利便性の向上に繋がる。 According to this aspect, since defective nozzles are sorted according to defective inspection items by a plurality of indwelling portions, the operator of the management machine can easily recognize the defective cause of the defective nozzle, and repairs and the like later. It leads to the improvement of convenience.

(83)当該ノズル管理機が、
不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置を有する(81)項または(82)項に記載のノズル管理機。
(83) The nozzle management machine
The nozzle management machine according to item (81) or (82), which has a defective nozzle transporting device for transporting a defective nozzle to the defective nozzle indwelling device.

(84)前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される1以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、
前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載を実行するノズル移載装置を備え、
そのノズル移載装置が、前記ノズル収容装置に収容されている前記不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運ぶように構成されていることで、前記不良ノズル運搬装置として機能する(83)項に記載のノズル管理機。
(84) The electric component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electric component mounting machine are mounted on a nozzle tray detachably arranged on the electric component mounting machine. ,
The nozzle management machine serves as the anti-nozzle treatment execution device.
A nozzle transfer device for executing setting transfer for transferring the suction nozzle housed in the nozzle accommodating device to the nozzle tray located at the set position is provided.
Item (83), wherein the nozzle transfer device functions as the defective nozzle transport device by being configured to carry the defective nozzle housed in the nozzle accommodating device to the defective nozzle indwelling device. Nozzle management machine described.

上記2つの態様は、不良ノズル運搬する装置に関する態様である。後者の態様は、その不良ノズルを、上述した移載装置を利用して不良ノズルを留置器にまで運搬する態様である。後者の態様によれば、不良ノズルを一旦収容装置に収容し、その収容された不良ノズルを、検査装置の作動とは関係なく、留置器に運搬することが可能となる。また、移載装置によるセッティング移載のついでに、不良ノズルの留置器までの運搬を行うようにすれば、わざわざ、当該管理機に対して、不良ノズルの運搬だけのための作業時間を設ける必要がなくなる。なお、移載装置に不良ノズルの運搬をさせる場合には、留置器が、その移載装置の動作の範囲内において配設されることが望ましい。 The above two aspects are aspects relating to a device for transporting defective nozzles. The latter aspect is an aspect in which the defective nozzle is transported to the indwelling device by using the transfer device described above. According to the latter aspect, the defective nozzle can be temporarily accommodated in the accommodating device, and the accommodated defective nozzle can be transported to the indwelling device regardless of the operation of the inspection device. In addition, if the setting is transferred by the transfer device and then the defective nozzle is transported to the indwelling device, it is necessary to provide the management machine with a working time only for transporting the defective nozzle. It disappears. When the transfer device is to carry the defective nozzle, it is desirable that the indwelling device is arranged within the range of operation of the transfer device.

≪ノズル洗浄装置,ノズル乾燥装置≫
以下のいくつかの態様は、ノズル洗浄装置(以下、単に「洗浄装置」と言う場合がある)に関する態様である。なお、以下のいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に洗浄装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した洗浄装置の態様であっても請求可能発明の態様となり得る。
≪Nozzle cleaning device, nozzle drying device≫
Some of the following aspects relate to a nozzle cleaning device (hereinafter, may be simply referred to as a "cleaning device"). It should be noted that some of the following aspects are not the mode in which the management machine is categorized, but the mode in which the cleaning device is simply categorized, that is, the mode of the cleaning device independent of other components of the management machine. Even so, it can be a claimable aspect of the invention.

(91)当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備えた(21)項ないし(84)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (91) The nozzle management machine according to any one of (21) to (84), wherein the nozzle management machine includes a nozzle cleaning device for cleaning suction nozzles as the anti-nozzle treatment executing device.

ノズルは、詰まりの解消,汚れの除去等の目的で洗浄されることが望ましい。本態様によれば、ノズルの洗浄までも行うことができるため、相当に実用性の高い管理機が実現されることになる。なお、本態様において、洗浄装置は、それによる洗浄の方法が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の洗浄方法を採用することが可能である。 The nozzle should be cleaned for the purpose of clearing clogging and removing dirt. According to this aspect, even cleaning of the nozzle can be performed, so that a management machine having considerably high practicality can be realized. In this embodiment, the cleaning device is not particularly limited in the cleaning method by the cleaning device, and various cleaning methods already known can be adopted.

(92)前記ノズル洗浄装置が、吸着ノズルの先端側と基端側との両方から、その吸着ノズルに向かって水を噴射して洗浄を行うように構成された(91)項に記載のノズル管理機。 (92) The nozzle according to item (91), wherein the nozzle cleaning device is configured to inject water from both the tip end side and the proximal end side of the suction nozzle toward the suction nozzle to perform cleaning. Management machine.

電気部品装着機に使用されるノズルに関して言えば、従来の洗浄装置の多くは、ノズル若しくはそれの一部分を水に浸漬することによって行っていた。本態様によれば、洗浄装置は、ノズルを水に浸漬するのではなく、水を噴射させて洗浄を行うようにされており、また、洗浄装置は、ノズルの主要な部分の殆どに水を噴射するように構成されているため、ノズルの洗浄が充分に行えることになる。 When it comes to nozzles used in electrical component mounting machines, many conventional cleaning devices have done so by immersing the nozzle or a portion of it in water. According to this aspect, the cleaning device is adapted to perform cleaning by injecting water instead of immersing the nozzle in water, and the cleaning device sprays water to most of the main parts of the nozzle. Since it is configured to inject, the nozzle can be sufficiently cleaned.

(93)前記ノズル洗浄装置が、高圧の水を吸着ノズルに向かって噴射して洗浄を行うように構成された(91)項または(92)項に記載のノズル管理機。 (93) The nozzle management machine according to item (91) or (92), wherein the nozzle cleaning device is configured to inject high-pressure water toward a suction nozzle to perform cleaning.

従来の水を噴射する方法によるノズルの洗浄装置では、いわゆる2流体ノズルを使用して水を噴射するように構成されていた。つまり、圧縮空気の力によって水を細粒化して噴射するように構成されていたのである。本態様における洗浄装置では、水を直接的にノズルに当てるため、本態様によれば、洗浄能力の高い洗浄装置が実現される。本態様の洗浄装置は、例えば、水をポンプ等によって直接加圧し、その加圧された水をノズルに向かって噴射するように構成すればよい。 In the conventional nozzle cleaning device by the method of injecting water, the so-called two-fluid nozzle is used to inject water. In other words, it was configured to atomize and inject water by the force of compressed air. In the cleaning device in this embodiment, water is directly applied to the nozzle, so that a cleaning device having high cleaning ability is realized according to this aspect. The cleaning device of this embodiment may be configured so that, for example, water is directly pressurized by a pump or the like and the pressurized water is ejected toward a nozzle.

(94)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
当該ノズル管理機が、
前記複数のパレットのうちの1つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
前記ノズル洗浄装置が、前記複数のパレットのうちの1つに載置された複数の吸着ノズルを、その1つのパレットに載置された状態で洗浄を行うように構成された(91)項ないし(93)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(94) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed.
The nozzle management machine
A pallet transfer device for transferring a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the nozzle cleaning device is provided.
Item (91) to (91), wherein the nozzle cleaning device cleans a plurality of suction nozzles mounted on one of the plurality of pallets in a state of being mounted on the one pallet. The nozzle management machine according to any one of item (93).

(95)当該ノズル管理機が、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置を備えた(91)項ないし(94)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。 (95) The nozzle management machine according to any one of (91) to (94), wherein the nozzle management machine includes a nozzle drying device that dries the suction nozzles cleaned by the nozzle cleaning device.

本態様によれば、洗浄装置によって洗浄されたノズルがノズル乾燥装置(以下、単に「乾燥装置」という場合がある)によって乾燥されるため、例えば、乾燥の直後にノズルが収容装置内に収容されたとしても、そのノズルを、ある程度充分に乾燥した状態で収容することが可能となる。また、洗浄後、それほど間を置かずに使用することも可能となる。なお、本態様における乾燥装置は、それが採用する乾燥手段が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の乾燥手段を採用することが可能である。 According to this aspect, the nozzles cleaned by the cleaning device are dried by the nozzle drying device (hereinafter, may be simply referred to as “drying device”). Therefore, for example, the nozzles are housed in the accommodating device immediately after drying. Even so, the nozzle can be accommodated in a sufficiently dry state to some extent. In addition, it can be used without a short interval after cleaning. The drying device in this embodiment is not particularly limited in the drying means adopted by the drying device, and various already known drying means can be adopted.

(96)前記ノズル乾燥装置が、エアブローによって吸着ノズルの乾燥を行うように構成された(95)項に記載のノズル管理機。 (96) The nozzle management machine according to item (95), wherein the nozzle drying device is configured to dry the suction nozzle by air blowing.

本態様のように、乾燥装置が乾燥手段としてエアブローを採用すれば、ノズルに付着した水を、エアの圧力によって吹き飛ばすことができるため、相当に短い時間で、ノズルを乾燥させることが可能となる。なお、ブローされるエアは、冷風であっても温風であってもよいが、乾燥時間を短くするという観点からは、ある程度温度の高いエアであることが望ましい。 If the drying device employs an air blow as the drying means as in this embodiment, the water adhering to the nozzle can be blown off by the pressure of the air, so that the nozzle can be dried in a considerably short time. .. The air to be blown may be cold air or warm air, but from the viewpoint of shortening the drying time, it is desirable that the air has a high temperature to some extent.

(97)当該ノズル管理機が、
1以上の吸着ノズルを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送するとともに、そのノズル洗浄装置に移送した1以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置に移送するノズル移送装置を備えており、
前記ノズル乾燥装置が、前記ノズル移送装置によってノズル洗浄装置からノズル収容装置に移送される途中の1以上の吸着ノズルに対して、乾燥を行うように構成された(95)項または(96)項に記載のノズル管理機。
(97) The nozzle management machine
It is provided with a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the nozzle accommodating device to the nozzle cleaning device and transfers one or more suction nozzles transferred to the nozzle cleaning device to the nozzle accommodating device.
Item (95) or (96), wherein the nozzle drying device dries one or more suction nozzles in the process of being transferred from the nozzle cleaning device to the nozzle accommodating device by the nozzle transfer device. Nozzle management machine described in.

本態様によれば、洗浄装置による洗浄が終了して収容装置に返送されるノズルに対して、乾燥が施されることになる。したがって、洗浄装置による洗浄後、早い時点において、充分に乾燥させられたノズルが収容装置に収容されることになる。移送する時間に乾燥が行えるため、当該管理機の時間的なロスを少なくすることができるのである。なお、本態様における乾燥装置は、移送装置による移送の途中でのみノズルを乾燥するような構成のものに限定されない。例えば、洗浄装置内においても洗浄後に乾燥を施し、洗浄装置外において、移送装置による移送の最中にも乾燥を施すような乾燥装置であってもよい。 According to this aspect, the nozzles that have been cleaned by the cleaning device and are returned to the accommodating device are dried. Therefore, a sufficiently dried nozzle is accommodated in the accommodating apparatus at an early stage after cleaning by the cleaning apparatus. Since drying can be performed during the transfer time, the time loss of the management machine can be reduced. The drying device in this embodiment is not limited to a device that dries the nozzle only during the transfer by the transfer device. For example, a drying device may be used in which drying is performed after cleaning inside the cleaning device, and drying is performed outside the cleaning device even during transfer by the transfer device.

≪制御装置による制御≫
以下のいくつかの態様は、当該管理機の制御に関する態様である。言い換えれば、当該管理機の運用方法に関する態様である。
≪Control by control device≫
The following several aspects are aspects relating to the control of the management machine. In other words, it is an aspect relating to the operation method of the management machine.

(101)当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備えた(1)項ないし(97)
項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(101) Item (1) to (97) that the nozzle management machine is provided with a control device that controls its own control.
The nozzle management machine according to any one of the items.

本態様は、制御に関する基本的態様であり、制御装置は、管理機の運用を主体的に実行する構成要素である。制御装置は、例えば、コンピュータを主要構成要素として構成されるようなものであってもよい。 This aspect is a basic aspect regarding control, and the control device is a component that independently executes the operation of the management machine. The control device may be configured with a computer as a main component, for example.

(102)前記制御装置が、
前記ノズル収容装置に収容されている複数の吸着ノズルの各々の固有情報が、その各々の前記ノズル収容装置における収容位置に関連付けて記憶されるノズル情報記憶部を有する(101)項に記載のノズル管理機。
(102) The control device
Item 2. The nozzle according to (101), which has a nozzle information storage unit in which unique information of each of a plurality of suction nozzles housed in the nozzle accommodating device is stored in association with an accommodating position in the nozzle accommodating device. Management machine.

本態様によれば、収容装置内のどの収容位置にどのようなノズルが収容されているかが把握できることから、収容されているノズルを適切に管理することが可能となる。なお、固有情報は、先に説明したようにID情報を含み、このノズルのID情報を記憶することにより、個々のノズルについての充分なる管理を行うことが可能である。 According to this aspect, since it is possible to grasp what kind of nozzle is accommodated in which accommodation position in the accommodation device, it is possible to appropriately manage the accommodated nozzles. The unique information includes the ID information as described above, and by storing the ID information of the nozzles, it is possible to sufficiently manage each nozzle.

(103)吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
当該ノズル管理機が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有し、
前記ノズル情報記憶部が、その識別子読取器による読取によって取得された吸着ノズルの固有情報を記憶するように構成された(102)項に記載のノズル管理機。
(103) An identifier for recognizing the unique information of the suction nozzle is attached to the suction nozzle.
The nozzle management machine has an identifier reader for reading the identifier,
The nozzle management machine according to item (102), wherein the nozzle information storage unit is configured to store unique information of the suction nozzle acquired by reading by the identifier reader.

先に説明したように、識別子読取器によれば、個々のノズルの固有情報を容易に取得することが可能である。したがって、本態様によれば、収容されているノズルの管理を、取得された固有情報に基づいて、容易に行うことが可能である。なお、識別子読取器は、先に説明したように、移載装置に設けられていてもよい。その場合、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方を実行する際に、移載されるノズルの固有情報を取得することが可能となる。 As described above, according to the identifier reader, it is possible to easily acquire the unique information of each nozzle. Therefore, according to this aspect, it is possible to easily manage the accommodated nozzles based on the acquired unique information. The identifier reader may be provided in the transfer device as described above. In that case, when at least one of the above-mentioned setting transfer and accommodation transfer is executed, it is possible to acquire the unique information of the nozzle to be transferred.

(104)前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパ
レットを備えるとともに、それら複数のパレットの各々が、それぞれに1つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有しており、
前記ノズル情報記憶部が、前記複数のパレットのうちのいずれのものの前記複数の載置部のいずれに載置されているかを前記収容位置として扱うように構成された(102)項また
は(103)項に記載のノズル管理機。
(104) The nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be mounted, and each of the plurality of pallets has a plurality of mountings on which one suction nozzle is mounted. Has a part
Item (102) or (103) configured to treat which of the plurality of pallets the nozzle information storage unit is mounted on which of the plurality of mounting portions as the accommodation position. Nozzle management machine as described in the section.

本態様は、収容装置が上述のパレットを有する場合に好適な態様である。本態様によれば、どのパレットのどの位置にどんなノズルが収容されているかが把握でき、収容されているノズルの管理をより適切に行うことが可能となる。 This aspect is suitable when the accommodating device has the above-mentioned pallet. According to this aspect, it is possible to grasp what nozzle is accommodated in which position on which pallet, and to manage the accommodated nozzle more appropriately.

(105)前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される1以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、
設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載を実行するノズル移載装置を有し、
前記制御装置が、
前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に、その移載された吸着ノズルの固有情報を、その吸着ノズルの収容位置に関連付けて記憶させるノズル収容制御部を有する(102)項ないし(104)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(105) The electric component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electric component mounting machine are mounted on a nozzle tray detachably arranged on the electric component mounting machine. ,
The nozzle management machine
It has a nozzle transfer device that executes accommodation transfer to transfer from the nozzle tray in order to accommodate the suction nozzle mounted on the nozzle tray located at the set position in the nozzle accommodating device.
The control device
By controlling the nozzle transfer device, the suction nozzle mounted on the nozzle tray located at the set position is transferred from the nozzle tray, and the transferred suction nozzle is transferred to the nozzle information storage unit. The nozzle management machine according to any one of items (102) to (104), which has a nozzle accommodating control unit that stores nozzle-specific information in association with the accommodating position of the suction nozzle.

本態様によれば、上述した収容移載の際、つまり、ノズルをトレイから移載して収容装置にノズルを収容する際に、そのノズルの固有情報をそのノズルの収容装置内における収容位置に関連付けて記憶される。そのため、本態様によれば、収容装置に収容されているノズルの管理を適切に行うことができる。 According to this aspect, at the time of the above-mentioned accommodation transfer, that is, when the nozzle is transferred from the tray and the nozzle is accommodated in the accommodation device, the unique information of the nozzle is transferred to the accommodation position in the accommodation device of the nozzle. It is associated and stored. Therefore, according to this aspect, it is possible to appropriately manage the nozzles housed in the housing device.

(106)前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される1以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
当該ノズル管理機が、
前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載を実行するノズル移載装置を備え、
前記制御装置が、
前記ノズル移載装置を制御することによって、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、前記設定位置に位置するノズルトレイに、そのノズルトレイに載置すべき吸着ノズルを移載させるノズルセッティング制御部を有する(102)項ないし(105)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(106) The electric component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electric component mounting machine are mounted on a nozzle tray detachably arranged on the electric component mounting machine. ,
The nozzle management machine
A nozzle transfer device for executing setting transfer for transferring the suction nozzle housed in the nozzle accommodating device to the nozzle tray located at the set position is provided.
The control device
By controlling the nozzle transfer device, the nozzle tray located at the set position should be placed on the nozzle tray based on the unique information of the plurality of suction nozzles stored in the nozzle information storage unit. The nozzle management machine according to any one of items (102) to (105), which has a nozzle setting control unit for transferring a suction nozzle.

本態様によれば、上述したセッティング移載の際、つまり、収容装置に収容されていたノズルをトレイにセッティングする際、記憶されている固有情報を利用して、そのノズルがトレイに配置される。したがって、本態様によれば、トレイに載置すべきノズルについての情報に基づくことにより、確実に適正なノズルをそのトレイに配置することができる。 According to this aspect, when the setting is transferred as described above, that is, when the nozzle housed in the accommodating device is set on the tray, the nozzle is arranged on the tray by utilizing the stored unique information. .. Therefore, according to this aspect, the proper nozzles can be reliably placed on the tray based on the information about the nozzles to be placed on the tray.

(107)前記ノズル移載装置が、
設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と、前記ノズル収容装置に収
容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載とを実行するように構成されており、
前記制御装置が、
前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、その移載させられた吸着ノズルと同じ型式の前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるノズル再セッティング制御部を有する(102)項ない
し(106)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(107) The nozzle transfer device
In order to accommodate the suction nozzle mounted on the nozzle tray located at the set position in the nozzle accommodating device, the accommodating transfer is transferred from the nozzle tray and the adsorption nozzle accommodated in the nozzle accommodating device. Is configured to perform setting transfer and transfer to the nozzle tray located at the set position.
The control device
By controlling the nozzle transfer device, the suction nozzles mounted on the nozzle tray located at the set position can be transferred from the nozzle tray, and the plurality of suctions stored in the nozzle information storage unit can be transferred. Nozzle resetting control unit that transfers the suction nozzle housed in the nozzle accommodating device of the same model as the transferred suction nozzle to the nozzle tray located at the set position based on the unique information of the nozzle. The nozzle management machine according to any one of (102) to (106).

本態様は、簡単に言えば、固有情報を利用して、上記収容移載と上記セッティング移載とを行うことが可能な態様である。本態様において、収容移載においてノズルが載置されていたトレイと、セッティング移載においてノズルが載置されるトレイとは、同じものであってもよく、同じ形式の別のものであってもよい。また、収容移載において移載されるノズルと、セッティング移載において移載されるノズルとは、同じものであってもよく、同形式の別のものであってもよい。例えば、同じトレイに別のノズルを載置するようにされている態様は、ノズルの交換に好適である。そして固有情報に基づくことにより、ノズルが載置されたトレイを上記設定位置に位置させるだけで、そのトレイ対して、載置されていたノズルを、同じ形式のノズルに自動的に交換することが可能となる。また、例えば、別のトレイに同じノズルを載置するようにされている態様では、トレイの交換に好適である。そしてトレイの固有情報に基づくことにより、ノズルが載置されたトレイを上記設定位置に位置させるだけで、そのトレイとは同形式の別のトレイに、自動的に、載置されていたノズルを再び載置することが可能となる。後者の態様は、先に説明したトレイ収容装置およびトレイ移送装置を備えた管理機に、特に、好適である。 Simply put, this aspect is an aspect in which the accommodation transfer and the setting transfer can be performed by using the unique information. In this embodiment, the tray on which the nozzle is placed in the accommodation transfer and the tray on which the nozzle is placed in the setting transfer may be the same or different trays of the same type. good. Further, the nozzle transferred in the accommodation transfer and the nozzle transferred in the setting transfer may be the same or different nozzles of the same type. For example, an embodiment in which another nozzle is placed on the same tray is suitable for nozzle replacement. Then, based on the unique information, it is possible to automatically replace the nozzle mounted on the tray with a nozzle of the same type by simply positioning the tray on which the nozzle is mounted at the above-mentioned set position. It will be possible. Further, for example, in a mode in which the same nozzle is placed on another tray, it is suitable for tray replacement. Then, based on the unique information of the tray, the nozzle on which the nozzle is placed is automatically placed in another tray of the same type as the tray by simply positioning the tray on which the nozzle is placed at the above setting position. It will be possible to place it again. The latter aspect is particularly suitable for a management machine provided with the tray accommodating device and the tray transfer device described above.

(108)前記ノズル再セッティング制御部が、
前記移載させられた吸着ノズルに代えて、別の吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるように構成された(107)項に記載のノズル管理機。
(108) The nozzle resetting control unit
The nozzle management machine according to item (107), which is configured to transfer another suction nozzle to a nozzle tray located at the set position in place of the transferred suction nozzle.

本態様は、先に説明したノズルの交換に好適な態様である。先に説明したように、収容移載およびセッティング移載を、同じトレイに対して行うことで、ノズルだけが交換されることになる。 This aspect is a mode suitable for replacing the nozzle described above. As described above, by performing the accommodation transfer and the setting transfer to the same tray, only the nozzles will be replaced.

(109)当該ノズル管理機が、
それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
設定位置と前記トレイ収容装置との間を、1つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
を備えており、
前記制御装置が、
ノズルトレイに不具合が生じていると判断された場合に、前記トレイ移送装置を制御することによって、そのノズルトレイを、前記トレイ収容装置に収容されているノズルトレイと交換させるトレイ交換制御部を有する(105)項ないし(108)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(109) The nozzle management machine
A tray accommodating device capable of accommodating a plurality of nozzle trays, each of which is the nozzle tray,
It is equipped with a tray transfer device that transfers one nozzle tray between the set position and the tray accommodating device.
The control device
It has a tray replacement control unit for replacing the nozzle tray with the nozzle tray housed in the tray accommodating device by controlling the tray transfer device when it is determined that the nozzle tray has a problem. The nozzle management machine according to any one of (105) to (108).

トレイは、例えば、ノズルのトレイからの離脱を防止するため、いわゆるシャッター機構と呼ばれる離脱防止機構が設けられる。また、トレイを個別に管理するため、トレイには、固有情報を認識するための識別子が設けられる場合がある。あるトレイにおいて、離脱防止機構の動作に関する不具合が生じていたり、識別子の読み取りが困難になっている場合には、そのトレイは、不良トレイと認定される。本態様は、その不良トレイを良好な
トレイに交換する場合に好適な態様である。なお、本態様に、先に説明した移載装置による収容移載およびセッティング移載を組み合わせることで、ノズルが載置されているトレイを、同じ若しくは別のノズルが載置された別のトレイに変更することが可能である。
The tray is provided with, for example, a detachment prevention mechanism called a so-called shutter mechanism in order to prevent the nozzle from detaching from the tray. Further, in order to manage the trays individually, the trays may be provided with an identifier for recognizing unique information. If a tray has a problem with the operation of the detachment prevention mechanism or the identifier is difficult to read, the tray is recognized as a defective tray. This aspect is suitable for replacing the defective tray with a good tray. By combining this aspect with the accommodation transfer and the setting transfer by the transfer device described above, the tray on which the nozzles are mounted can be moved to another tray on which the same or different nozzles are mounted. It is possible to change.

(110)当該ノズル管理機が、
吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置と、そのノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器と、不良ノズルをその不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置とを備え、
前記不良ノズル留置器が、それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有し、
前記制御装置が、
前記不良ノズル運搬装置を制御することによって、不良ノズルを、その不良ノズルについて不良と判断された検査項目に対応する前記複数の留置部のうちの1つにまで運搬させる不良ノズル運搬制御部を有する(101)項ないし(109)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(110) The nozzle management machine
A nozzle inspection device that inspects suction nozzles, a defective nozzle indweller that indwells a defective nozzle that is a suction nozzle judged to be defective based on the inspection results by the nozzle inspection device, and a defective nozzle indwelling device. Equipped with a defective nozzle transport device that transports to
Each of the defective nozzle indwellers has a plurality of indwelling portions for indwelling different defective nozzles in the inspection items determined to be defective.
The control device
It has a defective nozzle transport control unit that transports a defective nozzle to one of the plurality of indwelling portions corresponding to an inspection item determined to be defective for the defective nozzle by controlling the defective nozzle transport device. The nozzle management machine according to any one of (101) to (109).

本態様によれば、先に説明したように、当該管理機に、不良ノズルを、それが不良と判断された査項目ごとに別の個所に留置するための動作を行わせることができる。 According to this aspect, as described above, the management machine can be made to perform an operation for indwelling a defective nozzle in a different place for each inspection item determined to be defective.

(111)当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備え、かつ、当該ノズル管理機に、そのノズル検査装置による検査において参照されるとともに通常良好な検査結果が得られるように構成された基準対象が設けられており、
前記制御装置が、
前記ノズル検査装置による吸着ノズルの検査結果が不良となり、かつ、前記基準対象の検査結果が良好であることを条件として、その吸着ノズルを不良ノズルと判断する基準対象参照不良ノズル判断部を有する(101)項ないし(110)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(111) The nozzle management machine is provided with a nozzle inspection device for inspecting suction nozzles, and the nozzle management machine is referred to in the inspection by the nozzle inspection device and usually good inspection results can be obtained. There is a configured reference target,
The control device
It has a reference target reference defective nozzle determination unit that determines the suction nozzle as a defective nozzle, provided that the inspection result of the suction nozzle by the nozzle inspection device is defective and the inspection result of the reference target is good. The nozzle management machine according to any one of items 101) to (110).

本態様は、先に説明した基準対象を利用した検査を実行するための制御に関する一態様である。本態様では、先に説明した検査装置の検定が行われると考えてもよい。つまり、本態様では、基準対象の検査が良好である場合に検査装置の機能に問題ないと認定し、その認定を前提として、ノズルの検査を行う若しくは行ったノズルの検査の結果を採用するのである。したがって、本態様によれば、検査装置による検査の信頼性の高いものとなる。例えば、本態様は、あるノズルに対する検査結果が良好ではない場合、上記基準対象の検査を行い、その基準対象の検査において良好な結果が得られたときに、当該検査装置は良好に動作してると認定し、その認定に基づいて、そのノズルが不良ノズルであると判断するような態様であってもよい。なお、本態様では、基準対象の検査において良好な結果が得られなかったときには、検査装置自体に異常があると判断し、そのノズルに対する検査結果を採用しない、若しくは、その後のノズルの検査を実行しないようにすることも可能である。 This aspect is one aspect relating to the control for performing the inspection using the reference object described above. In this aspect, it may be considered that the verification of the inspection device described above is performed. In other words, in this aspect, if the inspection of the reference target is good, it is recognized that there is no problem with the function of the inspection device, and on the premise of the certification, the nozzle is inspected or the result of the nozzle inspection is adopted. be. Therefore, according to this aspect, the reliability of the inspection by the inspection device is high. For example, in this embodiment, when the inspection result for a certain nozzle is not good, the inspection of the reference object is performed, and when a good result is obtained in the inspection of the reference object, the inspection device is operating well. And based on the certification, the nozzle may be determined to be a defective nozzle. In this embodiment, when a good result is not obtained in the inspection of the reference target, it is determined that the inspection device itself has an abnormality, and the inspection result for the nozzle is not adopted, or the subsequent inspection of the nozzle is executed. It is also possible not to.

(112)当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備え、かつ、当該ノズル管理機に、そのノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられており、
前記制御装置が、
吸着ノズルの検査に先立って、前記基準対象を利用して、前記ノズル検査装置による検査の基準の設定と、前記ノズル検査装置の校正との少なくとも一方を、準備処理として行う基準対象依拠検査準備処理部を有する(101)項ないし(111)項のいずれか1つに記載のノズル管理機。
(112) The nozzle management machine is provided with a nozzle inspection device for inspecting suction nozzles, and the nozzle management machine is provided with a reference target to be referred to in the inspection by the nozzle inspection device.
The control device
Prior to the inspection of the suction nozzle, the reference target is used to perform at least one of the setting of the inspection standard by the nozzle inspection device and the calibration of the nozzle inspection device as a preparatory process. The nozzle management machine according to any one of items (101) to (111), which has a part.

本態様は、先に説明した基準対象を利用した検査を実行するための制御に関する別の一態様である。本態様によれば、検査装置によって、信頼性の高い検査が実行されることになる。 This aspect is another aspect relating to the control for performing the inspection using the reference object described above. According to this aspect, the inspection device will perform a highly reliable inspection.

実施例のノズル管理機の管理対象となる吸着ノズルが使用される電気部品装着機を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electric component mounting machine which uses the suction nozzle which is the management target of the nozzle management machine of an Example. 代表的な吸着ノズルを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a typical suction nozzle. 電気部品装着機において吸着ノズルが載置されるノズルトレイを示す図である。It is a figure which shows the nozzle tray in which the suction nozzle is placed in the electric component mounting machine. 実施例のノズル管理機の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the appearance of the nozzle management machine of an Example. ノズル管理機の内部構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the internal structure of a nozzle management machine. ノズル管理機の内部構造を別の視点で示す斜視図である。It is a perspective view which shows the internal structure of a nozzle management machine from another viewpoint. ノズル管理機が備えるノズル移載装置を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the nozzle transfer device provided in the nozzle management machine. ノズル管理機が備える第1ノズル検査装置を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the 1st nozzle inspection apparatus provided in the nozzle management machine. ノズル管理機が備える第2ノズル検査装置を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the 2nd nozzle inspection apparatus provided in the nozzle management machine. ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the nozzle cleaning apparatus and the nozzle drying apparatus provided in the nozzle management machine. 図10に示すノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を、ハウジングを取り除いた状態で示す斜視図である。It is a perspective view which shows the nozzle cleaning device and the nozzle drying device shown in FIG. 10 in a state where the housing is removed. ノズル管理機が備えるノズル収容装置において、吸着ノズルが載置されるノズルパレットを示す図である。It is a figure which shows the nozzle pallet on which the suction nozzle is placed in the nozzle accommodating device provided in the nozzle management machine. ノズル管理機の管理するいくつかの吸着ノズルを示す図である。It is a figure which shows some suction nozzles managed by a nozzle management machine. 載置穴に吸着ノズルが載置された状態、および、採用可能な別の載置穴を示すノズルパレットの一部の断面図である。It is sectional drawing of a part of the nozzle pallet which shows the state which the suction nozzle is mounted in the mounting hole, and another mounting hole which can be adopted. ノズル管理機が備える第1ノズル検査装置による先端部状態検査を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the tip state inspection by the 1st nozzle inspection apparatus provided in the nozzle management machine. ノズル管理機が備える第1ノズル検査装置による後退必要力検査を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the backward necessary force inspection by the 1st nozzle inspection apparatus provided in the nozzle management machine. ノズル管理機が備える第2ノズル検査装置による通過流量検査および識別子読取検査を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the passing flow rate inspection and the identifier reading inspection by the 2nd nozzle inspection apparatus provided in the nozzle management machine. ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置による吸着ノズルの洗浄および乾燥を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the cleaning and drying of the suction nozzle by the nozzle cleaning device and the nozzle drying device provided in the nozzle management machine. ノズル管理機の制御装置が記憶している収容ノズル情報を模式的に示すテーブルである。This is a table schematically showing the accommodation nozzle information stored in the control device of the nozzle management machine. ノズル管理機の制御装置が記憶している収容トレイ情報を模式的に示すテーブルである。This is a table schematically showing the storage tray information stored in the control device of the nozzle management machine. ノズル管理機の制御装置が吸着ノズルのノズルトレイへのセッティングの際に利用するノズルセッティング情報を模式的に示すテーブルである。This is a table schematically showing nozzle setting information used by the control device of the nozzle management machine when setting the suction nozzle to the nozzle tray. ノズル管理機がノズル収容オペレーションを行うために実行されるノズル収容プログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the nozzle accommodating program which is executed in order to perform a nozzle accommodating operation by a nozzle management machine. ノズル管理機がノズルセッティングオペレーションを行うために実行されるノズルセッティングプログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the nozzle setting program which is executed in order to perform a nozzle setting operation by a nozzle management machine. ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの前半部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the first half part of the nozzle resetting program which is executed for nozzle management machine to perform a nozzle resetting operation. ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの後半部分を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the latter half part of the nozzle resetting program which is executed for nozzle management machine to perform a nozzle resetting operation. ノズル管理機がノズル洗浄オペレーションを行うために実行されるノズル洗浄プログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the nozzle cleaning program which is executed in order to perform a nozzle cleaning operation by a nozzle management machine. ノズル管理機が第1ノズル検査オペレーションを行うために実行される第1ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the 1st nozzle inspection program which is executed in order to perform a 1st nozzle inspection operation by a nozzle management machine. ノズル管理機が第2ノズル検査オペレーションを行うために実行される第2ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the 2nd nozzle inspection program which is executed in order to perform a 2nd nozzle inspection operation by a nozzle management machine. ノズル管理機が備える制御装置の機能構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the functional structure of the control device provided in the nozzle management machine.

以下、請求可能発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。また、〔発明の態様〕の各項の説明に記載されている技術的事項を利用して、下記の実施例の変形例を構成することも可能である。 Hereinafter, typical embodiments of the claimable invention will be described in detail with reference to the drawings as examples. In addition to the following examples, the claimable invention is carried out in various embodiments with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art, including the embodiments described in the above [Aspects of the Invention]. can do. Further, it is also possible to construct a modified example of the following embodiment by utilizing the technical matters described in the description of each section of [Aspects of the Invention].

実施例のノズル管理機は、電気部品装着機に使用されている吸着ノズルを管理の対象とする。その吸着ノズルは、回路基板への電気部品の装着において、自身に供給される負圧によって、電気部品を吸着保持する部品保持具である。実施例のノズル管理機の説明を行う前に、電気部品装着機および吸着ノズルについて簡単に説明し、その後に、実施例のノズル管理機について、ノズル管理機の全体構成,ノズル管理機を構成する各装置,ノズル管理機が行ういくつかのオペレーション,それらのオペレーションに関連した制御装置の機能構成を、順次説明する。なお、以下の説明において、「ノズル管理機」,「電気部品装着機」,「吸着ノズル」,「回路基板」,「電気部品」は、それぞれ、単に「管理機」,「装着機」,「ノズル」,「基板」,「部品」と呼ぶ場合があることとする。 The nozzle management machine of the embodiment manages the suction nozzle used in the electric component mounting machine. The suction nozzle is a component holder that sucks and holds an electric component by a negative pressure supplied to itself when the electric component is mounted on a circuit board. Before explaining the nozzle management machine of the embodiment, the electric component mounting machine and the suction nozzle will be briefly described, and then, for the nozzle management machine of the embodiment, the overall configuration of the nozzle management machine and the nozzle management machine will be configured. Each device, some operations performed by the nozzle management machine, and the functional configuration of the control device related to those operations will be described in sequence. In the following description, "nozzle management machine", "electric component mounting machine", "suction nozzle", "circuit board", and "electric component" are simply "management machine", "mounting machine", and "mounting machine", respectively. It may be called "nozzle", "board", or "component".

[A]電気部品装着機および吸着ノズル
管理機による管理の対象となる吸着ノズルが使用されている電子部品装着機を、図1に、一例として、示す。図では、同じ構造の2台の装着機10が、ベース12に並設されている(図では、手前側のものの外装パネルが取り除かれている)。装着機10は、基板Sを搬送するとともに設定位置に固定するコンベア型の基板搬送装置14と、それぞれが部品Pを供給する複数のフィーダ型の部品供給装置16と、それら部品供給装置16から供給される部品Pを固定された基板Sに装着するための装着ヘッド18と、その装着ヘッド18を部品供給装置16と固定された基板Sとの間で移動させるヘッド移動装置20とを含んで構成されている。装着ヘッド18は、下端部に吸着ノズルNが取り付けられた動作軸22と、その動作軸22を昇降および回転させる動作軸昇降回転装置(図示を省略)とを含んで構成されている。ちなみに、図に示す装着ヘッド18は、インデックス型の装着ヘッドであり、動作軸22は、複数のノズルNを取り付け可能とされている。部品供給装置16から供給される部品Pは、ノズルNの先端(下端)において吸着保持され、保持された部品Pは、装着ヘッド18が基板Sの上方に移動させられた後、ノズルNによる吸着保持が解除されることで、基板S上に装着される。ちなみに、部品Pを基板S上の適正位置に適正な姿勢で装着するため、その部品Pは、ノズルNに吸着保持された状態で、当該装着機10に設けられた部品カメラ22によって下方から撮像され、撮像によって得られた保持位置および保持姿勢のデータが、装着の際に利用される。
[A] An electronic component mounting machine in which a suction nozzle to be managed by an electrical component mounting machine and a suction nozzle management machine is used is shown in FIG. 1 as an example. In the figure, two mounting machines 10 having the same structure are arranged side by side on the base 12 (in the figure, the exterior panel of the one on the front side is removed). The mounting machine 10 is supplied from a conveyor-type substrate transfer device 14 that conveys the substrate S and fixes it at a set position, a plurality of feeder-type component supply devices 16 that each supply components P, and these component supply devices 16. The configuration includes a mounting head 18 for mounting the component P to be mounted on the fixed substrate S, and a head moving device 20 for moving the mounting head 18 between the component supply device 16 and the fixed board S. Has been done. The mounting head 18 includes an operating shaft 22 to which a suction nozzle N is attached to a lower end portion, and an operating shaft elevating / rotating device (not shown) that elevates and rotates the operating shaft 22. Incidentally, the mounting head 18 shown in the figure is an index type mounting head, and the operating shaft 22 is capable of mounting a plurality of nozzles N. The component P supplied from the component supply device 16 is sucked and held at the tip (lower end) of the nozzle N, and the held component P is sucked by the nozzle N after the mounting head 18 is moved above the substrate S. When the holding is released, it is mounted on the substrate S. By the way, in order to mount the component P at an appropriate position on the substrate S in an appropriate posture, the component P is imaged from below by the component camera 22 provided on the mounting machine 10 while being attracted and held by the nozzle N. Then, the holding position and holding posture data obtained by imaging are used at the time of mounting.

上記ノズルNが、管理機の管理対象であり、そのノズルNは、図2に示すようなものである。図2(a)は、ノズルNを、斜め上方から見た図であり,図2(b)は斜め下方から見た図である。それらの図から解るように、ノズルNは、筒状をなして当該ノズルNの本体部として機能する胴体筒30と、胴体筒30から下方に延び出す吸着管32と、胴体筒30の周囲に張り出すようにして同体筒30に固定されたフランジ34とを有する。胴体筒30の上端部が、当該ノズルNの基端部として機能し、その上端部において、上記動作軸に保持される。吸着管32は、当該ノズルの先端部として機能し、比較的細いパイプ状のものとされている。胴体筒30には、2本の掛止ピン36が延設されおり、それら掛
止ピン36を利用して、ノズルNは、動作軸22に取り付けられる。掛止ピン36を利用したノズルNの取付は一般的な手法であり、ここでの説明は省略するともに、他の図において省略する。
The nozzle N is a management target of the management machine, and the nozzle N is as shown in FIG. FIG. 2A is a view of the nozzle N viewed from diagonally above, and FIG. 2B is a view of the nozzle N viewed from diagonally below. As can be seen from those figures, the nozzle N is formed around the body cylinder 30 which has a tubular shape and functions as the main body of the nozzle N, the suction pipe 32 extending downward from the body cylinder 30, and the body cylinder 30. It has a flange 34 fixed to the same body cylinder 30 so as to project. The upper end portion of the body cylinder 30 functions as the base end portion of the nozzle N, and is held by the operating shaft at the upper end portion thereof. The suction pipe 32 functions as the tip of the nozzle and has a relatively thin pipe shape. Two hook pins 36 are extended from the fuselage cylinder 30, and the nozzle N is attached to the operating shaft 22 by using the hook pins 36. The attachment of the nozzle N using the hook pin 36 is a general method, and the description here will be omitted and will be omitted in other drawings.

吸着管32には、装着ヘッド18から、胴体筒30介して正圧および負圧が選択的に供給される。負圧の供給により、吸着管32の先端(下端)に部品Pが吸着保持され、正圧の供給により、吸着保持された部品Pが吸着管32から離脱させられる。図では内部構造を省略するが、吸着管32は、胴体筒30に対して進退可能とされている。詳しく言えば、部品Pの基板Sへの装着の際に部品Pに加わる衝撃を緩和するため、ノズルNの先端部は、胴体筒30から進出する方向にばねの力により付勢されており、その付勢力を超えた力が加わった場合に、後退可能に、つまり、胴体筒30に対して引き込み可能とされている。なお、フランジ34は、上述した部品カメラ22による部品Pの撮像の際、その撮像が鮮明に行われるための背面形成部材として機能するものであり、ノズルNの最も外径の大きな部分となっている。フランジ34の上面には、当該ノズルNの固有情報を認識するための識別子としての2Dコード38が付されている。この2Dコード38は、固有情報の一種としての当該ノズルNのIDを示すものとなっており、そのIDは、ノズルNの個別管理のために使用される。 Positive pressure and negative pressure are selectively supplied from the mounting head 18 to the suction pipe 32 via the body cylinder 30. By supplying a negative pressure, the component P is sucked and held at the tip (lower end) of the suction tube 32, and by supplying a positive pressure, the component P sucked and held is separated from the suction tube 32. Although the internal structure is omitted in the figure, the suction pipe 32 is capable of advancing and retreating with respect to the body cylinder 30. More specifically, the tip of the nozzle N is urged by the force of a spring in the direction of advancing from the fuselage cylinder 30 in order to alleviate the impact applied to the component P when the component P is mounted on the substrate S. When a force exceeding the urging force is applied, it can be retracted, that is, it can be pulled into the fuselage cylinder 30. The flange 34 functions as a back surface forming member for clearly performing the imaging when the component P is imaged by the component camera 22 described above, and serves as a portion having the largest outer diameter of the nozzle N. There is. A 2D code 38 is attached to the upper surface of the flange 34 as an identifier for recognizing the unique information of the nozzle N. The 2D code 38 indicates the ID of the nozzle N as a kind of unique information, and the ID is used for individual management of the nozzle N.

図では、一種類のものしか示していないが、ノズルNは、サイズおよび形状において互いに異なる複数種のものが存在し、本装着機10でも、サイズにおいて異なるいくつかの種類のノズルNを動作軸16に取り付け可能となっており、本装着機10では、吸着保持する部品Pに応じて、それらいくつかの種類のノズルを、自動で交換可能とされている。ちなみに、製造する電気回路(基板Sに部品Pが装着されたもの)に応じて使用されるノズルNは異なる。また、装着機10において使用される複数のノズルNは、部品供給装置16の傍らにおいて装着機10に設けられたノズルステーション50に、ノズルトレイNTに載置された状態で配置されている。 Although only one type is shown in the figure, there are a plurality of types of nozzles N that differ from each other in size and shape, and even in the present mounting machine 10, several types of nozzles N that differ in size are operated. It can be attached to 16, and in this mounting machine 10, some of these types of nozzles can be automatically replaced according to the component P that is attracted and held. Incidentally, the nozzle N used differs depending on the electric circuit to be manufactured (the one in which the component P is mounted on the substrate S). Further, the plurality of nozzles N used in the mounting machine 10 are arranged in a state of being mounted on the nozzle tray NT at the nozzle station 50 provided in the mounting machine 10 beside the parts supply device 16.

ノズルトレイ(以下、単に「トレイ」と言う場合がある)NTは、ノズルNを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図3に示すように、概して板状をなしている。詳しく言えば、トレイNTは、ベースプレート60と、ベースプレート60の上面を覆うカバープレート62とを含んで構成されており、カバープレート62は、ベースプレート60に対してある程度の範囲で摺動可能とされている。図3(a)は、カバープレート62がベースプレート60に対してズレた状態を示しており、図3(b)は、カバープレート62がベースプレート60にちょうど重なった状態を示している。カバープレート62はそれら2つの状態の各々における位置の間で摺動可能とされている。 The nozzle tray (hereinafter, sometimes simply referred to as "tray") NT functions as a nozzle mounter for mounting the nozzle N, and as shown in FIG. 3, it is generally in the shape of a plate. There is. More specifically, the tray NT includes a base plate 60 and a cover plate 62 that covers the upper surface of the base plate 60, and the cover plate 62 is slidable with respect to the base plate 60 to some extent. There is. FIG. 3A shows a state in which the cover plate 62 is displaced with respect to the base plate 60, and FIG. 3B shows a state in which the cover plate 62 is just overlapped with the base plate 60. The cover plate 62 is slidable between positions in each of these two states.

断面図である図3(c)およびノズルNが載置された状態を示す部分断面図である図3(d)をも参照して説明すれば、ベースプレート60には、それぞれが載置部を構成する12の載置穴64が設けられている。詳しく言えば、本トレイNTには、互いにサイズの異なる2種のノズルNを載置することができ、大きなサイズのノズルNを載置するための4つの載置穴64と、小さなサイズのノズルNを載置するための4つの載置穴64とが設けられている。載置穴64は、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、段差面66が、ノズルNのフランジ34が載置される面とされている。ベースプレート60の上面における載置穴64の内径、つまり、最大内径は、フランジの34の外径よりも僅かに大きくされており、載置穴64は、ノズルNの径方向の変位(ズレ)をフランジ34の外周において規制するように構成されている。また、段差面までの深さは、載置穴64に載置されたノズルNのフランジ34がカバーブレート62に干渉しない深さとされている。ちなみに、図に示すノズルNは、段差面までの深さより薄いフランジ34を有しており、そのノズルNは、載置穴64に載置された状態において、フランジ34の上面が、トレイNTのベースプレート60の上面より突出することはない。図2から解るように
、フランジに34は外周にノッチ68が設けられており、そのノッチ68は、段差面66に立設された短いピン69と係合する。それらノッチ68およびピン69により、ノズルNは特定の向きにしか載置できないようになっており、また、トレイNTに載置された状態におけるノズルNの回転が防止されている。
Explaining with reference to FIG. 3 (c) which is a cross-sectional view and FIG. 3 (d) which is a partial cross-sectional view showing a state in which the nozzle N is mounted, each base plate 60 has a mounting portion. Twelve mounting holes 64 are provided. More specifically, the tray NT can mount two types of nozzles N having different sizes, four mounting holes 64 for mounting large size nozzles N, and a small size nozzle. Four mounting holes 64 for mounting N are provided. The mounting hole 64 is a stepped hole in which the dimensions of the inner peripheral wall are different in depth, and the stepped surface 66 is a surface on which the flange 34 of the nozzle N is mounted. The inner diameter of the mounting hole 64 on the upper surface of the base plate 60, that is, the maximum inner diameter is slightly larger than the outer diameter of the flange 34, and the mounting hole 64 causes the displacement (deviation) of the nozzle N in the radial direction. It is configured to regulate on the outer circumference of the flange 34. Further, the depth to the stepped surface is set so that the flange 34 of the nozzle N mounted in the mounting hole 64 does not interfere with the cover plate 62. Incidentally, the nozzle N shown in the figure has a flange 34 thinner than the depth to the stepped surface, and when the nozzle N is mounted in the mounting hole 64, the upper surface of the flange 34 is a tray NT. It does not protrude from the upper surface of the base plate 60. As can be seen from FIG. 2, the flange 34 is provided with a notch 68 on the outer periphery, and the notch 68 engages with a short pin 69 erected on the stepped surface 66. The notch 68 and the pin 69 allow the nozzle N to be mounted only in a specific direction, and prevent the nozzle N from rotating when mounted on the tray NT.

一方、カバープレート62にも、ベースプレート60の載置穴64に対応して、抜穴70が設けられている。この抜穴70は、円形をした円穴部72とその円穴部72の一方側から延び出すスロット部74とからなっている。各円穴部72の内径は、対応する載置穴64の最大内径と略等しくされている。スロット部74の幅は、対応する載置穴64に載置されるノズルNの胴体筒30の外径よりもある程度大きくされている。図3(b)に示す状態では、各載置穴64の中心と対応する抜穴70の円穴部72の中心が一致しており、載置穴64の全体が上方から覗き見れる。一方、図3(a)に示す状態では、各載置穴64の中心と対応する抜穴70のスロット部74の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴64は、上方からは一部しか覗き見れない。2つの状態は、そのような状態であるため、以下、便宜的に、図3(b)の状態を「載置穴開状態」、図3(a)の状態を「載置穴閉状態」と言うことにする。 On the other hand, the cover plate 62 is also provided with a hole 70 corresponding to the mounting hole 64 of the base plate 60. The punching hole 70 includes a circular hole portion 72 and a slot portion 74 extending from one side of the circular hole portion 72. The inner diameter of each circular hole 72 is substantially equal to the maximum inner diameter of the corresponding mounting hole 64. The width of the slot portion 74 is made to some extent larger than the outer diameter of the body cylinder 30 of the nozzle N mounted in the corresponding mounting hole 64. In the state shown in FIG. 3B, the center of each mounting hole 64 and the center of the circular hole portion 72 of the corresponding punching hole 70 coincide with each other, and the entire mounting hole 64 can be seen from above. On the other hand, in the state shown in FIG. 3A, the center of each mounting hole 64 and the center of the arc existing at the tip of the slot portion 74 of the corresponding punching hole 70 are substantially the same, and the mounting hole 64 is , Only a part can be seen from above. Since the two states are such states, the state of FIG. 3B is referred to as the “mounting hole open state” and the state of FIG. 3A is referred to as the “mounting hole closed state” for convenience. I will say.

載置穴開状態では、ノズルNの載置穴64への載置、載置穴64からの離脱を行うことができる。一方、ノズルNが載置穴64に載置されている場合に載置穴閉状態とすることで、ノズルNの胴体筒30が抜穴70のスロット部74を挿通しつつ、フランジ34の上面の多くの部分が、カバープレート62によって蓋われる状態となる。この状態において、ノズルNは、載置穴64からの離脱が防止される。このノズルNの離脱防止に関して言えば、トレイNTには、カバープレート62含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。 In the mounting hole open state, the nozzle N can be mounted in the mounting hole 64 and separated from the mounting hole 64. On the other hand, when the nozzle N is mounted in the mounting hole 64, the mounting hole is closed so that the body cylinder 30 of the nozzle N inserts the slot portion 74 of the extraction hole 70 and the upper surface of the flange 34. Most of the parts are covered by the cover plate 62. In this state, the nozzle N is prevented from coming off from the mounting hole 64. Regarding the prevention of nozzle N detachment, the tray NT is provided with a mechanism including the cover plate 62, that is, a nozzle detachment prevention mechanism called a so-called shutter mechanism.

カバープレート62は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート62を摺動させることで、載置穴開状態となる。この摺動は、図示を省略するところの、ノズルステーション50に配設されたカバー摺動機構によって行われる。装着ヘッド18の動作軸へのノズルNの取り付け,動作軸からのノズルNを取り外し,取り付いているノズルNの別のノズルNへの交換は、装着機10の制御装置によるカバー摺動機構の制御によって載置穴開状態が実現されて、行われる。 The cover plate 62 is urged to close the mounting hole by a spring (not shown), and the cover plate 62 is slid with a force exceeding the urging force of the spring to open the mounting hole. It becomes a state. This sliding is performed by a cover sliding mechanism provided in the nozzle station 50, which is not shown. The mounting of the nozzle N on the operating shaft of the mounting head 18, the removal of the nozzle N from the operating shaft, and the replacement of the mounted nozzle N with another nozzle N are performed by controlling the cover sliding mechanism by the control device of the mounting machine 10. The mounting hole is realized and performed by.

トレイNTは、ノズルステーション50に着脱可能とされており、例えば、ある電気回路の製造を開始するにあたって、予めノズルNが載置されたトレイNTをノズルステーション50にセットすることができ、また、例えば、ある電気回路の製造を終了するにあたって、使用していたノズルNをトレイNTごとノズルステーション50から外すことができる。したがって、トレイNTは、装着機10の段取り替え等の迅速化に大きく貢献している。なお、本トレイNTでは、ベースプレート60の1つのコーナに、当該トレイNTの固有情報を認識するための識別子としての2Dコード76が付されている。この2Dコード76は、固有情報の一種としての当該トレイNTのIDを示すものとなっており、そのIDは、トレイNTの個別管理に利用される。 The tray NT is removable from the nozzle station 50. For example, when starting the production of a certain electric circuit, the tray NT on which the nozzle N is placed can be set in the nozzle station 50 in advance, and the tray NT can be set in the nozzle station 50. For example, when the production of a certain electric circuit is finished, the nozzle N used can be removed from the nozzle station 50 together with the tray NT. Therefore, the tray NT greatly contributes to speeding up the setup change of the mounting machine 10. In this tray NT, a 2D code 76 as an identifier for recognizing the unique information of the tray NT is attached to one corner of the base plate 60. The 2D code 76 indicates the ID of the tray NT as a kind of unique information, and the ID is used for individual management of the tray NT.

なお、以上説明した吸着ノズルNおよびトレイNTは、上記装着機10に使用されるものである。以下に示す実施例の管理機は、上記装着機10に使用されるノズルNだけを対象とするものではなく、他の装着機に使用されるノズルNをも対象とする。また、上記トレイNTは、装着機10で使用されるトレイNTの一例であり、装着機10は、種類において異なる他のトレイNTをも使用可能である。さらに、装着機によって、使用されるトレイNTも異なる。後に説明するが、実施例の管理機は、他のトレイNTに載置された若しくは載置されるノズルNをも管理の対象とする。 The suction nozzle N and the tray NT described above are used in the mounting machine 10. The management machine of the embodiment shown below is not limited to the nozzle N used in the mounting machine 10, but also targets the nozzle N used in other mounting machines. Further, the tray NT is an example of the tray NT used in the mounting machine 10, and the mounting machine 10 can also use other tray NTs different in type. Further, the tray NT used differs depending on the mounting machine. As will be described later, the management machine of the embodiment also manages the nozzle N mounted or mounted on another tray NT.

[B]ノズル管理機の全体構成
図4に外観を示すように、実施例の管理機80は、概して直方体形状をなし、比較的コンパクトなサイズのものとなっている。当該管理機80の正面(図における左側の面)には、後に詳しく説明する引出82が設けられている。また、正面上部には、当該管理機80の制御装置としてのコントローラ84が付設されている。コントローラ84は、コンピュータを主要構成要素として構成されるものであり、ディスプレイ86,操作キー88,スイッチ90等の入出力デバイスを有している。外装パネルを外した状態の管理機80を、図5に、逆方向の視点から見たその管理機80を、図6に、それぞれ示す。以下に、それらの図を参照しつつ、本管理機80の内部構造について説明する。ちなみに、図5における左方が当該管理機80の前方であり、右方が当該管理機80の後方である。
[B] Overall Configuration of Nozzle Management Machine As shown in FIG. 4, the management machine 80 of the embodiment generally has a rectangular parallelepiped shape and has a relatively compact size. A drawer 82, which will be described in detail later, is provided on the front surface (the left side surface in the drawing) of the management machine 80. Further, a controller 84 as a control device for the management machine 80 is attached to the upper part of the front surface. The controller 84 is configured with a computer as a main component, and has input / output devices such as a display 86, an operation key 88, and a switch 90. FIG. 5 shows the management machine 80 with the exterior panel removed, and FIG. 6 shows the management machine 80 viewed from the opposite viewpoint. The internal structure of the management machine 80 will be described below with reference to those figures. Incidentally, the left side in FIG. 5 is the front side of the management machine 80, and the right side is the rear side of the management machine 80.

管理機80は、いくつかの装置が組み合わされて構成されている。具体的に列挙すれば、後方側に、ノズルパレット(以下、単に「パレット」と言う場合がある)に載置させた状態でノズルNを収容するノズル収容装置100が、ノズル収容装置100の前方左側に、トレイNTを収容するトレイ収容装置102が、それぞれ配設されている。一方、当該管理機80の前方側には、それぞれがノズル収容装置102に収容されている若しくは収容されるノズルNに対する何らかの処置(以下、「対ノズル処置」という場合がある)を実行する対ノズル処置実行装置として、上から順に、ノズル移載装置104,第1ノズル検査装置106,第2ノズル検査装置108,ノズル洗浄装置110が配設されている。 The management machine 80 is configured by combining several devices. Specifically, the nozzle accommodating device 100 accommodating the nozzle N in a state of being mounted on the nozzle pallet (hereinafter, may be simply referred to as “pallet”) on the rear side is in front of the nozzle accommodating device 100. A tray accommodating device 102 accommodating the tray NT is arranged on the left side. On the other hand, on the front side of the management machine 80, a pair of nozzles, each of which is accommodated in the nozzle accommodating device 102 or for executing some treatment for the nozzle N accommodated (hereinafter, may be referred to as “anti-nozzle treatment”). As the treatment execution device, a nozzle transfer device 104, a first nozzle inspection device 106, a second nozzle inspection device 108, and a nozzle cleaning device 110 are arranged in this order from the top.

ここでの説明は簡単に行うが、ノズル移載装置104は、トレイNTと上記パレットとの間でノズルNを移載する装置であり、第1ノズル検査装置106は、2つの検査項目の検査、具体的には、ノズルNの先端部の状態に関する検査(先端部状態検査)、および、ノズルNの先端部の後退に必要な力に関する検査(後退必要力検査)を実行し、第2ノズル検査装置108は、2つの検査項目の検査、具体的には、ノズルNを通過するエアの流量に関する検査(通過流量検査)、および、ノズルNのフランジ34に付された識別子としての2Dコード38の読み取りに関する検査(識別子読取検査)を実行する。ノズル洗浄装置110は、ノズルNを高圧水で洗浄する装置である。また、ノズル収容装置100とノズル洗浄装置110との間には、ノズル洗浄装置110によって洗浄されたノズルNを乾燥させるノズル乾燥装置112が配設されている。 Although the description here is briefly described, the nozzle transfer device 104 is a device for transferring the nozzle N between the tray NT and the pallet, and the first nozzle inspection device 106 inspects two inspection items. Specifically, an inspection on the state of the tip of the nozzle N (tip state inspection) and an inspection on the force required for the tip of the nozzle N to retract (retraction required force inspection) are executed, and the second nozzle is used. The inspection device 108 inspects two inspection items, specifically, an inspection relating to the flow rate of air passing through the nozzle N (passing flow rate inspection), and a 2D code 38 as an identifier attached to the flange 34 of the nozzle N. Performs a read check (nozzle read check). The nozzle cleaning device 110 is a device for cleaning the nozzle N with high-pressure water. Further, a nozzle drying device 112 for drying the nozzle N cleaned by the nozzle cleaning device 110 is arranged between the nozzle accommodating device 100 and the nozzle cleaning device 110.

上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置100と間のノズルNの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応した各ノズル移送装置によって行われる。ノズルNの移送は、上述したパレットに載置した状態で行われるため、各ノズル移送装置は、パレット移送装置とされている。具体的には、ノズル移載装置104とノズル収容装置100との間でパレットを移送する第1パレット移送装置114,第1ノズル検査装置106とノズル収容装置100との間でパレットを移送する第2パレット移送装置,第2ノズル検査装置108とノズル収容装置100との間でパレットの移送を行う第3パレット移送装置118,ノズル洗浄装置110とノズル収容装置100との間でパレットの移送を行う第4パレット移送装置120が、それぞれ配設されている。一方で、ノズル移載装置104とトレイ収容装置102と間には、それらの間でトレイNTを移送するトレイ移送装置122が配設されている。また、上述した各装置のための電源,駆動回路,エアコンプレッサ,高圧ポンプ等を内臓した駆動源ユニット124が、当該管理機10の前方側下部に配設されている。 The transfer of the nozzle N between each of the pair nozzle treatment execution devices and the nozzle accommodating device 100 is performed by each nozzle transfer device corresponding to each pair of nozzle treatment execution devices. Since the nozzle N is transferred while being placed on the pallet described above, each nozzle transfer device is a pallet transfer device. Specifically, the first pallet transfer device 114 for transferring the pallet between the nozzle transfer device 104 and the nozzle accommodating device 100, and the first pallet transfer device 106 for transferring the pallet between the first nozzle inspection device 106 and the nozzle accommodating device 100. 2 Pallet transfer device, transfer pallets between the second nozzle inspection device 108 and nozzle accommodating device 100. Transfer pallets between the third pallet transfer device 118, nozzle cleaning device 110 and nozzle accommodating device 100. The fourth pallet transfer device 120 is arranged respectively. On the other hand, between the nozzle transfer device 104 and the tray accommodating device 102, a tray transfer device 122 for transferring the tray NT is arranged between them. Further, a drive source unit 124 incorporating a power supply, a drive circuit, an air compressor, a high-pressure pump, and the like for each of the above-mentioned devices is arranged in the lower front side of the management machine 10.

なお、以下の説明において、ノズル収容装置,トレイ収容装置,ノズル移載装置,ノズル検査装置,ノズル洗浄装置,ノズル乾燥装置,パレット移送装置,トレイ移送装置は、それぞれ、単に、「収容装置」,「収容装置」,「移載装置」,「検査装置」,「洗浄装置」,「乾燥装置」,「移送装置」,「移送装置」と言う場合あることとする。また、以
下の説明は、移載装置104を中心に示す図7,第1検査装置106を中心に示す図8,第2検査装置108を中心に示す図9,洗浄装置110および乾燥装置112を中心として示す図10および図11をも参照して行うこととする。
In the following description, the nozzle accommodating device, the tray accommodating device, the nozzle transfer device, the nozzle inspection device, the nozzle cleaning device, the nozzle drying device, the pallet transfer device, and the tray transfer device are simply referred to as “accommodation device”, respectively. It may be referred to as "accommodation device", "transfer device", "inspection device", "cleaning device", "drying device", "transfer device", and "transfer device". Further, the following description describes FIG. 7, which shows the transfer device 104 as the center, FIG. 8, which shows the first inspection device 106 as the center, FIG. 9, which shows the second inspection device 108 as the center, the cleaning device 110, and the drying device 112. It will be carried out with reference to FIGS. 10 and 11 shown as the center.

[C]ノズル収容装置
ノズル収容装置100は、それぞれに上述のパレットが収容される複数のパレットキャリア(以下、単に「キャリア」と言う場合がある)130と、それらキャリア130を循環させるキャリア循環機構(以下、単に「循環機構」という場合がある)132とを有しており、それら複数のキャリア130と循環機構132とによって、複数のパレットを当該収容装置130内において移動させるパレット移動装置(以下、単に「移動装置」と言う場合がある)134が構成されている。以下に、収容装置100を、パレットと、移動装置134とに分けて説明する。
[C] Nozzle accommodating device The nozzle accommodating device 100 includes a plurality of pallet carriers (hereinafter, may be simply referred to as “carriers”) 130 each accommodating the above-mentioned pallets, and a carrier circulation mechanism for circulating the carriers 130. It has 132 (hereinafter, may be simply referred to as “circulation mechanism”), and a pallet moving device (hereinafter, referred to as a pallet moving device) that moves a plurality of pallets in the accommodating device 130 by the plurality of carriers 130 and the circulation mechanism 132. (Sometimes referred to simply as a "mobile device") 134 is configured. Hereinafter, the accommodating device 100 will be described separately as a pallet and a moving device 134.

i)ノズルパレット
パレットNPは、ノズルNを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図12に示すように、先に説明したトレイNTと同様、ベースプレート140とベースプレート140の上面を覆うカバーレプート142とを含んで構成されている。図12(a)は、カバープレート142がベースプレート140に対してズレた状態を示しており、図12(b)は、カバープレート142がベースプレート140にちょうど重なった状態を示している。カバープレート142はそれら2つの状態における位置の間で摺動可能とされている。
i) Nozzle pallet The pallet NP functions as a nozzle mounter for mounting the nozzle N, and as shown in FIG. 12, the upper surfaces of the base plate 140 and the base plate 140 are similar to the tray NT described above. It is configured to include a cover replet 142 that covers the surface. FIG. 12 (a) shows a state in which the cover plate 142 is displaced with respect to the base plate 140, and FIG. 12 (b) shows a state in which the cover plate 142 is just overlapped with the base plate 140. The cover plate 142 is slidable between its positions in these two states.

当該管理機80は、便宜的に、図13に示す5種類のノズルNを管理の対象とするものとして扱うこととすれば、パレットNPには、それら5種類のノズルNのすべてが載置可能とされている。5種類のノズルNは、形状において互いに異なり、フランジ34の外径によって3つに分類することができる。図13は、それらのノズルNを上方から見た図であり、具体的には、図13(a)に示す小さなサイズのノズルNa、図13(b),(c)にそれぞれ示す中間のサイズのノズルNb,Nc、図13(d),(e)にそれぞれ示すサイズの大きなノズルNd,Neに分類することができる。ベースプレート140には、トレイNTの場合と同様に、それぞれが載置部を構成する載置穴144が設けられている。具体的には、小さなサイズのノズルNが載置される24の載置穴144aと、大きなサイズのノズルNが載置される15の載置穴144bが設けられており、載置穴144aには、上記ノズルNaが、載置穴114bには、上記ノズルNb,Nc,Nd,Neが載置される。 Assuming that the management machine 80 treats the five types of nozzles N shown in FIG. 13 as the target of management for convenience, all of the five types of nozzles N can be placed on the pallet NP. It is said that. The five types of nozzles N differ from each other in shape, and can be classified into three types according to the outer diameter of the flange 34. FIG. 13 is a view of those nozzles N viewed from above. Specifically, the small size nozzle Na shown in FIG. 13 (a) and the intermediate size shown in FIGS. 13 (b) and 13 (c), respectively. Nozzles Nb and Nc, and nozzles Nd and Ne having large sizes shown in FIGS. 13 (d) and 13 (e), respectively, can be classified. The base plate 140 is provided with mounting holes 144, each of which constitutes a mounting portion, as in the case of the tray NT. Specifically, 24 mounting holes 144a on which the small size nozzle N is mounted and 15 mounting holes 144b on which the large size nozzle N is mounted are provided, and the mounting holes 144a are provided. The nozzle Na is mounted in the mounting hole 114b, and the nozzles Nb, Nc, Nd, and Ne are mounted in the mounting hole 114b.

載置穴144aに関しては、先に説明したトレイNTの載置穴64と同様であり、1つの段差面146を有するものであるため、ここでの説明を省略する。ノズルNが載置された状態を示す図14を参照しつつ、載置穴144bについて説明すれば、載置穴144bは、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、詳しくは、2つの段差面146a,146bを有する段付き穴とされている。図14(a)に示すように、大きなサイズのノズルNd,Neは、上方に位置する段差面146aに載置され、一方、図14(b)に示すように、中間サイズのノズルNb,Ncは、下方に位置する段差面146bに載置される。つまり、いずれの段差面146a,146bも、ノズルNが載置される面とされており、載置穴144bは、内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジ34の外径において異なる複数種のノズルNのフランジ34が、互いに異なる深さの位置において嵌るように構成されているのである。また、載置穴144bは、いずれのノズルNに対しても、それらノズルNの径方向の変位(ズレ)をフランジ34の外周において規制するように構成されており、いずれの段差面146a,146bにも、ノズルNの回転防止のために、フランジ34のノッチ68が係合するピン148が立設されている。 Since the mounting hole 144a is the same as the mounting hole 64 of the tray NT described above and has one stepped surface 146, the description thereof will be omitted here. Explaining the mounting hole 144b with reference to FIG. 14 showing the state in which the nozzle N is mounted, the mounting hole 144b is a stepped hole in which the dimensions of the inner peripheral wall differ in depth. Is a stepped hole having two stepped surfaces 146a and 146b. As shown in FIG. 14 (a), the large size nozzles Nd and Ne are placed on the stepped surface 146a located above, while as shown in FIG. 14 (b), the intermediate size nozzles Nb and Nc. Is placed on the stepped surface 146b located below. That is, each of the stepped surfaces 146a and 146b is a surface on which the nozzle N is mounted, and the mounting holes 144b have different inner dimensions in the depth direction of the inner peripheral wall and are different from each other in the outer diameter of the flange 34. The flanges 34 of the plurality of types of nozzles N are configured to fit at positions at different depths from each other. Further, the mounting holes 144b are configured to regulate the radial displacement (displacement) of the nozzles N on the outer periphery of the flange 34 for any of the nozzles N, and the stepped surfaces 146a and 146b are all formed. Also, in order to prevent the nozzle N from rotating, a pin 148 with which the notch 68 of the flange 34 is engaged is erected.

なお、上述複数の段差面146を有する形状の載置穴144bに代えて、例えば、図14(c)に示すように、軸線方向、つまり、深さ方向において、内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴の載置穴144cを採用することも可能である。そのような載置穴144cであっても、互いにフランジ34の外径において異なる複数種のノズルNのフランジ34が、互いに異なる深さの部分で嵌るように構成されることになる。ちなみに、図は、中間サイズのノズルNb,Ncが載置された状態を示しており、大きなサイズのノズルNd,Neが載置される場合は、ノズルNb,Ncより上方の位置に載置されることになる。 Instead of the mounting hole 144b having a plurality of stepped surfaces 146, for example, as shown in FIG. 14C, the inner dimension of the inner peripheral wall gradually decreases in the axial direction, that is, in the depth direction. It is also possible to adopt a mounting hole 144c having such a tapered hole. Even in such a mounting hole 144c, the flanges 34 of a plurality of types of nozzles N having different outer diameters of the flanges 34 are configured to be fitted at different depths. By the way, the figure shows a state in which intermediate size nozzles Nb and Nc are mounted, and when large size nozzles Nd and Ne are mounted, they are mounted at a position above the nozzles Nb and Nc. Will be.

一方、カバープレート142には、トレイNTと同様、ベースプレート140の載置穴144a,144bにそれぞれ対応して、それぞれが円穴部抜150およびスロット部152を有する抜穴154a,154bが設けられている。図13(b)に示す状態では、各載置穴144の中心と対応する抜穴154の円穴部150の中心が一致しており、先に説明した載置穴開状態が実現され、図13(a)に示す状態では、各載置穴144の中心と対応する抜穴154のスロット部74の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴閉状態が実現される。そのような構造から、パレットNPにも、ノズルNの離脱防止に関して、カバープレート142含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。ちなみに、トレイNTと同様、カバープレート142は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート142を摺動させることで、載置穴開状態となる。 On the other hand, like the tray NT, the cover plate 142 is provided with drilling holes 154a and 154b having circular hole punches 150 and slot portions 152, respectively, corresponding to the mounting holes 144a and 144b of the base plate 140. There is. In the state shown in FIG. 13B, the center of each mounting hole 144 and the center of the circular hole portion 150 of the corresponding punching hole 154 coincide with each other, and the mounting hole opened state described above is realized. In the state shown in 13 (a), the center of each mounting hole 144 and the center of the arc existing at the tip of the slot portion 74 of the corresponding punching hole 154 are substantially the same, and the mounting hole closed state is realized. NS. From such a structure, the pallet NP is also provided with a mechanism including the cover plate 142 for preventing the nozzle N from coming off, that is, a so-called shutter mechanism for preventing the nozzle from coming off. Incidentally, like the tray NT, the cover plate 142 is urged to close the mounting hole by a spring (not shown), and the cover plate 142 is slid with a force exceeding the urging force of the spring. As a result, the mounting hole is opened.

パレットNPには、トレイNTと同様、ベースプレート140の1つのコーナに、当該パレットNPの固有情報を認識するための識別子としての2Dコード156が付されている。この2Dコード156は、固有情報の一種としての当該パレットNTのIDを示すものとなっており、そのIDは、トレイNTの個別管理に利用される。 Similar to the tray NT, the pallet NP has a 2D code 156 as an identifier for recognizing the unique information of the pallet NP at one corner of the base plate 140. The 2D code 156 indicates the ID of the pallet NT as a kind of unique information, and the ID is used for individual management of the tray NT.

本パレットNPには、ベースプレート140の1つのコーナ部に、基準ノズル158が、その基準ノズル158の傍らに、基準パイプ160が、いずれも、ベースプレート140を貫通する状態で固定されている。基準ノズル158は、実際のノズルN、具体的には、上述のノズルNbである。一方、基準パイプ160は、ノズルNの一部、詳しくは、胴体筒30および吸着管32を模した模擬物である。それら基準ノズル158および基準パイプ160は、上述の第1検査装置106および第2検査装置108による検査において参照される基準対象として機能し、それら検査装置106,108による検査の基準の設定と、それら検査装置106,108の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用される。具体的な利用に関しては、後に詳しく説明するが、基準ノズル158は、第1検査装置106による後退必要力検査、および、第2検査装置による識別子読取検査において参照され、一方、基準パイプ160は、第1検査装置106による先端部状態検査、および、第2検査装置108による通過流量検査において参照される。ちなみに、それら基準ノズル158,基準パイプ160は、いずれも、基準対象として参照される検査において、通常良好な検査結果が得られるように構成されている。なお、本管理機80では、基準対象が、パレットNPに設けられているが、例えば、第1検査装置106若しくは第2検査装置108によって検査可能な位置において、当該管理機80の躯体,他の装置等に設けられてもよい。 In this pallet NP, a reference nozzle 158 is fixed to one corner portion of the base plate 140, and a reference pipe 160 is fixed beside the reference nozzle 158 in a state of penetrating the base plate 140. The reference nozzle 158 is an actual nozzle N, specifically, the above-mentioned nozzle Nb. On the other hand, the reference pipe 160 is a part of the nozzle N, specifically, a simulated product imitating the body cylinder 30 and the suction pipe 32. The reference nozzle 158 and the reference pipe 160 function as reference objects referred to in the inspection by the first inspection device 106 and the second inspection device 108 described above, and the setting of the inspection reference by the inspection devices 106 and 108 and their inspection. It is used for at least one of calibration or verification of inspection devices 106 and 108. The specific use will be described in detail later, but the reference nozzle 158 is referred to in the backward required force inspection by the first inspection device 106 and the identifier reading inspection by the second inspection device, while the reference pipe 160 is used. It is referred to in the tip state inspection by the first inspection device 106 and the passing flow rate inspection by the second inspection device 108. Incidentally, both the reference nozzle 158 and the reference pipe 160 are configured so that good inspection results can usually be obtained in the inspection referred to as the reference object. In the management machine 80, the reference target is provided on the pallet NP. For example, at a position where the first inspection device 106 or the second inspection device 108 can inspect, the skeleton of the management machine 80 and other devices. It may be provided in a device or the like.

ii)パレット移動装置
先に説明したように、パレット移動装置134は、複数のパレットキャリア130とキャリア循環機構132とを含んで構成されている。キャリア130は、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状
における開口が下方を向く姿勢で配置されている。キャリア130には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における2つのフランジの下端部の内側に、1対のレール170が付設されており、上述したパレットNPは、その1対のレール170によって、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。
ii) Pallet moving device As described above, the pallet moving device 134 includes a plurality of pallet carriers 130 and a carrier circulation mechanism 132. The carrier 130 is generally a member having a channel shape, that is, a member having a "U" -shaped cross section, and the carrier 130 is arranged so that the opening in the channel shape faces downward. The carrier 130 is provided with a pair of rails 170 at the lower end, specifically inside the lower ends of the two flanges in the channel shape, and the pallet NP described above is provided by the pair of rails 170. It is held so that it can be pulled out toward the front and inserted from the front.

キャリア循環機構132は、図5,図6から解るように、上下にそれぞれ配設された1対のスプロケット軸172を有している。そのスプロケット軸172は、前後方向に延びる状態で配設されており、前後の端部の各々に、スプロケット174を有している。1対のスプロケット軸172各々の前方側のスプロケット174の間、および、後方側のスプロケット174との間には、それぞれ、チェーン176が巻き掛けられている。前方側のチェーン176および後方側のチェーン176の各々には、複数のブラケット178が、その各々に直角な姿勢で外側に向かって延設されており、前方側のブラケット178の各々の先端と、後方側のブラケット178の対応する各々の先端とによって、1つのキャリア130が揺動可能に支持されている。1対のスプロケット軸172の一方が駆動軸とされており、その一方を回転させることによって、各ブラケット178が、周回させられる。それにより、各ブラケット178によって支持された各キャリア130が、一斉に周回させられる。ちなみに、パレットNPは、ノズルNが載置される面が上を向く姿勢で、つまり、カーバープレート142が上方に位置する姿勢で、キャリア130に保持されており、ブラケット178によるキャリア130の支持構造は、キャリア130がいずれの周回位置にある場合でも、パレットNPがその姿勢を保つような構造とされている。 As can be seen from FIGS. 5 and 6, the carrier circulation mechanism 132 has a pair of sprocket shafts 172 arranged one above the other. The sprocket shaft 172 is arranged so as to extend in the front-rear direction, and has a sprocket 174 at each of the front and rear ends. A chain 176 is wound between the front sprocket 174 and the rear sprocket 174 of each of the pair of sprocket shafts 172. Each of the front chain 176 and the rear chain 176 has a plurality of brackets 178 extending outward in a posture perpendicular to each of the brackets 178 on the front side and the tips of the brackets 178 on the front side. One carrier 130 is swingably supported by each corresponding tip of the rear bracket 178. One of the pair of sprocket shafts 172 is used as a drive shaft, and by rotating one of them, each bracket 178 is rotated. As a result, each carrier 130 supported by each bracket 178 is circulated all at once. By the way, the pallet NP is held by the carrier 130 in a posture in which the surface on which the nozzle N is placed faces upward, that is, in a posture in which the carver plate 142 is located upward, and the carrier 130 is supported by the bracket 178. Is structured so that the pallet NP maintains its posture regardless of the circumferential position of the carrier 130.

キャリア循環機構132は、上述のような構造であることから、パレット移動装置134は、収容装置100内において、複数のパレットNPを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるパレット循環装置とされているのである。なお、移動装置134では、各パレットNPの停止位置として、上述の各対ノズル処置実行装置104〜108に対応する複数の設定位置、つまり、第1〜第4パレット移送装置114〜120に対応する複数の設定位置が設定されている。この設定位置は、パレットNPの循環におけるステーションと考えることのできるものであり、本管理機80は、特定のステーションに移動して停止させられたパレットNPが、そのステーションに対応する第1〜第4移送装置114〜120によって、対応する対ノズル処置実行装置104〜108に移送されるように構成されている。ちなみに、パレットNPを保持していないキャリア130が特定のステーションに位置している場合には、そのステーションに対応する第1〜第4移送装置114〜120によって、対応する対ノズル処置実行装置104〜108からそのキャリア130にまでパレットNPを移送することが可能とされている。 Since the carrier circulation mechanism 132 has the above-mentioned structure, the pallet moving device 134 simultaneously performs a plurality of pallet NPs in the accommodating device 100 along a constant path parallel to a vertical plane. That is, it is a pallet circulation device that circulates and moves together. In the moving device 134, as the stop position of each pallet NP, it corresponds to a plurality of set positions corresponding to the above-mentioned anti-nozzle treatment execution devices 104 to 108, that is, the first to fourth pallet transfer devices 114 to 120. Multiple setting positions are set. This set position can be considered as a station in the circulation of the pallet NP, and in the management machine 80, the pallet NP that has been moved to a specific station and stopped corresponds to the first to first stations. 4 Transfer devices 114 to 120 are configured to transfer to the corresponding anti-nozzle treatment execution devices 104 to 108. By the way, when the carrier 130 that does not hold the pallet NP is located at a specific station, the corresponding first to fourth transfer devices 114 to 120 correspond to the corresponding anti-nozzle treatment execution device 104 to. It is possible to transfer the pallet NP from 108 to the carrier 130.

上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置100と間のノズルNの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応したノズル移送装置によって行われる。ノズルNの移送は、上述したパレットNPに載置した状態で行われるため、ノズル移送装置は、パレット移送装置とされており、具体的には、ノズル移載装置104とノズル収容装置100との間でパレットを移送する第1パレット移送装置114,第1ノズル検査装置106とノズル収容装置100との間でパレットを移送する第2パレット移送装置,第2ノズル検査装置108とノズル収容装置100との間でパレットの移送を行う第3パレット移送装置118,ノズル洗浄装置110とノズル収容装置100との間でパレットの移送を行う第4パレット移送装置120が、それぞれ配設されている。なお、ノズル移載装置は、1以上のノズルNを、1つのノズルグループとして移送する機能を有していると考えることができ、それぞれが対ノズル処置実行装置であるノズル移載装置104,第1ノズル検査装置106,第2ノズル検査装置108,ノズル洗浄装置110は、後に詳しく説明するように、ノズル移送装置によって移送された1つのノズルグループに含まれるノズルNに対して処置を行うようにされているのである。 The transfer of the nozzle N between each of the pair nozzle treatment execution devices and the nozzle accommodating device 100 is performed by the nozzle transfer device corresponding to each pair of nozzle treatment execution devices. Since the nozzle N is transferred while being placed on the pallet NP described above, the nozzle transfer device is a pallet transfer device. Specifically, the nozzle transfer device 104 and the nozzle accommodating device 100 are used. A first pallet transfer device 114 that transfers a pallet between the first pallet transfer device 114, a second pallet transfer device that transfers a pallet between the first nozzle inspection device 106 and the nozzle accommodating device 100, a second nozzle inspection device 108, and a nozzle accommodating device 100. A third pallet transfer device 118 for transferring pallets between the pallets and a fourth pallet transfer device 120 for transferring pallets between the nozzle cleaning device 110 and the nozzle accommodating device 100 are arranged. The nozzle transfer device can be considered to have a function of transferring one or more nozzles N as one nozzle group, and the nozzle transfer device 104 and the first, which are nozzle treatment execution devices, respectively. The one-nozzle inspection device 106, the second nozzle inspection device 108, and the nozzle cleaning device 110 are to perform treatment on the nozzle N included in one nozzle group transferred by the nozzle transfer device, as will be described in detail later. It has been done.

[D]トレイ収容装置
トレイ収容装置102は、先に説明したノズルトレイNTを収容する装置で、ノズル収容装置100のパレット移動装置134と同様のトレイ移動装置(以下、単に、「移動装置」という場合がある)190を備えており、その移動装置190を主要構成要素として構成されている。移動装置190は、パレット移動装置134と同様に、それぞれにトレイNTが収容される複数のトレイキャリア(以下、単に「キャリア」と言う場合がある)192と、それらキャリア192循環させるキャリア循環機構(以下、単に「循環機構」という場合がある)194とを備えている。
[D] Tray accommodating device The tray accommodating device 102 is an apparatus for accommodating the nozzle tray NT described above, and is a tray moving device similar to the pallet moving device 134 of the nozzle accommodating device 100 (hereinafter, simply referred to as a “moving device”). (In some cases) 190 is provided, and the moving device 190 is configured as a main component. Similar to the pallet moving device 134, the moving device 190 includes a plurality of tray carriers (hereinafter, may be simply referred to as “carriers”) 192 in which tray NTs are housed therein, and a carrier circulation mechanism for circulating the carriers 192 (hereinafter, may be simply referred to as “carriers”). Hereinafter, it is provided with 194 (which may be simply referred to as a "circulation mechanism").

キャリア192は、先に説明したパレットキャリア130と同様に、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状における開口が下方を向く姿勢で配置されている。パレットキャリア130と同様に、キャリア192には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における2つのフランジの下端部の内側に、1対のレール196が付設されており、トレイNTは、その1対のレール196によって、ノズルNが載置される面が上方を向く姿勢で、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。 Similar to the pallet carrier 130 described above, the carrier 192 is generally a member having a channel shape, that is, a member having a "U" -shaped cross section, and the opening in the channel shape is in a downward direction. Have been placed. Similar to the pallet carrier 130, the carrier 192 is provided with a pair of rails 196 at the lower end, specifically inside the lower ends of the two flanges in the channel shape, and the tray NT is a pair thereof. The rail 196 holds the nozzle N so that the surface on which the nozzle N is placed faces upward so that it can be pulled out toward the front and inserted from the front.

循環機構194は、パレット移動装置134の循環機構132と同様、図5,図6に示すように、それぞれ2つのスプロケットを前後に有する1対のスプロケット軸,1対のチェーン,各チェーンに延設された複数のブラケットを有しており、各ブラケットによって支持された各キャリア192を、一斉に周回させるように構成されている。そのような構造の循環機構194を有するトレイ移動装置190は、先に説明したパレット移動装置134と同様、収容装置102内において、複数のパレットNPを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるトレイ循環装置とされているのである。なお、トレイ移動装置190では、各トレイNTの停止位置として、上述のノズル移載装置104に対応する1つの設定位置、つまり、トレイ移送装置122に対応する1つの設定位置が設定されている。その設定位置、つまり、そのステーションに移動して停止させられたトレイNTが、トレイ移送装置122によって、移載装置104に移送され、トレイNTを保持していないキャリア192がそのステーションに位置している場合には、トレイ移送装置122によって、移載装置104からそのキャリア192までトレイNTを移送することが可能とされている。 Similar to the circulation mechanism 132 of the pallet moving device 134, the circulation mechanism 194 extends to a pair of sprocket shafts having two sprockets in the front-rear direction, a pair of chains, and each chain, as shown in FIGS. It has a plurality of brackets, and is configured to circulate each carrier 192 supported by each bracket all at once. The tray moving device 190 having the circulation mechanism 194 having such a structure, like the pallet moving device 134 described above, puts a plurality of pallet NPs in a constant path parallel to a vertical plane in the accommodating device 102. It is a tray circulation device that circulates and moves along, that is, together. In the tray moving device 190, as a stop position of each tray NT, one setting position corresponding to the nozzle transfer device 104 described above, that is, one setting position corresponding to the tray transfer device 122 is set. The set position, that is, the tray NT that has been moved to the station and stopped is transferred to the transfer device 104 by the tray transfer device 122, and the carrier 192 that does not hold the tray NT is located at the station. If so, the tray transfer device 122 makes it possible to transfer the tray NT from the transfer device 104 to its carrier 192.

[E]ノズル移載装置
管理機80では、収容装置100に収容されているノズルNをトレイNTへセッティングするために、パレットNPからそのトレイNTへのそのノズルNが移載され、また、収容装置100にノズルNを収容するために、そのノズルNがトレイNTからパレットNPに移載される。前者を「セッティング移載」と、後者を「収容移載」と、それぞれ呼べば、それらセッティング移載および収容移載は、当該管理機80の前方側上部に位置する上述のノズル移載装置104によって行われる。
[E] In the nozzle transfer device management machine 80, in order to set the nozzle N accommodated in the accommodating device 100 to the tray NT, the nozzle N is transferred from the pallet NP to the tray NT and is accommodated. In order to accommodate the nozzle N in the device 100, the nozzle N is transferred from the tray NT to the pallet NP. If the former is called "setting transfer" and the latter is called "accommodation transfer", the setting transfer and the accommodation transfer are the above-mentioned nozzle transfer device 104 located at the upper front side of the management machine 80. Is done by.

図7に示すように、管理機80が備える引出82(図では、若干引き出された状態である)は、テーブル200を有しており、上記移載に供されるトレイNTは、テーブル200に設けられた固定ステージ202と可動ステージ204との一方にセットされる。固定ステージ202は、テーブル200に固定されており、可動ステージ204は、テーブル200設けられたステージスライド機構206によって、前後方向にスライド可能にテーブル200に支持されている。ちなみに、図では、固定ステージ202は、トレイNTがセットされている状態を、可動ステージ204は、トレイNTはセットされていない状態を示している。また、図では、可動ステージ204が移動範囲における前方端である設定位置、つまり、移載位置に位置している状態を示している。さらに、それぞれのステージ
202,204のトレイNTの保持に関する構造、および、トレイNTに載置されているノズルNは、簡素化のために、図示を省略している。なお、セットされたトレイNTを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート62を摺動させるカバー摺動機構(図示を省略)が、固定ステージ202および可動ステージ204のそれぞれに設けられている。
As shown in FIG. 7, the drawer 82 (in the figure, the drawer 82 is in a slightly pulled-out state) included in the management machine 80 has a table 200, and the tray NT provided for the above transfer is placed on the table 200. It is set on one of the provided fixed stage 202 and the movable stage 204. The fixed stage 202 is fixed to the table 200, and the movable stage 204 is supported by the table 200 so as to be slidable in the front-rear direction by the stage slide mechanism 206 provided on the table 200. Incidentally, in the figure, the fixed stage 202 shows a state in which the tray NT is set, and the movable stage 204 shows a state in which the tray NT is not set. Further, the figure shows a state in which the movable stage 204 is located at a set position which is a front end in the moving range, that is, a transfer position. Further, the structure for holding the tray NT of each of the stages 202 and 204 and the nozzle N mounted on the tray NT are not shown for the sake of simplicity. A cover sliding mechanism (not shown) for sliding the cover plate 62 is provided on each of the fixed stage 202 and the movable stage 204 as a mechanism for bringing the set tray NT into the above-mentioned mounting hole open state. It is provided.

固定ステージ202および可動ステージ204のいずれに対しても、引出82が引き出された状態において、オペレータは、トレイNTをセットすることができ、また、セットされていたトレイNTを取り外すことができる。さらに、可動ステージ204が移動範囲における後端位置に位置させられた状態において、トレイ収容装置102との間で、トレイNTの移載が可能となっている。詳しく言えば、収容装置102内において、上述した設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア192と、可動ステージ204との間で、トレイNTの移載が行われる。ちなみに、このトレイNTの移載のための機構であるトレイ移載機構については、記載を省略している。なお、可動ステージ204,ステージスライド機構206,トレイ移載機構を含んで、テーブル2000上の設定位置と収容装置102との間で、端的に言えば、移載装置104と収容装置102との間でトレイNTを移送する前述のトレイ移送装置122が構成されているのである。 With the drawer 82 pulled out, the operator can set the tray NT and remove the set tray NT for both the fixed stage 202 and the movable stage 204. Further, the tray NT can be transferred to and from the tray accommodating device 102 in a state where the movable stage 204 is positioned at the rear end position in the moving range. More specifically, the tray NT is transferred between the above-mentioned set position, that is, the carrier 192 located at the transfer device compatible station, and the movable stage 204 in the accommodating device 102. Incidentally, the description of the tray transfer mechanism, which is the mechanism for transferring the tray NT, is omitted. Including the movable stage 204, the stage slide mechanism 206, and the tray transfer mechanism, between the set position on the table 2000 and the accommodating device 102, in short, between the transfer device 104 and the accommodating device 102. The tray transfer device 122 described above for transferring the tray NT is configured.

以上の説明から解るように、本管理機80では、外部から持ち込まれて固定ステージ202若しくは可動ステージ204にセットされたトレイNTに対してのセッティング移載が可能とされているばかりでなく、収容装置102に収容されているトレイNTへのセッティング移載も可能とされている。さらに言えば、ノズルNのセッティングが完了したトレイNTや、ノズルNが載置された状態で外部から持ち込まれたトレイNTを、収容装置102に収容することも可能とされている。 As can be seen from the above explanation, in the management machine 80, not only the setting can be transferred to the tray NT brought in from the outside and set on the fixed stage 202 or the movable stage 204, but also the setting can be transferred. It is also possible to transfer the settings to the tray NT housed in the device 102. Furthermore, it is also possible to accommodate the tray NT for which the nozzle N has been set and the tray NT brought in from the outside with the nozzle N mounted in the accommodating device 102.

一方、セッティング移載および収容移載に供されるパレットNPは、ノズル収容装置100内において移載装置104に対応する設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア130から、第1パレット移送装置114(構造については後述する)によって、移載装置104によるノズルNの移載が可能な設定位置、つまり、移載位置にまで、移送される。図においてパレットNPが位置している位置が、移載位置である。セッティング移載および収容移載に供されるパレットNPは、それらの移載が完了した後に、第1移送装置114によって、収容装置100内の移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア130にまで、移送される。ちなみに、図では、パレットNPに載置されているノズルNについては、簡素化のため、省略している。なお、移載位置に位置するパレットNPをその位置において固定するパレット固定機構(図示を省略する)が、第1移送装置114に設けられており、また、移載位置に位置するパレットNPを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート142を摺動させるカバー摺動機構(図示を省略)が、テーブル200上に設けられている。 On the other hand, the pallet NP used for the setting transfer and the accommodation transfer is from the setting position corresponding to the transfer device 104 in the nozzle accommodation device 100, that is, from the carrier 130 located at the transfer device compatible station. The first pallet transfer device 114 (the structure will be described later) transfers the nozzle N to a set position where the nozzle N can be transferred by the transfer device 104, that is, a transfer position. The position where the pallet NP is located in the figure is the transfer position. The pallets NPs used for the setting transfer and the accommodation transfer are transferred to the carrier 130 located at the transfer device compatible station in the accommodation device 100 by the first transfer device 114 after the transfer is completed. Will be transferred. Incidentally, in the figure, the nozzle N placed on the pallet NP is omitted for the sake of simplicity. A pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP located at the transfer position at that position is provided in the first transfer device 114, and the pallet NP located at the transfer position is described above. A cover sliding mechanism (not shown) for sliding the cover plate 142 is provided on the table 200 as a mechanism for opening the mounting holes.

移載装置104は、テーブル200の上方に配置されており、移載ヘッド210と、移載ヘッド210を、左右方向,前後方向,上下方向(以下、それぞれ、「X方向」,「Y方向」,「Z方向」と言う場合がある)に移動させる3つのヘッド移動機構を有するヘッド移動装置212とを含んで構成されている。図7に加えて図5および図6をも参照して解るように、それらの図では、移載ヘッド210をX方向に移動させるX方向移動機構おおよびY方向に移動させるY方向移動機構については省略しており、Z方向移動機構214のみが示されている。ちなみに、X方向移動機構およびY方向移動機構は、当該管理機80の躯体の上部に設置されてスライド216をZ方向に直角な一平面に沿って移動させるXY型移動装置を構成するものとなっており、Z方向移動機構214は、そのスライド216に設置されている。 The transfer device 104 is arranged above the table 200, and the transfer head 210 and the transfer head 210 are arranged in the left-right direction, the front-back direction, and the up-down direction (hereinafter, "X direction" and "Y direction, respectively". , May be referred to as "Z direction"), and includes a head moving device 212 having three head moving mechanisms. As can be seen with reference to FIGS. 5 and 6 in addition to FIG. 7, in those figures, the X-direction moving mechanism for moving the transfer head 210 in the X direction and the Y-direction moving mechanism for moving the transfer head 210 in the Y direction are described. Is omitted, and only the Z-direction moving mechanism 214 is shown. Incidentally, the X-direction moving mechanism and the Y-direction moving mechanism constitute an XY type moving device which is installed on the upper part of the skeleton of the management machine 80 and moves the slide 216 along a plane perpendicular to the Z direction. The Z-direction moving mechanism 214 is installed on the slide 216.

移載ヘッド210には、下部において、移載されるノズルNを保持するためのノズル保持具としての保持チャック218と、ノズルN,トレイNT,パレットNPのそれぞれに付された2Dコード38,76,156を読み取るための識別子読取器としてのカメラ220とが取り付けられている。また、移載ヘッド210は、保持チャック218をそれの軸線回りに回転させるチャック回転機構を有している。ちなみに、上記ヘッド移動装置212は、ノズル保持具である保持チャック218を移動させる保持具移動装置として機能するものとなっている。 The transfer head 210 has a holding chuck 218 as a nozzle holder for holding the nozzle N to be transferred at the lower part, and 2D codes 38 and 76 attached to the nozzle N, the tray NT, and the pallet NP, respectively. , A camera 220 as an identifier reader for reading 156 is attached. Further, the transfer head 210 has a chuck rotation mechanism for rotating the holding chuck 218 around its axis. Incidentally, the head moving device 212 functions as a holder moving device for moving the holding chuck 218 which is a nozzle holder.

移載装置104の基本的な動作について簡単に説明すれば、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方が行われる際、移載ヘッド210がヘッド移動装置212によって移動させられ、カメラ220によって、トレイNTに付された2Dコード76とパレットNPに付された2Dコード156との少なくとも一方が撮像される。そして、移載ヘッド210がヘッド移動装置212によって移載元となるパレットNPまたはトレイNTの上方に移動されられて、移載の対象となるノズルNの2Dコード38がカメラ220によって撮像されつつ、そのノズルNが保持チャック218によって保持され、次いで、移載ヘッド210がヘッド移動装置212によって移載先となるトレイNTまたはパレットNPの上方に移動させられ、保持されたノズルNが、保持チャック218から離脱させられて、そのトレイNTまたはパレットNPの特定の若しくは任意の載置穴64,144に載置される。 Briefly explaining the basic operation of the transfer device 104, when at least one of the above-mentioned setting transfer and accommodation transfer is performed, the transfer head 210 is moved by the head moving device 212, and the camera 220 is moved. At least one of the 2D code 76 attached to the tray NT and the 2D code 156 attached to the pallet NP is imaged. Then, the transfer head 210 is moved above the pallet NP or tray NT as the transfer source by the head moving device 212, and the 2D code 38 of the nozzle N to be transferred is imaged by the camera 220 while being imaged. The nozzle N is held by the holding chuck 218, and then the transfer head 210 is moved above the tray NT or the pallet NP to be transferred by the head moving device 212, and the held nozzle N is moved to the holding chuck 218. It is detached from the tray NT or placed in a specific or arbitrary mounting hole 64, 144 of the tray NT or pallet NP.

なお、テーブル200上には、パレットNPのベースプレート140のような載置プレート220、詳しく言えば、いくつかの載置穴を有する載置プレート222が設置されており、この載置プレート222は、例えば、ノズルNのトレイNTへのセッティング若しくは収容装置100への収容の際、ノズルNの仮置き等に利用される。また、テーブル200上には、上記各種検査項目の検査の結果に基づいて不良と判断されたノズルN、つまり、不良ノズルを留置する不良ノズル留置器として、不良ボックス224が、取り外し可能に設置されている。図から解るように、この不良ボックス224は、4つの空間226に仕切られており、それら4つの空間226の各々は、それぞれ、不良ノズルを区別して留置するため留置部とされている。この不良ボックス224の利用に関しては、後に詳しく説明するが、不良ボックス224への不良ノズルの運搬は、ノズルNのトレイNTへのセッティングのついでに、若しくは、セッティングとは関係なく、上記ノズル移載装置104によって行われる。したがって、移載装置104は、不良ノズル運搬装置として機能するものとなっている。 A mounting plate 220 such as the base plate 140 of the pallet NP, specifically, a mounting plate 222 having some mounting holes is installed on the table 200, and the mounting plate 222 is mounted on the table 200. For example, it is used for temporary placement of the nozzle N when setting the nozzle N in the tray NT or accommodating the nozzle N in the accommodating device 100. Further, on the table 200, a defective box 224 is detachably installed as a nozzle N determined to be defective based on the inspection results of the above various inspection items, that is, as a defective nozzle indwelling device for indwelling the defective nozzle. ing. As can be seen from the figure, the defective box 224 is divided into four spaces 226, and each of the four spaces 226 is an indwelling portion for distinguishing and indwelling the defective nozzle. The use of the defective box 224 will be described in detail later, but the transportation of the defective nozzle to the defective box 224 is carried out by the setting of the nozzle N to the tray NT or regardless of the setting. It is done by 104. Therefore, the transfer device 104 functions as a defective nozzle carrier.

[F]第1ノズル検査装置
第1ノズル検査装置106は、ノズル移載装置104の下方に位置し、先に説明したように、2つの検査項目の検査、具体的には、先端部状態検査および後退必要力検査を実行する装置である。図8を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置100内の設定位置、つまり、第1検査装置対応ステーションに位置させられたパレットNPが、上述の第2パレット移送装置116(構造については、後述する)によって検査位置まで移送された後、そのパレットNPに載置されているノズルNについての先端部状態検査および後退必要力検査が、第1検査装置106によって、ともにノズルNの下方から行われる。なお、図に示すパレットNPの位置が、上記検査位置であり、第2移送装置116には、その検査位置においてパレットNPを固定するパレット固定機構(図示を省略)が設けられている。ちなみに、図では、パレットNPに載置されているノズルNは、簡素化のため、省略されている。
[F] First Nozzle Inspection Device The first nozzle inspection device 106 is located below the nozzle transfer device 104, and as described above, inspects two inspection items, specifically, a tip state inspection. And a device that performs a retreat requirement test. Explaining with reference to FIG. 8, the pallet NP located at the set position in the accommodating device 100, that is, the station corresponding to the first inspection device, is the second pallet transfer device 116 (for the structure, the structure is described). After being transferred to the inspection position by (described later), the tip condition inspection and the backward required force inspection of the nozzle N mounted on the pallet NP are both performed from below the nozzle N by the first inspection device 106. It is said. The position of the pallet NP shown in the figure is the inspection position, and the second transfer device 116 is provided with a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position. Incidentally, in the figure, the nozzle N placed on the pallet NP is omitted for the sake of simplicity.

第1検査装置106は、基台230と、その基台230上に固定されたカメラ装置232および荷重測定装置234とを含んで構成された検査ユニット235と、その検査ユニ
ット235を移動させるユニット移動装置236とを含んで構成されており、検査ユニット235は、上記検査位置に位置させられているパレットNPの下方の空間を移動する。カメラ装置232は、カメラ本体238と、レンズ239と、光源としてそのレンズ239を囲むように配置されたリングライト240とを含んで構成されたものであり、荷重測定装置234は、ロードセル242を主要構成要素として構成されたものである。ユニット移動装置236は、当該管理機80の躯体の一部をなす1対のビーム244に支持された可動ビーム246と、その可動ビーム246をY方向に移動させるベルト駆動式のY方向移動機構248と、可動ビーム246に支持されたスライド250をX方向に移動させるX方向移動機構252と、スライド250に固定されて検査ユニット235を基台230において支持するとともに検査ユニット235をZ方向に移動させるZ方向移動機構254とを含んで構成されている。まとめて言えば、第1検査装置106によれば、先端部部状態検査,後退必要力検査は、ともに、ノズルNの先端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるカメラ装置232,荷重測定装置234は、ノズルNの先端部側に存在する空間に配置され、それらを、1つの移動装置であるユニット移動装置236によって移動させるように構成されているのである。
The first inspection device 106 includes an inspection unit 235 composed of a base 230, a camera device 232 fixed on the base 230, and a load measuring device 234, and a unit movement for moving the inspection unit 235. The inspection unit 235 is configured to include the device 236, and moves in the space below the pallet NP located at the inspection position. The camera device 232 includes a camera body 238, a lens 239, and a ring light 240 arranged so as to surround the lens 239 as a light source, and the load measuring device 234 mainly comprises a load cell 242. It is configured as an element. The unit moving device 236 includes a movable beam 246 supported by a pair of beams 244 forming a part of the frame of the management machine 80, and a belt-driven Y-direction moving mechanism 248 that moves the movable beam 246 in the Y direction. The X-direction moving mechanism 252 that moves the slide 250 supported by the movable beam 246 in the X direction, and the inspection unit 235 that is fixed to the slide 250 and supported by the base 230 and the inspection unit 235 is moved in the Z direction. It is configured to include a Z-direction moving mechanism 254. In summary, according to the first inspection device 106, both the tip state inspection and the retreat required force inspection are performed on the tip side of the nozzle N, and are the main components for performing each inspection. The camera device 232 and the load measuring device 234 are arranged in a space existing on the tip end side of the nozzle N, and are configured to be moved by a unit moving device 236 which is one moving device.

第1検査装置106による先端部状態検査では、図15(a)に示すように、検査ユニット235が、ユニット移動装置236によって、カメラ装置232のレンズ239が検査するノズルNの真下に位置する位置に移動させられる。詳しく言えば、そのノズルNの吸着管32のZ方向の位置はそのノズルNの固有情報から認識可能であり、レンズ239が吸着管32の先端から設定距離だけ離れる位置に、検査ユニット235が位置させられる。その状態で、ノズルNの先端部、つまり、吸着管32が、カメラ装置232によって撮像される。 In the tip condition inspection by the first inspection device 106, as shown in FIG. 15A, the inspection unit 235 is located at a position directly below the nozzle N inspected by the lens 239 of the camera device 232 by the unit moving device 236. Moved to. Specifically, the position of the suction tube 32 of the nozzle N in the Z direction can be recognized from the unique information of the nozzle N, and the inspection unit 235 is located at a position where the lens 239 is separated from the tip of the suction tube 32 by a set distance. Be made to. In that state, the tip of the nozzle N, that is, the suction tube 32 is imaged by the camera device 232.

図15(a)に示すノズルNは、吸着管32の形状が正常なノズルNであり、そのノズルNの吸着管32のカメラ装置232による撮影像は、図15(b)に示すようなものとなる。一方で、図15(c)〜(e)は、それぞれ、それぞれ、吸着管32の“曲り”、“先端欠け”,“先端潰れ”があるノズルNを示しており、それらのノズルNの吸着管32の撮影像は、図5(f)〜(g)に示すようなものとなる。先端部状態検査では、カメラ装置232によるノズルNの撮像データに基づいて、上記“曲り”,“先端欠け”,“先端潰れ”といった先端部形状異常がノズルNに生じているか否かが確認され、また、図示は省略するが、先端部への“異物の付着”,“汚れの付着”についても確認される。先端部形状異常が生じているノズルN、および、先端部に異物や汚れが付着しているノズルNは、不良ノズルと判断される。なお、後に詳しく説明するが、上述のパレットNPに固定されている基準パイプ160は、それの先端部が、いずれかのノズルNについて先端部の状態についての異常が確認された都度、カメラ装置232によって撮像され、その基準パイプ160の先端部の撮像データに基づいて、その先端部の状態に異常がないことを確認し、その異常がないことを条件に、先端部の状態に異常が確認されたノズルNが不良ノズルとして認定される。つまり、基準対象としての基準パイプ160は、第1検査装置106の検定、詳しく言えば、事後検定に利用されるのである。 The nozzle N shown in FIG. 15A is a nozzle N having a normal shape of the suction tube 32, and the image taken by the camera device 232 of the suction tube 32 of the nozzle N is as shown in FIG. 15B. It becomes. On the other hand, FIGS. 15 (c) to 15 (e) show nozzles N having "bending", "tip chipping", and "tip crushing" of the suction tube 32, respectively, and suction of these nozzles N, respectively. The photographed image of the tube 32 is as shown in FIGS. 5 (f) to 5 (g). In the tip condition inspection, it is confirmed whether or not the nozzle N has a tip shape abnormality such as "bending", "tip chipping", or "tip crushing" based on the imaging data of the nozzle N by the camera device 232. Although not shown, "adhesion of foreign matter" and "adhesion of dirt" to the tip portion are also confirmed. The nozzle N in which the tip portion has an abnormal shape and the nozzle N in which foreign matter or dirt is attached to the tip portion are determined to be defective nozzles. As will be described in detail later, the reference pipe 160 fixed to the pallet NP described above has a camera device 232 at the tip of the reference pipe 160 each time an abnormality is confirmed in the state of the tip of any nozzle N. Based on the imaging data of the tip of the reference pipe 160, it is confirmed that there is no abnormality in the state of the tip, and on condition that there is no abnormality, the state of the tip is confirmed to be abnormal. Nozzle N is certified as a defective nozzle. That is, the reference pipe 160 as the reference object is used for the verification of the first inspection device 106, more specifically, the post-verification.

一方、第1検査装置106による後退必要力検査では、図16に示すように、検査ユニット235が、ユニット移動装置236によって、荷重測定装置234のロードセル242の中心が検査するノズルNの真下に位置する位置に移動させられる。その位置において、検査ユニット235が、そのノズルNの固有情報に基づく設定距離だけ上昇させられる。詳しく言えば、ノズルNの吸着管32が、胴体筒30に対してある程度の距離だけ後退する位置にまで、荷重測定装置234が上昇させられるのである。 On the other hand, in the backward required force inspection by the first inspection device 106, as shown in FIG. 16, the inspection unit 235 is positioned directly below the nozzle N inspected by the center of the load cell 242 of the load measuring device 234 by the unit moving device 236. It is moved to the position where it is. At that position, the inspection unit 235 is raised by a set distance based on the unique information of its nozzle N. More specifically, the load measuring device 234 is raised to a position where the suction pipe 32 of the nozzle N is retracted by a certain distance with respect to the fuselage cylinder 30.

先に説明したように、吸着管32は、スプリングによって胴体筒30から進出する方向に付勢されており、荷重測定装置234を上昇させた場合に、吸着管32の先端がロード
セル242の上面に当接し、その状態において、ロードセル242は、スプリングの付勢力に相当する荷重を受けることになる。ロードセル242は、その荷重を測定する。スプリングによる付勢力は、ノズルNの固有情報から認識することが可能であり、その付勢力を超えた荷重をロードセル242が検出した場合、吸着管32の後退に必要な力が大き過ぎることになる。例えば、異物のノズルN内の混入、胴体筒30の破損等によって、吸着管32が胴体筒30に引き込み難くなり、その場合に、後退必要力が過大となる。後退必要力が上記固有情報にに基づいて設定された閾力を超えた場合に、後退必要力が過大であると認定され、そのノズルNが不良ノズルであると判断される。なお、1つのパレットNPに載置されているノズルNについて後退必要力検査を行う場合、その検査に先立って、上述の基準ノズル158についての上記荷重を測定し、その測定された荷重に基づいて、ロードセル242の校正、すなわち、ロードセル242によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするための調整が行われるのである。つまり、基準対象としての基準ノズル158は、第1検査装置106による後退必要力検査の準備処理として行われる荷重測定装置234の校正、言い換えれば、第1検査装置106の校正に利用されるのである。
As described above, the suction pipe 32 is urged by a spring in the direction of advancing from the body cylinder 30, and when the load measuring device 234 is raised, the tip of the suction pipe 32 is placed on the upper surface of the load cell 242. In the abutting state, the load cell 242 receives a load corresponding to the urging force of the spring. The load cell 242 measures its load. The urging force due to the spring can be recognized from the unique information of the nozzle N, and when the load cell 242 detects a load exceeding the urging force, the force required for the suction pipe 32 to retract is too large. .. For example, it becomes difficult for the suction pipe 32 to be drawn into the body cylinder 30 due to foreign matter mixed in the nozzle N, damage to the body cylinder 30, and the like, and in that case, the required retreat force becomes excessive. When the required retreat force exceeds the threshold force set based on the above-mentioned unique information, it is determined that the required retreat force is excessive, and the nozzle N is determined to be a defective nozzle. When performing a backward required force inspection on the nozzle N mounted on one pallet NP, the load on the reference nozzle 158 is measured prior to the inspection, and the load is measured based on the measured load. , The load cell 242 is calibrated, that is, the adjustment is made so that the value of the load measured by the load cell 242 is equal to the actual value. That is, the reference nozzle 158 as the reference object is used for calibration of the load measuring device 234 performed as a preparatory process for the backward required force inspection by the first inspection device 106, in other words, for calibration of the first inspection device 106. ..

なお、第1検査装置106による上記先端部状態検査および上記後退必要力検査は、1つのパレットNPに載置されているすべてのノズルNに対して行ってもよく、一部のノズルNに対してだけ行ってもよい。また、それら2つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルNの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットNPは、第2移送装置116によって、収容装置100内において上記第1検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア130に、移送される。 The tip state inspection and the backward required force inspection by the first inspection device 106 may be performed on all nozzles N mounted on one pallet NP, and may be performed on some nozzles N. You may just go there. Moreover, both of these two tests may be performed, or only one of them may be performed. After the inspection of the mounted nozzle N is completed, the pallet NP located at the inspection position is moved to the station corresponding to the first inspection device in the accommodating device 100 by the second transfer device 116. It is transferred to the carrier 130.

[G]第2ノズル検査装置
第2ノズル検査装置108は、第1ノズル検査装置106の下方に位置し、先に説明したように、2つの検査項目の検査、具体的には、通過流量検査および識別子読取検査を実行する装置である。図9を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置100内の設定位置、つまり、第2検査装置対応ステーションに位置させられたパレットNPが、上述の第3パレット移送装置118(構造については、後述する)によって検査位置まで移送された後、そのパレットNPに載置されているノズルNについての通過流量検査および識別子読取検査が、第2検査装置108によって、ともにノズルNの上方から行われる。なお、図に示すパレットNPの位置が、上記検査位置であり、第3移送装置118には、その検査位置においてパレットNPを固定するパレット固定機構(図示を省略)が設けられている。ちなみに、図では、パレットNPに載置されているノズルNは、簡素化のため、省略されている。
[G] Second Nozzle Inspection Device The second nozzle inspection device 108 is located below the first nozzle inspection device 106, and as described above, inspects two inspection items, specifically, a passing flow rate inspection. And a device that performs an identifier reading check. Explaining with reference to FIG. 9, the pallet NP located at the set position in the accommodating device 100 described above, that is, the station corresponding to the second inspection device is the pallet transfer device 118 described above (for the structure, the structure is described). After being transferred to the inspection position by (described later), the passing flow rate inspection and the identifier reading inspection of the nozzle N placed on the pallet NP are both performed by the second inspection device 108 from above the nozzle N. The position of the pallet NP shown in the figure is the inspection position, and the third transfer device 118 is provided with a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position. Incidentally, in the figure, the nozzle N placed on the pallet NP is omitted for the sake of simplicity.

第2検査装置108は、検査ヘッド270と、その検査ヘッド270をパレットNPの上方においてパレットNPの上面に平行な一平面に沿って移動させるヘッド移動装置272とを含んで構成されている。検査ヘッド270には、エア送給装置274と、識別子読取器としてのカメラ276とが並設されている。エア送給装置274は、ノズルNの基端部である胴体筒30の上端部に接続されるエアジョイント278を有し、そのエアジョイト278からノズルNに圧縮空気が送給される。エアジョイント278の上方には、送給される圧縮空気の送給路の空気圧を測定する空気圧センサ280が、エアジョイント278と一体的に配設されている。また、エア送給装置274は、エアジョイント278を昇降させるジョイント昇降機構282を有し、エアジョイント278は、そのジョイント昇降機構282によって、検査ヘッド270に対して昇降させられる。ヘッド移動装置272は、第1検査装置106に関連して説明した1対のビーム244に支持された可動ビーム284と、その可動ビーム284をY方向に移動させるベルト駆動式のY方向移動機構286と、可動ビーム284に支持されたスライド288をX方向に移動させるX方向移
動機構290とを含んで構成されている。まとめて言えば、第2検査装置108によれば、通過流量検査,識別子読取検査は、ともに、ノズルNの基端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるエア送給装置274,カメラ276は、ノズルNの基端部側に存在する空間に配置され、それらを、1つの移動装置であるヘッド移動装置272によって移動させるように構成されているのである。
The second inspection device 108 includes an inspection head 270 and a head moving device 272 that moves the inspection head 270 above the pallet NP along a plane parallel to the upper surface of the pallet NP. An air feeding device 274 and a camera 276 as an identifier reader are arranged side by side in the inspection head 270. The air feeding device 274 has an air joint 278 connected to the upper end portion of the fuselage cylinder 30 which is a base end portion of the nozzle N, and compressed air is supplied from the air joint 278 to the nozzle N. Above the air joint 278, an air pressure sensor 280 that measures the air pressure in the supply path of the compressed air to be supplied is integrally arranged with the air joint 278. Further, the air feeding device 274 has a joint elevating mechanism 282 for elevating and lowering the air joint 278, and the air joint 278 is elevated and lowered with respect to the inspection head 270 by the joint elevating mechanism 282. The head moving device 272 includes a movable beam 284 supported by a pair of beams 244 described in relation to the first inspection device 106, and a belt-driven Y-direction moving mechanism 286 that moves the movable beam 284 in the Y direction. And an X-direction moving mechanism 290 that moves the slide 288 supported by the movable beam 284 in the X-direction. In summary, according to the second inspection device 108, both the passing flow rate inspection and the identifier reading inspection are performed on the proximal end side of the nozzle N, and the air feed, which is a main component for performing each inspection, is performed. The feeding device 274 and the camera 276 are arranged in the space existing on the proximal end side of the nozzle N, and are configured to be moved by the head moving device 272, which is one moving device.

第2検査装置108による通過流量検査では、検査ヘッド270が、ヘッド移動装置272によって、検査するノズルの真上にエアジョイント278が位置する位置に移動させられる。その状態で、エアジョイント278が、ジョイント昇降機構282によって、そのノズルNと接続するように下降させられる。図17(a)に示すように、エアジョイント278がノズルNに接続された状態で、エア送給装置274は、圧縮空気をノズルNに送給する。通常のノズルNは、あまり抵抗ない空気の通過が許容されて、充分な流量が担保されており、空気圧センサ280によって測定される空気圧は、比較的低い値となる。一方で、例えば、ノズルNに“詰まり”が生じているような場合は、ノズルNを通過する空気に対する通過抵抗が大きくなり、充分な流量が確保されなくなる。この状況では、空気圧センサ280によって測定される空気圧は、比較的高い値となる。そのことを考慮して、通過流量検査では、空気圧センサ280によって測定された空気圧が、閾圧より高くなった場合に、そのノズルNに“詰まり”が生じていると認定され、そのノズルNが不良ノズルであると判断される。つまり、この通過流量検査では、空気の流量を直接的に測定する代わりに、ノズルNの基端部側の圧力を測定することによって、ノズルNの“詰まり”を認定しているのである。なお、空気圧センサ280に代えて流量計(流量センサ)を配設し、通過する空気の流量を直接的に測定し、その測定の結果に基づいて“詰まり”の有無を判断してもよい。 In the passing flow rate inspection by the second inspection device 108, the inspection head 270 is moved by the head moving device 272 to a position where the air joint 278 is located directly above the nozzle to be inspected. In that state, the air joint 278 is lowered by the joint elevating mechanism 282 so as to be connected to the nozzle N. As shown in FIG. 17A, the air feeding device 274 feeds compressed air to the nozzle N with the air joint 278 connected to the nozzle N. The normal nozzle N allows the passage of air that does not have much resistance and ensures a sufficient flow rate, and the air pressure measured by the air pressure sensor 280 is a relatively low value. On the other hand, for example, when the nozzle N is "clogging", the passage resistance to the air passing through the nozzle N becomes large, and a sufficient flow rate cannot be secured. In this situation, the air pressure measured by the air pressure sensor 280 is a relatively high value. With this in mind, in the passing flow rate inspection, when the air pressure measured by the air pressure sensor 280 becomes higher than the threshold pressure, it is determined that the nozzle N is "clogging", and the nozzle N is determined to be "clogging". It is judged to be a defective nozzle. That is, in this passing flow rate inspection, the "clogging" of the nozzle N is recognized by measuring the pressure on the proximal end side of the nozzle N instead of directly measuring the air flow rate. A flow meter (flow rate sensor) may be arranged instead of the air pressure sensor 280 to directly measure the flow rate of the passing air, and the presence or absence of "clogging" may be determined based on the measurement result.

なお、ノズルNに送給される圧縮空気は、上述の駆動源ユニット124内に配設されているコンプレッサ(図示を省略)からエア送給装置274に供給されるが、例えば、そのコンプレッサの出力圧に依存して、空気圧センサ280によって測定される空気圧が変化する。つまり、第2検査装置108に関連する環境条件によって、その空気圧が変化することになるのである。このことを考慮すれば、その環境条件に応じて上記閾圧を設定することが望ましい。本管理機80では、ノズルNの通過流量検査に先立ち、パレットNPに固定されている基準パイプ160に、エア送給装置274によって圧縮空気を送給し、そのときに空気圧センサ280によって測定される空気圧を基に、上記閾圧を設定するようにされている。つまり、基準対象としての基準パイプ160は、第2検査装置108による通過流量検査についての準備処理として行われるその検査の基準の設定に利用されているのである。 The compressed air supplied to the nozzle N is supplied to the air supply device 274 from the compressor (not shown) arranged in the drive source unit 124 described above. For example, the output of the compressor. Depending on the pressure, the air pressure measured by the air pressure sensor 280 changes. That is, the air pressure changes depending on the environmental conditions related to the second inspection device 108. Considering this, it is desirable to set the above threshold pressure according to the environmental conditions. In the management machine 80, compressed air is supplied by the air supply device 274 to the reference pipe 160 fixed to the pallet NP prior to the passing flow rate inspection of the nozzle N, and is measured by the air pressure sensor 280 at that time. The above threshold pressure is set based on the air pressure. That is, the reference pipe 160 as a reference object is used for setting the reference of the inspection performed as a preparatory process for the passing flow rate inspection by the second inspection device 108.

第2検査装置108による識別子読取検査では、検査ヘッド270が、ヘッド移動装置272によって、検査するノズルNのフランジ34に付された識別子である2Dコード38の真上にカメラ276が位置する位置に移動させられる。その状態で、カメラ276によって、その2Dコード38が撮像される。ちなみに、撮像によって得られる画像は、図17(b)のようなものである。識別子読取検査では、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルNのIDが認識され、IDが認識できない場合に、そのノズルNが不良ノズルと判断される。カメラ276の不調等によってもIDが認識できない場合があるため、本管理機80では、ノズルNの2Dコード38の読取に先立って、パレットNPに固定されている基準ノズル158のフランジ34に付されている2Dコード38が、カメラ276によって撮像され、その撮像によって得られた画像データに基づいて、第2検査装置108の識別子読取機能が充分であることが確認され、その機能が充分であることを条件に、ノズルNの識別子読取検査が行われる。つまり、基準対象である基準ノズル158は、第2検査装置108の検定、つまり、事前検定に利用されるのである。 In the identifier reading inspection by the second inspection device 108, the inspection head 270 is placed at a position where the camera 276 is located directly above the 2D code 38, which is an identifier attached to the flange 34 of the nozzle N to be inspected by the head moving device 272. Can be moved. In that state, the camera 276 images the 2D code 38. Incidentally, the image obtained by imaging is as shown in FIG. 17 (b). In the identifier reading inspection, the ID of the nozzle N is recognized based on the image data obtained by the imaging, and when the ID cannot be recognized, the nozzle N is determined to be a defective nozzle. Since the ID may not be recognized due to a malfunction of the camera 276 or the like, the management machine 80 is attached to the flange 34 of the reference nozzle 158 fixed to the pallet NP prior to reading the 2D code 38 of the nozzle N. The 2D code 38 is imaged by the camera 276, and based on the image data obtained by the image capturing, it is confirmed that the identifier reading function of the second inspection device 108 is sufficient, and the function is sufficient. The identifier reading inspection of the nozzle N is performed under the condition of. That is, the reference nozzle 158, which is the reference target, is used for the verification of the second inspection device 108, that is, the pre-verification.

なお、第2検査装置108による上記通過流量検査および上記識別子読取検査は、1つのパレットNPに載置されているすべてのノズルNに対して行ってもよく、一部のノズルNに対してだけ行ってもよい。また、それら2つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルNの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットNPは、第2移送装置116によって、収容装置100内において上記第2検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア130に、移送される。 The passing flow rate inspection and the identifier reading inspection by the second inspection device 108 may be performed on all the nozzles N mounted on one pallet NP, and may be performed only on some nozzles N. You may go. Moreover, both of these two tests may be performed, or only one of them may be performed. After the inspection of the mounted nozzle N is completed, the pallet NP located at the inspection position is positioned at the second inspection device compatible station in the accommodating device 100 by the second transfer device 116. It is transferred to the carrier 130.

[H]ノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置
ノズル洗浄装置110は、第2ノズル検査装置108の下方に位置し、また、ノズル乾燥装置112は、洗浄装置110と上述の収容装置100との間に位置している。当該管理機80には、それら洗浄装置110および乾燥装置112に関連してハウジング300が設けられている。図10は、ハウジング300の存在する状態においてそれら洗浄装置110および乾燥装置112を示しており、図11は、ハウジング300を取り除いてそれら洗浄装置110および乾燥装置112を示している。それらの図を参照しつつ説明すれば、収容装置100内の設定位置、つまり、洗浄装置対応ステーションに位置させられたパレットNPが、上述の第4パレット移送装置120(構造については、後述する)によって洗浄位置まで移送された後、その位置において、そのパレットNPに載置されているノズルNに対して、洗浄装置110による洗浄が行われる。そして、洗浄の後、そのパレットNPが第4パレット移送装置120によって洗浄装置対応ステーションに移送される間に、そのパレットNPに載置されて洗浄が終了したノズルNに対して、乾燥装置112による乾燥が行われる。図に示すパレットNPの位置が、上記洗浄位置であり、第4移送装置120には、その検査位置においてパレットNPを固定するパレット固定機構(図示を省略)が設けられている。ちなみに、図では、パレットNPに載置されているノズルNは、簡素化のため、省略されている。
[H] Nozzle cleaning device and nozzle drying device The nozzle cleaning device 110 is located below the second nozzle inspection device 108, and the nozzle drying device 112 is located between the cleaning device 110 and the above-mentioned accommodating device 100. doing. The management machine 80 is provided with a housing 300 in connection with the cleaning device 110 and the drying device 112. FIG. 10 shows the cleaning device 110 and the drying device 112 in the presence of the housing 300, and FIG. 11 shows the cleaning device 110 and the drying device 112 with the housing 300 removed. Explaining with reference to those figures, the pallet NP located at the set position in the accommodating device 100, that is, the station corresponding to the cleaning device is the above-mentioned fourth pallet transfer device 120 (the structure will be described later). After being transferred to the cleaning position by the cleaning device 110, the nozzle N placed on the pallet NP is cleaned at that position by the cleaning device 110. Then, after cleaning, the pallet NP is transferred to the cleaning device compatible station by the fourth pallet transfer device 120, while the nozzle N placed on the pallet NP and cleaning is completed by the drying device 112. Drying is done. The position of the pallet NP shown in the figure is the cleaning position, and the fourth transfer device 120 is provided with a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position. Incidentally, in the figure, the nozzle N placed on the pallet NP is omitted for the sake of simplicity.

洗浄装置110は、ノズルNを上方から洗浄するための上部洗浄ユニット302と、ノズルNを下方から洗浄するための下部洗浄ユニット304とを含んで構成されており、それらは、略同じ構造のものとされている。それらユニット302,304の各々は、ハウジング300に付設された支持フレーム306と、その支持フレーム306に支持された噴射ノズル308と、その噴射ノズル308をY方向に移動させるY方向移動機構310とを含んで構成されている。噴射ノズル308は、パレットNPの全幅に亘ってX方向に延びるように配置された細長い直方体形状のものであり、パレットNPと向かい合う面に、多数の噴射孔312が設けられている。Y方向移動機構310は、その噴射ノズル308を、パレットNPの全長に亘ってY方向に移動させるように構成されている。この噴射ノズル308には、上述の駆動源ユニット124内に設置された高圧ポンプ(図示を省略)によって加圧された高圧水が供給され、その高圧水が、噴射孔312から、パレットNPに載置されたノズルNに向かって噴射される。 The cleaning device 110 includes an upper cleaning unit 302 for cleaning the nozzle N from above and a lower cleaning unit 304 for cleaning the nozzle N from below, and they have substantially the same structure. It is said that. Each of the units 302 and 304 has a support frame 306 attached to the housing 300, an injection nozzle 308 supported by the support frame 306, and a Y-direction moving mechanism 310 for moving the injection nozzle 308 in the Y direction. It is configured to include. The injection nozzle 308 has an elongated rectangular parallelepiped shape arranged so as to extend in the X direction over the entire width of the pallet NP, and a large number of injection holes 312 are provided on the surface facing the pallet NP. The Y-direction moving mechanism 310 is configured to move the injection nozzle 308 in the Y-direction over the entire length of the pallet NP. High-pressure water pressurized by a high-pressure pump (not shown) installed in the drive source unit 124 described above is supplied to the injection nozzle 308, and the high-pressure water is placed on the pallet NP from the injection hole 312. It is ejected toward the placed nozzle N.

乾燥装置112は、ハウジング300の上部および下部に配設された複数の送風管314を含んで構成されている。それら送風管314には、ブロアー(図示を省略)から、駆動源ユニット124内に配設された加熱器(図示を省略)を介して、温風(熱風)が送り込まれる。複数の送風管314の各々には、複数の放出孔が設けられており、温風は、それら放出孔から、パレットNPに載置されたノズルNに向かって放出される。放出された温風によって、ノズルNが乾燥させられる。 The drying device 112 includes a plurality of blower pipes 314 arranged at the upper part and the lower part of the housing 300. Warm air (hot air) is sent from the blower (not shown) to the blower pipes 314 via a heater (not shown) arranged in the drive source unit 124. Each of the plurality of blower pipes 314 is provided with a plurality of discharge holes, and warm air is discharged from the discharge holes toward the nozzle N placed on the pallet NP. The discharged warm air dries the nozzle N.

上述のハウジング300は、洗浄装置110によって噴射される高圧水、および、乾燥装置112によって放出される温風が他の装置等に与える悪影響を防止するために設置されたものである。ハウジング300には、前方側に、内部を覗き見るための透明な窓316が設けられ、また、後方側に、遮蔽板318、および、その遮蔽板318をパレットN
Pが通過するときにだけ開けるための遮蔽板開閉機構320が設けられている。
The above-mentioned housing 300 is installed in order to prevent adverse effects of the high-pressure water injected by the cleaning device 110 and the warm air discharged by the drying device 112 on other devices and the like. The housing 300 is provided with a transparent window 316 for peeping inside on the front side, and a shielding plate 318 and a shielding plate 318 thereof on the rear side of the pallet N.
A shielding plate opening / closing mechanism 320 is provided for opening only when P passes through.

図18に示すように、上述の洗浄位置において固定されたパレットNPに載置されているノズルNに対して、洗浄装置110による洗浄が行われる。詳しく言えば、上部洗浄ユニット302は、ノズルNの上方から、つまり、ノズルNの基端側から高圧の水を噴射して、主に、胴体筒30,フランジ34の上面等を洗浄する。一方、下部洗浄ユニット304は、ノズルNの下方から、つまり、ノズルNの先端側から高圧水を噴射して、主に、吸着管32等を洗浄する。高い洗浄効果を得るため、噴射ノズル308は、真下あるいは真上にだけでなく種々の方向に高圧水を噴射するように、噴射孔312の向きが調整されている。噴射ノズル308は、比較的幅の狭いものであり、パレットNP上にX方向に並ぶノズル列のうちの一部にしか高圧水を噴射することができないため、噴射ノズル308が、Y方向移動機構310によって、パレットNPのY方向における全長に亘って移動させられる。ちなみに、噴射ノズル308は、2流体式のノズル、つまり、圧縮空気によって水を分散して噴射するノズルではなく、ポンプによって加圧された水を、その水の圧力によって、直接噴射孔312から噴射するように構成されたノズルである。そのため、洗浄装置110は、洗浄能力の高いものとされている。 As shown in FIG. 18, the nozzle N placed on the pallet NP fixed at the above-mentioned cleaning position is cleaned by the cleaning device 110. More specifically, the upper cleaning unit 302 injects high-pressure water from above the nozzle N, that is, from the base end side of the nozzle N, and mainly cleans the body cylinder 30, the upper surface of the flange 34, and the like. On the other hand, the lower cleaning unit 304 injects high-pressure water from below the nozzle N, that is, from the tip side of the nozzle N, and mainly cleans the suction pipe 32 and the like. In order to obtain a high cleaning effect, the direction of the injection hole 312 is adjusted so that the injection nozzle 308 injects high-pressure water not only directly below or directly above but also in various directions. Since the injection nozzle 308 has a relatively narrow width and can inject high-pressure water only to a part of the nozzle rows arranged in the X direction on the pallet NP, the injection nozzle 308 moves in the Y direction. The 310 moves the pallet NP over the entire length in the Y direction. By the way, the injection nozzle 308 is not a two-fluid nozzle, that is, a nozzle that disperses and injects water by compressed air, but injects water pressurized by a pump directly from the injection hole 312 by the pressure of the water. It is a nozzle configured to do so. Therefore, the cleaning device 110 is considered to have a high cleaning ability.

乾燥装置112は、ノズルNの洗浄が終了して検査位置に存在するパレットNPを第4移送装置120が洗浄装置対応ステーション130に移送する際に、温風を利用したエアブローによって行われる。そのため、乾燥に必要な時間の少なくとも一部において、パレットNPを収容装置100に返送することができ、洗浄,乾燥といった一連の作業における時間的ロスが小さいものとなっている。なお、温風は、比較的早い速度の風であり、その温風の圧力によってノズルNに付着している水滴が吹き飛ばされるとともに、その温風の有する温度によって、ノズルNに付き残る水分が乾燥させられる。 The drying device 112 is performed by air blowing using warm air when the fourth transfer device 120 transfers the pallet NP existing at the inspection position to the cleaning device compatible station 130 after the cleaning of the nozzle N is completed. Therefore, the pallet NP can be returned to the accommodating device 100 for at least a part of the time required for drying, and the time loss in a series of operations such as washing and drying is small. The warm air is a relatively fast wind, and the pressure of the warm air blows off the water droplets adhering to the nozzle N, and the temperature of the warm air dries the moisture remaining on the nozzle N. Be made to.

[I]パレット移送装置
それぞれがノズル移送装置である第1〜第4パレット移送装置114〜120は、先に説明したように収容装置100と、対応する対ノズル処置実行装置との間で、パレットNPを移送する装置である。第1,第2,第3移送装置114,116,118は、略同一の構造を有しており、第4移送装置120は、若干、それら第1,第2,第3移送装置114,116,118とは異なる構造を有している。
[I] Palette transfer devices The first to fourth pallet transfer devices 114 to 120, each of which is a nozzle transfer device, are pallets between the accommodating device 100 and the corresponding nozzle treatment execution device as described above. It is a device that transfers NP. The first, second, and third transfer devices 114, 116, 118 have substantially the same structure, and the fourth transfer device 120 slightly includes the first, second, and third transfer devices 114, 116. , 118 has a different structure.

図5〜図7を参照しつつ説明すれば、第1,第2,第3移送装置114,116,118の各々は、収容装置100から前方に向かって延び出すように配設された1対のレール330を有しており、パレットNPは、その1対のレール330にそれらに跨るように支持され、それら1対のレール330上を摺動する。また、第1,第2,第3移送装置114,116,118の各々は、収容装置100のキャリア130と1対のレール330の間、および、1対のレール330上において、パレットNPを移動させる移動機構332を備えている。移動機構332は、当該管理機80の右側に前後に延びるようにして配設されたガイド334と、そのガイド334に支持された搬送ユニット336とを含んで構成されている。搬送ユニット336は、ガイド334に支持された状態において、そのガイド334に沿って自走する構造のものとなっている。図示は省略するが、搬送ユニット336は、1対のレール330の下方において、それら1対のレール330の中間まで延び出す延出部を有しており、その延出部の先端には、下方からパレットNPの後端部を把持するクランプが設けられている。 Explaining with reference to FIGS. 5 to 7, each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 is a pair arranged so as to extend forward from the accommodating device 100. The pallet NP is supported by the pair of rails 330 so as to straddle them, and slides on the pair of rails 330. Further, each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 moves the pallet NP between the carrier 130 of the accommodating device 100 and the pair of rails 330, and on the pair of rails 330. It is provided with a moving mechanism 332 to make it move. The moving mechanism 332 includes a guide 334 arranged so as to extend back and forth on the right side of the management machine 80, and a transport unit 336 supported by the guide 334. The transport unit 336 has a structure that self-propells along the guide 334 in a state of being supported by the guide 334. Although not shown, the transport unit 336 has an extension portion below the pair of rails 330 that extends to the middle of the pair of rails 330, and the tip of the extension portion is below. A clamp is provided to grip the rear end of the pallet NP.

収容装置100の1つのキャリア130が、前述の設定位置、つまり、対ノズル処置実行装置に対応したステーションに位置するときには、1対のレール330と、そのキャリア13の1対のレール170とが、互いに一致し、また、搬送ユニット336は、それの延出部がそのキャリア130の下方を通過するようにして、ガイド334の後端にまで移
動することが可能となっている。搬送ユニット336がその後端に位置する状態で、上述のクランプによって、キャリア130に収容されているパレットNPの後端部を把持し、その把持した状態において、搬送ユニット336がガイド334の前端まで移動することにより、そのパレットNPは、上述した設定位置にまで移送される。移送後、クランプによる把持が解除される。設定位置に位置するパレットNPをキャリア130に移送する場合は、上記動作の逆の動作が行われる。ちなみに、設定位置は、先に説明した移載位置,検査位置,洗浄位置を意味する。なお、先に説明したように、第1,第2,第3移送装置114,116,118の各々は、設定位置に位置するパレットNPを、1対のレールに固定するための上記パレット固定機構を有している。
When one carrier 130 of the accommodating device 100 is located at the above-mentioned set position, that is, the station corresponding to the anti-nozzle treatment execution device, the pair of rails 330 and the pair of rails 170 of the carrier 13 are arranged. Consistent with each other, the transport unit 336 can move to the rear end of the guide 334 so that its extension passes below the carrier 130. With the transport unit 336 located at the rear end, the rear end of the pallet NP housed in the carrier 130 is gripped by the clamp described above, and in the gripped state, the transport unit 336 moves to the front end of the guide 334. By doing so, the pallet NP is transferred to the set position described above. After the transfer, the grip by the clamp is released. When the pallet NP located at the set position is transferred to the carrier 130, the reverse operation of the above operation is performed. By the way, the set position means the transfer position, the inspection position, and the cleaning position explained above. As described above, each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 has the pallet fixing mechanism for fixing the pallet NP located at the set position to the pair of rails. have.

第4移送装置120は、ガイドおよび搬送ユニットの構造において、第1,第2,第3移送装置114,116,118と異なる。詳しい説明は省略するが、第4移送装置120は、先に説明したように、ハウジング300内においてパレットNPを移送するため、その移送に適した構造のガイド338および搬送ユニット340が採用されている。当該第4移送装置120のその他の部分の構造および動作については、第1,第2,第3移送装置114,116,118と同様であり、説明を省略する。なお、図5において、第1,第2,第3移送装置114,116,118の各々は、搬送ユニット336を2つ有しているように描かれているが、搬送ユニット336がガイドの前端に位置する状態と後端に位置する状態との両方を便宜的示すためであり、実際には、搬送ユニット336は1つしか有していない。 The fourth transfer device 120 is different from the first, second, and third transfer devices 114, 116, 118 in the structure of the guide and the transfer unit. Although detailed description is omitted, in the fourth transfer device 120, as described above, in order to transfer the pallet NP in the housing 300, a guide 338 and a transfer unit 340 having a structure suitable for the transfer are adopted. .. The structure and operation of other parts of the fourth transfer device 120 are the same as those of the first, second, and third transfer devices 114, 116, 118, and the description thereof will be omitted. In FIG. 5, each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 is drawn so as to have two transfer units 336, but the transfer unit 336 is the front end of the guide. This is for convenience of showing both the state of being located at the rear end and the state of being located at the rear end, and in reality, the transport unit 336 has only one.

[J]ノズル管理機が行うオペレーション
上記構成の管理機80は、制御装置であるコントローラ84の制御によって、種々のオペレーションを行う。詳しく言えば、コントローラ84が、種々のプログラムを実行することにより、実行されたプログラムに応じたオペレーションを行う。また、それらのオペレーションは、管理情報、つまり、収容されているノズルNおよびトレイNTを管理する中で作成若しくは取得されるそれらノズルNおよびトレイNTについての情報に基づいて行われる。以下に、その管理情報を例示して説明した後、管理機80が行ういくかのオペレーションを例示して、それらを、順次、説明する。
[J] Operations performed by the nozzle management machine The management machine 80 having the above configuration performs various operations under the control of the controller 84, which is a control device. More specifically, the controller 84 executes various programs to perform operations according to the executed programs. Further, those operations are performed based on the management information, that is, the information about the nozzle N and the tray NT created or acquired while managing the stored nozzle N and the tray NT. Below, after exemplifying and explaining the management information, some operations performed by the management machine 80 will be illustrated and described in sequence.

i)管理情報
コントローラ84は、収容されているノズルNについての管理情報として、「収容ノズル情報」を記憶している。収容ノズル情報は、図19の収容ノズル情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア130に収容されているどのパレットNPのどの載置穴144にどんなノズルNが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容されているノズルNの固有情報が収容装置100における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容ノズル情報について具体的に説明する。
i) Management information The controller 84 stores "accommodation nozzle information" as management information about the accommodation nozzle N. The accommodating nozzle information can be schematically represented as the accommodating nozzle information table of FIG. 19, and simply put, what nozzle N is in which mounting hole 144 of which pallet NP accommodated in which carrier 130. Is information indicating whether or not is contained. In other words, the unique information of the nozzle N being accommodated is the information of the aspect associated with the accommodation position in the accommodation device 100. In the following description, the accommodation nozzle information is treated as being stored in the format of the above table, and the accommodation nozzle information will be specifically described based on the table.

図に示す収容ノズル情報テーブルでは、1行1行が、1つのパレットNPの1つの載置穴144に、つまり、収容されているノズルNの1つ1つに対応している。また、そのテーブルの各列が、ノズルNに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアNo〕は、ノズルNが載置されているパレットNPが収容されているキャリア130の番号であり、“#1”,“#2”,・・・といった具合に収容装置100が有するキャリア130の数までの番号が記憶される。〔パレットID〕は、ノズルNが載置されているパレットNPの固有情報でとしてのそのパレットNPのIDである。〔載置穴No〕は、ノズルNが載置されている載置部としての載置穴144の番号であり、図12に示す小さな載置穴144aに対応して、“A01”〜“A24”の番号が、大きな載置穴144bに対応して、“B01”〜“B15”の番号が記憶される。ちなみに、〔キャリアNo〕
,〔パレットID〕の列における“↓”は、上の行と同じ内容が記憶されていることを便宜的に示している。
In the accommodation nozzle information table shown in the figure, each row corresponds to one mounting hole 144 of one pallet NP, that is, each of the nozzles N accommodated. In addition, each column of the table corresponds to various information about the nozzle N. Specifically, the [carrier No.] is the number of the carrier 130 in which the pallet NP on which the nozzle N is placed is housed, such as "# 1", "# 2", and so on. Numbers up to the number of carriers 130 included in the accommodating device 100 are stored. [Palette ID] is the ID of the pallet NP as the unique information of the pallet NP on which the nozzle N is placed. [Mounting hole No.] is the number of the mounting hole 144 as the mounting portion on which the nozzle N is mounted, and corresponds to the small mounting hole 144a shown in FIG. 12, “A01” to “A24”. The numbers of "B01" to "B15" are stored corresponding to the large mounting holes 144b. By the way, [Carrier No.]
, "↓" in the [Palette ID] column indicates that the same contents as the above row are stored for convenience.

〔ノズルID〕およびそれより右の列は、いずれも、ノズルNの固有情報である。1つずつ説明すれば、〔ノズルID〕は、ノズルNのIDである。〔ノズルID〕が“−”とされているのは、ノズルNのIDが認識不能であることを意味し、“?“とされているのは、ノズルNのIDが未認識であることを意味している。〔ノズル型式〕は、ノズルNの型式、つまり、種類を表わすものである。具体的には、図13に示すノズルNa〜Neのそれぞれの型式が記憶される。“(・・・・)”は、ノズルの形式が推定されたことを意味する。〔洗浄〕は、ノズルNが洗浄装置110による洗浄がなされたものであるか否を示しており、“◎”は、洗浄されていることを、“●”は、未だ洗浄されていないことを、それぞれ表している。 The [Nozzle ID] and the column to the right of it are both unique information of the nozzle N. To explain one by one, the [nozzle ID] is the ID of the nozzle N. When [Nozzle ID] is "-", it means that the ID of nozzle N is unrecognizable, and when it is "?", It means that the ID of nozzle N is unrecognized. Means. [Nozzle model] represents the model of the nozzle N, that is, the type. Specifically, each model of the nozzles Na to Ne shown in FIG. 13 is stored. “(...)” means that the nozzle type has been estimated. [Washing] indicates whether or not the nozzle N has been washed by the washing device 110. “◎” indicates that the nozzle N has been washed, and “●” indicates that the nozzle N has not been washed yet. , Representing each.

〔不良要因〕は、ノズルNが不良ノズルと判断されている場合において、その不良の要因、つまり、上述の4つの項目の検査のいずれにおいて不良ノズルと判断されたかを示している。4つの項目の検査のいずれかにおいて不良ノズルであると判断された場合、〔識別子読取〕,〔通過流量〕,〔先端部状態〕,〔後退必要力〕の4つの列のうちの不良ノズルであると判断された項目のに対応する列に、“×”が記憶される。“○”は、各項目の検査において不良ノズルと判断されなかったこをを意味し、各列に、“○”も“×”も記憶されていない場合には、検査が未だ行われていないことを意味する。 [Defective factor] indicates, when the nozzle N is determined to be a defective nozzle, the cause of the defect, that is, which of the above four items is determined to be a defective nozzle. If it is determined that the nozzle is defective in any of the inspections of the four items, the defective nozzle in the four rows of [identifier reading], [passing flow rate], [tip state], and [reverse force required] is used. An "x" is stored in the column corresponding to the item determined to exist. "○" means that the nozzle was not judged to be defective in the inspection of each item, and if neither "○" nor "×" is stored in each column, the inspection has not been performed yet. Means.

なお、〔ノズルID〕〜〔洗浄〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応する載置穴144、つまり、あるキャリア130に収容されているパレットNPのその載置穴144に、ノズルNが載置されていないことを示している。 In the columns of [Nozzle ID] to [Washing], the row in which nothing is described is the mounting hole 144 corresponding to the row, that is, the mounting of the pallet NP housed in a certain carrier 130. It is shown that the nozzle N is not placed in the hole 144.

また、コントローラ84は、収容されているトレイNTについての管理情報として、「収容トレイ情報」を記憶している。収容トレイ情報は、図20の収容トレイ情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア192にどんなトレイNが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容ノズル情報と同様、収容されているトレイNTの固有情報が収容装置102における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報と同様、収容トレイ情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容トレイ情報について具体的に説明する。 Further, the controller 84 stores "accommodation tray information" as management information about the accommodated tray NT. The storage tray information can be schematically represented as the storage tray information table of FIG. 20, and is simply information indicating what tray N is stored in which carrier 192. In other words, similar to the accommodation nozzle information, the unique information of the stored tray NT is the information of the mode associated with the accommodation position in the accommodation device 102. In the following description, as with the storage nozzle information, the storage tray information is treated as being stored in the format of the above table, and the storage tray information will be specifically described based on the table.

図に示す収容トレイ情報テーブルでは、1行1行が、収容装置102の1つのキャリア192、つまり、収容されているトレイNTの1つ1つに対応している。また、そのテーブルの各列が、トレイNTに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアNo〕は、トレイNTが収容されているキャリア192の番号であり、“#1”,“#2”,・・・といった具合に収容装置102が有するキャリア192の数までの番号が記憶される。〔トレイID〕は、トレイNTの固有情報の1つとしてのそのトレイNTのIDである。〔トレイ型式〕は、トレイNTの型式、つまり、種類を表わすものである。〔不良〕は、トレイNTが不良であるか否かを示しており、“×”は、不良トレイであることを意味する。〔SET済〕は、収容されているトレイNTにノズルNがセッティングされているか否か示しており、“◎”は、トレイNTにノズルNがセッティングされていることを、空白は、空のトレイNTであることを示している。ちなみに、〔トレイID〕,〔トレイ型式〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応するキャリア192には、トレイNTが収容されていないことを示している。 In the storage tray information table shown in the figure, each row corresponds to one carrier 192 of the storage device 102, that is, each of the stored trays NT. In addition, each column of the table corresponds to various information about the tray NT. Specifically, the [carrier No.] is the number of the carrier 192 in which the tray NT is accommodated, and the carrier 192 included in the accommodating device 102 such as "# 1", "# 2", ... Numbers up to the number are stored. [Tray ID] is the ID of the tray NT as one of the unique information of the tray NT. [Tray model] indicates the model of the tray NT, that is, the type. [Defective] indicates whether or not the tray NT is defective, and “x” means that the tray is defective. [SET completed] indicates whether or not the nozzle N is set in the stored tray NT, “◎” indicates that the nozzle N is set in the tray NT, and the blank indicates an empty tray. It shows that it is NT. Incidentally, a row in which no description is made in the columns of [Tray ID] and [Tray model] indicates that the tray NT is not housed in the carrier 192 corresponding to the row.

さらに、コントローラ84は、ノズルNのトレイNTへのセッティングに関する管理情報として、「ノズルセッティング情報」を利用する。ノズルセッティング情報は、図21
のノズルセッティング情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのトレイNTのどの載置穴64にどんなノズルNが載置されているかを示す情報である。〔載置穴No〕は、ノズルNが載置される載置部としての載置穴64の番号であり、図には、一例として、図3に示すトレイNTに関する情報を示している。具体的には、図3に示す比較的小さな載置穴64に対応して、“a1”〜“a8”の番号が、比較的大きな載置穴64に対応して、“b1”〜”b4”の番号が付される。
Further, the controller 84 uses "nozzle setting information" as management information regarding the setting of the nozzle N to the tray NT. Nozzle setting information is shown in FIG. 21.
It can be schematically expressed as a nozzle setting information table of the above, and simply put, it is information indicating what nozzle N is mounted in which mounting hole 64 of which tray NT. [Mounting hole No.] is the number of the mounting hole 64 as a mounting portion on which the nozzle N is mounted, and the figure shows information about the tray NT shown in FIG. 3 as an example. Specifically, the numbers "a1" to "a8" correspond to the relatively small mounting holes 64 shown in FIG. 3, and "b1" to "b4" correspond to the relatively large mounting holes 64. Is numbered.

ノズルNのパレットNTへのセッティングは、〔トレイID〕,〔ノズルID〕が記載されていない、つまり、〔トレイ型式〕および〔ノズル型式〕だけが示されているノズルセッティング情報に基づいて開始され、セッティングが終了した時点で〔トレイID〕,〔ノズルID〕が付されることになる。 The setting of the nozzle N to the pallet NT is started based on the nozzle setting information in which the [tray ID] and the [nozzle ID] are not described, that is, only the [tray model] and the [nozzle model] are shown. , [Tray ID] and [Nozzle ID] will be added when the setting is completed.

上述した管理情報は、以下に説明する当該管理機80によるいくつかのオペレーションの中で、更新,リセット等される。以下の説明では、オペレーションに関するプログラムのフローチャートに基づいて、それらオペレーションの説明を行うが、そのフローチャートでは、上記更新,削除,追加等に関する処理の表記は省略し、それらの処理の説明は、フローチャートの各ステップの説明に中で行うこととする。 The above-mentioned management information is updated, reset, etc. in some operations by the management machine 80 described below. In the following description, these operations will be described based on the flowchart of the program related to the operations, but in the flowchart, the notation of the processes related to the above update, deletion, addition, etc. is omitted, and the explanation of those processes is described in the flowchart. It will be done in the explanation of each step.

ii)ノズル収容オペレーション
ノズル収容オペレーションは、例えば装着機において使用されたノズルNの洗浄,検査,保管等を目的として、トレイNTに載置されたノズルNを収容装置100に収容するためのオペレーションであり、そのオペレーションは、コントローラ84が図22にフローチャートを示すノズル収容プログラムを実行することによって、行われる。当該管理機80のオペレータが、ノズルNが載置されているトレイNTを、上述の引出82を開けて、上述の固定ステージ204または可動ステージ204にセットした後、当該オペレーションの開始の指令を、コントローラ84の操作キー88によって入力することによって、当該オペレーションが開始する。なお、固定ステージ202にトレイNTがセットされた場合は、ノズルNが収容された後にトレイNTを残したまま、当該オペレーションが終了する。一方、可動ステージ204にトレイNTがセットされた場合は、ノズルNが収容された後にトレイNTを収容装置102に収容するか否かを、オペレータの操作キー88を用いた入力操作に基づいて選択可能とされており、その選択に従って、当該オペレーションが終了する。
ii) Nozzle accommodating operation The nozzle accommodating operation is an operation for accommodating the nozzle N mounted on the tray NT in the accommodating device 100 for the purpose of cleaning, inspecting, storing, etc. the nozzle N used in the mounting machine, for example. Yes, the operation is performed by the controller 84 executing the nozzle accommodation program shown in the flowchart in FIG. After the operator of the management machine 80 opens the drawer 82 described above and sets the tray NT on which the nozzle N is mounted on the fixed stage 204 or the movable stage 204 described above, a command to start the operation is given. The operation is started by inputting with the operation key 88 of the controller 84. When the tray NT is set on the fixed stage 202, the operation ends with the tray NT remaining after the nozzle N is accommodated. On the other hand, when the tray NT is set on the movable stage 204, whether or not to accommodate the tray NT in the accommodating device 102 after accommodating the nozzle N is selected based on an input operation using the operator's operation key 88. It is possible, and the operation is terminated according to the selection.

ノズル収容プログラムに従った処理では、ステップ1(以下、ステップを「S」と省略する)において、トレイNTが固定されて載置穴開状態が実現されているステージ、つまり、トレイNTがセットされたステージが固定ステージ202であるか可動ステージ204であるかが特定される。次いで、S2において、特定されたステージの上方に移載ヘッド210が移動させられ、カメラ220によってトレイNTに付された2Dコード76が撮像されてそのトレイNTのIDが取得される。続くS3において、取得されたトレイNTのIDに基づいて、そのトレイNTの型式が特定される。ちなみに、ID情報の中には、トレイNTの型式の情報が含まれている。コントローラ84は、トレイNTの載置穴64の数,位置等の諸元がトレイの型式に関連付けられたデータ(以下、「トレイ諸元データ」と言う場合がある)を記憶しており、型式の特定の後、S4において、その型式に基づいて把握されたトレイNTの諸元に従って、トレイNTに載置されている各ノズルNの2Dコード38がカメラ220によって撮像され、各ノズルNのIDが取得される。続くS5において、取得されたIDに基づいて、各ノズルNの型式が特定される。トレイNTと同様に、ノズルNのID情報の中には、ノズルNの型式の情報が含まれている。なお、2Dマーク38の汚れ等によってノズルNTのIDが取得できない場合には、先に作成した上述のノズルセッティング情報、つまり、そのIDのトレイNTにノズルNのセッティングを行った際のノズルセッティング情報が利用され、その情報に基づき、IDの取得が
できないノズルNの型式を推定する。
In the process according to the nozzle accommodating program, in step 1 (hereinafter, step is abbreviated as “S”), the stage in which the tray NT is fixed and the mounting hole is opened, that is, the tray NT is set. It is specified whether the stage is a fixed stage 202 or a movable stage 204. Next, in S2, the transfer head 210 is moved above the specified stage, the 2D code 76 attached to the tray NT is imaged by the camera 220, and the ID of the tray NT is acquired. In the following S3, the model of the tray NT is specified based on the acquired ID of the tray NT. Incidentally, the ID information includes information on the model of the tray NT. The controller 84 stores data in which specifications such as the number and position of the mounting holes 64 of the tray NT are associated with the tray model (hereinafter, may be referred to as “tray specification data”), and the model. After the identification, in S4, the 2D code 38 of each nozzle N mounted on the tray NT is imaged by the camera 220 according to the specifications of the tray NT grasped based on the model, and the ID of each nozzle N is captured. Is obtained. In the following S5, the model of each nozzle N is specified based on the acquired ID. Similar to the tray NT, the ID information of the nozzle N includes the model information of the nozzle N. If the ID of the nozzle NT cannot be obtained due to dirt on the 2D mark 38 or the like, the above-mentioned nozzle setting information created earlier, that is, the nozzle setting information when the nozzle N is set on the tray NT of that ID. Is used, and based on the information, the model of the nozzle N whose ID cannot be acquired is estimated.

次に、S6において、ノズルNの収容装置100への収容に際してそれらノズルNが載置される1つのパレットNPが、先に説明した収容ノズル情報に基づいて、収容装置100が有する複数のパレットNPの中から選択される。この選択についての詳しいアルゴリズムの説明は省略するが、S6では、空の載置穴144が存在していること,洗浄の終了したノズルNが、載置されていないこと等の条件を充足したものの中から、当該管理機80によるいくつかのオペレーションをできるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、1のパレットNPが選択される。続くS7において、パレット移動装置134および第1パレット移送装置114が作動させられて、その選択されたパレットNPが、上述の移載位置に固定され、載置穴開状態が実現される。つまり、そのパレットNPがセットされるのである。 Next, in S6, one pallet NP on which the nozzles N are placed when the nozzles N are accommodated in the accommodating device 100 has a plurality of pallet NPs possessed by the accommodating device 100 based on the accommodation nozzle information described above. It is selected from. Although detailed algorithm description for this selection is omitted, in S6, the conditions such as the existence of an empty mounting hole 144 and the fact that the nozzle N after cleaning is not mounted are satisfied. From among them, one pallet NP is selected from the viewpoint that some operations by the management machine 80 can be performed as efficiently as possible. In the following S7, the pallet moving device 134 and the first pallet transfer device 114 are operated, the selected pallet NP is fixed at the above-mentioned transfer position, and the mounting hole is opened. That is, the palette NP is set.

パレットNPのセット後、ノズルNのトレイNTからパレットNPへの載置に先立って、不良ノズルに対する処置が実行される。詳しくは、S8において、収容ノズル情報に基づいて、セットされたパレットNPに不良ノズルが存在するか否かが確認され、不良ノズルが存在する場合には、S9において、収容ノズル情報に基づいて、1つの不良ノズルに対しての上述の不良要因が特定され、S10において、移載装置104によって、その不良ノズルが不良ボックス224に運搬される。先に説明したように、不良ボックス224は、4つの不良要因に対応して、仕切られた4つの空間226が設けられており、不良ノズルの運搬の際、その不良ノズルは、特定された不良要因に対応する1つの空間226に留置される。そして、運搬が完了したときに、その不良ノズルについての情報が、収容ノズル情報から削除される。なお、1つの不良ノズルに対して2以上の不良要因が存在する場合も考えられるが、その場合には、その不良ノズルは、図19に示すテーブルにおいて最も左方の列の不良要因に対応する空間226に留置される。S8〜S10の処理は、セットされたパレットNPに不良ノズルが存在しなくまで繰り返し実行され、不良ノズルが存在しなくなった場合、若しくは、セットされた当初から不良ノズルが存在しない場合に、次のS11が実行される。 After the pallet NP is set, the defective nozzle is treated before being placed on the pallet NP from the tray NT of the nozzle N. Specifically, in S8, it is confirmed whether or not there is a defective nozzle in the set pallet NP based on the accommodation nozzle information, and if there is a defective nozzle, in S9, based on the accommodation nozzle information, it is confirmed. The above-mentioned defect factor for one defective nozzle is identified, and in S10, the defective nozzle is transported to the defective box 224 by the transfer device 104. As described above, the defective box 224 is provided with four partitioned spaces 226 corresponding to the four defective factors, and when the defective nozzle is transported, the defective nozzle is identified as defective. It is detained in one space 226 corresponding to the factor. Then, when the transportation is completed, the information about the defective nozzle is deleted from the accommodation nozzle information. It is conceivable that there are two or more defective factors for one defective nozzle, but in that case, the defective nozzle corresponds to the defective factor in the leftmost column in the table shown in FIG. Detained in space 226. The processes of S8 to S10 are repeatedly executed until there are no defective nozzles in the set pallet NP, and when there are no defective nozzles or when there are no defective nozzles from the beginning of setting, the following processes are performed. S11 is executed.

S11では、セットされたトレイNTに載置されているノズルNの中から、セットされたパレットNPに移載可能な1つのノズルNが、設定された規則に従って選択され、S12において、移載装置104によって、その選択されたノズルNが、セットされたパレットNPにおいて空となっている載置穴144の1つに移載される。つまり、上述の収容移載が行われるのである。いずれの載置穴144に載置されるかは、上述の収容ノズル情報,載置されるノズルNのサイズ等に基づいて、設定された規則に従って決定される。この1つのノズルNについての収容移載の際、S4において取得されているそのノズルNについてのID、および、S5において特定されているそのノズルについての型式が、収容ノズル情報として記憶される。つまり、収容ノズル情報の更新が行われるのである。具体的には、図19に示すテーブルの行のうちの1つ、つまり、ノズルNが載置された載置穴144に対応する行に、上記ID,上記型式が、そのノズルNが未洗浄である旨とともに、書き込まれる。 In S11, one nozzle N that can be transferred to the set pallet NP is selected from the nozzles N placed on the set tray NT according to the set rule, and in S12, the transfer device. By 104, the selected nozzle N is transferred to one of the empty mounting holes 144 in the set pallet NP. That is, the above-mentioned containment transfer is performed. Which mounting hole 144 is mounted is determined according to a set rule based on the above-mentioned accommodation nozzle information, the size of the nozzle N to be mounted, and the like. At the time of accommodating and transferring the one nozzle N, the ID for the nozzle N acquired in S4 and the model for the nozzle specified in S5 are stored as the accommodating nozzle information. That is, the accommodation nozzle information is updated. Specifically, one of the rows of the table shown in FIG. 19, that is, the row corresponding to the mounting hole 144 in which the nozzle N is mounted, has the above ID and the above model, and the nozzle N has not been washed. It is written with the fact that it is.

1つのノズルNについての収容移載の後、S13において、セットされたトレイNTに載置されていたすべてのノズルNの収容移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルNの収容移載が完了していない場合は、S14において、セットされているパレットNPへのノズルNの移載を継続するか否かが判断される。ノズルNのそのパレットNPへの移載の継続が可能である場合には、S11に戻って、次のノズルNのそのパレットNPへの移載が行われる。例えば空の載置穴144が存在しない等の理由で、S14においてそのパレットNPへの移載の継続ができないと判断された場合には、S15において、そのパレットNPが、第1移送装置114によって、収容装置100に返送され、S6に戻
って次のパレットNPが選択される。そのパレットNPのセット,そのパレットNPに載置されている不良ノズルに対する処置が実行された後、そのパレットNPへのノズルNの収容移載が開始される。S13において、セットされたトレイNTに載置されていたすべてのノズルNの収容移載が完了したと判断された場合には、S16において、セットされているパレットNPが、第1移送装置114によって、収容装置100に返送される。
After the accommodation and transfer of one nozzle N, it is determined in S13 whether or not the accommodation and transfer of all the nozzles N placed on the set tray NT have been completed. When the accommodation and transfer of all the nozzles N are not completed, it is determined in S14 whether or not to continue the transfer of the nozzles N to the set pallet NP. If it is possible to continue the transfer of the nozzle N to the pallet NP, the process returns to S11 and the transfer of the next nozzle N to the pallet NP is performed. For example, if it is determined in S14 that the transfer to the pallet NP cannot be continued because the empty mounting hole 144 does not exist, the pallet NP is transferred to the pallet NP by the first transfer device 114 in S15. , Returned to the accommodating device 100, returned to S6, and the next pallet NP is selected. After the set of the pallet NP and the treatment for the defective nozzle mounted on the pallet NP are executed, the accommodation and transfer of the nozzle N to the pallet NP is started. When it is determined in S13 that the accommodation and transfer of all the nozzles N placed on the set tray NT have been completed, the pallet NP set in S16 is transferred by the first transfer device 114. , Returned to the containment device 100.

すべてのノズルNの収容移載が完了し、パレットNPが返送された後、S17において、空になったトレイNTを、トレイ収容装置102に収容するか否かが判断される。この判断は、先に説明したように、トレイNTが、固定ステージ202と可動ステージ204とのいずれにセットされているかに基づいて行われる。トレイNTが収容装置102に収容されると判断された場合には、S18において、セットされている空のトレイNTが、トレイ移送装置122によって、収容装置102に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、S17において空のトレイNTが収容装置102に収容されないと判断された場合には、そのトレイNTのセットの解除が行われて、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルNTの収容移載に先立って、トレイNTに付されている2Dコード76が、移載装置104に設けられたカメラ22によって撮像され、そのトレイNTのIDが取得されており、トレイNTの収容装置102への収容の際には、そのトレイNTのID、および、そのIDに基づいて特定されたそのトレイNTの型式が、収容されるキャリア192に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。 After the storage and transfer of all the nozzles N are completed and the pallet NP is returned, it is determined in S17 whether or not to store the empty tray NT in the tray storage device 102. This determination is made based on whether the tray NT is set on the fixed stage 202 or the movable stage 204, as described above. When it is determined that the tray NT is accommodated in the accommodating device 102, the empty tray NT set in S18 is accommodated in the accommodating device 102 by the tray transfer device 122, and the nozzle accommodating operation is completed. do. On the other hand, when it is determined in S17 that the empty tray NT is not accommodated in the accommodating device 102, the set of the tray NT is released and the nozzle accommodating operation is completed. Prior to the storage and transfer of the nozzle NT, the 2D code 76 attached to the tray NT is imaged by the camera 22 provided in the transfer device 104, and the ID of the tray NT is acquired. When accommodating the NT in the accommodating device 102, the ID of the tray NT and the model of the tray NT specified based on the ID are related to the accommodating carrier 192 and the above-mentioned accommodating tray. Added to the information.

iii)ノズルセッティングオペレーション
ノズルセッティングオペレーションは、装着機におけるノズルNの使用の準備等を目的として、必要なノズルNをトレイNTにセッティングするためのオペレーションであり、そのオペレーションは、図23にフローチャートを示すノズルセッティングプログラムをコントローラ84が実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルNをセッティングするためのステージを固定ステージ202と可動ステージ204のいずれにするか、収容装置102に収容されているトレイNTと当該管理機80のオペレータがセットしたトレイNTとのいずれを使用するか、セッティングが完了したトレイNTを収容装置102に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによるコントローラ84の操作キー88を用いた操作に基づいて行われる。
iii) Nozzle setting operation The nozzle setting operation is an operation for setting the necessary nozzle N on the tray NT for the purpose of preparing for the use of the nozzle N in the mounting machine, and the operation is shown in FIG. 23. This is done by the controller 84 executing the nozzle setting program. In the nozzle setting operation, the stage for setting the nozzle N is either the fixed stage 202 or the movable stage 204, or the tray NT housed in the accommodating device 102 and the tray set by the operator of the management machine 80. It is possible to select which of the NTs to use and whether or not to accommodate the tray NT for which the setting has been completed in the accommodating device 102, and those selections are made by pressing the operation key 88 of the controller 84 by the operator. It is done based on the operation used.

ノズルセッティングプログラムに従った処理では、まず、S21において、当該管理機80に送信若しくは入力されたノズルセッティング情報、または、既に記憶されているノズルセッティング情報に基づいて、セッティングに供されるトレイNTの型式および各ノズルNの型式が特定される。このノズルセッティング情報は、図21に示すテーブルにおいて、〔トレイID〕および〔ノズルID〕が書き込まれていない情報と考えることができる。 In the process according to the nozzle setting program, first, in S21, the tray NT provided for setting based on the nozzle setting information transmitted or input to the management machine 80 or the nozzle setting information already stored. The model and the model of each nozzle N are specified. This nozzle setting information can be considered as information in which the [tray ID] and the [nozzle ID] are not written in the table shown in FIG.

次に、S22において、セッティングを行うステージが固定ステージ202と可動ステージ204のいずれであるかが特定され、S23においてその特定されたステージが可動ステージ204であると判断された場合には、S24において、収容装置102に収容されているトレイNTを使用するのか否かが判断される。収容装置102に収容されているトレイNTを使用すると判断された場合には、S25において、上記ノズルセッティング情報および上述の収容トレイ情報に基づいて、1つのトレイNTが選択され、S26において、その選択されたトレイNTが、トレイ移送装置122によって、載置位置に移送され、その移載位置においてセットされる。一方、S23においてオペレータがセットしたトレイNTを使用すると判断された場合、若しくは、S22において可動ステージ202でセッティングが行われると判断された場合には、既に、オペレータによってトレイNTがセットされているので、トレイNTの選択およびセットは行われない。 Next, in S22, it is specified whether the stage to be set is the fixed stage 202 or the movable stage 204, and when it is determined in S23 that the specified stage is the movable stage 204, in S24. , It is determined whether or not to use the tray NT housed in the storage device 102. When it is determined to use the tray NT housed in the storage device 102, one tray NT is selected in S25 based on the nozzle setting information and the storage tray information described above, and in S26, the selection is made. The tray NT is transferred to the mounting position by the tray transfer device 122, and is set at the transfer position. On the other hand, if it is determined in S23 that the tray NT set by the operator will be used, or if it is determined in S22 that the setting will be performed on the movable stage 202, the tray NT has already been set by the operator. , Tray NT is not selected and set.

次に、S27において、セットされたトレイNTが良好であるか否かが判断される。移載装置104に設けられたカメラ220によって、セットされたトレイNTに付されている2Dコード76が撮像されて、そのトレイNTのIDが取得されるが、その際、そのIDの取得が不可能である場合に、そのトレイNTに不具合があると判断される。また、セットされたトレイNTは、載置穴開状態を実現すべく上述のカバー摺動機構が駆動されるが、そのその際のカバー摺動機構の動作が円滑でないような場合に、そのトレイNTに不具合があると判断される。 Next, in S27, it is determined whether or not the set tray NT is good. The camera 220 provided in the transfer device 104 captures the 2D code 76 attached to the set tray NT and acquires the ID of the tray NT, but at that time, the acquisition of the ID is not possible. If possible, it is determined that the tray NT is defective. Further, the set tray NT is driven by the cover sliding mechanism described above in order to realize a mounting hole open state, but when the operation of the cover sliding mechanism at that time is not smooth, the tray is used. It is judged that there is a problem with NT.

当該ノズルセッティングプログラムに従う処理では、セットされたトレイNTに不具合が生じている場合にそのトレイNTを良好なトレイNTに交換する処理が行われる。このトレイ交換処理では、まず、セットされたトレイNTに不具合があるとS27において判断された場合には、S28において、そのトレイNTが固定ステージ202と可動ステージ24とのいずれにセットされているかが判断される。固定ステージ202にセットされていると判断された場合には、そのトレイNTの使用を禁止すべく、そのトレイNTを固定ステージ202に残したまま、S29において、ステージの変更処理が行われる。つまり、ノズルNのセッティングに使用するステージを固定ステージ202から可動ステージ204に変更する処理が行われる。一方、可動ステージ204にセットされていると判断された場合には、S30において、そのトレイNTが、移送装置122によって返送され、収容装置102に収容される。この際、そのトレイNTのIDおよび型式が、そのトレイNTが不良トレイである事実ともに、そのトレイNTが収容されるキャリア192に関係付けられて、上述の収容トレイ情報に追加、若しくは、その収容トレイ情報の更新が行われる。ステージの変更若しくはトレイNTの収容が行われた後、S25に戻って、別のトレイNTが、ノズルセッティング情報および収容トレイ情報に基づいて、選択され、S26において、その選択された別のトレイNTがセットされる。セットされたトレイNTが良好であるとS27において判断された場合には、取得されているそのトレイNTのIDが、ノズルセッティング情報に追加される。 In the process according to the nozzle setting program, when a problem occurs in the set tray NT, the tray NT is replaced with a good tray NT. In this tray replacement process, first, when it is determined in S27 that the set tray NT is defective, in S28, which of the fixed stage 202 and the movable stage 24 the tray NT is set is determined. Judged. If it is determined that the tray NT is set on the fixed stage 202, the stage change process is performed in S29 while the tray NT is left on the fixed stage 202 in order to prohibit the use of the tray NT. That is, the process of changing the stage used for setting the nozzle N from the fixed stage 202 to the movable stage 204 is performed. On the other hand, when it is determined that the tray NT is set on the movable stage 204, the tray NT is returned by the transfer device 122 and accommodated in the accommodating device 102 in S30. At this time, the ID and model of the tray NT are related to the carrier 192 in which the tray NT is accommodated together with the fact that the tray NT is a defective tray, and are added to or accommodated in the above-mentioned storage tray information. The tray information is updated. After the stage is changed or the tray NT is accommodated, returning to S25, another tray NT is selected based on the nozzle setting information and the accommodation tray information, and in S26, the selected another tray NT is selected. Is set. When it is determined in S27 that the set tray NT is good, the acquired ID of the tray NT is added to the nozzle setting information.

良好なトレイNTがステージにセットされている状態において、S31において、セッティング情報および上述の収容ノズル情報に基づいて、セッティング移載に供される1つのパレットNPが、ノズルセッティング情報および収容ノズル情報に基づいて、収容装置100が有する複数のパレットNPの中から1つ選択される。この選択についての詳しいアルゴリズムの説明は省略するが、S31では、セッティング移載されるノズルNが1以上載置されていること、載置されているすべてのノズルNについてのすべての項目の検査が終了していること等の条件を充足したものの中から、ノズルNのセッティングができるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、1つのパレットNPが選択される。そして、続くS32において、その選択されたパレットNPが、第1移送装置114によって移送されて上述の移載位置にセットされる。 In the state where a good tray NT is set on the stage, in S31, one pallet NP provided for setting transfer based on the setting information and the above-mentioned accommodation nozzle information becomes the nozzle setting information and the accommodation nozzle information. Based on this, one is selected from the plurality of pallet NPs included in the accommodating device 100. Although detailed algorithm description for this selection is omitted, in S31, one or more nozzles N to be transferred to the setting are mounted, and all items of all mounted nozzles N are inspected. One pallet NP is selected from the viewpoint of satisfying the conditions such as completion, from the viewpoint that the nozzle N can be set as efficiently as possible. Then, in the subsequent S32, the selected pallet NP is transferred by the first transfer device 114 and set at the above-mentioned transfer position.

パレットNPのセット後、ノズルNのそのパレットNPからトレイNTへの載置に先立って、先に説明したノズル収容オペレーションと同様の不良ノズルに対する処置が、S33〜S35において実行される。この処置についての詳細については、先に説明してあるので、ここでの説明は省略する。S34,S35が実行されて不良ノズルが存在しなくなった場合、若しくは、パレットNPがセットされた当初からそのパレットに不良ノズルが存在しない場合に、次のS36が実行される。 After setting the pallet NP, prior to mounting the nozzle N on the tray NT from the pallet NP, the same treatment for the defective nozzle as the nozzle accommodating operation described above is executed in S33 to S35. Since the details of this procedure have been described above, the description thereof will be omitted here. When S34 and S35 are executed and there are no defective nozzles, or when there are no defective nozzles on the pallet from the beginning when the pallet NP is set, the next S36 is executed.

S36では、セットされたパレットNPに載置されているノズルNの中から、セットされたトレイNTに載置可能な1つのノズルが、収容ノズル情報およびノズルセッティング情報に基づいて選択され、続く、S37において、その選択されたノズルNが、ノズルセッティング情報に基づいて、セットされたトレイNTの特定の載置穴64に移載される。
つまり、上述のセッティング移載が行われるのである。このセッティング移載の際、移載されるノズルNについての情報が、収容ノズル情報から削除されるとともに、そのノズルNのIDが、ノズルセッティング情報に追加される。なお、このセッティング移載において、移載装置104に設けられたカメラ220によって、移載されるノズルNのIDを取得し、その取得したIDと収容ノズル情報として記憶されているIDとに相違がないことを確認する処理を行ってもよく、また、その確認する処理を行わずに、取得されたIDをそのままノズルセッティング情報に追加するようにしてもよい。
In S36, one nozzle that can be placed on the set tray NT is selected from the nozzles N placed on the set pallet NP based on the accommodation nozzle information and the nozzle setting information, and then continues. In S37, the selected nozzle N is transferred to a specific mounting hole 64 of the set tray NT based on the nozzle setting information.
That is, the above-mentioned setting transfer is performed. At the time of this setting transfer, the information about the nozzle N to be transferred is deleted from the accommodation nozzle information, and the ID of the nozzle N is added to the nozzle setting information. In this setting transfer, the camera 220 provided in the transfer device 104 acquires the ID of the nozzle N to be transferred, and there is a difference between the acquired ID and the ID stored as the accommodation nozzle information. A process for confirming that there is no nozzle may be performed, or the acquired ID may be added to the nozzle setting information as it is without performing the process for confirming the absence.

1つのノズルNについてのセッティング移載の後、S38において、予定されているすべてのノズルNのセッティング移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルNのセッティング移載が完了していない場合は、S39において、セットされているパレットNPからのノズルNの移載を継続するか否かが判断される。ノズルNのそのパレットNPからの移載の継続が可能である場合には、S36に戻って、次のノズルNのそのパレットNPから次のトレイNTへの移載が行われる。例えば、移載できるノズルNがそのパレットNPに存在しない等の理由で、S39においてそのパレットNPからの移載の継続ができないと判断された場合には、S40において、そのパレットNPが、第1移送装置114によって、収容装置100に返送され、S31に戻って次のパレットNPが選択される。そのパレットNPのセット,そのパレットNPに載置されている不良ノズルに対する処置が実行された後、そのパレットNPからのノズルNのセッティング移載が開始される。S39において、予定されてたすべてのノズルNのセッティング移載が完了したと判断された場合には、S41において、セットされているパレットNPが、第1移送装置114によって、収容装置100に返送される。 After the setting transfer for one nozzle N, it is determined in S38 whether or not the planned transfer of all the nozzle N settings has been completed. When the setting transfer of all the nozzles N is not completed, it is determined in S39 whether or not to continue the transfer of the nozzles N from the set pallet NP. If the transfer of the nozzle N from the pallet NP can be continued, the process returns to S36 and the next nozzle N is transferred from the pallet NP to the next tray NT. For example, if it is determined in S39 that the transfer from the pallet NP cannot be continued because the nozzle N that can be transferred does not exist in the pallet NP, the pallet NP is the first in S40. It is returned to the accommodating device 100 by the transfer device 114, returns to S31, and the next pallet NP is selected. After the set of the pallet NP and the treatment for the defective nozzle mounted on the pallet NP are executed, the setting transfer of the nozzle N from the pallet NP is started. When it is determined in S39 that the planned transfer of all nozzle N settings has been completed, the pallet NP set in S41 is returned to the accommodating device 100 by the first transfer device 114. NS.

すべてのノズルNのセッティング移載が完了し、パレットNPが返送された後、S42において、ノズルNがセッティングされているトレイNTを、トレイ収容装置102に収容するか否かが判断される。そのトレイNTを収容装置102に収容すると判断された場合には、S43において、セットされていたトレイNTが、トレイ移送装置122によって、収容装置102に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、S42においてそのトレイNTが収容装置102に収容されないと判断された場合には、そのトレイNTのセットの解除が行われて、そのトレイNTを固定ステージ102若しくは可動ステージ204に残したまま、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルNTのセッティング移載に先立って、トレイNTに付されている2Dコード76が、移載装置104に設けられたカメラ22によって撮像され、そのトレイNTのIDが取得されており、トレイNTの収容装置102への収容の際には、そのトレイNTのIDが、そのトレイNTがノズルNのセッティングが済んだトレイNTである事実ともに、収容されるキャリア192に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。一方、可動ステージ204にセッティングの完了したトレイNTを残したまま、当該オペレーションが終了する場合には、収容トレイ情報の中に含まれるそのトレイNTについての情報が削除される。 After the transfer of the settings of all the nozzles N is completed and the pallet NP is returned, it is determined in S42 whether or not the tray NT in which the nozzles N are set is accommodated in the tray accommodating device 102. When it is determined that the tray NT is to be accommodated in the accommodating device 102, the tray NT set in S43 is accommodated in the accommodating device 102 by the tray transfer device 122, and the nozzle accommodating operation is completed. On the other hand, when it is determined in S42 that the tray NT is not accommodated in the accommodating device 102, the set of the tray NT is released, and the tray NT is left on the fixed stage 102 or the movable stage 204. The nozzle containment operation is completed. Prior to the transfer of the setting of the nozzle NT, the 2D code 76 attached to the tray NT is imaged by the camera 22 provided in the transfer device 104, and the ID of the tray NT is acquired. When accommodating the NT in the accommodating device 102, the ID of the tray NT is related to the carrier 192 to be accommodated together with the fact that the tray NT is the tray NT for which the nozzle N has been set, as described above. Added to containment tray information. On the other hand, when the operation is completed while leaving the tray NT for which the setting has been completed on the movable stage 204, the information about the tray NT included in the storage tray information is deleted.

iv)ノズル再セッティングオペレーション
ノズル再セッティングオペレーションは、既にノズルNがセッティングされているトレイNTをステージにセットすることにより、それらのノズルNに代えて、それらのノズルNと型式を同じくする別のノズルNを載置させるオペレーションである。言い換えれば、セッティング済みのトレイNTを基にノズルセッティング情報を作成し、その情報に基づいて、ノズルを交換するオペレーションである。ノズルセッティングオペレーションは、コントローラ84が図24および図25にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムを実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルNをセッティングするためのステージを固定ステージ202と可動ステージ204のいずれにするか、再セッティングが完了したトレイNTを収容装置102に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによ
るコントローラ84の操作キー88を用いた操作に基づいて行われる。
iv) Nozzle resetting operation In the nozzle resetting operation, by setting the tray NT on which the nozzle N has already been set on the stage, instead of those nozzles N, another nozzle having the same model as those nozzles N This is an operation to place N. In other words, it is an operation of creating nozzle setting information based on the set tray NT and exchanging nozzles based on the information. The nozzle setting operation is performed by the controller 84 executing the nozzle resetting program shown in the flowcharts of FIGS. 24 and 25. In the nozzle setting operation, it is selected whether the stage for setting the nozzle N is the fixed stage 202 or the movable stage 204, and whether or not the tray NT for which the resetting has been completed is accommodated in the accommodating device 102. These can be selected based on the operator's operation using the operation keys 88 of the controller 84.

ノズル再セッティングオペレーションでは、簡単に言えば、前半にノズル収容オペレーションが行われる。具体的には、図24にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの前半部分に従った処理によって、セットされたトレイNTに載置されていたノズルNが収容装置100に収容される。当該プログラムのS51〜S66において行われる処理は、前述のノズル収容プログラムのS1〜S16において行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明については省略するが、S53,S55において特定されたトレイNTの型式およびノズルNの型式に基づいて、ノズルセッティング情報が作成される。なお、このノズル再セッティングオペレーションでも、S58〜S60において、不良ノズルに対する処置が実行される。 In the nozzle resetting operation, simply put, the nozzle accommodating operation is performed in the first half. Specifically, the nozzle N placed on the set tray NT is accommodated in the accommodating device 100 by the process according to the first half of the nozzle resetting program shown in FIG. 24. Since the processes performed in S51 to S66 of the program are substantially the same as the processes performed in S1 to S16 of the nozzle accommodating program described above, the description of these processes will be omitted, but they are specified in S53 and S55. Nozzle setting information is created based on the model of the tray NT and the model of the nozzle N. In this nozzle resetting operation as well, measures for defective nozzles are executed in S58 to S60.

トレイNTに載置されていたノズルNTが収容装置100に収容された後、図25にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの後半部分に従った処理によって、収容装置100に収容されている別のノズルNが、原則として、それまでノズルNが載置されていたトレイNTにセッティングされる。当該プログラムのS67から開始されてS85に至るフローにおいて行われる処理は、前述のノズルセッティングプログラムのS27から開始されてS43に至るフローにおいて行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明は省略する。なお、このノズル再セッティングオペレーションでは、S75〜S77においても、不良ノズルに対する処置が実行され、また、当該オペレーションでも、S67〜S72においても、トレイNTを交換するための前述の処理が実行される。 After the nozzle NT mounted on the tray NT is accommodated in the accommodating device 100, another nozzle accommodated in the accommodating device 100 is processed according to the latter half of the nozzle resetting program shown in FIG. 25. As a general rule, N is set in the tray NT on which the nozzle N has been placed. The processing performed in the flow starting from S67 to S85 of the program is substantially the same as the processing performed in the flow starting from S27 to S43 of the nozzle setting program described above. Omit. In this nozzle resetting operation, the treatment for the defective nozzle is executed in S75 to S77, and the above-mentioned process for replacing the tray NT is executed in both the operation and S67 to S72.

v)ノズル洗浄オペレーション
ノズル洗浄オペレーションは、収容装置100内の1つのパレットNPに載置されているノズルNを、そのパレットNPごと洗浄し、乾燥させるオペレーションである。ノズルNの洗浄および乾燥の詳細については先に説明されているため、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。ちなみに、このオペレーションおよび後に説明する第1,第2検査オペレーションの3つのオペレーションは、いずれも、本実施例で説明する他のオペレーションのいずれに対しても独立して実行される。つまり、他のオペレーションが実行中であるか否かに拘わらず、他のオペレーションの対象となっているパレットNP以外のパレットNPに載置されているノズルNに対して、設定された条件を満たす限り、3つのオペレーションのいずれをも実行することができるのである。
v) Nozzle cleaning operation The nozzle cleaning operation is an operation of cleaning and drying the nozzle N mounted on one pallet NP in the accommodating device 100 together with the pallet NP. Since the details of cleaning and drying the nozzle N have been described above, the flow of the operation will be mainly described here. Incidentally, all of the three operations of this operation and the first and second inspection operations described later are executed independently of any of the other operations described in this embodiment. That is, regardless of whether or not another operation is being executed, the set condition is satisfied for the nozzle N placed on the pallet NP other than the pallet NP that is the target of the other operation. As long as you can perform any of the three operations.

ノズル洗浄オペレーションは、図26にフローチャートを示すノズル洗浄プログラムが実行されることによって、行われる。このプログラムに従う処理では、まず、S101において、当該オペレーションの対象となるパレットNPが特定される。具体的には、洗浄されていないノズルNが設定数以上載置されていること等の条件を満たすパレットNPのうちの1つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。続くS102において、そのパレットNPが、第4パレット移送装置118によって、上述の洗浄位置まで移送される。そして、S103において、その位置に位置した状態で、そのパレットNPに載置されたノズルNが、そのパレットNPごと、ノズル洗浄装置110によって洗浄される。 The nozzle cleaning operation is performed by executing the nozzle cleaning program shown in the flowchart in FIG. 26. In the process according to this program, first, in S101, the pallet NP that is the target of the operation is specified. Specifically, one of the pallet NPs satisfying the condition that uncleaned nozzles N are placed in a set number or more is set as the target pallet in consideration of the efficiency of the operation and other operations. It is determined. In the following S102, the pallet NP is transferred to the above-mentioned cleaning position by the fourth pallet transfer device 118. Then, in S103, the nozzle N placed on the pallet NP while being located at that position is cleaned by the nozzle cleaning device 110 together with the pallet NP.

洗浄装置110による洗浄の終了後、S104において、第4パレット移送装置118によるそのパレットNPの返送の速度が決定される。先に説明したように、第4移送装置118によるパレットNPの返送の最中に、そのパレットNPに載置されたノズルNの乾燥が行われる。そのため、S104では、充分に乾燥させるのに必要な時間を確保すべく、環境温度,温風の温度等に基づいて、返送の速度が決定される。その決定の後、S105において、その決定された返送速度でのパレットNPの返送が行われつつ、そのパレットNPに載置されているノズルNが、パレットNPごと、ノズル乾燥装置112によって
乾燥させられる。なお、乾燥の終了した後、洗浄されたノズルNについて、上述の収容ノズル情報が更新される。具体的には、図19に示すテーブルにおいて、そのパレットNPに載置されているノズルNのすべてに関して、洗浄済であることを示す記号である“◎”が付されるとともに、すべての検査が終了していない状態として扱う旨の更新がなされる。
After the cleaning by the cleaning device 110 is completed, the speed of returning the pallet NP by the fourth pallet transfer device 118 is determined in S104. As described above, during the return of the pallet NP by the fourth transfer device 118, the nozzle N placed on the pallet NP is dried. Therefore, in S104, the return speed is determined based on the environmental temperature, the temperature of warm air, and the like in order to secure the time required for sufficient drying. After the determination, in S105, the nozzle N mounted on the pallet NP is dried by the nozzle drying device 112 together with the pallet NP while the pallet NP is returned at the determined return speed. .. After the drying is completed, the above-mentioned accommodation nozzle information is updated for the washed nozzle N. Specifically, in the table shown in FIG. 19, all the nozzles N placed on the pallet NP are marked with "◎", which is a symbol indicating that they have been cleaned, and all the inspections are performed. An update will be made to treat it as an unfinished state.

vi)第1ノズル検査オペレーション
第1ノズル検査オペレーションは、収容装置100内の1つのパレットNPに載置されているノズルNに対して、第1検査装置106による先端部状態検査および後退必要力検査を行うオペレーションであり、図27にフローチャートを示す第1ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお先端部状態検査および後退必要力検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。
vi) 1st Nozzle Inspection Operation In the 1st nozzle inspection operation, the tip state inspection and the backward required force inspection by the 1st inspection apparatus 106 are performed on the nozzle N mounted on one pallet NP in the accommodating apparatus 100. This operation is performed by executing the first nozzle inspection program shown in FIG. 27. Since the details of the tip condition inspection and the retreat required force inspection have been explained earlier, the flow of the operation will be mainly described here.

第1ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、S111において、当該オペレーションの対象となるパレットNPが特定される。具体的には、載置されているノズルNのすべの洗浄が終了していること等の条件を満たすパレットNPのうちの1つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、S112において、そのパレットNPが、第2パレット移送装置116によって、検査位置に移送される。 In the process according to the first nozzle inspection program, first, in S111, the pallet NP that is the target of the operation is specified. Specifically, one of the pallet NPs satisfying the conditions such as the completion of cleaning of all the mounted nozzles N is the target pallet in consideration of the efficiency of the operation and other operations. Is determined as. After the target pallet is determined, in S112, the pallet NP is transferred to the inspection position by the second pallet transfer device 116.

検査位置に移送されたパレットNPに載置されたノズルNの各々に対して、先端部状態検査が、後退必要力検査に優先して行われる。その先端部状態検査は、ノズルN1個1個について順次行われる。まず、S113において、1つのノズルNに対する先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、先に説明したように、ユニット移動装置236によって、カメラ装置232のレンズ239が検査する1のノズルNの真下に位置する位置に移動させられ、そのノズルNの先端部が、カメラ装置232によって撮像され、そして、その撮像によって得られた撮像データを基に、先端部の状態が異常であるか否かが確認される。具体的には、“曲り”,“先端欠け”,“先端潰れ”といった先端部形状異常や、“異物や汚れの付着”がノズルNに生じているか否かが確認される。その確認の結果を基に、S114において判定を行い、先端部の状態が異常であると認識されている場合、S115において、パレットNPに固定されている前述の基準パイプ160についての先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、カメラ装置232によって、基準パイプ160の先端部が撮像され、その撮像によって得られた先端部の撮像データに基いて、基準パイプ160の先端部の状態に異常があるか否かが確認される。その確認の結果、S116において判定を行い、基準パイプ160の先端部の状態が正常である場合に、S117において、そのノズルNが不良ノズルであると判断される。一方、基準パイプ160の先端部の状態が異常である場合には、S118において、第1検査装置106の当該検査に関する機能に異常があると認定され、その旨がディスプレイ86に表示されるとともに、そのノズルNに対する先端部状態の異常に関する判断を行わず、かつ、他のノズルNに対する以後の先端部状態検査がスキップされる。S114において先端部の状態が正常であると確認された場合、若しくは、S117において不良ノズルであると判断された場合には、S119の処理によって、パレットNPに載置されたすべてのノズルNについての先端部状態検査が完了するまで、S113以降の処理が繰り返される。 For each of the nozzles N placed on the pallet NP transferred to the inspection position, the tip condition inspection is performed in preference to the backward required force inspection. The tip state inspection is sequentially performed for each nozzle N. First, in S113, a tip state inspection for one nozzle N is executed. More specifically, as described above, the unit moving device 236 moves the lens 239 of the camera device 232 to a position directly below the nozzle N of 1 to be inspected, and the tip of the nozzle N is the tip of the camera. It is imaged by the device 232, and based on the imaged data obtained by the imaged image, it is confirmed whether or not the state of the tip portion is abnormal. Specifically, it is confirmed whether or not the nozzle N has an abnormality in the shape of the tip such as "bending", "chip chipping", or "crushed tip", or "adhesion of foreign matter or dirt" to the nozzle N. Based on the result of the confirmation, a judgment is made in S114, and when it is recognized that the state of the tip is abnormal, the state of the tip of the above-mentioned reference pipe 160 fixed to the pallet NP is inspected in S115. Is executed. More specifically, the camera device 232 captures an image of the tip of the reference pipe 160, and based on the imaging data of the tip obtained by the imaging, whether or not there is an abnormality in the state of the tip of the reference pipe 160. It is confirmed. As a result of the confirmation, a judgment is made in S116, and when the state of the tip of the reference pipe 160 is normal, it is determined in S117 that the nozzle N is a defective nozzle. On the other hand, when the state of the tip of the reference pipe 160 is abnormal, it is determined in S118 that the function of the first inspection device 106 related to the inspection is abnormal, and that fact is displayed on the display 86 and at the same time. The determination regarding the abnormality of the tip state with respect to the nozzle N is not performed, and the subsequent tip state inspection with respect to the other nozzle N is skipped. When it is confirmed that the state of the tip portion is normal in S114, or when it is determined that the nozzle is defective in S117, all the nozzles N placed on the pallet NP by the processing of S119 The processing after S113 is repeated until the tip state inspection is completed.

上記一連の処理の結果、先端部の状態においてノズルNが正常であると判断された場合には、図19に示す収容ノズル情報におけるそのノズルNの〔先端部状態〕の列に“○”が、先端部の状態に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第1検査装置106の当該検査に関する機能に異常があると認定された場合には、当該パレットPに載置されているすべてのノズルNの〔先端部状態〕の列が
空白とされる。つまり、そのパレットNPに載置されているノズルNは、いずれも先端部状態検査が行われていないものとして扱われるのである。
When it is determined that the nozzle N is normal in the state of the tip as a result of the above series of processing, "○" is displayed in the column of [tip state] of the nozzle N in the accommodation nozzle information shown in FIG. If it is determined that the nozzle is defective with respect to the state of the tip, an "x" is added to the row. When it is determined that the function of the first inspection device 106 related to the inspection is abnormal, the [tip state] column of all the nozzles N mounted on the pallet P is left blank. That is, all the nozzles N placed on the pallet NP are treated as if the tip state condition inspection has not been performed.

先端部状態検査の後、後退必要力検査が、パレットNPに載置されているノズルNの1個1個について、順次、行われる。当該プログラムに従う処理では、各ノズルNの後退必要力検査に先立って、S120において、パレットNPに固定されている上述の基準ノズル158についての後退必要力が測定される。つまり、基準ノズル158の吸着管32を後退させる際に、荷重測定装置234の有するロードセル242が受ける荷重を測定する。次いで、S121において、その測定結果を基に、ロードセル242によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするために、荷重測定装置234の調整(例えば、ユニット移動装置236による荷重測定装置234の上昇距離の設定等)が行われる。 After the tip condition inspection, the backward required force inspection is sequentially performed for each of the nozzles N placed on the pallet NP. In the process according to the program, the retreat required force of the above-mentioned reference nozzle 158 fixed to the pallet NP is measured in S120 prior to the retreat required force inspection of each nozzle N. That is, the load received by the load cell 242 of the load measuring device 234 when the suction pipe 32 of the reference nozzle 158 is retracted is measured. Next, in S121, in order to make the value of the load measured by the load cell 242 equal to the actual value based on the measurement result, the load measuring device 234 is adjusted (for example, the load by the unit moving device 236). The climbing distance of the measuring device 234 is set, etc.).

荷重測定装置234の上記調整の後、まず、S122において、1つのノズルNに対する後退必要力検査が実行される。詳しく説明すれば、測定を行うノズルNの下方にロードセル242を位置させた後、荷重測定装置234を設定距離だけ上昇させ、そのときのロードセル242が受ける荷重を測定する。そして、その荷重が、当該ノズルNについて設定された閾力を超えた場合に、そのノズルNの後退必要力が過大であると認定される。その認定の結果を基に、S123において判定を行い、後退必要力が過大である場合に、S124において、そのノズルNが不良ノズルであると判断される。そして、S125の処理によって、パレットNPに載置されたすべてのノズルNについての後退必要力検査が完了するまで、S122以降の処理が繰り返される。 After the above adjustment of the load measuring device 234, first, in S122, a retreat required force test for one nozzle N is executed. More specifically, after the load cell 242 is positioned below the nozzle N for measurement, the load measuring device 234 is raised by a set distance, and the load received by the load cell 242 at that time is measured. Then, when the load exceeds the threshold force set for the nozzle N, it is determined that the required backward force of the nozzle N is excessive. Based on the result of the certification, a judgment is made in S123, and when the required backward force is excessive, it is determined in S124 that the nozzle N is a defective nozzle. Then, by the process of S125, the processes after S122 are repeated until the retreat required force inspection for all the nozzles N placed on the pallet NP is completed.

上記一連の処理の結果、ノズルNの後退必要力が正常であると判断された場合には、図19に示す収容ノズル情報におけるそのノズルNの〔後退必要力〕の列に“○”が、後退必要力に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットNPに載置されているすべてのノズルNの後退必要力検査が終了した後、S126において、そのパレットNPが、第2移送装置116によって、収容装置100に返送される。 When it is determined that the required retreat force of the nozzle N is normal as a result of the above series of processes, "○" is displayed in the [required retreat force] column of the nozzle N in the accommodation nozzle information shown in FIG. If it is determined that the nozzle is defective in terms of the required retreat force, an "x" is added to the column. After the retreat required force inspection of all the nozzles N mounted on the pallet NP is completed, the pallet NP is returned to the accommodating device 100 by the second transfer device 116 in S126.

vii)第2ノズル検査オペレーション
第2ノズル検査オペレーションは、収容装置100内の1つのパレットNPに載置されているノズルNに対して、第2検査装置108による識別子読取検査および通過流量検査を行うオペレーションであり、図28にフローチャートを示す第2ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお識別子読取検査および通過流量検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。
vii) Second nozzle inspection operation In the second nozzle inspection operation, the nozzle N mounted on one pallet NP in the accommodating apparatus 100 is subjected to an identifier reading inspection and a passing flow rate inspection by the second inspection apparatus 108. It is an operation and is performed by executing the second nozzle inspection program shown in the flowchart in FIG. 28. Since the details of the identifier reading inspection and the passing flow rate inspection have been described above, the flow of the operation will be mainly described here.

第2ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、S131において、当該オペレーションの対象となるパレットNPが特定される。具体的には、載置されているノズルNのすべの洗浄が終了していること等の条件を満たすパレットNPのうちの1つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、S132において、そのパレットNPが、第3パレット移送装置118によって、検査位置に移送される。 In the process according to the second nozzle inspection program, first, in S131, the pallet NP that is the target of the operation is specified. Specifically, one of the pallet NPs satisfying the conditions such as the completion of cleaning of all the mounted nozzles N is the target pallet in consideration of the efficiency of the operation and other operations. Is determined as. After the target pallet is determined, in S132, the pallet NP is transferred to the inspection position by the third pallet transfer device 118.

検査位置に移送されたパレットNPに載置されたノズルNの各々に対して、識別子読取検査が、通過流量検査に優先して行われる。その識別子読取検査は、第2検査装置108が備えるカメラ276によって、ノズルN1個1個について順次行われるが、各ノズルNの検査に先立って、S133において、まず、パレットNPに固定された基準ノズル158のフランジ34に付されている2Dコード38が、カメラ276によって撮像され、そ
の撮像によって得られた画像データに基づいて、第2検査装置100の識別子読取検査に関する機能が充分であることが確認される。そしてその確認の結果を基に、S134において判定を行い、その機能が充分であることを条件に、S135以下において、各ノズルNについての当該識別子読取検査が実行される。ちなみに、S134の判定において識別子読取検査に関する機能が不充分であることが確認された場合には、その旨がディスプレイ86に表示されるとともに、パレットNPに載置されたノズルNの各々に対する識別子読取検査は実行されない。
For each of the nozzles N placed on the pallet NP transferred to the inspection position, the identifier reading inspection is performed in preference to the passing flow rate inspection. The identifier reading inspection is sequentially performed for each nozzle N by the camera 276 provided in the second inspection device 108, but prior to the inspection of each nozzle N, in S133, first, the reference nozzle fixed to the pallet NP is used. The 2D code 38 attached to the flange 34 of the 158 is imaged by the camera 276, and it is confirmed that the function related to the identifier reading inspection of the second inspection device 100 is sufficient based on the image data obtained by the imaging. Will be done. Then, based on the result of the confirmation, a determination is made in S134, and the identifier reading inspection for each nozzle N is executed in S135 or lower, provided that the function is sufficient. By the way, when it is confirmed that the function related to the identifier reading inspection is insufficient in the determination of S134, that fact is displayed on the display 86 and the identifier reading for each of the nozzles N placed on the pallet NP is displayed. No inspection is performed.

S135における1つのノズルNの識別子読取検査は、まず、検査ヘッド270が、ヘッド移動装置272によって、そのノズルNのフランジ34に付された2Dコード38の真上にカメラ276が位置する位置に移動させられ、その状態で、カメラ276によって、その2Dコード38が撮像される。そして、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルNのIDが充分に認識可能であるか否かが確認される。その確認の結果を基に、S136において判定を行い、撮像された2Dコード38からはIDが充分には読取りできない場合、つまり、2Dコード38の読取りが困難である場合には、S137において、そのノズルNが不良ノズルであると判断される。そして、S138の処理によって、パレットNPに載置されたすべてのノズルNについての識別子読取検査が完了するまで、S135以降の処理が繰り返される。 In the identifier reading inspection of one nozzle N in S135, first, the inspection head 270 is moved by the head moving device 272 to a position where the camera 276 is located directly above the 2D code 38 attached to the flange 34 of the nozzle N. In that state, the camera 276 images the 2D code 38. Then, based on the image data obtained by the imaging, it is confirmed whether or not the ID of the nozzle N is sufficiently recognizable. Based on the result of the confirmation, the determination is made in S136, and if the ID cannot be sufficiently read from the imaged 2D code 38, that is, if the 2D code 38 is difficult to read, the determination is made in S137. It is determined that the nozzle N is a defective nozzle. Then, by the process of S138, the processes of S135 and subsequent steps are repeated until the identifier reading inspection for all the nozzles N placed on the pallet NP is completed.

上記一連の処理の結果、2Dコード38の読取が充分にできる場合、つまり、識別子読取に関してノズルNが正常である場合には、図19に示す収容ノズル情報におけるそのノズルNの〔識別子読取〕の列に“○”が、識別子読取に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第2検査装置108の当該検査に関する機能が不充分と認定されて各ノズルNについての識別子読取検査が行われなかった場合には、その事実を収容ノズル情報に反映させるべく、当該パレットPに載置されているすべてのノズルNの〔識別子読取〕の列が空白とされる。なお、ノズルNの収容移載において2Dコード38の読取りできずに、〔ノズルID〕の列に“?”が付され、〔ノズル型式〕の列に“(・・・・)”が付されているノズルNのIDが、識別子読取検査によって充分に認識可能であると判断された場合には、その検査において読み取られたIDが、〔ノズルID〕の列に書き込まれ、そのIDに基づいて特定されるノズル型式が、〔ノズル型式〕の列に書き込まれる。 As a result of the above series of processing, when the 2D code 38 can be sufficiently read, that is, when the nozzle N is normal with respect to the identifier reading, the [identifier reading] of the nozzle N in the accommodation nozzle information shown in FIG. 19 If it is determined that the column is "○" and the nozzle is defective in terms of identifier reading, "x" is added to the column. If it is determined that the function of the second inspection device 108 related to the inspection is insufficient and the identifier reading inspection for each nozzle N is not performed, the fact is placed on the pallet P in order to reflect the fact in the accommodation nozzle information. The [Identifier reading] column of all the nozzles N that are placed is left blank. In addition, in the accommodation transfer of the nozzle N, the 2D code 38 could not be read, and "?" Was added to the [Nozzle ID] column and "(...)" was added to the [Nozzle model] column. When it is determined by the identifier reading inspection that the ID of the nozzle N is sufficiently recognizable, the ID read in the inspection is written in the [Nozzle ID] column, and based on the ID. The identified nozzle model is written in the Nozzle Model column.

識別子読取検査の後、通過流量検査が、パレットNPに載置されているノズルNの1個1個について、順次、行われるのであるが、当該プログラムに従う処理では、各ノズルNの通過流量検査に先立って、S139において、パレットNPに固定されている上述の基準パイプ160に、エア送給装置274によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ280による空気圧の測定が行われる。次いで、S140において、測定された空気圧に基づいて、ノズルNの通過流量検査の際に参照される上記閾圧が設定される。 After the identifier reading inspection, the passing flow rate inspection is sequentially performed for each of the nozzles N placed on the pallet NP, but in the process according to the program, the passing flow rate inspection of each nozzle N is performed. Prior to that, in S139, compressed air is supplied by the air feeding device 274 to the above-mentioned reference pipe 160 fixed to the pallet NP, and in that state, the air pressure is measured by the air pressure sensor 280. Then, in S140, the threshold pressure referred to at the time of the passing flow rate inspection of the nozzle N is set based on the measured air pressure.

閾圧の設定の後、まず、S141において、1つのノズルNに対する通過流量検査が実行される。詳しく説明すれば、検査を行うノズルNにエア送給装置274によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ280による空気圧の測定が行われる。そして、その測定された空気圧が上記設定された閾値より高い場合に、そのノズルNの空気の通過流量が不充分であると認定される。その認定の結果を基に、S142において判定を行い、通過流量が不充分である場合に、S143において、そのノズルNが不良ノズルであると判断される。そして、S144の処理によって、パレットNPに載置されたすべてのノズルNについての通過流量検査が完了するまで、S141以降の処理が繰り返される。 After setting the threshold pressure, first, in S141, a passing flow rate inspection for one nozzle N is executed. More specifically, compressed air is supplied to the nozzle N to be inspected by the air feeding device 274, and in that state, the air pressure is measured by the air pressure sensor 280. Then, when the measured air pressure is higher than the threshold value set above, it is determined that the passing flow rate of the air of the nozzle N is insufficient. Based on the result of the certification, a judgment is made in S142, and when the passing flow rate is insufficient, it is determined in S143 that the nozzle N is a defective nozzle. Then, by the process of S144, the processes after S141 are repeated until the passing flow rate inspection for all the nozzles N placed on the pallet NP is completed.

上記一連の処理の結果、ノズルNの通過流量が正常であると判断された場合には、図19に示す収容ノズル情報におけるそのノズルNの〔通過流量〕の列に“○”が、通過流量に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットNPに載置されているすべてのノズルNの通過流量検査が終了した後、S145において、そのパレットNPが、第3移送装置118によって、収容装置100に返送される。 When it is determined that the passing flow rate of the nozzle N is normal as a result of the above series of processing, "○" in the [passing flow rate] column of the nozzle N in the accommodation nozzle information shown in FIG. 19 indicates the passing flow rate. If it is determined that the nozzle is defective, an "x" is added to the column. After the passing flow rate inspection of all the nozzles N mounted on the pallet NP is completed, the pallet NP is returned to the accommodating device 100 by the third transfer device 118 in S145.

[K]制御装置の機能構成
先に述べたように、実施例の管理機80の制御は、制御装置であるコントローラ84が司っている。詳しく言えば、図29に示すように、ノズル収容装置100〜トレイ移送装置122の各々の動作は、それらとの間で信号,情報をやり取りしつつ、コントローラ84によって制御される。そして、コントローラ84の制御の下、管理機80は、上述した各種のオペレーションを行う。そのオペレーションに鑑みれば、コントローラ84は、図29に示すような複数の機能部、つまり、各種のプログラムの実行によって実現される複数の機能部を有していると考えることができる。
[K] Functional configuration of the control device As described above, the control of the management machine 80 of the embodiment is controlled by the controller 84, which is a control device. More specifically, as shown in FIG. 29, each operation of the nozzle accommodating device 100 to the tray transfer device 122 is controlled by the controller 84 while exchanging signals and information with them. Then, under the control of the controller 84, the management machine 80 performs the various operations described above. In view of the operation, it can be considered that the controller 84 has a plurality of functional units as shown in FIG. 29, that is, a plurality of functional units realized by executing various programs.

複数の機能部の各々について詳しく説明すれば、コントローラ84は、それぞれがノズルNに関係する管理情報である上述の収容ノズル情報,ノズルセッティング情報,収容トレイ情報を記憶する機能部として、ノズル情報記憶部400を有している。具体的には、コントローラ84の主要構成要素であるコンピュータが有するハードディスク等の記憶媒体が、そのノズル情報記憶部400の役割を担っている。そして、管理機80は、その記憶されている管理情報に基づいて、上述のオペレーションを行う。 Explaining each of the plurality of functional units in detail, the controller 84 stores nozzle information as a functional unit that stores the above-mentioned accommodation nozzle information, nozzle setting information, and accommodation tray information, each of which is management information related to the nozzle N. It has a part 400. Specifically, a storage medium such as a hard disk of a computer, which is a main component of the controller 84, plays the role of the nozzle information storage unit 400. Then, the management machine 80 performs the above-mentioned operation based on the stored management information.

また、コントローラ84は、上述の各オペレーションを制御する機能部として6つの機能部を有している。具体的には、ノズル収容オペレーションの制御を行うノズル収容制御部402,ノズルセッティングオペレーションの制御を行うノズルセッティング制御部404,ノズル再セッティングオペレーションの制御を行うノズル再セッティング制御部406,ノズル洗浄オペレーションの制御を行うノズル洗浄制御部408,第1ノズル検査オペレーションの制御を行う第1ノズル検査制御部410,第2ノズル検査オペレーションの制御を行う第2ノズル検査制御部412を、それぞれ有している。そして、それら制御部402〜412は、それぞれ、上述のノズル収容プログラム,ノズルセッティングプログラム,ノズル再セッティングプログラム,ノズル洗浄プログラム,第1ノズル検査プログラム,第2ノズル検査プログラムの実行によって実現される機能部である。 Further, the controller 84 has six functional units as functional units for controlling each of the above-mentioned operations. Specifically, the nozzle accommodating control unit 402 that controls the nozzle accommodating operation, the nozzle setting control unit 404 that controls the nozzle setting operation, the nozzle resetting control unit 406 that controls the nozzle resetting operation, and the nozzle cleaning operation. It has a nozzle cleaning control unit 408 that controls, a first nozzle inspection control unit 410 that controls the first nozzle inspection operation, and a second nozzle inspection control unit 412 that controls the second nozzle inspection operation. The control units 402 to 412 are functional units realized by executing the above-mentioned nozzle accommodating program, nozzle setting program, nozzle resetting program, nozzle cleaning program, first nozzle inspection program, and second nozzle inspection program, respectively. Is.

さらに、ノズル収容制御部402,ノズルセッティング制御部404,ノズル再セッティング制御部406に関して、詳しく説明すれば、それら制御部404,406,408の各々は、パレットNPに載置されている不良ノズルの処置、つまり、不良ノズルを、それが不良と判断された検査項目に応じて、不良ボックス224において仕切られた対応する空間226に留置するために、その不良ノズルを運搬する処置を制御する機能部として、不良ノズル運搬制御部414を有している。この不良ノズル運搬制御部414は、S8〜S10,S33〜S35,S58〜S60,S75〜S77のいずれかの実行によって実現される機能部である。また、ノズルセッティング制御部404,ノズル再セッティング制御部406の各々は、トレイNTに不具合が生じていると判断された場合に、トレイ移送装置122を制御することによって、そのトレイNTを、トレイ収容装置102に収容されているトレイNTと交換させる機能部として、トレイ交換制御部416を有している。このトレイ交換制御部416は、S27〜S30およびそれに続くS25〜S26,,S67〜S72のいずれかの実行によって実現される機能部である。 Further, the nozzle accommodation control unit 402, the nozzle setting control unit 404, and the nozzle resetting control unit 406 will be described in detail. Each of the control units 404, 406, and 408 is a defective nozzle mounted on the pallet NP. A functional unit that controls the procedure, that is, the procedure for transporting the defective nozzle in order to place the defective nozzle in the corresponding space 226 partitioned by the defective box 224 according to the inspection item for which it is determined to be defective. As a result, it has a defective nozzle transport control unit 414. The defective nozzle transport control unit 414 is a functional unit realized by executing any one of S8 to S10, S33 to S35, S58 to S60, and S75 to S77. Further, each of the nozzle setting control unit 404 and the nozzle resetting control unit 406 controls the tray transfer device 122 to accommodate the tray NT when it is determined that the tray NT has a problem. A tray exchange control unit 416 is provided as a functional unit for exchanging with the tray NT housed in the device 102. The tray exchange control unit 416 is a functional unit realized by executing any one of S27 to S30 and subsequently S25 to S26, and S67 to S72.

さらに、第1ノズル検査制御部410,第2ノズル検査制御部412に関して、詳しく説明すれば、それら制御部410,412は、ノズル検査装置106,108によるノズ
ルNの検査結果が不良となり、かつ、基準対象である基準ノズル158若しくは基準パイプ160の検査結果が良好であることを条件として、そのノズルNを不良ノズルと判断する機能部として、基準対象参照不良ノズル判断部418を有している。この基準対象参照不良ノズル判断部418は、S114〜S117,S134〜S138のいずれかの実行によって実現される機能部である。また、それら制御部410,412の各々は、ノズルNの検査に先立って、基準対象である基準ノズル158若しくは基準パイプ160を利用して、ノズル検査装置106,108による検査の基準の設定、若しくは、ノズル検査装置106,108の校正を、準備処理として行う機能部として、基準対象依拠検査準備処理部420を有している。この基準対象依拠検査準備処理部420は、S120およびS121,S139およびS140のいずれかの実行によって実現される機能部である。
Further, the first nozzle inspection control unit 410 and the second nozzle inspection control unit 412 will be described in detail. In these control units 410 and 412, the inspection result of the nozzle N by the nozzle inspection devices 106 and 108 is defective, and On condition that the inspection result of the reference nozzle 158 or the reference pipe 160, which is the reference target, is good, the reference target reference defective nozzle determination unit 418 is provided as a functional unit for determining the nozzle N as a defective nozzle. The reference target reference defective nozzle determination unit 418 is a functional unit realized by executing any one of S114 to S117 and S134 to S138. Further, each of the control units 410 and 412 uses the reference nozzle 158 or the reference pipe 160, which is the reference target, to set the inspection standard by the nozzle inspection devices 106 and 108, or set the inspection standard, prior to the inspection of the nozzle N. As a functional unit that calibrates the nozzle inspection devices 106 and 108 as a preparatory process, it has a reference object-based inspection preparatory process unit 420. The reference target reliance inspection preparation processing unit 420 is a functional unit realized by executing any one of S120 and S121, S139, and S140.

10:電気部品装着機 18:装着ヘッド N:吸着ノズル 30:胴体筒〔後端部〕 32:吸着管〔先端部〕 34:フランジ 36:掛止ピン 38:2Dコード〔識別子〕 50:ノズルステーション NT:ノズルトレイ 60:ベースプレート 62:カバープレート 64:載置穴〔載置部〕 66:段差面
76:2Dコード〔識別子〕 80:ノズル管理機 84:コントローラ〔制御装置〕 100:ノズル収容装置 102:トレイ収容装置 104:ノズル移載装置〔対ノズル処置実行装置〕〔不良ノズル運搬装置〕 106:第1ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕 108:第2ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕 110:ノズル洗浄装置〔対ノズル処置実行装置〕 112:ノズル乾燥装置 114:第1パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 116:第2パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 118:第3パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 120:第4パレット移送装置〔ノズル移送装置〕 122:トレイ移送装置 134:パレット移動装置〔パレット循環装置〕 NP:ノズルパレット 140:ベースプレート 142:カバープレート 144:載置穴〔載置部〕 146:段差面 156:2Dコード〔識別子〕 158:基準ノズル〔基準対象〕 160:基準パイプ〔基準対象〕〔模擬物〕 190:トレイ移動装置〔トレイ循環装置〕 202:固定ステージ 204:可動ステージ 210:移載ヘッド 212:ヘッド移動装置〔保持具移動装置〕 218:保持チャック〔ノズル保持具〕 220:カメラ〔識別子読取器〕 224:不良ボックス〔不良ノズル留置器〕 226:空間〔留置部〕
232:カメラ装置 234:荷重測定装置 235:検査ユニット 236:ユニット移動装置 270:検査ヘッド 272:ヘッド移動装置 274:エア送給装置 276:カメラ 302:上部洗浄ユニット 304:下部洗浄ユニット 310:Y方向移動機構 312:噴射孔 314:送風管 330:レール 332:移動機構 334:ガイド 336:搬送ユニット 338:ガイド 340:搬送ユニット 400:ノズル情報記憶部 402:ノズル収容制御部 404:ノズルセッティング制御部 406:ノズル再セッティング制御部
408:ノズル洗浄制御部 410:第1ノズル検査制御部 412:第2ノズル検査制御部 414:不良ノズル運搬制御部 416:トレイ交換制御部 418:基準対象参照不良ノズル判断部 420:基準対象依拠準備処理部
10: Electrical component mounting machine 18: Mounting head N: Suction nozzle 30: Body cylinder [rear end] 32: Suction pipe [tip] 34: Flange 36: Hook pin 38: 2D code [identifier] 50: Nozzle station NT: Nozzle tray 60: Base plate 62: Cover plate 64: Mounting hole [Mounting part] 66: Step surface
76: 2D code [identification] 80: Nozzle management machine 84: Controller [Control device] 100: Nozzle storage device 102: Tray storage device 104: Nozzle transfer device [Nozzle treatment execution device] [Defective nozzle carrier] 106: 1st nozzle inspection device [anti-nozzle treatment execution device] 108: 2nd nozzle inspection device [anti-nozzle treatment execution device] 110: Nozzle cleaning device [anti-nozzle treatment execution device] 112: Nozzle drying device 114: 1st pallet transfer device [Nozzle transfer device] 116: 2nd pallet transfer device [Nozzle transfer device] 118: 3rd pallet transfer device [Nozzle transfer device] 120: 4th pallet transfer device [Nozzle transfer device] 122: Tray transfer device 134: Pallet transfer Equipment [Pallet circulation device] NP: Nozzle pallet 140: Base plate 142: Cover plate 144: Mounting hole [Mounting part] 146: Step surface 156: 2D code [Identifier] 158: Reference nozzle [Reference target] 160: Reference pipe [Reference target] [Imitation] 190: Tray moving device [Tray circulation device] 202: Fixed stage 204: Movable stage 210: Transfer head 212: Head moving device [Holder moving device] 218: Holding chuck [Nozzle holder] 220: Camera [identifier reader] 224: defective box [defective nozzle indweller] 226: space [indwelling part]
232: Camera device 234: Load measuring device 235: Inspection unit 236: Unit moving device 270: Inspection head 272: Head moving device 274: Air feeding device 276: Camera 302: Upper cleaning unit 304: Lower cleaning unit 310: Y direction Moving mechanism 312: Injection hole 314: Blower pipe 330: Rail 332: Moving mechanism 334: Guide 336: Conveying unit 338: Guide 340: Conveying unit 400: Nozzle information storage unit 402: Nozzle accommodation control unit 404: Nozzle setting control unit 406 : Nozzle resetting control unit
408: Nozzle cleaning control unit 410: 1st nozzle inspection control unit 412: 2nd nozzle inspection control unit 414: Defective nozzle transport control unit 416: Tray replacement control unit 418: Reference target reference Defective nozzle judgment unit 420: Reference target reliance preparation Processing unit

上記課題を解決するために、本発明のノズル管理機は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能なパレットと、吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置と、前記パレットを、前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置と、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置と、を備えるように構成される。
In order to solve the above problems, the nozzle management machine of the present invention is a nozzle management machine for managing suction nozzles used for holding electric parts in an electric parts mounting machine, and each of them has a plurality of suctions. A pallet on which nozzles can be placed, a nozzle cleaning device that cleans suction nozzles, a pallet transfer device that transfers a plurality of suction nozzles by transferring the pallet to the nozzle cleaning device, and the nozzle cleaning device. It is configured to include a nozzle drying device for drying the suction nozzles cleaned by the above.

本発明によれば、パレットとノズル洗浄装置とパレット移送装置とノズル乾燥装置を備えたノズル管理機が実現されるため、そのノズル管理機は、実用性の高いものとなる。 According to the present invention, a nozzle management machine including a pallet, a nozzle cleaning device, a pallet transfer device, and a nozzle drying device is realized, so that the nozzle management machine becomes highly practical.

Claims (4)

電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置と、
そのノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して検査を行うノズル検査装置と、
そのノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器と
を備え、
前記ノズル検査装置が、(a) 吸着ノズルの先端部の状態に関する検査である先端部状態検査の後に、(b) 吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する検査である後退必要力検査を行うように構成され、
前記不良ノズル留置器が、
一の検査項目について不良と判断された複数の不良ノズルを留置するための留置部を、検査項目に対応して複数有する請求項1に記載のノズル管理機。
A nozzle management machine for managing suction nozzles used to hold electric components in an electric component mounting machine.
A nozzle accommodating device that can accommodate multiple suction nozzles,
A nozzle inspection device that inspects the suction nozzles that are or will be housed in the nozzle storage device,
It is equipped with a defective nozzle indwelling device that indwells a defective nozzle, which is a suction nozzle judged to be defective based on the inspection result by the nozzle inspection device.
When the nozzle inspection device is (a) after the tip condition inspection, which is an inspection relating to the condition of the tip of the suction nozzle, (b) the tip of the suction nozzle can be retracted against the urging force. It is configured to perform a retreat required force inspection, which is an inspection related to the force required for retreating the tip of the suction nozzle.
The defective nozzle indweller
The nozzle management machine according to claim 1, further comprising a plurality of indwelling portions for indwelling a plurality of defective nozzles determined to be defective for one inspection item, corresponding to the inspection item.
当該ノズル管理機が、さらに、ノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して洗浄を行うノズル洗浄装置を備えた請求項1に記載のノズル管理機。 The nozzle management machine according to claim 1, wherein the nozzle management machine further includes a nozzle cleaning device that cleans the suction nozzles that are or will be housed in the nozzle storage device. 前記ノズル洗浄装置が、高圧の水を吸着ノズルに向かって噴射して洗浄を行うように構成された請求項2に記載のノズル管理機。 The nozzle management machine according to claim 2, wherein the nozzle cleaning device is configured to inject high-pressure water toward a suction nozzle to perform cleaning. 電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置と、
そのノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して検査を行うノズル検査装置と
を備え、
そのノズル検査装置が、(a) 吸着ノズルの先端部の状態に関する先端部状態検査を先端部状態検査位置で真下から行う先端部状態検査装置と、(b) 吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する後退必要力検査を後退必要力検査位置で真下から行う後退必要力検査装置と、(c)
吸着ノズルを、前記先端部状態検査位置と前記後退必要力検査位置とへ移動可能な移動装置と、を備え、
前記先端部状態検査と前記後退必要力検査との両方を行うように構成されたノズル管理機。
A nozzle management machine for managing suction nozzles used to hold electric components in an electric component mounting machine.
A nozzle accommodating device that can accommodate multiple suction nozzles,
It is equipped with a nozzle inspection device that inspects the suction nozzles that are or will be accommodated in the nozzle accommodating device.
The nozzle inspection device is (a) a tip condition inspection device that inspects the tip condition of the tip of the suction nozzle from directly below at the tip condition inspection position, and (b) the tip of the suction nozzle is an urging force. (C)
The suction nozzle is provided with a moving device capable of moving the suction nozzle to the tip state inspection position and the backward required force inspection position.
A nozzle management machine configured to perform both the tip condition inspection and the backward required force inspection.
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