JP2021117032A - センサモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態では、本開示の一実施形態に係るセンサモジュール100について、図1乃至図7を参照して説明する。
本実施形態では、物理量を検知するセンサ206において、配線と接続された電極と物理量を検知するセンサ206との接続部について、図8乃至図13を参照して詳細に説明する。なお、本実施形態では、物理量を検知するセンサ206と電極205Bを例に挙げて説明するが、物理量を検知するセンサ206と接続する他の電極(例えば、電極205A)に対しても同様の構成を有している。
Claims (13)
- 第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有する可撓性基板と、
前記可撓性基板を貫通して、前記第1面側と前記第2面側とを電気的に接続し、前記第1面側に設けられた第1電極と、
前記第1面側に設けられた前記第1電極と接続された物理量を検知するセンサと、
前記第1面と前記物理量を検知するセンサとの間に設けられた第1下地層と、を有する、センサモジュール。 - 前記第1面側に設けられた第1電極は、前記物理量を検知するセンサの導電性材料によって覆われる、請求項1に記載のセンサモジュール。
- 前記物理量を検知するセンサの前記第1電極の端部における導電性材料の膜厚は、前記第1電極の上面における前記導電性材料の膜厚よりも厚い、請求項2に記載のセンサモジュール。
- 前記第1電極を覆う金属層をさらに有し、
前記第1電極は、前記金属層を介して前記物理量を検知するセンサと電気的に接続される、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のセンサモジュール。 - 前記第1電極の表面は凹凸形状を有する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
- 前記第1電極の側面は、傾斜角度が異なる複数のテーパ形状を有する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
- 前記第1面と前記第1電極との間に、第2下地層が設けられる、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
- 前記第1下地層および前記第2下地層の表面は、凹凸形状を有する、請求項7に記載のセンサモジュール。
- 前記凹凸形状の表面粗さRzは、0.4μm以上9.0μm以下である、請求項8に記載のセンサモジュール。
- 前記第1下地層および前記第2下地層の線膨張係数は、前記可撓性基板の線膨張係数よりも高い、請求項7乃至9のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
- 前記第1下地層および前記第2下地層の剛性は、前記可撓性基板の剛性よりも低い、請求項7乃至10のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
- 前記第1面と前記第1電極との間に、前記第1下地層が設けられる、請求項1乃至11のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
- 前記物理量を検知するセンサは、印加された歪に応じて抵抗値が変化する導電性材料が所定のパターンとして形成されている歪センサを含む、請求項1乃至11のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
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