JP2021113936A - 偏光板、光学機器及び偏光板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態にかかる偏光板100の斜視図である。偏光板100は、透明基板10と複数の凸部20と反射防止層30とを備える。複数の凸部20は、透明基板10の第1面10Aから突出する。反射防止層30は、透明基板10の第2面10Bに積層されている。第2面10Bは、透明基板10の第1面10Aと反対側の面である。
透明基板10は、偏光板100の使用帯域の波長の光に対して透明性を有する。「透明性を有する」とは、使用帯域の波長の光を100%透過する必要はなく、偏光板としての機能を保持可能な程度に透過できればよい。透明基板10の平均厚みは、0.3mm以上1mm以下であることが好ましい。
凸部20は、透明基板10からZ方向に突出し、Y方向に延びる。凸部20は、X方向に周期的に配列している。隣接する凸部20のX方向のピッチPは、偏光板100の使用帯域の波長の光より短い。例えばピッチPは、100nm以上200nm以下である。ピッチPがこの範囲内であれば、凸部20の作製が容易になり、凸部20の機械的安定性、及び、光学特性の安定性が高まる。
反射層22は、透明基板10の第1面10A上にある。透明基板10と反射層22との間には、別の層が挿入されていてもよい。反射層22は、透明基板10に対してZ方向に突出し、Y方向に帯状に延びる。反射層22は、TE波(S波)を反射し、TM波(P波)を透過する。反射層22の高さは、例えば、100nm以上300nm以下である。
誘電体層24は、例えば、反射層22上に積層されている。誘電体層24は、必ずしも反射層22と接している必要はなく、誘電体層24と反射層22の間に別の層が存在してもよい。誘電体層24は、Y方向に帯状に延びる。
吸収層26は、例えば、誘電体層24上に積層されている。吸収層26は、Y方向に帯状に延びる。吸収層26の膜厚は、例えば5nm以上50nm以下である。吸収層26の膜厚は、上述の電子顕微鏡法で測定できる。
反射防止層30は、透明基板10の凸部20が形成された第1面10Aと反対側の第2面10Bに積層されている。図3は、第1実施形態にかかる偏光板100の特徴部分の断面図である。図3は、偏光板100の反射防止層30を拡大した断面図である。
偏光板100は、透明基板10、凸部20及び反射防止層30の他に、他の構成要素を有してもよい。例えば、偏光板100は、光の入射面側に保護層を有してもよい。保護層は、偏光板100の耐熱性等の信頼性を高める。また例えば、凸部20の表面に、撥水膜を有してもよい。撥水膜は、例えば、パーフルオロデシルトリエトキシシラン(FDTS)等のフッ素系シラン化合物からなる。撥水膜は、例えば、CVD法、ALD法で成膜できる。撥水膜は、偏光板100の耐湿性等の信頼性を高める。
本実施形態に係る偏光板100の製造方法は、反射防止層30を形成する工程と、凸部の基となる積層体を積層する工程と、積層体を凸部20に加工する工程と、を有する。
第2実施形態にかかる光学機器は、上記の第1実施形態にかかる偏光板100を備える。光学機器は、液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ、デジタルカメラ等が挙げられる。第1実施形態にかかる偏光板100は、信頼性に優れ、種々の用途に利用可能である。また偏光板100は無機材料により構成される。有機偏光板に比べて耐熱性が要求される液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ等に、偏光板100は特に適に用いられる。
10A 第1面
10B 第2面
20 凸部
22 反射層
24 誘電体層
26 吸収層
30 反射防止層
31 低屈折率層
32 高屈折率層
100 偏光板
Claims (5)
- ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、
透明基板と、
前記透明基板の第1面から突出する複数の凸部と、
前記透明基板の前記第1面と反対の第2面に積層された反射防止層と、を備え、
前記複数の凸部は、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで周期的に配列し、
それぞれの凸部は、第1方向に延在し、前記第1面から順に反射層と誘電体層と吸収層とを備え、
前記反射防止層は、交互に積層された高屈折率層と低屈折率層とを有し、
前記反射防止層は、イオンビームアシスト蒸着膜又はイオンビームスパッタリング膜である、偏光板。 - ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、
透明基板と、
前記透明基板の第1面から突出する複数の凸部と、
前記透明基板の前記第1面と反対の第2面に積層された反射防止層と、を備え、
前記複数の凸部は、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで周期的に配列し、
それぞれの凸部は、第1方向に延在し、前記第1面から順に反射層と誘電体層と吸収層とを備え、
前記反射防止層は、交互に積層された高屈折率層と低屈折率層とを有し、
250℃の温度下で1000時間経過後のコントラスト低下率が40%未満である、偏光板。 - ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、
透明基板と、
前記透明基板の第1面から突出する複数の凸部と、
前記透明基板の前記第1面と反対の第2面に積層された反射防止層と、を備え、
前記複数の凸部は、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで周期的に配列し、
それぞれの凸部は、第1方向に延在し、前記第1面から順に反射層と誘電体層と吸収層とを備え、
前記反射防止層は、交互に積層された高屈折率層と低屈折率層とを有し、
前記反射防止層は、JIS R3255に準拠したスクラッチ速度10μm/秒のマイクロスクラッチ試験において、剥離荷重が33mN以上である、偏光板。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の偏光板を備える、光学機器。
- ワイヤグリッド構造を有する偏光板の製造方法であって、
透明基板の一面に高屈折率層と低屈折率層を交互にイオンビームアシスト蒸着法又はイオンビームスパッタリング法で成膜し、反射防止層を積層する工程と、
前記透明基板の前記反射防止層が積層された面と反対側の面に、反射層と誘電体層と吸収層とを順に積層し、積層体を形成する工程と、
前記積層体を加工し、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで周期的に配列する複数の凸部を形成する工程と、を有する、偏光板の製造方法。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000162988A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Ricoh Co Ltd | イメージングデバイス |
JP2005055899A (ja) * | 2003-08-01 | 2005-03-03 | Merck Patent Gmbh | 反射防止特性を有する光学層システム |
JP2008216957A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2008216956A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2008225210A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Hoya Corp | 反射防止膜及びこれを有する光学部品 |
JP2011039218A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Seiko Epson Corp | 光学物品の製造方法 |
JP2015203856A (ja) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | 東海光学株式会社 | 光学製品及び眼鏡レンズ |
JP2015535098A (ja) * | 2012-11-20 | 2015-12-07 | コーニング インコーポレイテッド | モノリシックガラス直線偏光子及びアッテネータ |
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---|---|---|---|---|
JP2000162988A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Ricoh Co Ltd | イメージングデバイス |
JP2005055899A (ja) * | 2003-08-01 | 2005-03-03 | Merck Patent Gmbh | 反射防止特性を有する光学層システム |
JP2008216956A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2008216957A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2008225210A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Hoya Corp | 反射防止膜及びこれを有する光学部品 |
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