JP2021112797A - 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
一態様では、前記複数の圧電素子は、前記研磨ヘッドの径方向および周方向に沿って分布している。
一態様では、前記複数の圧電素子は、格子状、同心円状、千鳥状配置のいずれか1つまたはその組み合わせで前記研磨ヘッド内に配置されている。
一態様では、前記研磨ヘッドは、前記複数の圧電素子にそれぞれ連結された複数の押付部材をさらに備え、前記複数の押付部材は、前記複数の圧電素子にそれぞれ対向する複数の第一の面と、前記ワークピースを押し付けるための複数の第二の面を有している。
一態様では、前記複数の第二の面の形状は、円形、楕円形、多角形、円弧形の少なくとも1つからなる。
一態様では、前記複数の第一の面の面積は前記複数の第二の面の面積よりも大きい。
一態様では、1つの押付部材に少なくとも2つの圧電素子が連結されている。
一態様では、前記保持部材は、前記複数の押付部材の、前記ワークピースの押付方向と垂直な方向の移動範囲を制限するように構成されている。
一態様では、前記複数の押付部材は、全方向に傾動可能な複数の可動部材を有する複数のジンバル機構をそれぞれ備えており、前記複数の可動部材は前記複数の第二の面をそれぞれ有している。
一態様では、前記研磨ヘッドは、ワークピース接触面を有する弾性膜をさらに備えている。
一態様では、前記研磨ヘッドシステムは、前記研磨ヘッド内に圧力室を形成する弾性膜と、前記圧力室に連通する圧縮気体供給ラインをさらに備え、前記圧力室は、前記複数の押付部材と前記弾性膜との間に位置している。
一態様では、前記研磨ヘッドシステムは、前記研磨ヘッド内に圧力室を形成する弾性シートと、前記圧力室に連通する圧縮気体供給ラインをさらに備え、前記圧電素子は、前記弾性シートと前記複数の押付部材との間に位置している。
一態様では、前記複数の押付力測定装置は、前記複数の圧電素子と前記複数の押付部材との間に配置されている。
一態様では、前記複数の押付力測定装置は、複数の圧電センサである。
一態様では、前記研磨ヘッドは、電圧分配器をさらに有しており、前記電圧分配器は、前記駆動電圧印加装置および前記複数の圧電素子に電気的に接続されており、前記駆動電圧印加装置から印加された電圧を該複数の圧電素子に分配するように構成されている。
一態様では、前記電圧分配器は、前記駆動電圧印加装置から印加された電圧を前記複数の圧電素子に分配する分岐装置と、前記分岐装置および前記駆動電圧印加装置に接続された通信装置を有する。
一態様では、前記電圧分配器は、前記複数の圧電素子と接触する複数のプランジャと、前記複数のプランジャと前記分岐装置とを電気的に接続する電力分配線をさらに有する。
一態様では、前記研磨ヘッドは、前記複数の圧電素子の温度を測定する温度測定器をさらに有する。
一態様では、前記研磨ヘッドシステムは、前記研磨ヘッドのワークピース接触面に連通する真空ラインをさらに備えている。
一態様では、前記研磨ヘッドは、前記複数の圧電素子の外側に位置するリテーナリングと、前記リテーナリングに固定された少なくとも3つのワークピースチャック機構をさらに備えている。
一態様では、前記電源部は、直流電源である。
一態様では、前記研磨装置は、前記ワークピースの膜厚を測定する膜厚センサをさらに備えており、前記膜厚センサは前記研磨テーブル内に配置されている。
一態様では、前記動作制御部は、前記膜厚センサにより取得された前記ワークピースの膜厚の測定値から膜厚プロファイルを作成し、該膜厚プロファイルをもとに、前記複数のアクチュエータを駆動させるよう、前記駆動源に指示するように構成されている。
一態様では、前記動作制御部は、前記膜厚プロファイルと目標膜厚プロファイルとの差をもとに、前記複数のアクチュエータの駆動条件を決定し、前記駆動源に指示するように構成されている。
一態様では、前記研磨装置は、前記ワークピースの膜厚を測定する膜厚センサをさらに備えており、前記膜厚センサは前記研磨テーブル内に配置されている。
一態様では、前記動作制御部は、前記膜厚センサにより取得された前記ワークピースの膜厚の測定値から膜厚プロファイルを作成し、該膜厚プロファイルをもとに、前記複数の圧電素子に印加すべき電圧の複数の指令値を決定するように構成されている。
一態様では、前記動作制御部は、前記膜厚プロファイルと目標膜厚プロファイルとの差をもとに、前記複数の圧電素子に印加すべき電圧の複数の指令値を決定するように構成されている。
一態様では、前記研磨装置は、前記ワークピースを前記研磨ヘッドに保持させるためのロード・アンロード装置をさらに備えている。
一態様では、前記研磨装置は、前記ワークピースの周方向における向きを検出する指向検出器をさらに備えている。
まず、図1に示す研磨テーブル5および研磨ヘッド7をそれぞれ回転させながら、研磨液供給ノズル8により、研磨液を研磨パッド2の研磨面2aに供給する。研磨ヘッド7を所定の高さに位置させ、そして動作制御部10は第1開閉弁86および第2開閉弁89を開いて、圧縮気体を第1圧縮気体供給ライン77および第2圧縮気体供給ライン83を通じて第1圧力室74および第2圧力室80にそれぞれ供給する(図16参照)。第1圧力室74内の圧力および第2圧力室80内の圧力は、第1圧力レギュレータ85および第2圧力レギュレータ88によってそれぞれ調節される。
2a 研磨面
5 研磨テーブル
5a 回転軸
7 研磨ヘッド
8 研磨液供給ノズル
10 動作制御部
10a 記憶装置
10b 演算装置
14 支軸
16 研磨ヘッド揺動アーム
18 研磨ヘッドシャフト
20 回転モータ
21 回転モータ
22 ロータリエンコーダ
23 ロータリコネクタ
24 昇降機構
25 ロータリジョイント
26 軸受
28 ブリッジ
29 支持台
30 支柱
32 ボールねじ機構
38 サーボモータ
39 ロード・アンロード装置
40 ノッチアライナー
42 膜厚センサ
45 キャリア
45A ハウジング
45B フランジ
47 圧電素子
50 駆動電圧印加装置
50a 電源部
50b 電圧制御部
51 電力線
54 押付部材
56 保持部材
56a ワークピース接触面、端面
57 押付力測定装置
60 真空ライン
61 真空弁
62 真空源
65 リテーナリング
66 段付き穴
67 弾性膜
67a ワークピース接触面
70 プレート
74 第1圧力室
75 第1弾性膜
75A 当接部
75B 側壁
77 第1圧縮気体供給ライン
80 第2圧力室
81 第2弾性膜
83 第2圧縮気体供給ライン
85 第1圧力レギュレータ
86 第1開閉弁
88 第2圧力レギュレータ
89 第2開閉弁
90 圧縮気体供給源
92 ジンバル機構
93 球面軸受
94 可動部材
95 凹面
96 支持部材
100 ワークピースチャック機構
101 チャック駆動装置
103 接触部材
105 軸
108 第1歯車
109 第2歯車
110 第3歯車
114 第4歯車
115 電動機
122 ブラケット
125 ばね
130 圧力室
131 弾性シート
132 圧縮気体供給ライン
133 圧力レギュレータ
134 開閉弁
135 エアシリンダ
136 圧縮気体供給ライン
137 圧力レギュレータ
138 開閉弁
141 電圧分配器
142 位置決めねじ
145 接触ピン
150 基台
151 分岐装置
153 通信装置
156 パージガス供給ライン
157 パージガス供給弁
159 パージガス供給源
160 温度測定器
165 プランジャ
167 電極
170 ばね
171 ケーシング
174 電力分配線
176 通信線
200 パッド支持部
200a 回転軸
201 支持アーム
205 昇降機構
207 支持台
210 軸受
212 ブリッジ
214 ボールねじ機構
216 サーボモータ
220 ボールスプライン軸受
222 プーリ
223 プーリ
225 ベルト
227 回転モータ
400 研磨ヘッド
405A,405B,405C,405D 圧力室
460 研磨テーブル
470 膜厚センサ
480 研磨液供給ノズル
500 研磨パッド
701 第1研磨装置
702 第2研磨装置
705 搬送装置
707 洗浄装置
709 乾燥装置
W ワークピース
Claims (36)
- ワークピースを研磨面に対して押し付けながら、研磨液の存在下において、該ワークピースと前記研磨面とを相対運動をさせることで該ワークピースを研磨するための研磨ヘッドシステムであって、
前記ワークピースの複数の領域に対して押付力を加える複数のアクチュエータを有する研磨ヘッドと、
前記複数のアクチュエータを動作させる駆動源と、
前記駆動源に対して複数の指令値を決定かつ送信する動作制御部と、
を備える、研磨ヘッドシステム。 - 前記複数のアクチュエータは、複数の圧電素子であり、
前記駆動源は、前記複数の圧電素子に独立に電圧を印加する電源部および電圧制御部を備えた駆動電圧印加装置であり、
前記動作制御部は、前記複数の圧電素子に印加すべき電圧の複数の指令値を決定するように構成されている、請求項1に記載の研磨ヘッドシステム。 - 前記複数の圧電素子は、前記研磨ヘッドの径方向および周方向に沿って分布している、請求項2に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記複数の圧電素子は、格子状、同心円状、千鳥状配置のいずれか1つまたはその組み合わせで前記研磨ヘッド内に配置されている、請求項3に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドは、前記複数の圧電素子にそれぞれ連結された複数の押付部材をさらに備え、前記複数の押付部材は、前記複数の圧電素子にそれぞれ対向する複数の第一の面と、前記ワークピースを押し付けるための複数の第二の面を有している、請求項2乃至4のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記複数の第二の面の形状は、円形、楕円形、多角形、円弧形の少なくとも1つからなる、請求項5に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記複数の第一の面の面積は前記複数の第二の面の面積よりも大きい、請求項5または6に記載の研磨ヘッドシステム。
- 1つの押付部材に少なくとも2つの圧電素子が連結されている、請求項5乃至7のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドは、前記複数の押付部材を限られた範囲内で移動可能に保持する保持部材をさらに備えている、請求項5に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記保持部材は、前記複数の押付部材の、前記ワークピースの押付方向と垂直な方向の移動範囲を制限するように構成されている、請求項9記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記複数の押付部材は、全方向に傾動可能な複数の可動部材を有する複数のジンバル機構をそれぞれ備えており、前記複数の可動部材は前記複数の第二の面をそれぞれ有している、請求項5に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドは、ワークピース接触面を有する弾性膜をさらに備えている、請求項2乃至11のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッド内に圧力室を形成する弾性膜と、
前記圧力室に連通する圧縮気体供給ラインをさらに備え、
前記圧力室は、前記複数の押付部材と前記弾性膜との間に位置している、請求項5に記載の研磨ヘッドシステム。 - 前記研磨ヘッド内に圧力室を形成する弾性シートと、
前記圧力室に連通する圧縮気体供給ラインをさらに備え、
前記圧電素子は、前記弾性シートと前記複数の押付部材との間に位置している、請求項5に記載の研磨ヘッドシステム。 - 前記研磨ヘッドは、前記複数の圧電素子がそれぞれ発生した複数の押付力を測定する複数の押付力測定装置をさらに備えている、請求項5乃至14のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記複数の押付力測定装置は、前記複数の圧電素子と前記複数の押付部材との間に配置されている、請求項15に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記複数の押付力測定装置は、複数の圧電センサである、請求項15または16に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドは、電圧分配器をさらに有しており、
前記電圧分配器は、前記駆動電圧印加装置および前記複数の圧電素子に電気的に接続されており、前記駆動電圧印加装置から印加された電圧を該複数の圧電素子に分配するように構成されている、請求項2乃至17のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。 - 前記電圧分配器は、前記駆動電圧印加装置から印加された電圧を前記複数の圧電素子に分配する分岐装置と、前記分岐装置および前記駆動電圧印加装置に接続された通信装置を有する、請求項18に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記電圧分配器は、前記複数の圧電素子と接触する複数のプランジャと、前記複数のプランジャと前記分岐装置とを電気的に接続する電力分配線をさらに有する、請求項19に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記電圧分配器は、前記研磨ヘッドに着脱可能に取り付けられる、請求項18乃至20のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドは、前記複数の圧電素子の温度を測定する温度測定器をさらに有する、請求項2乃至21のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドシステムは、前記研磨ヘッドのワークピース接触面に連通する真空ラインをさらに備えている、請求項2乃至22のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- 前記研磨ヘッドは、
前記複数の圧電素子の外側に位置するリテーナリングと、
前記リテーナリングに固定された少なくとも3つのワークピースチャック機構をさらに備えている、請求項2乃至23のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。 - 前記電源部は、直流電源である、請求項2乃至24のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステム。
- ワークピースの研磨装置であって、
研磨パッドを保持する研磨テーブルと、
研磨液を前記研磨パッド上に供給する研磨液供給ノズルと、
請求項1に記載の研磨ヘッドシステムを備える、研磨装置。 - 前記研磨装置は、前記ワークピースの膜厚を測定する膜厚センサをさらに備えており、前記膜厚センサは前記研磨テーブル内に配置されている、請求項26に記載の研磨装置。
- 前記動作制御部は、前記膜厚センサにより取得された前記ワークピースの膜厚の測定値から膜厚プロファイルを作成し、該膜厚プロファイルをもとに、前記複数のアクチュエータを駆動させるよう、前記駆動源に指示するように構成されている、請求項27に記載の研磨装置。
- 前記動作制御部は、前記膜厚プロファイルと目標膜厚プロファイルとの差をもとに、前記複数のアクチュエータの駆動条件を決定し、前記駆動源に指示するように構成されている、請求項28に記載の研磨装置。
- ワークピースの研磨装置であって、
研磨パッドを保持する研磨テーブルと、
研磨液を前記研磨パッド上に供給する研磨液供給ノズルと、
請求項2乃至25のいずれか一項に記載の研磨ヘッドシステムを備える、研磨装置。 - 前記研磨装置は、前記ワークピースの膜厚を測定する膜厚センサをさらに備えており、前記膜厚センサは前記研磨テーブル内に配置されている、請求項30に記載の研磨装置。
- 前記動作制御部は、前記膜厚センサにより取得された前記ワークピースの膜厚の測定値から膜厚プロファイルを作成し、該膜厚プロファイルをもとに、前記複数の圧電素子に印加すべき電圧の複数の指令値を決定するように構成されている、請求項31に記載の研磨装置。
- 前記動作制御部は、前記膜厚プロファイルと目標膜厚プロファイルとの差をもとに、前記複数の圧電素子に印加すべき電圧の複数の指令値を決定するように構成されている、請求項32に記載の研磨装置。
- 前記研磨装置は、前記ワークピースを前記研磨ヘッドに保持させるためのロード・アンロード装置をさらに備えている、請求項26乃至33のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記研磨装置は、前記ワークピースの周方向における向きを検出する指向検出器をさらに備えている、請求項26乃至34のいずれか一項に記載の研磨装置。
- ワークピースを研磨する研磨システムであって、
請求項26乃至35のいずれか一項に記載の研磨装置と、
研磨後に前記ワークピースを洗浄する洗浄装置と、
洗浄後に前記ワークピースを乾燥させる乾燥装置と、
前記研磨装置、前記洗浄装置、および前記乾燥装置間で前記ワークピースを搬送する搬送機構を有する、研磨システム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023282128A1 (ja) | 2021-07-07 | 2023-01-12 | 東ソー株式会社 | 正孔輸送促進材料、受光素子用材料、シアノ化合物、および有機受光素子 |
WO2024080189A1 (ja) * | 2022-10-13 | 2024-04-18 | 株式会社荏原製作所 | トップリングおよび基板処理装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11862482B2 (en) * | 2021-03-11 | 2024-01-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor substrate bonding tool and methods of operation |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5888120A (en) * | 1997-09-29 | 1999-03-30 | Lsi Logic Corporation | Method and apparatus for chemical mechanical polishing |
JP2000006002A (ja) * | 1998-06-17 | 2000-01-11 | Ebara Corp | ポリッシング装置 |
JP2000246628A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-12 | Ebara Corp | 基板把持装置及び研磨装置 |
JP2017047503A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び研磨方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW431942B (en) * | 1997-04-04 | 2001-05-01 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Polishing device |
JP4476398B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2010-06-09 | 三菱マテリアル株式会社 | ウェーハ研磨装置及び研磨状態検出方法 |
JP3835122B2 (ja) * | 2000-05-29 | 2006-10-18 | 信越半導体株式会社 | ワークの研磨方法 |
US7131891B2 (en) * | 2003-04-28 | 2006-11-07 | Micron Technology, Inc. | Systems and methods for mechanical and/or chemical-mechanical polishing of microfeature workpieces |
CN101543974B (zh) * | 2008-03-28 | 2011-12-14 | 新科实业有限公司 | 磁头滑块的研磨装置和研磨方法 |
JP6196858B2 (ja) * | 2012-09-24 | 2017-09-13 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
TWI622458B (zh) * | 2013-03-15 | 2018-05-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 具有前側壓力控制的拋光系統 |
NL2012419B1 (en) * | 2014-03-13 | 2016-01-06 | Novioscan B V | High voltage MEMS, and a portable ultrasound device comprising such a MEMS. |
JP2015193065A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置および研磨方法 |
KR102323430B1 (ko) * | 2014-03-31 | 2021-11-09 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 연마 방법 |
JP6884015B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2021-06-09 | 株式会社荏原製作所 | 基板の研磨装置および研磨方法 |
TWI783037B (zh) * | 2017-09-25 | 2022-11-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 使用機器學習方式以產生製程控制參數的半導體製造 |
JP6847811B2 (ja) * | 2017-10-24 | 2021-03-24 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
JP2019149461A (ja) * | 2018-02-27 | 2019-09-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
US10969773B2 (en) * | 2018-03-13 | 2021-04-06 | Applied Materials, Inc. | Machine learning systems for monitoring of semiconductor processing |
-
2020
- 2020-01-17 JP JP2020006393A patent/JP2021112797A/ja active Pending
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5888120A (en) * | 1997-09-29 | 1999-03-30 | Lsi Logic Corporation | Method and apparatus for chemical mechanical polishing |
JPH11165256A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-06-22 | Lsi Logic Corp | 化学的機械的研磨方法及びその装置 |
JP2000006002A (ja) * | 1998-06-17 | 2000-01-11 | Ebara Corp | ポリッシング装置 |
JP2000246628A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-12 | Ebara Corp | 基板把持装置及び研磨装置 |
JP2017047503A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び研磨方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023282128A1 (ja) | 2021-07-07 | 2023-01-12 | 東ソー株式会社 | 正孔輸送促進材料、受光素子用材料、シアノ化合物、および有機受光素子 |
WO2024080189A1 (ja) * | 2022-10-13 | 2024-04-18 | 株式会社荏原製作所 | トップリングおよび基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG10202100222WA (en) | 2021-08-30 |
CN113134785B (zh) | 2024-05-14 |
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