JP2021111549A

JP2021111549A - ヒータ

Info

Publication number: JP2021111549A
Application number: JP2020003521A
Authority: JP
Inventors: 周平阿部; Shuhei Abe
Original assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Current assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date: 2020-01-14
Filing date: 2020-01-14
Publication date: 2021-08-02

Abstract

【課題】被膜に部分的な変色が生じるのを抑制することができるヒータを提供する。【解決手段】ヒータは、筒状部１１と、筒状部の内部に設けられ、筒状部の管軸に沿って延びるコイル２１と、筒状部の外面に設けられた被膜５０と、筒状部の内部に設けられ、一方の端部側２３ａがコイルの外面に巻き付けられ、他方の端部側２３ｂが筒状部の内壁に接触する第１のアンカ２３と、筒状部の内部に設けられ、一方の端部側２４ａがコイルの外面に巻き付けられ、他方の端部側２４ｂが筒状部の内壁に接触する第２のアンカ２４と、を具備している。第２のアンカの一方の端部側の巻き数は、第１のアンカの一方の端部側の巻き数よりも多い。【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、ヒータに関する。

輻射熱により対象物を加熱するヒータがある。この様なヒータは、発熱時に可視光領域の光も外部に放出する。そのため、例えば、この様なヒータを空間暖房などに用いる場合には、使用者が眩しくないようにすること、いわゆる防眩性が求められる。
そこで、可視光を透過し難い被膜を、バルブの外面に設けたヒータが提案されている。この場合、被膜は、赤外線を透過し易く、可視光を透過し難いものとすることが好ましい。そのため、被膜を、低屈折率膜と高屈折率膜とを交互に積層した積層膜とする技術が提案されている。

一方、バルブの内部には、発熱体であるコイルと、コイルを支持するアンカが設けられている。アンカはコイルを支持するものであるため、アンカの一方の端部側はコイルに接触し、他方の端部側はバルブの内壁に接触している。そのため、コイルにおいて発生した熱がアンカを介してバルブに伝わり、バルブに伝わった熱が被膜に伝わることになる。

ここで、被膜に設けられている高屈折率膜は、鉄などの金属を含んでいる。そのため、アンカの温度が高くなり過ぎると、アンカが設けられている位置の高屈折率膜が酸化して、被膜に部分的な変色が生じる場合がある。被膜に部分的な変色が生じると、見栄えが悪くなる。
そこで、被膜に部分的な変色が生じるのを抑制することができるヒータの開発が望まれていた。

特開２００５−１９３１７号公報

本発明が解決しようとする課題は、被膜に部分的な変色が生じるのを抑制することができるヒータを提供することである。

実施形態に係るヒータは、筒状部と；前記筒状部の内部に設けられ、前記筒状部の管軸に沿って延びるコイルと；前記筒状部の外面に設けられた被膜と；前記筒状部の内部に設けられ、一方の端部側が前記コイルの外面に巻き付けられ、他方の端部側が前記筒状部の内壁に接触する第１のアンカと；前記筒状部の内部に設けられ、一方の端部側が前記コイルの外面に巻き付けられ、他方の端部側が前記筒状部の内壁に接触する第２のアンカと；を具備している。前記第２のアンカの一方の端部側の巻き数は、前記第１のアンカの一方の端部側の巻き数よりも多い。

本発明の実施形態によれば、被膜に部分的な変色が生じるのを抑制することができるヒータを提供することができる。

本実施の形態に係るヒータを例示するための模式図である。図１におけるＡ部の模式拡大図である。図２におけるヒータ１のＢ−Ｂ線方向の模式断面図である。図２におけるヒータ１のＣ−Ｃ線方向の模式断面図である。積層膜としての被膜を例示するための模式断面図である。（ａ）、（ｂ）は、アンカの端部側が巻き付けられたコイルの発熱状態を例示するための写真である。

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
本実施の形態に係るヒータ１は、対象物や、対象物が置かれている空間を加熱するものとすることができる。例えば、ヒータ１は、店舗などの空間を加熱する暖房機器に用いられるものとすることができる。ただし、ヒータ１の用途は、例示をしたものに限定されるわけではない。

図１は、本実施の形態に係るヒータ１を例示するための模式図である。
図２は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。
なお、煩雑となるのを避けるために、図１および図２においては、被膜５０を省いて描いている。
図３は、図２におけるヒータ１のＢ−Ｂ線方向の模式断面図である。
図４は、図２におけるヒータ１のＣ−Ｃ線方向の模式断面図である。
図１および図２に示すように、ヒータ１には、バルブ１０、発熱部２０、導電部３０、リード４０、および被膜５０を設けることができる。

バルブ１０は、筒状部１１、封止部１２、突起部１３、およびディンプル１４を有することができる。バルブ１０は、筒状部１１、封止部１２、突起部１３、およびディンプル１４が一体に形成されたものとすることができる。バルブ１０は、例えば、石英ガラスから形成することができる。この場合、バルブ１０は、例えば、透明、すなわち着色されていない石英ガラスから形成することができる。

筒状部１１は、例えば、円筒状を呈するものとすることができる。筒状部１１は、筒状部１１の外径である管外径Ｄに比べて全長Ｌ（管軸方向の長さ）が長い形態を有することができる。なお、筒状部１１の全長Ｌは、有効発光長と称することもできる。この場合、筒状部１１の内壁の管壁負荷が高くなり過ぎると、筒状部１１の温度が高くなり過ぎて、筒状部１１が変形したり、筒状部１１の耐久性が低下したりするおそれがある。そのため、ヒータ１の電力に応じて、所定の管壁負荷を超えないように、筒状部１１の管外径Ｄ、および全長Ｌ（有効発光長）を適宜決定することができる。例えば、ヒータ１の電力が２０００Ｗ（ワット）の場合には、管外径Ｄを１２ｍｍ程度、全長Ｌ（有効発光長）を２８０ｍｍ程度とすることができる。

筒状部１１の内部空間には、ガスを封入することができる。ガスは、コイル２１において発生した熱が筒状部１１に伝わり難くするために封入することができる。そのため、ガスは、熱伝導率の低いガスとすることが好ましい。ガスは、例えば、キセノン（Ｘｅ）、クリプトン（Ｋｒ）、クリプトンと窒素ガスの混合ガスなどとすることができる。クリプトンと窒素ガスの混合ガスとする場合には、クリプトンの割合を９０％以上とすることができる。この場合、キセノンを用いれば、コイル２１において発生した熱が筒状部１１に伝わるのを効果的に抑制することができる。クリプトン、または、クリプトンと窒素ガスの混合ガスを用いれば製造コストの低減を図ることができる。

また、ガスには、臭素やヨウ素などのハロゲン物質を含めることができる。例えば、前述したキセノンやクリプトンなどに、微量のジブロモメタン（ＣＨ_２Ｂｒ_２）などを含めることができる。

筒状部１１の内部空間の２５℃におけるガスの圧力（封入圧力）は、例えば、０．６ｂａｒ（６０ｋＰａ）から０．９ｂａｒ（９０ｋＰａ）までの圧力範囲とすることができる。ここで、筒状部１１の内部空間の２５℃におけるガスの圧力（封入圧力）は、気体の標準状態（ＳＡＴＰ（Standard Ambient Temperature and Pressure）：温度２５℃、１ｂａｒ）により求めることができる。

封止部１２は、筒状部１１の、管軸方向における両端に設けることができる。筒状部１１の両端に封止部１２を設けることで、筒状部１１の内部空間を気密に封止することができる。例えば、一対の封止部１２は、加熱した筒状部１１の両端部分を押しつぶすことで形成することができる。例えば、一対の封止部１２は、ピンチシール法やシュリンクシール法を用いて形成することができる。ピンチシール法を用いて封止部１２を形成すれば、図１および図２に例示をしたような板状の封止部１２を形成することができる。シュリンクシール法を用いて封止部１２を形成すれば、円柱状の封止部１２を形成することができる。

突起部１３は、筒状部１１の外面に設けることができる。突起部１３は、ヒータ１を製造する際に、筒状部１１の内部空間を排気したり、筒状部１１の内部空間に前述したガスを導入したりするために設けることができる。突起部１３は、排気およびガスの導入後に、石英ガラスから形成された管を焼き切ることで形成されたものとすることができる。

ディンプル１４は、筒状部１１の内壁を局所的に突出させたものとすることができる。ディンプル１４は、筒状部１１を加熱して、筒状部１１の外面を局所的に押圧することで形成することができる。そのため、ディンプル１４が形成された位置における筒状部１１の外面は、筒状部１１の内部に向けて窪んでいる。

ディンプル１４は、筒状部１１の内壁から筒状部１１の内部に突出し、アンカ２３（第１のアンカの一例に相当する）に接触することができる。なお、後述するように、アンカ２４（第２のアンカの一例に相当する）が設けられる位置には、ディンプル１４を設けないようにすることが好ましい。ディンプル１４は、アンカ２３の位置を規制するために設けることができる。ディンプル１４は、筒状部１１の内部に向けて突出しているので、ディンプル１４が形成された位置における筒状部１１の内部寸法（内径）は、ディンプル１４が形成されていない位置における筒状部１１の内部寸法（内径）よりも小さくなる。そのため、ディンプル１４によりアンカ２３を保持することができる。例えば、図３に示すように、管径方向において、互いに対峙する一対のディンプル１４を設け、一対のディンプル１４によりアンカ２３を保持することもできる。

アンカ２３が複数設けられる場合には、管軸方向に複数のディンプル１４を設けることができる。この場合、複数のアンカ２３ごとにディンプル１４を設けることもできるし、所定の間隔をあけてディンプル１４を設けることもできる。図１および図２に例示をしたヒータ１の場合には、一部のアンカ２３に対して一対のディンプル１４が設けられている。なお、ディンプル１４の数や配置は、筒状部１１の全長Ｌやアンカ２３の数などに応じて適宜変更することができる。また、筒状部１１の全長Ｌやアンカ２３の数などによっては、ディンプル１４を省くこともできる。すなわち、ディンプル１４は、必要に応じて設けるようにすればよい。

発熱部２０は、コイル２１、レグ２２、アンカ２３、およびアンカ２４を有することができる。
コイル２１およびレグ２２は、一体に形成することができる。コイル２１およびレグ２２の材料は、例えば、タングステンとすることができる。

コイル２１は、螺旋状を呈するものとすることができる。コイル２１は、例えば、タングステン線を螺旋状に巻くことで形成することができる。コイル２１の概観形状は、円筒状とすることができる。コイル２１は、筒状部１１の内部空間に設けることができる。コイル２１は、筒状部１１の内部空間を管軸に沿って延びるものとすることができる。コイル２１は、通電時に発熱するとともに赤外線を含む光を放出することができる。

レグ２２は、コイル２１の両側の端部のそれぞれに設けられている。レグ２２は、線状を呈し、コイル２１の端部から筒状部１１の管軸に沿って延びるものとすることができる。レグ２２の一方の端部は筒状部１１の内部空間においてコイル２１の端部と接続され、他方の端部は封止部１２の内部において導電部３０と接続されている。レグ２２の端部の近傍は、導電部３０とレーザ溶接または抵抗溶接することができる。レグ２２は、コイル２１に電力を供給する部分とすることができる。

図３に示すように、アンカ２３は、筒状部１１の内部空間に設けることができる。アンカ２３の材料は、例えば、タングステンとすることができる。アンカ２３は、例えば、タングステン線を曲げ加工することで形成することができる。

例えば、アンカ２３の一方の端部２３ａ側は、コイル２１の外面に設けることができる。例えば、アンカ２３の端部２３ａ側を、コイル２１の外面に巻き付けることができる。例えば、アンカ２３の端部２３ａ側は、螺旋状を呈するものとすることができる。例えば、アンカ２３の他方の端部２３ｂ側は、筒状部１１の内壁に接触させることができる。例えば、アンカ２３の端部２３ｂ側は、筒状部１１の内壁に沿って湾曲した形状を有することができる。アンカ２３の端部２３ａ側がコイル２１の外面に設けられ、アンカ２３の端部２３ｂ側が筒状部１１の内壁に接触することで、アンカ２３により、コイル２１が、筒状部１１の内部空間に支持される。アンカ２３は、コイル２１を筒状部１１の内壁に対して支持するサポート部材とすることができる。

図４に示すように、アンカ２４は、筒状部１１の内部空間に設けることができる。アンカ２４の材料は、例えば、タングステンとすることができる。アンカ２４は、例えば、タングステン線を曲げ加工することで形成することができる。
例えば、アンカ２４の一方の端部２４ａ側は、コイル２１の外面に設けることができる。例えば、アンカ２４の端部２４ａ側を、コイル２１の外面に巻き付けることができる。例えば、アンカ２４の端部２４ａ側は、螺旋状を呈するものとすることができる。例えば、アンカ２４の他方の端部２４ｂ側は、筒状部１１の内壁に接触させることができる。例えば、アンカ２４の端部２４ｂ側は、筒状部１１の内壁に沿って湾曲した形状を有することができる。アンカ２４の端部２４ａ側がコイル２１の外面に設けられ、アンカ２４の端部２４ｂ側が筒状部１１の内壁に接触することで、アンカ２４により、コイル２１が、筒状部１１の内部空間に支持される。アンカ２４は、コイル２１を筒状部１１の内壁に対して支持するサポート部材とすることができる。

図１および図２に示すように、管軸方向において、アンカ２３は筒状部１１の両端側の領域に設けられ、アンカ２４は筒状部１１の中央領域に設けられている。すなわち、筒状部１１の管軸に沿った方向において、アンカ２４は、アンカ２３よりも、筒状部１１の中央側に設けることができる。
なお、アンカ２４の作用・効果に関する詳細は後述する。

導電部３０は、１つの封止部１２に対して１つ設けることができる。導電部３０は、封止部１２の内部に設けることができる。導電部３０の平面形状は四角形とすることができる。導電部３０は、例えば、モリブデン箔から形成することができる。

リード４０は、１つの導電部３０に対して１つ設けることができる。リード４０は、線状を呈するものとすることができる。リード４０の一方の端部側は、封止部１２の内部において、導電部３０と接続されている。例えば、リード４０の一方の端部側は、導電部３０にレーザ溶接または抵抗溶接することができる。リード４０の他方の端部側は封止部１２の外部に露出させることができる。一対のリード４０には、ヒータ１の外部に設けられた電源などを電気的に接続することができる。例えば、一対のリード４０のそれぞれはコネクタに接続され、コネクタに設けられているケーブルを介して、一対のリード４０が電源などと電気的に接続されるようにすることができる。リード４０は、例えば、モリブデン線などから形成することができる。

被膜５０は、筒状部１１の外面に設けることができる。例えば、被膜５０は、筒状部１１の外面を覆うことができる。ここで、可視光領域（波長が３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの領域）における被膜５０の平均透過率が２４％よりも高いと、視感評価において眩しさが増すようになる。一方、この平均透過率が２４％以下となると、視感評価において眩しさが軽減される。この場合、この平均透過率が２１％以下となると、視感評価において眩しさが感じられなくなる。そのため、可視光領域における平均透過率が２４％以下となるような被膜５０とすることが好ましい。

なお、筒状部１１と被膜５０とを合わせた場合の可視光領域における平均透過率が２２％よりも高いと、視感評価において眩しさが増すようになる。一方、この平均透過率が２２％以下となると、視感評価において眩しさが軽減される。この場合、この平均透過率が１９％以下となると、視感評価において眩しさが感じられなくなる。そのため、筒状部１１と被膜５０とを合わせた場合の可視光領域における平均透過率が２２％以下となるような被膜５０とすることが好ましい。

可視光領域における平均透過率は、例えば、日本分光株式会社製の分光光度計Ｖ−５７０を用いて求めることができる。例えば、波長が３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの領域において、分光光度計Ｖ−５７０を用いて５ｎｍごとに光の透過率を測定し、測定された透過率を平均することで、可視光領域における平均透過率を求めることができる。

また、被膜５０は、赤外線を透過し易く、可視光を透過し難いものとすることが好ましい。例えば、被膜５０は、低屈折率膜５１（第１の膜の一例に相当する）と、高屈折率膜５２（第２の膜の一例に相当する）とを交互に積層した積層膜とすることができる。
図５は、積層膜としての被膜５０を例示するための模式断面図である。
図５に示すように、被膜５０は、低屈折率膜５１と高屈折率膜５２とを交互に積層した積層膜とすることができる。低屈折率膜５１と高屈折率膜５２は、例えば、ディップ法、真空蒸着法、スパッタリング法などを用いて形成することができる。

低屈折率膜５１は、例えば、筒状部１１の外面に設けることができる。すなわち、低屈折率膜５１は第１層とすることができる。低屈折率膜５１の厚みは、例えば、８０ｎｍ程度とすることができる。低屈折率膜５１は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）や酸化ケイ素（ＳｉＯ）などのケイ素酸化物、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ_２）などを含むものとすることができる。この場合、筒状部１１は石英ガラスから形成されているため、石英ガラスになるべく近い成分を主成分として含む低屈折率膜５１とすることが好ましい。この様にすれば、筒状部１１の外面に設けられた低屈折率膜５１と、筒状部１１の外面と間の接合強度を向上させることができる。例えば、二酸化ケイ素を主成分として含む低屈折率膜５１とすれば、低屈折率膜５１と、筒状部１１の外面との間の接合強度を大きくすることができる。また、二酸化ケイ素は、化学的な安定性、耐熱性、高い機械的強度を有しているため、二酸化ケイ素を主成分として含む低屈折率膜５１を、高温となる筒状部１１の外面に直接設けるようにしても剥離や損傷が発生する可能性が低い。

高屈折率膜５２は、例えば、低屈折率膜５１の上に設けることができる。すなわち、筒状部１１の外面に直接形成される第１層から始まる奇数層を低屈折率膜５１とし、第２層から始まる偶数層を高屈折率膜５２とすることができる。高屈折率膜５２の厚みは、低屈折率膜５１の厚みと同じであってもよいし、異なっていてもよい。高屈折率膜５２の厚みは、例えば、５７ｎｍ程度とすることができる。高屈折率膜５２は、例えば、酸化鉄（ＩＩＩ）（Ｆｅ_２Ｏ_３）などの鉄酸化物、酸化銅（Ｉ）（Ｃｕ_２Ｏ）や酸化銅（ＩＩ）（ＣｕＯ）などの銅酸化物などを含むものとすることができる。この場合、酸化銅（Ｉ）は、赤外線を透過しやすいので、酸化銅（Ｉ）を主成分として含む高屈折率膜５２とすれば、赤外線の出射効率を向上させることができる。

低屈折率膜５１と高屈折率膜５２の積層数（低屈折率膜５１と高屈折率膜５２の合計の層数）は、要求される防眩性に応じて適宜変更することができる。例えば、いわゆるHigh Glareタイプのヒータ１とする場合は、低屈折率膜５１と高屈折率膜５２の積層数を１０層程度とすることができる。また、被膜５０が、二酸化ケイ素を主成分として含む低屈折率膜５１と、酸化鉄（ＩＩＩ）を主成分として含む高屈折率膜５２とを有するものである場合には、ヒータ１の非通電時における被膜５０の色は、金色となる。

ここで、コイル２１において発生した熱は、筒状部１１を介して被膜５０に伝わる。この場合、アンカ２３の一方の端部２３ａ側はコイル２１に接触し、他方の端部２３ｂ側は筒状部１１の内壁に接触している。アンカ２４の一方の端部２４ａ側はコイル２１に接触し、他方の端部２４ｂ側は筒状部１１の内壁に接触している。そのため、コイル２１において発生した熱がアンカ２３、２４を介して筒状部１１に伝わり易くなるので、アンカ２３、２４が設けられた位置における被膜５０の表面温度が高くなりやすくなる。

被膜５０の表面は、ヒータ１が設置されている環境に露出しているので、アンカ２３、２４が設けられている位置の被膜５０の表面温度が高くなり過ぎると、環境に含まれているガスやゴミなどと、被膜５０に含まれている成分とが反応して、被膜５０の表面が部分的に変色する場合がある。例えば、被膜５０の最上層が高屈折率膜５２の場合には、高屈折率膜５２に含まれている金属と、大気に含まれている酸素とが反応して、被膜５０が部分的に変色する場合がある。被膜５０が部分的に変色すると、見栄えが悪くなるので、商品価値が低下する場合がある。近年においては、より高電力のヒータが求められるようになってきており、例えば、２０００Ｗ（ワット）以上のヒータ１になると被膜５０に部分的な変色が生じ易くなる。

また、管軸方向において、コイル２１の両端側は、レグ２２とアンカ２３により支持されているが、コイル２１の中央領域は、アンカ２４のみにより支持されている。そのため、コイル２１の中央領域が撓み易くなる。コイル２１の中央領域が撓むと、コイル２１と筒状部１１の内壁との間の距離が小さくなる。すなわち、筒状部１１の中央領域は、筒状部１１の両端側の領域に比べて温度が高くなりやすくなる。そのため、筒状部１１の中央領域に設けられた被膜５０の温度が、筒状部１１の両端側の領域に設けられた被膜５０の温度よりも高くなりやすくなる。この場合、アンカ２３、２４の温度が同じであるとすると、筒状部１１の中央領域であって、アンカ２４が設けられた位置の被膜５０の温度がさらに高くなり、部分的な変色が発生しやすくなる。

そこで、本実施の形態に係るヒータ１においては、アンカ２４の温度が、アンカ２３の温度よりも低くなるようにしている。
本発明者の得た知見によれば、アンカ２４の端部２４ａ側の巻き数を、アンカ２３の端部２３ａ側の巻き数よりも多くすれば、アンカ２４の温度が、アンカ２３の温度よりも低くなるようにすることができる。

このことは必ずしも明らかではないが次のように考えることができる。アンカ２４の端部２４ａ側をコイル２１の外面に巻き付ければ、螺旋状のコイル２１の線間がアンカ２４により電気的に接続される。そのため、この部分の電気抵抗が低下して発生する熱量が少なくなる。この場合、巻き数が多くなれば、コイル２１の温度が低下する領域を大きくすることができる。そのため、巻き数が多いアンカ２４の温度を、巻き数が少ないアンカ２３の温度よりも低くすることができる。

図６（ａ）は、アンカ２３の端部２３ａ側が巻き付けられたコイル２１の発熱状態を例示するための写真である。
図６（ｂ）は、アンカ２４の端部２４ａ側が巻き付けられたコイル２１の発熱状態を例示するための写真である。
図６（ａ）から分かるように、コイル２１の、アンカ２３の端部２３ａ側が巻き付けられた部分の温度を低下させることができる。
図６（ｂ）から分かるように、コイル２１の、アンカ２４の端部２４ａ側が巻き付けられた部分の温度を低下させることができる。

図６（ａ）、（ｂ）から分かるように、巻き数が多いアンカ２４とすれば、巻き数が少ないアンカ２３の場合に比べて、コイル２１の温度が低下する領域Ｓを大きくすることができる。そのため、アンカ２４の温度をアンカ２３の温度よりも低くすることができ、ひいては、被膜５０に部分的な変色が生じるのを抑制することができる。
本発明者の得た知見によれば、アンカ２４の端部２４ａ側の巻き数は、アンカ２３の端部２３ａ側の２倍以上とすることが好ましい。

なお、ディンプル１４がアンカ２４を保持していると、アンカ２４を介して筒状部１１に熱が伝わり易くなる。そのため、ディンプル１４は、アンカ２４が設けられる位置には設けないようにすることが好ましい。

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

１ヒータ、１０バルブ、１１筒状部、１４ディンプル、２０発熱部、２１コイル、２２レグ、２３アンカ、２３ａ端部、２３ｂ端部、２４アンカ、２４ａ端部、２４ｂ端部、４０リード、５０被膜、５１低屈折率膜、５２高屈折率膜

Claims

筒状部と；
前記筒状部の内部に設けられ、前記筒状部の管軸に沿って延びるコイルと；
前記筒状部の外面に設けられた被膜と；
前記筒状部の内部に設けられ、一方の端部側が前記コイルの外面に巻き付けられ、他方の端部側が前記筒状部の内壁に接触する第１のアンカと；
前記筒状部の内部に設けられ、一方の端部側が前記コイルの外面に巻き付けられ、他方の端部側が前記筒状部の内壁に接触する第２のアンカと；
を具備し、
前記第２のアンカの一方の端部側の巻き数は、前記第１のアンカの一方の端部側の巻き数よりも多いヒータ。
前記筒状部の管軸に沿った方向において、前記第２のアンカは、前記第１のアンカよりも、前記筒状部の中央側に設けられている請求項１記載のヒータ。
前記被膜は、第１の膜と、前記第１の膜よりも屈折率が高い第２の膜と、を交互に積層した積層膜であり、
前記第２の膜は、鉄酸化物、および、銅酸化物の少なくともいずれかを含む請求項１または２に記載のヒータ。