JP2021109952A - 硬化性粘着剤組成物、粘着テープ、半導体ウエハの処理方法、及び、半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
硬化性粘着剤組成物、粘着テープ、半導体ウエハの処理方法、及び、半導体デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021109952A JP2021109952A JP2020078125A JP2020078125A JP2021109952A JP 2021109952 A JP2021109952 A JP 2021109952A JP 2020078125 A JP2020078125 A JP 2020078125A JP 2020078125 A JP2020078125 A JP 2020078125A JP 2021109952 A JP2021109952 A JP 2021109952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive adhesive
- pressure
- group
- meth
- adhesive tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 99
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 title claims description 111
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 88
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 65
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title abstract description 41
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title abstract description 41
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 102
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 71
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract description 31
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims abstract description 17
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims abstract 4
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 257
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 163
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 84
- -1 tetrazole compound Chemical class 0.000 claims description 61
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 55
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 52
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 51
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 claims description 38
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 36
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 35
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 30
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 29
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 20
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 15
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 14
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 claims description 13
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 9
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 8
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 claims description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 43
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 30
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 27
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 23
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 20
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 18
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 11
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 10
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 150000007514 bases Chemical class 0.000 description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 8
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 8
- RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N methacryloyloxyethyl isocyanate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCN=C=O RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 125000005265 dialkylamine group Chemical group 0.000 description 6
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 5
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 description 5
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCCOC(=O)C=C NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical group OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- KJUGUADJHNHALS-UHFFFAOYSA-N 1H-tetrazole Chemical compound C=1N=NNN=1 KJUGUADJHNHALS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 description 3
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 description 3
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 3
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 2
- CCVYRRGZDBSHFU-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxyphenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC=C1O CCVYRRGZDBSHFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-yl)-2-phenylethanone Chemical class OC(C(=O)c1cccc2Oc12)c1ccccc1 NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBVKVAIECGDBTC-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-2-methylidenebutanamide Chemical compound NC(=O)C(=C)CCO SBVKVAIECGDBTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZWAPMFBHEQZLGK-UHFFFAOYSA-N 5-(dimethylamino)-2-methylidenepentanamide Chemical compound CN(C)CCCC(=C)C(N)=O ZWAPMFBHEQZLGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 0 C*CC(C)(*)C(O*OC(N)=O)=O Chemical compound C*CC(C)(*)C(O*OC(N)=O)=O 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 2
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- WUAXWQRULBZETB-UHFFFAOYSA-N homoveratric acid Chemical compound COC1=CC=C(CC(O)=O)C=C1OC WUAXWQRULBZETB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002429 hydrazines Chemical class 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000002354 inductively-coupled plasma atomic emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- QNILTEGFHQSKFF-UHFFFAOYSA-N n-propan-2-ylprop-2-enamide Chemical compound CC(C)NC(=O)C=C QNILTEGFHQSKFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Chemical group 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 2
- RPACBEVZENYWOL-XFULWGLBSA-M sodium;(2r)-2-[6-(4-chlorophenoxy)hexyl]oxirane-2-carboxylate Chemical compound [Na+].C=1C=C(Cl)C=CC=1OCCCCCC[C@]1(C(=O)[O-])CO1 RPACBEVZENYWOL-XFULWGLBSA-M 0.000 description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 2
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMUZDBZPDLHUMW-UHFFFAOYSA-N (2-nitrophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O WMUZDBZPDLHUMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMZCSIXTWIEDY-UHFFFAOYSA-N (2-propylphenyl)methanol Chemical compound CCCC1=CC=CC=C1CO ZAMZCSIXTWIEDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QBYIENPQHBMVBV-HFEGYEGKSA-N (2R)-2-hydroxy-2-phenylacetic acid Chemical compound O[C@@H](C(O)=O)c1ccccc1.O[C@@H](C(O)=O)c1ccccc1 QBYIENPQHBMVBV-HFEGYEGKSA-N 0.000 description 1
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- YBADLXQNJCMBKR-UHFFFAOYSA-N (4-nitrophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 YBADLXQNJCMBKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWZAUXRKSMJLMH-UHFFFAOYSA-N 1,1-diethoxyethylbenzene Chemical compound CCOC(C)(OCC)C1=CC=CC=C1 BWZAUXRKSMJLMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJZFGDYLJLCGHT-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(CC)C(CC)=CC=C3SC2=C1 GJZFGDYLJLCGHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYEDESPZQLZMCL-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(C)C(C)=CC=C3SC2=C1 UYEDESPZQLZMCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWQFVUQPHUKAMY-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propoxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 QWQFVUQPHUKAMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 1,8-dibromooctane Chemical compound BrCCCCCCCCBr DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWXDAANEJMSCEX-UHFFFAOYSA-N 1-(3-anilinophenyl)ethanone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC(NC=2C=CC=CC=2)=C1 ZWXDAANEJMSCEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODDAWJGQWOGBCX-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(dimethylazaniumyl)ethyl]tetrazole-5-thiolate Chemical compound CN(C)CCN1N=NN=C1S ODDAWJGQWOGBCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNSNJGRCQCDRDM-UHFFFAOYSA-N 1-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2Cl YNSNJGRCQCDRDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTOHEPRICOKHIV-UHFFFAOYSA-N 1-dodecylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2CCCCCCCCCCCC CTOHEPRICOKHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBSTXRUAXCTZBQ-UHFFFAOYSA-N 1-hexyl-4-phenylpiperazine Chemical compound C1CN(CCCCCC)CCN1C1=CC=CC=C1 VBSTXRUAXCTZBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOHZHMUQBFJTNH-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-2h-tetrazole-5-thione Chemical compound CN1N=NN=C1S XOHZHMUQBFJTNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRPINYUDVPFIRX-UHFFFAOYSA-N 1-naphthaleneacetic acid Chemical compound C1=CC=C2C(CC(=O)O)=CC=CC2=C1 PRPINYUDVPFIRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005971 1-naphthylacetic acid Substances 0.000 description 1
- DCYGAPKNVCQNOE-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-triphenylacetic acid Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)(C(=O)O)C1=CC=CC=C1 DCYGAPKNVCQNOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCNISYPADDTFDO-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitrophenylacetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O KCNISYPADDTFDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODVLMCWNGKLROU-UHFFFAOYSA-N 2-(1,3-benzodioxol-5-yl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=C2OCOC2=C1 ODVLMCWNGKLROU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBZDYQUXRFATHZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2,5-dimethoxyphenyl)acetic acid Chemical compound COC1=CC=C(OC)C(CC(O)=O)=C1 BBZDYQUXRFATHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IVEWTCACRDEAOB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyphenyl)acetic acid Chemical compound COC1=CC=CC=C1CC(O)=O IVEWTCACRDEAOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDSJXCGGOXKGSJ-UHFFFAOYSA-N 2-(3,4,5-trimethoxyphenyl)acetic acid Chemical compound COC1=CC(CC(O)=O)=CC(OC)=C1OC DDSJXCGGOXKGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFPAFDDLAGTGPQ-UHFFFAOYSA-N 2-(3,5-dimethoxyphenyl)acetic acid Chemical compound COC1=CC(CC(O)=O)=CC(OC)=C1 FFPAFDDLAGTGPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBSRRICSXWXMRC-UHFFFAOYSA-N 2-(4-nitrophenyl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)C(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 RBSRRICSXWXMRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMWTZPSULFXXJA-UHFFFAOYSA-N 2-(6-methoxy-2-naphthalenyl)propanoic acid Chemical compound C1=C(C(C)C(O)=O)C=CC2=CC(OC)=CC=C21 CMWTZPSULFXXJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBJWXIQDBDZMAW-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxynaphthalene-1-carbonyl chloride Chemical compound C1=CC=CC2=C(C(Cl)=O)C(O)=CC=C21 WBJWXIQDBDZMAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 2-isocyanatoethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCN=C=O DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRNDGUSDBCARGC-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyacetophenone Chemical compound COCC(=O)C1=CC=CC=C1 YRNDGUSDBCARGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIBOGIYPPWLDTI-UHFFFAOYSA-N 2-naphthylacetic acid Chemical compound C1=CC=CC2=CC(CC(=O)O)=CC=C21 VIBOGIYPPWLDTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLJVXDMOQOGPHL-PPJXEINESA-N 2-phenylacetic acid Chemical compound O[14C](=O)CC1=CC=CC=C1 WLJVXDMOQOGPHL-PPJXEINESA-N 0.000 description 1
- LVFFZQQWIZURIO-UHFFFAOYSA-N 2-phenylbutanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)C1=CC=CC=C1 LVFFZQQWIZURIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDJCLYBBPUHKCD-UHFFFAOYSA-N 2-pyren-1-ylacetic acid Chemical compound C1=C2C(CC(=O)O)=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 SDJCLYBBPUHKCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZOPVJNBOQOLPN-UHFFFAOYSA-N 3-(p-nitrophenyl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 VZOPVJNBOQOLPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMGODFWGUBLTTA-UHFFFAOYSA-N 3-amino-1h-quinazoline-2,4-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N(N)C(=O)NC2=C1 NMGODFWGUBLTTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDLQGISFYDYWFJ-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-2-phenylbutanoic acid Chemical compound CC(C)C(C(O)=O)C1=CC=CC=C1 HDLQGISFYDYWFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYXQDGGJZMWJOX-UHFFFAOYSA-N 5-ethyl-1-methyltetrazole Chemical compound CCC1=NN=NN1C WYXQDGGJZMWJOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZGLNCKSNVGDNX-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2h-tetrazole Chemical compound CC=1N=NNN=1 XZGLNCKSNVGDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNVJGJUGFFYUPT-UHFFFAOYSA-N 9h-fluorene-9-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2C(C(=O)O)C3=CC=CC=C3C2=C1 DNVJGJUGFFYUPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101710141544 Allatotropin-related peptide Proteins 0.000 description 1
- NOWKCMXCCJGMRR-UHFFFAOYSA-N Aziridine Chemical compound C1CN1 NOWKCMXCCJGMRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIWVBIXQCNRCFE-UHFFFAOYSA-N DL-alpha-Methoxyphenylacetic acid Chemical compound COC(C(O)=O)C1=CC=CC=C1 DIWVBIXQCNRCFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEFNNWSXXWATRW-UHFFFAOYSA-N Ibuprofen Chemical compound CC(C)CC1=CC=C(C(C)C(O)=O)C=C1 HEFNNWSXXWATRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N R-2-phenyl-2-hydroxyacetic acid Natural products OC(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920010524 Syndiotactic polystyrene Polymers 0.000 description 1
- JACRWUWPXAESPB-QMMMGPOBSA-N Tropic acid Natural products OC[C@H](C(O)=O)C1=CC=CC=C1 JACRWUWPXAESPB-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 1
- 239000004699 Ultra-high molecular weight polyethylene Substances 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQBCVRSTVUHIGH-UHFFFAOYSA-L [dodecanoyloxy(dioctyl)stannyl] dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)O[Sn](CCCCCCCC)(CCCCCCCC)OC(=O)CCCCCCCCCCC XQBCVRSTVUHIGH-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- PYHXGXCGESYPCW-UHFFFAOYSA-N alpha-phenylbenzeneacetic acid Natural products C=1C=CC=CC=1C(C(=O)O)C1=CC=CC=C1 PYHXGXCGESYPCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010560 atom transfer radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- QRZAKQDHEVVFRX-UHFFFAOYSA-N biphenyl-4-ylacetic acid Chemical compound C1=CC(CC(=O)O)=CC=C1C1=CC=CC=C1 QRZAKQDHEVVFRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- SPTHWAJJMLCAQF-UHFFFAOYSA-M ctk4f8481 Chemical compound [O-]O.CC(C)C1=CC=CC=C1C(C)C SPTHWAJJMLCAQF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000007720 emulsion polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- WUDNUHPRLBTKOJ-UHFFFAOYSA-N ethyl isocyanate Chemical compound CCN=C=O WUDNUHPRLBTKOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 125000003827 glycol group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- YPGCWEMNNLXISK-UHFFFAOYSA-N hydratropic acid Chemical compound OC(=O)C(C)C1=CC=CC=C1 YPGCWEMNNLXISK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- DKYWVDODHFEZIM-UHFFFAOYSA-N ketoprofen Chemical compound OC(=O)C(C)C1=CC=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1 DKYWVDODHFEZIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000991 ketoprofen Drugs 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229960002510 mandelic acid Drugs 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- GDOPTJXRTPNYNR-UHFFFAOYSA-N methyl-cyclopentane Natural products CC1CCCC1 GDOPTJXRTPNYNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M potassium benzoate Chemical compound [K+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 125000001725 pyrenyl group Chemical group 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000001226 reprecipitation Methods 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- WWYDYZMNFQIYPT-UHFFFAOYSA-N ru78191 Chemical compound OC(=O)C(C(O)=O)C1=CC=CC=C1 WWYDYZMNFQIYPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000010557 suspension polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 229920000785 ultra high molecular weight polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
- 125000001834 xanthenyl group Chemical group C1=CC=CC=2OC3=CC=CC=C3C(C12)* 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
また、特許文献2には、非シリコーン系粘着剤に、この粘着剤のベースポリマーと架橋反応しうる官能基を持ったシリコーン系グラフト共重合体を含有させた再剥離型粘着剤が開示されている。特許文献2には、接着力の上昇に対する抑制効果に優れるシリコーン系グラフト共重合体を用いることで、再剥離性を改善したことが記載されている。
以下に本発明を詳述する。
上記(メタ)アクリル共重合体は、下記一般式(1)で表される構成単位を有する。
上記(メタ)アクリル共重合体が上記一般式(1)で表される構成単位を有することで、本発明の硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層は、被着体への貼り合わせ時には柔軟性が高く、高い密着性で貼り合わせることができる一方で、重合開始剤の存在下で熱や光等の刺激によって硬化して弾性率が上昇し、粘着力が低下する。このとき、ラジカル重合性不飽和結合を含有する基が2以上存在することで、ラジカル重合性不飽和結合を含有する基が1つしか存在しない場合と比べて、粘着剤層の硬化時の架橋密度が大きく増大するため、粘着剤層が高温でも熱分解しにくくなり、高温でも剥離しにくくなる。また、上記一般式(1)で表される構成単位に含まれるウレタン結合は高温でも比較的安定であることから、該ウレタン結合が存在することによっても、粘着剤層が高温でも剥離しにくくなる。
また、本発明の硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層は、重合開始剤の存在下で熱や光等の刺激によって硬化して弾性率が上昇し、粘着力が低下することで、工程終了後には容易に剥離することができ、糊残りを抑えることもできる。
上記直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基は特に限定されず、炭素数1〜20のアルキレン基が好ましく、具体的には例えば、メチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、イソプロピレン基、n−ブチレン基、イソブチレン基等が挙げられる。
上記(メタ)アクリル共重合体において、異なる複数の一般式(1)で表される構成単位におけるR1は、それぞれ同じであってもよく、異なっていてもよい。
上記R2で表されるラジカル重合性不飽和結合を含有する基を2以上含有する基として、具体的には例えば、1,1−(ビス(メタ)アクリロイルオキシメチル)エチル基等が挙げられる。
上記(メタ)アクリル共重合体において、異なる複数の一般式(1)で表される構成単位におけるR2は、それぞれ同じであってもよく、異なっていてもよい。
上記一般式(1−A)におけるR1及びR5は、上記一般式(1)におけるR1及びR5と同様である。
また、アクリル系モノマーとして、水酸基と、上記R1で表される炭化水素基等とを含有するアクリル系モノマーを用い、得られたポリマーに存在する水酸基に対して、該水酸基と反応するイソシアネート基と、上記R2で表されるラジカル重合性不飽和結合を含有する基を2以上含有する基とを有する化合物を反応させる方法も挙げられる。なお、このような水酸基とイソシアネート基との反応により、上記一般式(1)で表される構成単位に含まれるようなウレタン結合が形成される。以下、イソシアネート基と、上記R2で表されるラジカル重合性不飽和結合を含有する基を2以上含有する基とを有する化合物を、「不飽和結合含有イソシアネート化合物」ともいう。
上記不飽和結合含有イソシアネート化合物としては、例えば、1,1−(ビス(メタ)アクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート等が挙げられる。
なお、上記一般式(1)で表される構成単位の含有量は、上記(メタ)アクリル共重合体の質量分析及び1H−NMR測定を行い、1H−NMR測定により得られたラジカル重合性不飽和結合に由来する水素のピークの積分強度から算出することができる。
上記(メタ)アクリル共重合体が上記水酸基含有モノマーに由来する構成単位を有することで、本発明の硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層は、凝集力が高くなり、高温でもより剥離しにくくなる。また、本発明の硬化性粘着剤組成物がシリコーン化合物と、架橋剤とを含有する場合、上記(メタ)アクリル共重合体が上記水酸基含有モノマーに由来する構成単位を有することで、上記(メタ)アクリル共重合体の水酸基が架橋剤を介してシリコーン化合物と充分に結合することができる。このため、シリコーン化合物がブリードアウトすることによる被着体の汚染を低減することができる。
上記水酸基含有モノマーに由来する構成単位は、より具体的には、高温での耐剥離性、凝集力の観点から、下記一般式(2)で表される構成単位であることが好ましい。
なお、上記一般式(2)で表される構成単位は、上記(メタ)アクリル共重合体に上記一般式(1)で表される構成単位を導入するための構成単位であってもよい。即ち、上記一般式(2)で表される構成単位の水酸基に対して、上記不飽和結合含有イソシアネート化合物を反応させることで、上記(メタ)アクリル共重合体に上記一般式(1)で表される構成単位を導入することができる。このため、上記R1で表される炭化水素基、エーテル結合含有基又はエステル結合含有基と、上記R4で表される炭化水素基、エーテル結合含有基又はエステル結合含有基とは、同じであってもよい。
ただし、上記一般式(2)で表される構成単位の水酸基のうち全ての水酸基が上記不飽和結合含有イソシアネート化合物と反応してしまうと、上記(メタ)アクリル共重合体は上記一般式(2)で表される構成単位を有することができなくなる。このため、上記不飽和結合含有イソシアネート化合物の種類、反応条件、反応比等を適宜調整することにより、反応性を調整する必要がある。
上記水酸基と、上記R4で表される炭化水素基、エーテル結合含有基又はエステル結合含有基とを含有するアクリル系モノマーとしては、例えば、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
なお、上記水酸基含有モノマーに由来する構成単位の含有量は、上記(メタ)アクリル共重合体の質量分析及び1H−NMR測定から算出することができる。
上記(メタ)アクリル共重合体が上記カルボキシル基含有モノマーに由来する構成単位を有することで、硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層は、凝集力が高くなり、高温でもより剥離しにくくなる。また、本発明の硬化性粘着剤組成物がシリコーン化合物と、架橋剤とを含有する場合、上記(メタ)アクリル共重合体が上記カルボキシル基含有モノマーに由来する構成単位を有することで、上記(メタ)アクリル共重合体のカルボキシル基が架橋剤を介してシリコーン化合物と充分に結合することができる。このため、シリコーン化合物がブリードアウトすることによる被着体の汚染を低減することができる。
上記カルボキシル基含有モノマーに由来する構成単位は、より具体的には、下記一般式(3)で表される構成単位であることが好ましい。
なお、上記カルボキシル基含有モノマーに由来する構成単位の含有量は、上記(メタ)アクリル共重合体の質量分析及び1H−NMR測定から算出することができる。
上記他のラジカル重合性モノマーに由来する構成単位は、より具体的には、下記一般式(4)で表される構成単位であることが好ましい。
上記直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基は特に限定されず、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、具体的には例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、n−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルヘキシル基、n−オクチル基、イソオクチル基、イソミリスチル基、ステアリル基等が挙げられる。
上記脂環式炭化水素基は特に限定されず、例えば、シクロヘキシル基、イソボルニル基等が挙げられる。
上記置換又は非置換の芳香族炭化水素基は特に限定されず、例えば、ベンジル基等が挙げられる。
上記エーテル結合含有基は特に限定されず、例えば、2−ブトキシエチル基、2−フェノキシエチル基、グリシジル基、テトラヒドロフルフリル基、ポリプロピレングリコール基等が挙げられる。
上記(メタ)アクリル共重合体において、異なる複数の一般式(4)で表される構成単位におけるR3は、それぞれ同じであってもよく、異なっていてもよい。
なお、上記一般式(4)で表される構成単位の含有量は、上記(メタ)アクリル共重合体の質量分析及び1H−NMR測定から算出することができる。
なお、上記重量平均分子量及び上記分子量分布(Mw/Mn)は、以下の方法により測定できる。
(メタ)アクリル共重合体の溶液をフィルター(材質:ポリテトラフルオロエチレン、ポア径:0.2μm)で濾過する。得られた濾液をゲル浸透クロマトグラフ(例えば、Waters社製、2690 Separations Model)に供給して、サンプル流量1mL/min、カラム温度40℃の条件でGPC測定を行い、共重合体のポリスチレン換算分子量を測定して、重量平均分子量及び分子量分布(Mw/Mn)を求める。カラムとしては、例えば、GPC KF−806L(昭和電工社製)を用い、検出器としては、示差屈折計を用いる。
上記モノマー混合物をラジカル重合させる際に重合溶媒を用いる場合、該重合溶媒は特に限定されない。該重合溶媒として、例えば、ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン、トルエン、キシレン等の非極性溶媒や、水、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、N,N−ジメチルホルムアミド等の高極性溶媒を用いることができる。これらの重合溶媒は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
また、重合温度は、重合速度の観点から0〜110℃が好ましい。
上記重合開始剤は特に限定されず、例えば、光重合開始剤、熱重合開始剤等が挙げられる。なかでも、本発明の硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層を、被着体に加熱を伴う処理を施す際の熱によって硬化させることができるため別途粘着剤層を硬化させる工程を必要としないこと、また、光を通さない被着体に用いた場合であっても硬化が可能であることから、熱重合開始剤が好ましい。
上記アセトフェノン誘導体化合物として、例えば、メトキシアセトフェノン等が挙げられる。上記ベンゾインエーテル系化合物として、例えば、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等が挙げられる。上記ケタール誘導体化合物として、例えば、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等が挙げられる。
これらの光重合開始剤は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記シリコーン化合物を含有することで、硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層においては、上記シリコーン化合物が分子移動して粘着剤層の表面に集まり、粘着剤層の表面が疎水的となる。これにより、粘着剤層と被着体とが相互作用しにくくなることから、高温でも粘着剤層の接着亢進を低減することができ、工程終了後には粘着剤層をより容易に剥離できるとともに糊残りをより抑えることができる。
上記シリコーン化合物が上記架橋性官能基を有することで、架橋剤を介して上記シリコーン化合物が上記(メタ)アクリル共重合体と結合することができる。これにより、上記シリコーン化合物がブリードアウトすることによる被着体の汚染を低減することができる。
上記架橋性官能基は特に限定されず、上記(メタ)アクリル共重合体と架橋可能な官能基であればよく、上記(メタ)アクリル共重合体に存在する官能基に合わせて適宜決定され、例えば、カルボキシル基、水酸基、グリシジル基、アミド基、ニトリル基等が挙げられる。なかでも、カルボキシル基、水酸基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。
上記変性シリコーンオイルは特に限定されず、例えば、エポキシ変性シリコーンオイル、カルビノール変性シリコーンオイル等が挙げられる。
上記シリコーン系グラフト共重合体は特に限定されないが、シリコーンマクロモノマーに由来する構成単位を有することが好ましい。
上記シリコーンマクロモノマーは、シロキサン結合含有基を有するモノマーであれば特に限定されず、例えば、アクリル系シリコーンマクロモノマー、スチレン系シリコーンマクロモノマー等が挙げられる。なかでも、耐熱性及び耐候性に優れることから、アクリル系シリコーンマクロモノマーが好ましく、下記一般式(5)又は(6)に示す構造を有するアクリル系シリコーンマクロモノマーがより好ましい。
Rとしては、例えば、(メタ)アクリロイル基が挙げられる。X及びYの上限は特に限定されないが、X及びYは通常5000以下であり、500以下が好ましく、200以下がより好ましい。
上記架橋性官能基を有するモノマーは特に限定されず、上記架橋性官能基がカルボキシル基である場合、カルボキシル基を有するモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸等が挙げられる。上記架橋性官能基が水酸基である場合、水酸基を有するモノマーとしては、例えば、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。上記架橋性官能基がグリシジル基である場合、グリシジル基を有するモノマーとしては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル等が挙げられる。上記架橋性官能基がアミド基である場合、アミド基を有するモノマーとしては、例えば、ヒドロキシエチルアクリルアミド、イソプロピルアクリルアミド、ジメチルアミノプロピルアクリルアミド等が挙げられる。上記架橋性官能基がニトリル基である場合、ニトリル基を有するモノマーとしては、例えば、アクリロニトリル等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
このような化合物は特に限定されず、上記シリコーン系グラフト共重合体に存在する官能基に応じて適宜選択することができる。上記シリコーン系グラフト共重合体に存在する官能基がカルボキシル基の場合は、エポキシ基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物、イソシアネート基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物等が用いられる。上記シリコーン系グラフト共重合体に存在する官能基が水酸基の場合は、イソシアネート基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物等が用いられる。上記シリコーン系グラフト共重合体に存在する官能基がエポキシ基の場合は、カルボキシル基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物、アミド基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物等が用いられる。上記シリコーン系グラフト共重合体に存在する官能基がアミノ基の場合は、エポキシ基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物等が用いられる。
上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとして、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソノニル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート等も挙げられる。
これらの(メタ)アクリル酸エステルは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。なかでも、適度な粘着力を付与できることから、2−エチルヘキシルアクリレートが好ましい。
また、上記シリコーン化合物が上記シリコーン系グラフト共重合体である場合には、上記シリコーン系グラフト共重合体は粘着剤層の表面に集まりやすいため、上記シリコーン化合物のなかでは比較的少ない量で用いることができる。上記シリコーン系グラフト共重合体の含有量は、上記(メタ)アクリル共重合体100重量部に対する好ましい下限が0.1重量部、好ましい上限が10重量部であり、より好ましい下限が0.5重量部、より好ましい上限が5重量部であり、更に好ましい下限が1重量部である。
本発明の硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層が上記架橋剤を含有することで、上記(メタ)アクリル共重合体を架橋することによって粘着剤層の凝集力を調整しやすくなる。これにより、粘着剤層の初期粘着力が高くなり、また、高温でも粘着剤層がより剥離しにくくなり、工程終了後には粘着剤層をより容易に剥離できるとともに糊残りをより抑えることができる。
上記架橋剤は特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤等が挙げられる。なかでも、硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層の凝集力が高まることから、イソシアネート系架橋剤が好ましい。
上記架橋剤が上記(メタ)アクリル共重合体及び上記シリコーン化合物と架橋可能な官能基を有することで、上記架橋剤を介して上記シリコーン化合物が上記(メタ)アクリル共重合体と結合することができる。これにより、上記シリコーン化合物がブリードアウトすることによる被着体の汚染を低減することができる。
そのような架橋可能な官能基は特に限定されず、上記(メタ)アクリル共重合体及び上記シリコーン化合物に存在する官能基に合わせて適宜決定される。
上記気体発生剤を含有することで、熱や光等の刺激によって、硬化性粘着剤組成物を用いて形成した粘着剤層と被着体との界面に気体が放出され、放出された気体の圧力によって粘着剤層の少なくとも一部が剥離されるため、工程終了後には粘着剤層をより容易に剥離することができる。
上記気体発生剤は、より具体的には、下記一般式(7)で表されるカルボン酸化合物、下記一般式(10)〜(12)で表されるテトラゾール化合物、又は、これらの塩を含むことが好ましい。これらの気体発生剤は、紫外線等の光を照射することにより気体(二酸化炭素又は窒素ガス)を発生する一方、200℃程度の高温下でも分解しない高い耐熱性を有する。
一般式(9)中、R13〜R16は、それぞれ水素又は有機基を表す。R13〜R16は、同一であってもよく、異なっていてもよい。R13〜R16のうちの2つが互いに結合し、環状構造を形成していてもよい。
また、上記一般式(7)中のR1は、メチル基であることが好ましい。
上記塩基性化合物は特に限定されないが、例えば、アミン、ヒドラジン化合物、水酸化四級アンモニウム塩、ホスフィン化合物等が挙げられる。上記アミンは特に限定されず、一級アミン、二級アミン及び三級アミンのいずれをも用いることができる。なかでも、上記塩基性化合物は、モノアルキルアミン又はジアルキルアミンが好適である。モノアルキルアミン又はジアルキルアミンを用いた場合には、得られる上記一般式(7)で表されるカルボン酸化合物の塩の極性を低極性化でき、上記(メタ)アクリル共重合体等との溶解性を高めることができる。上記塩基性化合物は、炭素数6〜12のモノアルキルアミン又はジアルキルアミンであることがより好ましい。
上記一般式(10)〜(12)で表されるテトラゾール化合物の塩は特に限定されず、例えば、ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩等が挙げられる。
上記塩基性化合物は特に限定されないが、例えば、アミン、ヒドラジン化合物、水酸化四級アンモニウム塩、ホスフィン化合物等が挙げられる。上記アミンは特に限定されず、一級アミン、二級アミン及び三級アミンのいずれをも用いることができる。なかでも、上記塩基性化合物は、モノアルキルアミン又はジアルキルアミンが好適である。モノアルキルアミン又はジアルキルアミンを用いた場合には、得られる上記一般式(10) 〜(12)で表されるテトラゾール化合物の塩の極性を低極性化でき、上記(メタ)アクリル共重合体等との溶解性を高めることができる。上記塩基性化合物は、炭素数6〜12のモノアルキルアミン又はジアルキルアミンであることがより好ましい。
上記加熱後の重量減少率を上記範囲に調整する方法は特に限定されず、上記(メタ)アクリル共重合体、上記シリコーン化合物等の種類、組成、物性、含有量等を調整すればよい。
なお、加熱後の重量減少率は、以下の方法により測定できる。
硬化性粘着剤組成物又は粘着剤層のみからなる測定サンプルを得た後、重量を測定する。窒素雰囲気下(窒素フロー、流量50mL/分)、示差熱熱重量同時測定装置(例えば、日立ハイテクサイエンス社製、TG−DTA;STA7200)を用いて、昇温速度10℃/minで測定サンプルを25℃から280℃まで加熱し、280℃に達してから、280℃を維持し1時間加熱する。放冷後、重量減少量を測定し、得られた重量減少量と加熱前の重量とから重量減少率を算出する。
上記スズ成分含有量を上記範囲に調整する方法は特に限定されず、上記(メタ)アクリル共重合体を製造する際に使用する触媒の添加量を調整する方法、上記(メタ)アクリル共重合体を再沈殿等で精製する方法等が挙げられる。
なお、スズ成分含有量は、ICP発光分光分析装置(Agilent社製、5110 ICP−OES又はその同等品)により測定することができる。
本発明の粘着テープは、上記粘着剤層を有してさえいれば、他の層を有していてもよい。また、本発明の粘着テープは、基材を有するサポートタイプであってもよく、基材を有さないノンサポートタイプであってもよい。本発明の粘着テープが基材を有する場合は、基材の少なくとも一方の面に上記粘着剤層を有していればよく、片面粘着テープであっても両面粘着テープであってもよい。本発明の粘着テープが基材を有する両面粘着テープである場合は、基材の少なくとも一方の面に上記粘着剤層を有してさえいれば、基材の他方の面にも上記粘着剤層と同様の粘着剤層を有していてもよいし、基材の他方の面には上記粘着剤層とは別の組成及び物性を有する粘着剤層を有していてもよい。
なお、粘着剤層が熱硬化性である場合、120℃で1時間加熱し、かつ、その後175℃で1時間加熱した後の状態を硬化後とし、粘着剤層が光硬化性である場合、超高圧水銀紫外線照射器を用いて405nmの紫外線を積算強度が2500mJ/cm2となるように粘着剤層に照射した後の状態を硬化後とする。粘着剤層の23℃における硬化前及び硬化後の貯蔵弾性率は、JIS K 7244に準拠した方法で、動的粘弾性測定装置(例えば、DVA−200、アイティー計測制御社製)を用い、引張圧縮モード、角周波数1Hzの条件で測定することができる。
上記粘着剤層を含む複数の層から構成されるノンサポートタイプの粘着テープの構成としては、例えば、上記粘着剤層と他の粘着剤層とを積層した構成、気体発生剤を含有しない上記粘着剤層と気体発生剤を含有する上記粘着剤層とを積層した構成等が挙げられる。
上記基材と、該基材の少なくとも一方の面に積層された上記粘着剤層とを有するサポートタイプの両面粘着テープの構成としては、例えば、基材の一方の面に上記粘着剤層を、他方の面に他の粘着剤層を有する構成、基材の両方の面に上記粘着剤層を有する構成等が挙げられる。なかでも、耐熱性及び工程終了後の易剥離性の観点から、基材の両方の面に上記粘着剤層を有する構成が好ましい。即ち、本発明の粘着テープは、基材と、該基材の両方の面に積層された上記粘着剤層とを有することが好ましい。
また、上記基材と、該基材の両方の面に積層された上記粘着剤層とを有する粘着テープの構成としては、上記粘着剤層のうち少なくとも一方の粘着剤層が熱硬化性である構成も好ましく、より具体的には例えば、基材の両方の面に気体発生剤を含有しない熱硬化性の上記粘着剤層を積層した構成等が挙げられる。
なお、基材及び粘着テープの紫外線透過率は、分光光度計(U−3900、日立製作所社製、又はその同等品)を用いて測定することができる。
まず、(メタ)アクリル共重合体の溶液にシリコーン系グラフト共重合体、架橋剤、重合開始剤及び必要に応じて他の添加剤を加えて混合することで粘着剤溶液を得る。次いで、離型フィルム上に粘着剤溶液を塗工し、乾燥させて粘着剤層を形成する。得られた粘着剤層を基材と貼り合わせて粘着テープを製造する。
本発明の粘着テープは、被着体の加工工程中は高温でも剥離しにくく、工程終了後には容易に剥離できることから、ウエハや半導体チップ等の被着体に粘着テープを貼り合わせた状態で従来以上の高温、具体的には例えば250℃以上もの高温での加熱を伴う処理を施す際にも好適に用いることができる。
上記250℃以上の加熱を伴う処理は特に限定されず、例えば、リフロー工程、スパッタリング工程、蒸着工程、エッチング工程、化学気相成長(CVD)工程、物理気相成長(PVD)工程、レジスト塗布工程、パターニング工程、モールド工程等の加熱処理又は発熱を伴う処理が挙げられる。
上記半導体ウエハから本発明の粘着テープを剥離する方法は特に限定されず、例えば、ピール剥離、レーザー剥離等が挙げられる。
上記半導体ウエハから本発明の粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程にかえて、ニードルピックアップによる剥離等の上記半導体ウエハを本発明の粘着テープから剥離する半導体ウエハ剥離工程としてもよい。
上記仮固定工程において、本発明の粘着テープが気体発生剤を含有する粘着剤層を有する場合、気体発生剤を含有する粘着剤層と上記支持体とを貼り合わせることが好ましい。
また、上記粘着剤層の接着亢進抑制の観点から、上記粘着剤層硬化工程は、上記半導体ウエハ処理工程の前に行うことが好ましい。具体的には例えば、本発明の粘着テープにおける一方の粘着剤層とシリコンウエハ等の半導体ウエハとを貼り合わせ、次いで、他方の粘着剤層とガラス等の支持体とを貼り合わせたのちに、上記粘着剤層硬化工程を行い、その後上記半導体ウエハ処理工程を行うことが好ましい。
上記他の工程としては、例えば、半導体ウエハをバックグラインドにより薄化する工程、ウエハレベルのモールド工程等が挙げられる。
例えば、上記気体発生剤として300nm以下の波長の光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を用いた場合には、300nm以下の波長の光を照射することにより上記気体発生剤から気体を発生させて、本発明の粘着テープをより容易に剥離することができる。このような気体発生剤に対しては、例えば、波長254nmの光を5mW/cm2以上の照度で照射することが好ましく、10mW/cm2以上の照度で照射することがより好ましく、20mW/cm2以上の照度で照射することが更に好ましく、50mW/cm2以上の照度で照射することが特に好ましい。また、波長254nmの光を1000mJ/cm2以上の積算照度で照射することが好ましく、1000mJ/cm2以上、20J/cm2以下の積算照度で照射することがより好ましい。波長254nmの光を1500mJ/cm2以上、15J/cm2以下の積算照度で照射することが更に好ましく、2000mJ/cm2以上、10J/cm2以下の積算照度で照射することが特に好ましい。
本発明の粘着テープがレーザー剥離工程により剥離される場合、本発明の粘着テープのレーザー剥離工程により剥離される粘着剤層は、波長250〜400nmの範囲内に吸収ピークがあることが好ましい。上記範囲内に吸収ピークがあることで、レーザー照射による剥離をより確実に行うことができる。上記吸収ピークは、例えば、紫外線吸収剤等を添加することにより調整することができる。
なお、粘着剤層の吸収ピークは、分光光度計(U−3900、日立製作所社製、又はその同等品)を用いて測定することができる。
((メタ)アクリル共重合体の重合)
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、表1に示すモノマー混合物の合計100重量部、酢酸エチル60重量部、トルエン60重量部を加えた。この反応器を60℃に加熱した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤としてV−60(2,2’−アゾビスイソブチロニトリル)0.15重量部を投入し、60℃で8時間重合反応を行い、ポリマー含有溶液を得た。
反応容器に、得られたポリマー100重量部に対し、ジラウリン酸ジオクチルスズ0.2重量部、ヒドロキノン10ppmを投入して60℃に加熱した。続いて、反応容器内に、1,1−(ビスアクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート(BEI、2官能)8重量部を1時間かけて反応容器内に滴下し、更に60℃で6時間反応することにより、(メタ)アクリル共重合体含有溶液を得た。
((メタ)アクリル共重合体の重合)
モノマー混合物の組成を表1に示すように変更し、不飽和結合含有イソシアネート化合物の代わりに表1に示すように他の不飽和結合含有化合物を用いた以外は合成例1と同様にして、(メタ)アクリル共重合体を得た。
なお、合成例10及び11で得られた(メタ)アクリル共重合体は、ラジカル重合性不飽和結合を含有する基を1つのみ含有する基と、ウレタン結合とを有する構成単位を有するものである。合成例12で得られた(メタ)アクリル共重合体は、ラジカル重合性不飽和結合を含有する基を2以上含有する基と、ウレタン結合とを有する構成単位を有するものの、該構成単位は、上記一般式(1)で表される構成単位とは異なるものである。合成例13で得られた(メタ)アクリル共重合体は、ラジカル重合性不飽和結合を有しないものである。
(a)アクリル系モノマー
2EHA(2−(エチルヘキシル)アクリレート)
AAc(アクリル酸)
4HBA(4−ヒドロキシブチルアクリレート)
AOI−BP(ブロックイソシアネート、2−[(3,5−ジメチルピラゾリル)カルボニルアミノ]エチルアクリレート)
BEI(2官能、1,1−(ビスアクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート)
MOI(1官能、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート)
AOI(1官能、2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート)
PETA(3官能、ペンタエリスリトールトリアクリレート)
(シリコーン系グラフト共重合体の合成)
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、表2に示すモノマー混合物の合計100重量部、酢酸エチル80重量部を加えた。この反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤として2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(富士フイルム和光純薬社製、V−60)0.1重量部を添加し、還流下で重合を開始させた。次に、重合開始から2時間後にも、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(富士フイルム和光純薬社製、V−60)を0.1重量部ずつ添加して重合反応を継続させた。そして、重合開始から7時間後に、シリコーン系グラフト共重合体の酢酸エチル溶液を得た。
合成例1と同様にして、重量平均分子量(Mw)及び分子量分布(Mw/Mn)を求めた。
(シリコーン系グラフト共重合体の合成)
モノマー混合物の組成を表2に示すように変更した以外は合成例Aと同様にして、シリコーン系グラフト共重合体を得た。
(シリコーン系グラフト共重合体の合成)
モノマー混合物(2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)は除く)の組成を表2に示すように変更した以外は合成例Aと同様にして、ポリマー含有溶液を得た。
反応容器に、得られたポリマー100重量部に対し、ヒドロキノン10ppmを投入して60℃に加熱した。続いて、反応容器内に、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)5重量部を60分かけて反応容器内に滴下し、更に60℃で120分間反応することにより、シリコーン系グラフト共重合体含有溶液を得た。
2EHA(2−(エチルヘキシル)アクリレート)
シリコーンマクロモノマー(片末端メタクリロイル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製、重量平均分子量4600)
AAc(アクリル酸)
4HBA(4−ヒドロキシブチルアクリレート)
MOI(2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート)
(メタ)アクリル共重合体含有溶液に、その不揮発分100重量部に対して酢酸エチルを加えて攪拌し、表3に示すようにシリコーン化合物、重合開始剤及び架橋剤を添加して攪拌し、不揮発分30重量%の硬化性粘着剤組成物含有溶液を得た。得られた溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ25μmのポリイミド(PI)フィルム上に、乾燥皮膜の厚さが40μmとなるようにドクターナイフで塗工し、110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。その後、40℃、3日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
粘着剤層の組成を表3に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、粘着テープを得た。
粘着剤層の組成、及び、基材の種類を表4に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、粘着テープを得た。
気体発生剤としては(メタ)アクリル共重合体含有溶液の不揮発分100重量部に対してビステトラゾールNa塩(増田化学社製)20重量部を用いた。基材としては片面にコロナ処理を施した厚さ25μmのポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムを用い、分光光度計(U−3900、日立製作所社製)を用いて紫外線透過率を測定した。
粘着剤層の組成、及び、基材の種類を表5に示すように変更し、基材の両面に粘着剤層を形成した以外は実施例1と同様にして、粘着テープを得た。
粘着テープを作製する方法は次のとおりとした。即ち、まず、粘着剤層1を構成する硬化性粘着剤組成物含有溶液を、表面に離型処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルムの離型処理面上に、乾燥皮膜の厚さが15μmとなるようにドクターナイフで塗工し、110℃、5分間加熱して塗工液を乾燥させ、粘着剤層1を得た。一方、粘着剤層2を構成する硬化性粘着剤組成物含有溶液を、表面に離型処理が施された別のポリエチレンテレフタレートフィルムの離型処理面上に、乾燥皮膜の厚さが80μmとなるようにドクターナイフで塗工し、110℃、5分間加熱して塗工液を乾燥させ、粘着剤層2を得た。基材として両面にコロナ処理を施した25μmのポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム又は両面にコロナ処理を施した厚さ25μmのポリイミド(PI)フィルムを用意し、基材の両面に粘着剤層1と粘着剤層2をそれぞれ貼り合わせて、粘着テープを得た。
気体発生剤としては(メタ)アクリル共重合体含有溶液の不揮発分100重量部に対してビステトラゾールNa塩(増田化学社製)20重量部を用いた。分光光度計(U−3900、日立製作所社製)を用いて基材の紫外線透過率、及び、粘着剤層2の吸収ピークを測定した。
粘着剤層の組成を表6に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、粘着テープを得た。
実施例及び比較例で得られた粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。結果を表3及び4に示した。
(1−1)片面粘着テープの高温(280℃)剥がれ評価
実施例1〜22及び比較例1〜4で得られた粘着テープについて以下の評価を行った。
粘着テープを25mm幅に裁断した。室温23℃、相対湿度50%の環境下、裁断した粘着テープを、2kgの圧着ゴムローラーを用いて10mm/secの速度でガラス(松浪ガラス工業社製、大型スライドガラス白縁磨 No.2)に貼り付けた。粘着剤層が熱硬化型である実施例1〜16、18〜21、比較例1〜4では、150℃、10分間の加熱処理を行い、粘着剤層を硬化した。粘着剤層が光硬化型である実施例17、22では、超高圧水銀灯を20mW/cm2の強度で150秒間照射した後、150℃、10分間の加熱処理を行い、粘着剤層を硬化した。次いで、280℃、60分間の加熱処理を1回行った。
加熱処理中、粘着テープに浮きが生じるまでの時間を測定し、剥離時間とした。剥離時間が5分以内であった場合を×、剥離時間が5分を超えて60分以内あった場合を〇、剥離時間が60分を超えた場合を◎と示した。
粘着テープが剥がれた後のガラスを目視にて観察し、残渣を評価した。ガラスに残渣が見られた場合を×、ガラスのエッジ部分にのみ残渣が見られた場合を〇、残渣が見られなかった場合を◎と示した。
実施例23〜25で得られた粘着テープについては、以下のようにガラス支持体、粘着テープ及び半導体ウエハをこの順に有する積層体により評価を行った。
室温23℃、相対湿度50%の環境下、粘着テープの粘着剤層2の面を2kgの圧着ゴムローラーを用いて10mm/secの速度で8inchのシリコンミラーウエハに貼付した。次いで、粘着剤層1の面をガラス(松浪ガラス工業社製、大型スライドガラス白縁磨 No.2)に貼り付けた。この積層体に粘着剤層の硬化処理を行った。粘着剤層が熱硬化性である実施例25では、積層体に150℃、10分間の加熱処理を行い、粘着剤層を硬化した。粘着剤層が光硬化性である実施例23及び24では、積層体のガラス支持体面から超高圧水銀灯を20mW/cm2の強度で150秒間照射し、150℃、10分間の加熱処理を行い、粘着剤層を硬化した。次いで、280℃、60分間の加熱処理を1回行った。
加熱処理中、ガラス支持体又は半導体ウエハのどちらかの界面において粘着テープに浮きが生じるまでの時間を測定し、剥離時間とした。剥離時間が5分以内であった場合を×、剥離時間が5分を超えて60分以内であった場合を〇、剥離時間が60分を超えた場合を◎と示した。
粘着テープが剥がれた後の界面を目視にて観察し、残渣を評価した。被着体に残渣が見られた場合を×、被着体のエッジ部分にのみ残渣が見られた場合を〇、残渣が見られなかった場合を◎と示した。
粘着テープを25mm幅に裁断した。室温23℃、相対湿度50%の環境下、裁断した粘着テープを、2kgの圧着ゴムローラーを用いて10mm/secの速度でガラス(松浪ガラス工業社製、大型スライドガラス白縁磨 No.2)に貼り付けた。30分間放置した後、JIS Z0237に準拠し、粘着テープを300mm/minの速度で引き剥がして180度剥離強度を測定した。実施例23〜25については、粘着剤層1の初期粘着力は被着体としてガラス(松浪ガラス工業社製、大型スライドガラス白縁磨 No.2)を用いて測定し、粘着剤層2の初期粘着力は被着体としてシリコンミラーウエハを用いて測定した。
上記(1−1)片面粘着テープの高温(280℃)剥がれ評価及び上記(1−2)両面粘着テープの高温(280℃)剥がれ評価と同様にして積層体を作製し、粘着剤層の硬化処理を行い、次いで、280℃、60分間の加熱処理を1回行った。放冷後、上記(2)初期粘着力の評価と同様にJIS Z0237に準拠し、粘着テープを300mm/minの速度で引き剥がして180度剥離強度を測定した。
実施例21〜25については、気体発生剤を含有する粘着剤層の気体発生後粘着力の測定を行った。
上記(1−1)片面粘着テープの高温(280℃)剥がれ評価及び上記(1−2)両面粘着テープの高温(280℃)剥がれ評価と同様にして積層体を作製し、粘着剤層の硬化処理を行い、次いで、280℃、60分間の加熱処理を1回行った。放冷後、粘着テープの基材面又は粘着剤層2の面から、波長254nmの紫外線を積算強度が12000mJ/cm2となるよう照射し、気体を発生させた。その後、上記(2)初期粘着力の評価と同様にJIS Z0237に準拠し、粘着テープを300mm/minの速度で引き剥がして180度剥離強度を測定した。
(a)シリコーン化合物
エポキシ変性シリコーンオイル(X−22−163C、信越化学工業社製)
カルビノール変性シリコーンオイル(KF−6000、信越化学工業社製)
熱重合開始剤(パーブチルO、日油社製)
光重合開始剤(Omnirad369、IGM Resins社製)
イソシアネート系架橋剤(コロネートL、日本ポリウレタン社製)
エポキシ系架橋剤(テトラッドC、三菱ガス化学社製)
粘着剤層の組成を表3に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、粘着テープを得た。
実施例、参考例及び比較例で得られた粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。結果を表3及び4に示した。
(1−1)片面粘着テープの高温(280℃)剥がれ評価
実施例1〜15、17〜22、参考例16及び比較例1〜4で得られた粘着テープについて以下の評価を行った。
粘着テープを25mm幅に裁断した。室温23℃、相対湿度50%の環境下、裁断した粘着テープを、2kgの圧着ゴムローラーを用いて10mm/secの速度でガラス(松浪ガラス工業社製、大型スライドガラス白縁磨 No.2)に貼り付けた。粘着剤層が熱硬化型である実施例1〜15、18〜21、参考例16、比較例1〜4では、150℃、10分間の加熱処理を行い、粘着剤層を硬化した。粘着剤層が光硬化型である実施例17、22では、超高圧水銀灯を20mW/cm2の強度で150秒間照射した後、150℃、10分間の加熱処理を行い、粘着剤層を硬化した。次いで、280℃、60分間の加熱処理を1回行った。
加熱処理中、粘着テープに浮きが生じるまでの時間を測定し、剥離時間とした。剥離時間が5分以内であった場合を×、剥離時間が5分を超えて60分以内あった場合を〇、剥離時間が60分を超えた場合を◎と示した。
粘着テープが剥がれた後のガラスを目視にて観察し、残渣を評価した。ガラスに残渣が見られた場合を×、ガラスのエッジ部分にのみ残渣が見られた場合を〇、残渣が見られなかった場合を◎と示した。
Claims (21)
- 前記(メタ)アクリル共重合体は、更に、カルボキシル基含有モノマーに由来する構成単位を有することを特徴とする請求項1記載の硬化性粘着剤組成物。
- 前記(メタ)アクリル共重合体は、前記一般式(1)で表される構成単位の含有量が2モル%以上25モル%以下であることを特徴とする請求項1、2又は3記載の硬化性粘着剤組成物。
- 前記(メタ)アクリル共重合体は、前記水酸基含有モノマーに由来する構成単位の含有量が0.1モル%以上20モル%以下であることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の硬化性粘着剤組成物。
- 前記(メタ)アクリル共重合体は、前記カルボキシル基含有モノマーに由来する構成単位の含有量が5モル%以下であることを特徴とする請求項2、3、4又は5記載の硬化性粘着剤組成物。
- 前記(メタ)アクリル共重合体は、重量平均分子量が30万以上200万以下であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の硬化性粘着剤組成物。
- 280℃、1時間加熱後の重量減少率が15重量%以下であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の硬化性粘着剤組成物。
- スズ成分含有量がスズ換算で0.05重量%以下であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の硬化性粘着剤組成物。
- 更に、シリコーン化合物と、架橋剤とを含有し、前記シリコーン化合物は、架橋性官能基を有し、前記架橋剤は、前記(メタ)アクリル共重合体及び前記シリコーン化合物と架橋可能な官能基を有することを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8又は9記載の硬化性粘着剤組成物。
- 前記シリコーン化合物は、シリコーン系グラフト共重合体であり、前記シリコーン系グラフト共重合体の含有量は、前記(メタ)アクリル共重合体100重量部に対して0.1〜10重量部であることを特徴とする請求項10記載の硬化性粘着剤組成物。
- 前記重合開始剤は、熱重合開始剤であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10又は11記載の硬化性粘着剤組成物。
- 請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11又は12記載の硬化性粘着剤組成物を含有する粘着剤層を有することを特徴とする粘着テープ。
- 基材と、前記基材の両方の面に積層された前記粘着剤層とを有することを特徴とする請求項13記載の粘着テープ。
- 前記粘着剤層のうち少なくとも一方の粘着剤層が、気体発生剤を含有することを特徴とする請求項14記載の粘着テープ。
- 前記気体発生剤は、テトラゾール化合物又はその塩を含有することを特徴とする請求項15記載の粘着テープ。
- 前記粘着剤層のうち少なくとも一方の粘着剤層が、熱硬化性であることを特徴とする請求項14、15又は16記載の粘着テープ。
- 前記粘着剤層がいずれも紫外線硬化性であり、かつ、粘着テープの紫外線透過率が30%以上であることを特徴とする請求項14、15又は16記載の粘着テープ。
- 半導体加工工程に用いられることを特徴とする請求項13、14、15、16、17又は18記載の粘着テープ。
- 請求項13、14、15、16、17、18又は19記載の粘着テープを用いた半導体ウエハの処理方法であって、
前記粘着テープ上に半導体ウエハを仮固定する仮固定工程と、
前記半導体ウエハの表面に250℃以上の加熱を伴う処理を施す半導体ウエハ処理工程と、
前記半導体ウエハから前記粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程とを有する
ことを特徴とする半導体ウエハの処理方法。 - 請求項14、15、16、17、18又は19記載の粘着テープを用いた半導体デバイスの製造方法であって、
前記粘着テープを介して半導体ウエハを支持体上に仮固定する仮固定工程と、
前記半導体ウエハの表面に250℃以上の加熱を伴う処理を施す半導体ウエハ処理工程と、
前記支持体若しくは前記半導体ウエハ又はその両方から前記粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程とを有する
ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020002405 | 2020-01-09 | ||
JP2020002405 | 2020-01-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6799186B1 JP6799186B1 (ja) | 2020-12-09 |
JP2021109952A true JP2021109952A (ja) | 2021-08-02 |
Family
ID=73646830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020078125A Active JP6799186B1 (ja) | 2020-01-09 | 2020-04-27 | 硬化性粘着剤組成物、粘着テープ、半導体ウエハの処理方法、及び、半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6799186B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7488076B2 (ja) | 2020-03-23 | 2024-05-21 | 日本カーバイド工業株式会社 | 光学部材保護フィルム用粘着剤組成物及び光学部材保護フィルム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012255154A (ja) * | 2010-03-24 | 2012-12-27 | Sekisui Chem Co Ltd | 接着剤組成物、接着テープ、半導体ウエハの処理方法、及び、tsvウエハの製造方法 |
WO2017043173A1 (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 三井化学東セロ株式会社 | 粘着剤組成物及びその製造方法並びに粘着フィルム |
JP2018138682A (ja) * | 2018-06-18 | 2018-09-06 | 積水化学工業株式会社 | 粘着テープ |
JP2018188650A (ja) * | 2013-03-11 | 2018-11-29 | リンテック株式会社 | 粘着シートおよび加工されたデバイス関連部材の製造方法 |
JP2019099664A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 日本カーバイド工業株式会社 | 保護フィルム用粘着剤組成物及び保護フィルム |
JP2019151706A (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 王子ホールディングス株式会社 | 積層粘着シート及び積層粘着シートの製造方法 |
-
2020
- 2020-04-27 JP JP2020078125A patent/JP6799186B1/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012255154A (ja) * | 2010-03-24 | 2012-12-27 | Sekisui Chem Co Ltd | 接着剤組成物、接着テープ、半導体ウエハの処理方法、及び、tsvウエハの製造方法 |
JP2018188650A (ja) * | 2013-03-11 | 2018-11-29 | リンテック株式会社 | 粘着シートおよび加工されたデバイス関連部材の製造方法 |
WO2017043173A1 (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 三井化学東セロ株式会社 | 粘着剤組成物及びその製造方法並びに粘着フィルム |
JP2019099664A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 日本カーバイド工業株式会社 | 保護フィルム用粘着剤組成物及び保護フィルム |
JP2019151706A (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 王子ホールディングス株式会社 | 積層粘着シート及び積層粘着シートの製造方法 |
JP2018138682A (ja) * | 2018-06-18 | 2018-09-06 | 積水化学工業株式会社 | 粘着テープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6799186B1 (ja) | 2020-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6212450B2 (ja) | ウエハの処理方法 | |
JP6358798B2 (ja) | 粘着テープ | |
JP2018138682A (ja) | 粘着テープ | |
JP7015619B2 (ja) | 臨時固定用粘着シートおよびこれを使用した半導体装置の製造方法 | |
JP2015124301A (ja) | 粘着テープ | |
JP6799186B1 (ja) | 硬化性粘着剤組成物、粘着テープ、半導体ウエハの処理方法、及び、半導体デバイスの製造方法 | |
JP6266993B2 (ja) | ウエハの処理方法 | |
JP5555578B2 (ja) | 粘着剤組成物及び粘着テープ | |
JP2013231159A (ja) | 粘着剤組成物、粘着テープ、及び、ウエハの処理方法 | |
JP2014019790A (ja) | 粘着剤組成物、粘着テープ、及び、ウエハの処理方法 | |
JP2023104983A (ja) | 仮固定材、及び、電子部品の製造方法 | |
JP2021031676A (ja) | 粘着テープ | |
JP5888839B2 (ja) | アクリル系粘着剤の製造方法、粘着シートの製造方法 | |
JP5941544B2 (ja) | テトラゾール化合物又はその塩、接着剤組成物及び接着テープ | |
JP2023121157A (ja) | ポリイミド樹脂、硬化性樹脂組成物、仮固定材、及び、電子部品の製造方法 | |
JP5946708B2 (ja) | 粘着テープ | |
JP2021091892A (ja) | 粘着テープ | |
JP6564325B2 (ja) | ウエハの処理方法 | |
JP2019194201A (ja) | テトラゾール化合物−塩基性アゾ化合物複合体 | |
JP2021091891A (ja) | 粘着テープ、及び、半導体ウエハの製造方法 | |
JP6856799B1 (ja) | シリコーン系グラフト共重合体、粘着剤組成物及び粘着テープ | |
JP2021191850A (ja) | 粘着剤組成物、粘着テープ、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP2021191630A (ja) | 半導体加工用積層体、及び、被処理部材の処理方法 | |
JP2017082094A (ja) | 半導体加工用両面粘着テープ | |
JP6285738B2 (ja) | ウエハの処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200427 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200427 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201119 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6799186 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |