JP2021101453A - 半導体装置およびその製造方法ならびに電力変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子の電極とリードとの高い接合信頼性を得ることが容易な半導体装置およびその製造方法ならびに電力変換装置を提供する。【解決手段】半導体素子5aは、上面電極4aを有する。リード1は、上面電極4aに対向する第1面1Fと、第1面1Fの反対側の第2面1Sとを有する。はんだ層3aは、半導体素子5aの上面電極4aとリード1とを接続する。リード1は、第1面1Fから第2面1Sまで貫通する切欠部2を有する。切欠部2にははんだ層3aが充填されている。【選択図】図7
Description
本開示は、半導体装置およびその製造方法ならびに電力変換装置に関する。
電力変換用途の電力用半導体装置は、電気鉄道、一般産業用の輸送用機器、電気・ハイブリッド自動車、生活家電(エアコン、冷蔵庫など)に至るまで様々な製品に組み込まれている。また、これまで電力用半導体装置を備えていなかった製品にも、省電力化、高効率化などの観点から、電力用半導体装置が組み込まれるケースが増加している。これらの製品ではさらなる小型化と耐久性の向上とが求められている。それに伴って製品に搭載される電力用半導体装置にも小型化と高信頼性とが求められようになってきた。
電力用半導体装置では、高電圧、大電流、高周波での動作が可能である。電力変換装置として、たとえばスイッチング電源が幅広く利用されている。このスイッチング電源は、大電流回路を高速に繰り返し開閉し続けることで電力を制御している。このような制御を行うことで、スイッチング電源は、スイッチング素子として使われるパワー半導体素子(電力用半導体素子)のオン抵抗および順方向の電圧降下による電力損失により発熱する。
このようなパワー半導体素子において、パワー半導体素子のパッド電極とリードとのはんだによる接合部は大電流の経路となる。このため、このはんだによる接合部における接合性は、モジュール製品の耐久性、信頼性などに大きな影響を及ぼす。
半導体素子の電極部材とリードとをはんだ付けする技術は、たとえば特開2012−23125号公報(特許文献1)に開示されている。上記特許文献1においては、断面Cの字形状で固体状のはんだ材がリードの下面と両側面とに接合するように取り付けられる。リードに取り付けられたはんだ材が半導体素子の上方に間隔を開けて配置される。この状態で、はんだ材が加熱されることにより溶融する。溶融したはんだ材が半導体素子の上面に自重落下することにより、リードと半導体素子とのはんだ付けが行なわれる。
特許文献1に記載された技術では、はんだ溶融時に高熱によってリードに応力が作用することでリードに反りが生じやすい。このため、リードと電極との間の高い接合信頼性を得ることが難しい。
本開示は、上記課題を解決するためになされたものであり、半導体素子の電極とリードとの高い接合信頼性を得ることが容易な半導体装置およびその製造方法ならびに電力変換装置を提供することを目的とする。
本開示の半導体装置は、半導体素子と、リードと、はんだ層とを備えている。半導体素子は、電極を有する。リードは、電極に対向する第1面と、第1面の反対側の第2面とを有する。はんだ層は、半導体素子の電極とリードとを接続する。リードは、第1面から第2面まで貫通する切欠部を有する。切欠部にははんだ層が充填されている。
本開示の半導体装置の製造方法は以下の工程を備えている。
第1面と、第1面の反対側の第2面と、第1面から第2面まで貫通する切欠部とを有するリードの切欠部に固体状態のはんだ材が挟まれる。リードの切欠部に挟まれたはんだ材が半導体素子の電極に接触される。はんだ材を半導体素子の電極に接触させた状態で、はんだ材を溶融させることで電極にリードがはんだ付けされる。
本開示によれば、リードが切欠部を有している。この切欠部により、リードに応力が作用することが抑制され、またリードの反りも抑えられる。このため半導体素子の電極とリードとの高い接合信頼性を得ることが容易となる。
以下、本開示の実施の形態における半導体装置およびその製造方法ついて、図面を参照して詳細に説明する。なお明細書および図面において、同一の構成要素または対応する構成要素には同一の符号を付し、重複する説明を繰り返さない。また図面では説明の便宜上、構成を省略または簡略化している場合もある。また各実施の形態と各変形例との少なくとも一部は、互いに任意に組み合わされてもよい。また以下では電力半導体装置を例に挙げて説明するが、一般的な電圧が印加される半導体装置であってもよい。
実施の形態1.
<半導体装置の構成>
図1は、実施の形態1に係る電力用半導体装置の構成を示す模式図である。図1に示されるように、電力用半導体装置10は、リード1、11、12と、はんだ層3a、3bと、半導体素子5a、5bと、放熱用部材6と、はんだ層7a、7bと、封止材8と、ワイヤ13とを有している。
<半導体装置の構成>
図1は、実施の形態1に係る電力用半導体装置の構成を示す模式図である。図1に示されるように、電力用半導体装置10は、リード1、11、12と、はんだ層3a、3bと、半導体素子5a、5bと、放熱用部材6と、はんだ層7a、7bと、封止材8と、ワイヤ13とを有している。
放熱用部材6は、たとえば銅(Cu)などの金属平板を有している。半導体素子5a、5bのそれぞれは、放熱用部材6上にはんだ層7a、7bにより接合されている。半導体素子5aは、上面電極4a、4cを有している。半導体素子5bは、上面電極4bを有している。
リード1は、上面電極4a、4bに対向する第1面1Fと、第1面1Fの反対側の第2面1Sとを有している。リード1は、先端部1bを有している。リード1は、先端部1b付近において、はんだ層3aにより半導体素子5aの上面電極4aに接続されている。リード1は、はんだ層3bにより半導体素子5bの上面電極4bに接続されている。
リード11は、はんだ層7cにより放熱用部材6に接続されている。リード12は、ワイヤ13により半導体素子5aの上面電極4cに接続されている。封止材8は、放熱用部材6上を覆っている。封止材8は、リード1と半導体素子5a、5bとの接続部、リード11と放熱用部材6との接続部、リード12と半導体素子5aとの接続部などを封止している。
なお、本実施の形態においては、放熱用部材6は、セラミック板と、そのセラミック板の両面に付された金属板とからなる3層構造を有していてもよい。この構成においては、放熱用部材6の配線パターンが形成された面に半導体素子5a、5bが接合され、反対側の金属面にヒートシンクなどの冷却器が接合される。
リード1、11、12は、電源用端子1、11と、複数の制御用端子12とを有している。電源用端子1、11の各々は、半導体装置10の主電源の電流が入出力されるためのものである。複数の制御用端子12の各々は、半導体素子5aの動作を制御する信号が入力されるためのものである。
これらリード1、11、12の各々は金属から構成されている。リード1、11、12の各々を構成する材料としては、たとえば、銅、ステンレス鋼などを基材とした合金が挙げられる。リード1、11、12の各々の表面には、基材の金属が露出している。なお、リード1、11、12の各々の表面は、メッキ処理されてもよい。
リード1、11、12の各々は封止材8の外側に延びている。リード1、11、12の各々は、リード加工工程でモジュールに対して垂直に折り曲げられたり、平行のまま延びている。後工程でのモジュールの搭載形態により、リード1、11、12の各々の加工形状は異なる。
封止材8は、金型による射出成型が可能であり、耐熱性を有する樹脂から構成されている。封止材8の材料としては、たとえばエポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂は、半導体素子5a、5b、ワイヤ13などを覆う。エポキシ樹脂は、光、熱、湿度、振動などの外部環境要因、または異物またはゴミの付着から半導体素子5a、5b、ワイヤ13などを保護する。エポキシ樹脂は、耐熱性、耐水性、耐薬品性に優れ、さらに電気的特性、機械的特性においても安定している。エポキシ樹脂は硬化時に揮発性物質を副次的に生成しない。このためエポキシ樹脂を用いた成形品では、寸法変化が少なく、また流動性も優れる。よってエポキシ樹脂は、複雑な形状の成形品またはインサートの多い成形品に適しており、電気・機械部品または封止用材料として広く使用されている。
ワイヤ13には、たとえば、太線(φ80μm〜φ500μm)のアルミニウム(Al)よりなるワイヤが用いられる。ワイヤ13は、超音波接合によって半導体素子5aの上面電極4cと制御用端子12とを結線している。接合は、ワイヤ13に荷重と超音波とを印加してワイヤ13を塑性変形させることにより行われる。接合は、接合面の酸化皮膜など接合要因を阻害する層を破壊して清浄面を露出させてワイヤ13を清浄面に凝着接合することにより行なわれる。
半導体素子5a、5bにおいては、オン時に半導体素子5a、5bの厚さ方向に電流が流れ、オフ時に電流が遮断される。半導体素子5a、5bを構成する材料としては、たとえば、シリコン(Si)、シリコンカーバイト(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、ガリウムヒ素(GaAs)などが挙げられる。上面電極4a、4b、4cの各々の表面には、はんだ付けするための層が設けられてもよい。はんだ付けするための層としては、たとえば、ニッケル(Ni)めっき層が挙げられる。
半導体素子5aとしては、たとえば、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、パワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)などが用いられる。また、半導体素子5bとしては、たとえば、FWD(Free Wheeling Diode)、SBD(Schottky Barrier Diode)などが挙げられる。
半導体装置10は、電力の制御、電力の供給および電力の変換を行う。半導体装置10は、大容量の電流、電圧を扱う。半導体装置10は、電圧の大きさの変換、電圧の周波数の変換、直流から交流への変換、交流から直流への変換などに用いられる。半導体装置10は、たとえば4個の半導体素子で単相交流を作り、6個の半導体素子で3相交流を作るインバータ回路を構成する。半導体装置10は、たとえば空気調和機のインバータ、冷蔵庫のインバータ、洗濯機のインバータなどに用いられる。また半導体装置10は、たとえば電気自動車の駆動系装置、ハイブリッド自動車の駆動系装置、電気鉄道車両の駆動系装置、照明機器の照度制御装置などにも用いられる。
図2は、図1のリードの形状を示す平面図(A)および正面図(B)である。図2に示されるように、リード1は切欠部2を有している。切欠部2は、リード1の第1面1Fから第2面1Sまで貫通している。
リード1は、接合部CPと、立ち上がり部SPと、頂部TPとを有している。図1および図2に示されるように、接合部CPは、はんだ層3aにより半導体素子5aの上面電極4aに接続される部分である。接合部CPは、半導体素子5aの上面電極4aと対面している。接合部CPにおける第1面1Fは、上面電極4aの上面と略平行である。
頂部TPは、半導体素子5a、5bに対して接合部CPよりも高い位置に位置する部分である。頂部TPは、接合部CPの延在方向と略平行に延びている。
立ち上がり部SPは、接合部CPと頂部TPとを繋ぐ部分である。立ち上がり部SPは、接合部CPから上方へ立ち上がり、頂部TPから下方へ立ち下がっている。立ち上がり部SPは、接合部CPとの接続部から頂部TPの接続部まで上り勾配の傾斜を有している。
接合部CPは、立ち上がり部SPに接続される第1端部1aと、第1端部1aの反対側の第2端部(先端部)1bとを有している。切欠部2は、たとえばリード1の第2端部1bから第1端部1aに向かって延びている。切欠部2は、リード1の長手方向に沿って直線状に延びている。切欠部2は、第1端部1aに達していない。切欠部2は、図2(A)に示される平面視において、第2端部1bから第1端部1aに向かって短手方向の寸法が一定を維持するように延びている。
上記において平面視とは、図2(A)に示されるように、リード1の第2面1Sに対して直交する方向から見た視点を意味する。
<半導体装置の製造方法>
次に、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
次に、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
図3は、実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。図4〜図6は、リードを電極にはんだ付けする工程を順に示す図である。
図1に示されるように、Cuなど熱伝導性に優れた金属からなる放熱用部材6上に半導体素子5a、5bがダイボンド材7a、7bによりダイボンドされる(ステップS1:図3)。ダイボンド材7a、7bは、たとえばはんだ材である。ダイボンド材7a、7bは、金属をナノスケールまで微粒子化して反応性を向上させた接合材料であってもよい。この場合、接合材料を溶融することなく低温で焼結させて合金層を形成することにより、放熱用部材6に半導体素子5a、5bが焼結結合される。
次に、リード1、11、12が準備される。図4に示されるように、リード1は、切欠部2を有するように準備される。切欠部2は、リード1の接合部CPにおいてリード1の第1面1Fから第2面1Sまで貫通するように形成される。切欠部2は、リード1の第2端部1bから第1端部1aに向かって延びるように形成される。
図5に示されるように、はんだ付けリフロー装置に製品を投入する前に、固体状態のはんだ材3aがリード1の切欠部2に挟まれる。ここではんだ材3aは、板はんだ、シートはんだなどの固形はんだが特定サイズに加工されることにより準備される。
半導体素子5aの上面電極4aとリード1とをはんだ接合するに当たり、良好なはんだ接合性を得るために必要なはんだ材3aの量をあらかじめ試算することが可能である。計算によって、必要なはんだ材3aの量を得るためのはんだ材3aの外形寸法が求まり、そのはんだ材3aの寸法に合うように、リード1の切欠部2の幅、長さが決定する。ここで、はんだ材3aの外形寸法およびリード1の成形における加工ばらつきが正規分布に従う前提として、最小二乗法などを使用して、統計的にリード1の切欠部2の寸法およびその公差が決定される。
切欠部2へのはんだ材3aの挟み込みを自動機が行なう場合、はんだ材3aは、ロボットアームなどでピックアップ、またはクランプで保持された後に、リード1の切欠部2へ挟み込まれる。また切欠部2へのはんだ材3aの挟み込みを作業者が行なう場合、はんだ材3aが手作業によりピンセットなどで保持された後に、リード1の切欠部2へ挟み込まれる。
ここで、リード1の切欠部2へのはんだ材3aの挟み方について、はんだ材3aの寸法、切欠部2の形状などにより状況は異なる。はんだ材3aの一部が半導体素子5aの上面電極4aの表面に接触せずに浮いた状態でリード1の切欠部2に挟まっている場合が考えられる。このような場合として、たとえば切欠部2の上側部分だけにはんだ材3aが挟まっているような場合が考えられる。この場合、リフロー工程で溶融したはんだ材3aはその表面張力により、リード1の上面(第2面)1S上に溜まる。これにより溶融したはんだ材がリード1の下面(第1面)1Fまで落ちず、リード1と上面電極4aとのはんだ接合ができないという問題が発生する。
このためリード1にはんだ材3aを挟む工程において、はんだ材3aを上面電極4aと接触するように切欠部2に挟み込むことは、良好なはんだ接合性を得るために必要である。具体的にははんだ材3aの下面がリード1の下面(第1面)1Fと同一面内に位置するようにはんだ材3aが切欠部2に挟まれる。はんだ材3aの下面はリード1の下面1Fよりも下に位置していてもよい。
図6に示されるように、リード1に挟んだはんだ材3aが上面電極4aに接触するように配置される。この状態においては、はんだ材3aの下面だけでなく、リード1の下面1Fも上面電極4aに接触している。この状態で、リード1が上面電極4aにはんだ付けされる(ステップS2:図3)。
はんだ付けは、リフロー装置(リフロー炉)にて行なわれる。リフロー装置には赤外線式または熱風式の加熱方式がある。はんだ付けされる製品または部品が組み付けられた状態で搬送用パレットに載せられて、ローダー(IN)部からリフロー装置内へ投入される。はんだ付けされる製品または部品は、ベルトコンベアにより加熱炉中のプリヒート(予熱)部、本加熱部、冷却部を通過し、アウトローダー(OUT)部へ排出される。
プリヒートは、急激な熱衝撃の緩和、フラックスの活性化などを行う。本加熱では、はんだ材3aの成分組成により溶融温度は異なるものの、一般的には220℃〜260℃の温度に加熱される。
良好なはんだ接合性を得るためには、被接合層の酸化皮膜を除去するためにフラックス剤を使用する場合がある。しかし、この場合にはリフロー後にフラックス残渣を除く洗浄工程が必要である。また、この場合にはフラックスの残渣成分が残ったり、洗浄廃液処理の問題などもある。このため、フラックス剤を使用しないで、ギ酸還元を使用したリフロー方式も一般的となっている。
リフロー工程では、はんだ材3aの濡れ性を確保するために、上記のように事前にフラックス剤が塗布されたり、または低酸素濃度雰囲気、ギ酸還元雰囲気などにてフラックスレスではんだ材3aが溶融される。
図7は、リフロー工程で溶融したはんだがリード上面に濡れ広がる様子を示す平面図(A)〜(D)である。図7(A)に示されるように、リード1の切欠部2にはんだ材3aが挟まれる。リード1に挟んだはんだ材3aが上面電極4aに接触するように配置される。この状態で、上記リフロー工程によりはんだ材3aが溶融する。
図7(B)に示されるように、溶融したはんだ材3aは切欠部2からリード1の第2端部1bより外側へ広がりはんだフィレットを形成する。同時に、溶融したはんだ材3aの余剰分は、切欠部2からリード1の上面(第2面)1Sに濡れ広がる。
図7(C)に示されるように、溶融したはんだ材3aは、リード1の上面(第2面)1Sに徐々に濡れ広がり、リード1の第1側端部1cおよび第2側端部1dからはみ出る。
図7(D)に示されるように、溶融したはんだ材3aは、リード1の接合部CPにおける上面(第2面1S)のほぼ全面に濡れ広がり、凝固する。これによりはんだ層3aは、切欠部2内を充填する。またはんだ層3aは、リード1の接合部CPにおける上面のほぼ全面に形成される。また、はんだ層3aは、リード1の第2端部1b、第1側端部1cおよび第2側端部1dに接する。
またはんだ層3aは、平面視において切欠部2の真下に位置する上面電極4aの表面に接する。またはんだ層3aは、平面視においてリード1の第2端部1b、第1側端部1cおよび第2側端部1dの周囲に位置する上面電極4aの表面に接する。
図8は、凝固したはんだ層の状態を示す断面図であって、図1の領域Rに対応した構成を示す拡大図である。図8に示されるように、はんだ材3aは、リード1の下面(第1面1F)と上面電極4aとの間に染み込み凝固してもよい。これによりリード1の下面1Fと上面電極4aとの間にもはんだ層3aが形成されてもよい。
リード1は、半導体素子5aの上面電極4aにはんだ付けされるのと同様に、半導体素子5bの上面電極4bにもはんだ層3bによりはんだ付けされてもよい。またリード11は、リード1が半導体素子5aの上面電極4aにはんだ付けされるのと同様に、放熱用部材6にはんだ層3cによりはんだ付けされてもよい。
この後、ワイヤボンド工程が行なわれる(ステップS3:図3)。
図1に示されるように、このワイヤボンド工程においては、直径φ100μm〜500μmの太線アルミニウムワイヤ13により、リード12と半導体素子5aの上面電極4cとが接続される。
この後、エポキシ樹脂を使用した射出成形でモールド成形が行なわれる(ステップS4:図3)。これにより封止材8は、リード1と半導体素子5a、5bとの接続部、リード11と放熱用部材6との接続部、リード12と半導体素子5aとの接続部などを封止する。
この後、リード1、11、12が加工される(ステップS5:図3)。リード1、11、12の加工工程では、後工程でモジュールを製品に搭載するために、リード1、11、12の各々が任意の形状に曲げ加工される。
上記一連の製造工程の途中において、図3のフローチャートには記載していないが、外観目視検査、超音波探傷検査(SAT・C−SAM)、X線検査、電気特性検査などの品質検査工程、あるいは還元、洗浄、さらに乾燥工程などが予め規定されたタイミングで実施される。
上記のようにして図1に示す本実施の形態の半導体装置10が製造される。
<リード1における切欠部2の変形例>
次に、リード1に形成される切欠部2の変形例について図9および図10を用いて説明する。
次に、リード1に形成される切欠部2の変形例について図9および図10を用いて説明する。
図9は、リードの形状の変形例を示す平面図(A)〜(E)である。図9(A)に示されるように、切欠部2は、互いに平面形状の異なる第1部分2aと第2部分2bとを有していてもよい。第1部分2aは、平面視においてテーパ形状を有していてもよい。具体的には第1部分2aは、平面視において第2端部1bから第1端部1aに向かって切欠部2の短手方向の寸法が連続的に減少するように延びている。第2部分2bは、平面視において第1部分2aから第1端部1aに向かって切欠部2の短手方向の寸法が一定を維持するように延びている。第1部分2aがテーパ形状を有していることにより、はんだ材3aを挟む際に切欠部2へのはんだ材3aの引っ掛かりを抑制することができる。
図9(B)に示されるように、切欠部2の第1部分2aの幅よりも第2部分2bの幅が大きくなっていてもよい。切欠部2の第1部分2aは、第2端部1bから第1端部1aに向かって切欠部2の短手方向の寸法が一定を維持するように延びていてもよい。また第2部分2bは、第1部分2aに接続され、かつ平面視において円形状を有していてもよい。また第2部分2bは、平面視において真円形状であってもよく、楕円形状であってもよい。
図9(C)に示されるように、複数の切欠部2がリード1に設けられていてもよい。複数の切欠部2の各々は、平面視において第2端部1bから第1端部1aに向かって短手方向の寸法が一定を維持するように延びていてもよい。複数の切欠部2は平面視において互いに平行に延びていてもよい。また図9(A)または図9(B)に示される切欠部2が複数設けられていてもよい。また図9(A)〜図9(C)に示される切欠部2が適宜組み合わされてもよい。
図9(D)に示されるように、切欠部2は、貫通孔であってもよい。この場合、切欠部2は、平面視においてリード1の端縁のいずれにも達しておらず、四方をリード1により取り囲まれている。切欠部2は平面視において、三角形、四角形、五角形などの多角形状を有していてもよい。貫通孔よりなる切欠部2は、第1面1Fから第2面1Sまで貫通している。
図9(E)に示されるように、切欠部2は、平面視において円形状を有していてもよい。切欠部2は、平面視において真円形状であってもよく、楕円形状であってもよい。
図10は、リードの形状の他の変形例を示す平面図(A)およびはんだが取り付けられた状態を示す斜視図(B)である。図10(A)に示されるように、リード1は、平面視において互いに対向する第1側端部1cと第2側端部1dとを有している。第1側端部1cおよび第2側端部1dの各々は、第1端部1aおよび第2端部1bに接続されている。切欠部2は、平面視において第1側端部1cから第2側端部1dへ向かって延びていてもよい。この切欠部2は、平面視において、第1側端部1cから第2側端部1dに向かって切欠部2の幅が一定を維持するように延びている。
第1側端部1cから第2側端部1dへ向かって延びる切欠部2の形状は、図9(A)、図9(B)に示される形状であってもよい。また第1側端部1cから第2側端部1dへ向かって延びる切欠部2は、図9(C)に示されるように複数個の切欠部2であってもよい。
上記図2、図9(A)〜図9(E)、図10に示された切欠部2は適宜組み合わされてもよい。切欠部2は、接合部CPのどこの辺に設けられていてもよい。また切欠部2は、接合部CPの一辺または複数の辺に設けられていてもよい。
<効果>
一般に、環境問題に対してRoHS(Restriction of Hazardous Substances)指令、JIS(Japanese Industrial Standards)規格、自主規制などから鉛フリーはんだの使用が進められている。しかし鉛フリーはんだでは、共晶はんだに比べて融点が高くなり、高熱によるストレスが増加する。
一般に、環境問題に対してRoHS(Restriction of Hazardous Substances)指令、JIS(Japanese Industrial Standards)規格、自主規制などから鉛フリーはんだの使用が進められている。しかし鉛フリーはんだでは、共晶はんだに比べて融点が高くなり、高熱によるストレスが増加する。
本実施の形態においては図2に示されるように、リード1に切欠部2が設けられている。これにより、はんだ材3aの溶融時に、高熱によってリード1に応力が作用することが抑制され、またリード1の反りも抑えられる。このように外部応力およびストレスを緩和できるため、リード1と上面電極4aとのはんだ接合において高い接合信頼性を得ることができる。
また切欠部2の形状、配置位置、個数を、接合面のサイズおよび形状と、接合に必要なはんだ材3aの量とに合わせて適正に設計することが可能である。これにより、リード1などの部材の小型化、省資源化とそれに伴うモジュールおよび製品の小型化、コスト低減、生産性、信頼性の向上が可能である。
また本実施の形態においては図7に示されるように、切欠部2に固体状態のはんだ材3aを挟み込んだ状態からはんだ材3aが溶融される。これにより溶融したはんだ材3aの余剰分がリード1の上面に濡れ広がる。これにより上面電極4aとリード1との間のはんだ層3aの量を適切な量に保つことができる。このため、はんだ材3aの余剰分により隣接したはんだ同士がブリッジして互いに電気的にショートすることが抑制される。またはんだ材3aの余剰分によりはんだボールが生じて周囲に飛散することも抑制される。
また本実施の形態においては図6に示されるように、はんだ材3aが上面電極4aに接した状態ではんだ材3aが溶融される。これによりはんだ付けリフローの際に、上面電極4aに対するはんだ材3aの上下方向の相対位置がずれることはない。このためはんだ付けリフローにおいてはんだフィレットが十分に形成され、接合強度の低下が抑制され、それに伴って信頼性の低下も抑制される。
また上記特許文献1においては、断面Cの字形状で固体状のはんだ材がリードの下面と両側面とに接合するように取り付けられる。このためはんだ材がリードに密着する部分には、はんだ接合性を向上させるための還元雰囲気が侵入しにくい。このためはんだ表面の酸化皮膜が還元されず、はんだ層とリードとの接合部に気泡(ボイド)が発生するという問題がある。
これに対して本実施の形態においては図6に示されるように、はんだ材3aが切欠部2に挟まれている。このためはんだ材3aの溶融前においては、はんだ材3aは切欠部2を構成する壁面に接しているだけであり、リード1の上面1Sなどに接していない。このためはんだ付けリフロー時に、はんだ材3aとリード1との間に還元雰囲気を行き渡らせることができる。よってはんだ層3aとリード1との接合部に気泡(ボイド)が発生することを抑制できる。
実施の形態2.
図11は、実施の形態2に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)である。図11(A)、(B)に示されるように、本実施の形態においては、はんだ材3aの下面がリード1の下面1Fよりも下方に位置するように、自動機または作業者によってはんだ材3aが切欠部2に挟み込まれる。具体的にははんだ材3aの下面がリード1の下面1Fからリード1の上面1Sとは反対側へ突き出すようにはんだ材3aが切欠部2に挟み込まれる。
図11は、実施の形態2に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)である。図11(A)、(B)に示されるように、本実施の形態においては、はんだ材3aの下面がリード1の下面1Fよりも下方に位置するように、自動機または作業者によってはんだ材3aが切欠部2に挟み込まれる。具体的にははんだ材3aの下面がリード1の下面1Fからリード1の上面1Sとは反対側へ突き出すようにはんだ材3aが切欠部2に挟み込まれる。
この状態で、はんだ材3aの下面が上面電極4aに接触するようにリード1が配置される。このため上面電極4aの表面とリード1の下面1Fとの間には隙間があり、リード1は上面電極4aから浮いた状態となる。この上面電極4aに対するリード1の浮き量(間隙の上下方向の寸法)Hは、はんだ材3aをリード1の切欠部2に挟み込む際の両者の位置関係により調整可能である。
また、はんだ材3aの厚さばらつきを考慮して、リード1の切欠部2の幅が設計されている。このため切欠部2に挟み込まれたはんだ材3aが、リード1に対して上下方向にずれることが抑制される。これによりリード1を上面電極4aに載置した後の上面電極4aとリード1との間隙の寸法Hはそのまま保持される。このため、はんだ付けリフロー工程に投入すると、溶融したはんだ材3aがリード1の下面1Fと上面電極4aとの間隙に流動し易くなる。これにより溶融したはんだ材3aがリード1における接合部CPの全体に濡れ広がり、良好なはんだ付け性が得られ、高い製品品質を得ることができる。
実施の形態3.
図12は、実施の形態3に係る半導体装置においてリードの切欠部にはんだ材が挟み込まれた状態を示す斜視図(A)、(B)である。図13は、実施の形態3に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)、およびはんだ層によりはんだ付けされた状態を示す正面図(C)である。
図12は、実施の形態3に係る半導体装置においてリードの切欠部にはんだ材が挟み込まれた状態を示す斜視図(A)、(B)である。図13は、実施の形態3に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)、およびはんだ層によりはんだ付けされた状態を示す正面図(C)である。
図12(A)、(B)に示されるように、本実施の形態においては切欠部2がリード1の接合部CPおよび立ち上がり部SPに形成されている。具体的には、切欠部2は接合部CPの第2端部1bから第1端部1aに達するように接合部CPの全長に亘って延びており、かつ接合部CPの第1端部1aから立ち上がり部SP内に延びている。切欠部2は立ち上がり部SPを貫通していてもよい。
はんだ材3aをリード1の切欠部2に挟み込む際に、リード1の第2端部1bから立ち上がり部SP内までの任意の位置にはんだ材3aを挟み込むことができる。たとえば図12(A)に示されるように、はんだ材3aは、リード1の第2端部1bから立ち上がり部SP内までに亘って位置するように切欠部2に配置されてもよい。またたとえば図12(B)に示されるように、はんだ材3aは、リード1の第2端部1bよりも第1端部1a側の位置から第1端部1aよりも第2端部1b側の位置までの領域にのみ位置するように切欠部2に配置されてもよい。
本実施の形態においては図13(A)、(B)に示されるように、リード1の接合部CPの全長および立ち上がり部SP内の全長に亘ってはんだ材3aが挟み込まれていてもよい。このため図13(C)に示されるように、上面電極4aと対向するリード1の下面1Fの全面に溶融したはんだ材3aを行き渡らせることが容易となり、良好なはんだ接合性が得られる。
また本実施の形態においては図13(A)、(B)に示されるように、リード1の立ち上がり部SPより奥側まではんだ材3aを差し込むことができる。このため図13(C)に示されるように、リード1の立ち上がり部SPの裏側(根元)部分BPまで、溶融したはんだ材3aが濡れ広がる。これにより、はんだ接合性を向上するフィレット(溶融したはんだ材3aの裾広がり部分)を形成することができ、良好なはんだ付け性と高い製品品質とを得ることが可能となる。
実施の形態4.
図14は、実施の形態4に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)である。図14(A)に示されるように、本実施の形態おいては、リード1が1個以上の突起部PPを有している。突起部PPは、リード1における接合部CPの下面1Fから上面1Sとは反対側の上面電極4aに向かって突き出している。
図14は、実施の形態4に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)である。図14(A)に示されるように、本実施の形態おいては、リード1が1個以上の突起部PPを有している。突起部PPは、リード1における接合部CPの下面1Fから上面1Sとは反対側の上面電極4aに向かって突き出している。
突起部PPの先端は上面電極4aに接している。リード1の下面1Fは、上面電極4aの表面との間に間隙を有している。リード1の下面1Fと上面電極4aの表面との間の間隙の上下方向の寸法は、突起部PPの上下方向の寸法と実質的に同じである。つまりード1の下面1Fと上面電極4aの表面との間の間隙の上下方向の寸法は、突起部PPの上下方向の寸法によって調整可能である。
突起部PPは、たとえばリード1の下面1Fから上面電極4aに近付くにしたがって寸法が小さくなる逆台形の形状を有している。突起部PPの形状は、逆台形に限らず、立方体、円柱、逆円錐、半球などの如何なる形状であってもよい。突起部PPの形状は、リード1が上面電極4aに載置された時に、突起部PPによりリード1の下面1Fと上面電極4aの表面との間に間隙ができる形状であればよい。
図14(B)に示されるように、突起部PPは切欠部2が設けられた部分以外のリード1の下面1Fに設けられている。複数の突起部PPがリード1の下面1Fに設けられていてもよい。複数の突起部PPは、平面視において切欠部2を挟み込むように切欠部2の両側に配置されていてもよい。
本実施の形態においては、切欠部2にはんだ材3aを挟み込んだリード1が上面電極4aに載置される際に突起部PPが上面電極4aに接することで、リード1の下面1Fと上面電極4aの表面との間に間隙ができる。このため、はんだ付けリフロー工程で溶融したはんだ材3aが、リード1の切欠部2を通って上記間隙を容易に流動できる。これにより、溶融したはんだ材3aがリード1における接合部CPの下面1Fの全面に濡れ広がるため、良好なはんだ付け性と高い製品品質とを得ることが可能である。
実施の形態5.
図15は、実施の形態5に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す側面図である。図15に示されるように、本実施の形態においては、逆T字またはL字形状などに曲げ加工されたはんだ材3aがリード1の切欠部2に挟み込まれた状態で、リード1が上面電極4aに載置される。これによりはんだ材3aは、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間に位置するように切欠部2に挟まれる。
図15は、実施の形態5に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す側面図である。図15に示されるように、本実施の形態においては、逆T字またはL字形状などに曲げ加工されたはんだ材3aがリード1の切欠部2に挟み込まれた状態で、リード1が上面電極4aに載置される。これによりはんだ材3aは、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間に位置するように切欠部2に挟まれる。
本実施の形態においては、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間にはんだ材3aが挟まれるため、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間にはんだ材3aの厚み分の間隙ができる。これにより、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間に間隙を作るために、図14に示される実施の形態4のようにリード1の下面1Fに突起部PPを形成する必要はない。
ここで、はんだ材3aをT字またはL字形状に加工する費用は、リード1の下面1Fに突起部PPを加工する費用よりも安価にできる。
また、はんだ付けリフロー工程で、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間の間隙内に挟まれたはんだ材3aは溶融することにより、上記間隙内に容易に濡れ広がる。また、リード1の切欠部2に挟み込まれたはんだ材3aも溶融し、リード1の下面1Fと上面電極4aとの間隙全面に流動して濡れ広がる。このため、良好なはんだ付け性と高い製品品質とを得ることができる。
実施の形態6.
図16は、実施の形態6に係る半導体装置のリードの構成を示す正面図(A)および底面図(B)である。図16(A)、(B)に示されるように、本実施の形態においては、リード1は、下面1Fに複数の溝TRを有している。複数の溝TRの各々は、下面1Fにおいて切欠部2からリード1の外縁に向かって放射状に延びている。
図16は、実施の形態6に係る半導体装置のリードの構成を示す正面図(A)および底面図(B)である。図16(A)、(B)に示されるように、本実施の形態においては、リード1は、下面1Fに複数の溝TRを有している。複数の溝TRの各々は、下面1Fにおいて切欠部2からリード1の外縁に向かって放射状に延びている。
本実施の形態においては、たとえば1本の切欠部2の端部から6本の放射状の溝TRが延びる構成を示したが、溝TRの幅、深さ、本数は上面電極4aに対向するリード1の下面1Fの寸法により異なってもよい。
本実施の形態においては、はんだ付けリフロー工程で溶融したはんだ材3aが切欠部2からリード1の下面1Fにおいて複数の溝TRをつたって放射状に流動する。これにより、溶融したはんだ材3aが上面電極4aに対向するリード1の下面1Fの全体に濡れ広がることが促進され、良好なはんだ付け性と高い製品品質とを得ることができる。
なおはんだ材3aが凝固してはんだ層3aとなった状態では、複数の溝TRの各々にははんだ層3aが充填されている。
実施の形態7.
図17は、実施の形態7に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)である。図17(A)、(B)に示されるように、はんだ材3aは凹み部3aaを有している。はんだ材3aは、正面視において「C」の字形状を有している。はんだ材3aは、正面視においてL字形状、凸形状などであってもよい。
図17は、実施の形態7に係る半導体装置においてはんだ材を挟み込んだリードを上面電極に配置した状態を示す正面図(A)および平面図(B)である。図17(A)、(B)に示されるように、はんだ材3aは凹み部3aaを有している。はんだ材3aは、正面視において「C」の字形状を有している。はんだ材3aは、正面視においてL字形状、凸形状などであってもよい。
凹み部3aaは、第1側壁3abから、第1側壁3abに対向する第2側壁3acに向かって延びている。凹み部3aaは、第1側壁3abおよび第2側壁3acの双方に繋がる第3側壁3adから、その第3側壁3adに対向する第4側壁3aeに達することによりはんだ材3aを貫通している。凹み部3aaの上下方向(厚み方向)の寸法Wは、リード1における接合部CPの厚みT以上である。
はんだ材3aを切欠部2に挟み込む際に、はんだ材3aは、凹み部3aaが設けられた第1側壁3ab側から切欠部2に挿入される。これによりはんだ材3aが切欠部2に挟み込まれた状態で、はんだ材3aの凹み部3aaにリード1が挿入される。これにより、はんだ材3aとリード1とが互いに嵌合する。
本実施の形態においては、凹み部3aaにリード1が挿入されることにより、はんだ材3aがリード1の切欠部2の端部よりも奥側まで入り込むことができる。これにより、リード1の切欠部2の長さ寸法を短くすることができるため、リード1の剛性が低下したり、リード1の断面積が減少することを抑制できる。このため電力変換回路などで使用される場合の寄生インダクタンスの増加を抑制することが可能である。
さらに、リード1の奥側まではんだ材3aを差し込むことにより、はんだ付けリフロー工程で溶融したはんだ材3aが上面電極4aに対向するリード1の下面1Fの全体に濡れ広がることができ、良好なはんだ付け性と高い製品品質とを得ることが可能である。
実施の形態8.
図18は、実施の形態8に係る半導体装置のリードの構成を示す正面図(A)および底面図(B)である。図18(A)、(B)に示されるように、リード1は、上面電極4aに対向するリード1の下面1Fに複数個の凹部RPを有している。複数の凹部RPは、切欠部2から離れた位置に配されている。
図18は、実施の形態8に係る半導体装置のリードの構成を示す正面図(A)および底面図(B)である。図18(A)、(B)に示されるように、リード1は、上面電極4aに対向するリード1の下面1Fに複数個の凹部RPを有している。複数の凹部RPは、切欠部2から離れた位置に配されている。
凹部RPの形状は、四角柱、円柱、半球、円錐、ディンプルなどである。凹部RPは、上面電極4aに対向するリード1の下面1Fをショットブラスト加工、梨地加工などすることにより形成されてもよい。
本実施の形態においては、はんだ付けリフロー工程で溶融したはんだ材3aは、切欠部2からリード1の下面1Fに流動して凹部RPに入り込んで凝固し、はんだ層3aとなる。これにより凝固したはんだ層3aは複数の凹部RPの各々に充填されている。はんだ層3aが凹部RPに入り込むことによってアンカー効果が得られる。このアンカー効果によって、はんだ層3aとリード1の下面1Fとの接合力が高まり、良好なはんだ付け性と高い製品品質とを得ることができる。
ここで本文中に記載は無いが、はんだ材3aを挟み込んだリード1を上面電極4aに載置した後であってリフロー工程に投入するまでに、自動機による搬送、作業者の人手による運搬などで振動、衝撃などが製品に加わる。これにより上面電極4aに対するリード1の位置ずれが発生する。またリフロー装置で処理中に溶融したはんだ材3aの浮力が作用してリード1が上面電極4aに対して浮くことにより、製品品質に影響を及ぼすことがある。
これらの対策として、半導体素子5aの上面電極4aにリード1を載置した後に、治具などを用いて半導体素子5aとリード1とを位置決めし、固定することは一般的である。本実施の形態における半導体装置の製造方法においても、はんだ付けリフロー工程では半導体素子5aとリード1を位置決めして固定するために治具などが使用されてもよい。この冶具は、リフロー工程の投入前に作業者により手作業で装着され、はんだ付けリフロー工程の投入後に手作業で脱着されてもよい。
実施の形態9.
本実施の形態は、上述した実施の形態1〜8に係る半導体装置を電力変換装置に適用したものである。本開示は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態9として、三相のインバータに本開示を適用した場合について説明する。
本実施の形態は、上述した実施の形態1〜8に係る半導体装置を電力変換装置に適用したものである。本開示は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態9として、三相のインバータに本開示を適用した場合について説明する。
図19は、本実施の形態に係る電力変換装置を適用した電力変換システムの構成を示すブロック図である。
図19に示されるように、本実施の形態に係る電力変換システムは、電源100、電力変換装置200、負荷300から構成される。電源100は、直流電源であり、電力変換装置200に直流電力を供給する。電源100は種々のもので構成することが可能であり、たとえば直流系統、太陽電池、蓄電池で構成されてもよく、交流系統に接続された整流回路またはAC/DCコンバータで構成されてもよい。また、電源100は、直流系統から出力される直流電力を所定の電力に変換するDC/DCコンバータによって構成されてもよい。
電力変換装置200は、電源100と負荷300との間に接続された三相のインバータであり、電源100から供給された直流電力を交流電力に変換し、負荷300に交流電力を供給する。電力変換装置200は、直流電力を交流電力に変換して出力する主変換回路201と、主変換回路201を制御する制御信号を主変換回路201に出力する制御回路203とを備えている。
負荷300は、電力変換装置200から供給された交流電力によって駆動される三相の電動機である。なお、負荷300は特定の用途に限られるものではなく、各種電気機器に搭載された電動機であり、たとえば、ハイブリッド自動車、電気自動車、鉄道車両、エレベーター、もしくは空調機器向けの電動機として用いられる。
以下、電力変換装置200の詳細を説明する。主変換回路201は、スイッチング素子と還流ダイオードを備えている(図示せず)。このスイッチング素子がスイッチングすることによって、電源100から供給される直流電力が交流電力に変換され、負荷300に供給される。主変換回路201の具体的な回路構成には種々のものがある。本実施の形態に係る主変換回路201は2レベルの三相フルブリッジ回路であり、6つのスイッチング素子とそれぞれのスイッチング素子に逆並列された6つの還流ダイオードとから構成することができる。主変換回路201の各スイッチング素子および各還流ダイオードの少なくともいずれかは、上述した実施の形態1〜8のいずれかの半導体装置10に相当する半導体装置202が有するスイッチング素子または還流ダイオードである。6つのスイッチング素子は2つのスイッチング素子ごとに直列接続され上下アームを構成し、各上下アームはフルブリッジ回路の各相(U相、V相、W相)を構成する。そして、各上下アームの出力端子、すなわち主変換回路201の3つの出力端子は、負荷300に接続される。
また、主変換回路201は、各スイッチング素子を駆動する駆動回路(図示なし)を備えている。この駆動回路は半導体装置202に内蔵されていてもよいし、半導体装置202とは別に備えられていてもよい。駆動回路は、主変換回路201のスイッチング素子を駆動する駆動信号を生成し、主変換回路201のスイッチング素子の制御電極に供給する。具体的には、駆動回路は、後述する制御回路203からの制御信号に従い、スイッチング素子をオン状態にする駆動信号とスイッチング素子をオフ状態にする駆動信号とを各スイッチング素子の制御電極に出力する。スイッチング素子をオン状態に維持する場合、駆動信号はスイッチング素子の閾値電圧以上の電圧信号(オン信号)である。またスイッチング素子をオフ状態に維持する場合、駆動信号はスイッチング素子の閾値電圧以下の電圧信号(オフ信号)である。
制御回路203は、負荷300に所望の電力が供給されるよう主変換回路201のスイッチング素子を制御する。具体的には、制御回路203は、負荷300に供給すべき電力に基づいて主変換回路201の各スイッチング素子がオン状態となるべき時間(オン時間)を算出する。たとえば、出力すべき電圧に応じてスイッチング素子のオン時間を変調するPWM制御によって主変換回路201を制御することができる。そして、各時点においてオン状態となるべきスイッチング素子にはオン信号が出力され、オフ状態となるべきスイッチング素子にはオフ信号が出力されるよう、主変換回路201が備える駆動回路に制御回路203は制御指令(制御信号)を出力する。駆動回路は、この制御信号に従い、各スイッチング素子の制御電極にオン信号またはオフ信号を駆動信号として出力する。
本実施の形態に係る電力変換装置では、主変換回路201を構成する半導体装置202として実施の形態1〜8に係る半導体装置10が適用されるため、半導体素子5aの上面電極4aとリード1との高い接合信頼性を実現することができる。
本実施の形態では、2レベルの三相インバータに本開示を適用する例を説明したが、本開示は、これに限られるものではなく、種々の電力変換装置に適用することができる。本実施の形態では、2レベルの電力変換装置としたが、本開示が適用される電力変換装置は3レベルまたはマルチレベルの電力変換装置であっても構わないし、単相負荷に電力を供給する場合には単相のインバータであっても構わない。また、直流負荷などに電力を供給する場合にはDC/DCコンバータまたはAC/DCコンバータに本開示を適用することも可能である。
また、本開示を適用した電力変換装置は、上述した負荷が電動機の場合に限定されるものではなく、たとえば、放電加工機、レーザー加工機、誘導加熱調理器、非接触給電システムなどの電源装置として用いることもでき、さらには太陽光発電システム、蓄電システムなどのパワーコンディショナーとして用いることも可能である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1,11,12 リード、1F 第1面(下面)、1S 第2面(上面)、1a 第1端部、1b 第2端部(先端部)、1c 第1側端部、1d 第2側端部、2 切欠部、2a 第1部分、2b 第2部分、3a はんだ材(はんだ層)、3b,3c,7a,7b,7c はんだ層、3aa 凹み部、3ab 第1側壁、3ac 第2側壁、3ad 第3側壁、3ae 第4側壁、4a,4b,4c 上面電極、5a,5b 半導体素子、6 放熱用部材、8 封止材、10,202 半導体装置、13 ワイヤ、100 電源、200 電力変換装置、201 主変換回路、203 制御回路、300 負荷、BP 裏側(根元)部分、CP 接合部、PP 突起部、RP 凹部、SP 立ち上がり部、TP 頂部、TR 溝。
Claims (10)
- 電極を有する半導体素子と、
前記電極に対向する第1面と、前記第1面の反対側の第2面とを有するリードと、
前記半導体素子の前記電極と前記リードとを接続するはんだ層と、を備え、
前記リードは、前記第1面から前記第2面まで貫通する切欠部を有し、
前記切欠部には前記はんだ層が充填されている、半導体装置。 - 前記リードは、前記はんだ層によって前記電極に接合される接合部と、前記接合部から立ち上がる立ち上がり部とを有し、
前記接合部は、前記立ち上がり部に接続される第1端部と、前記第1端部の反対側の第2端部とを有し、
前記切欠部は、前記第2端部から前記第1端部に達するように前記接合部に形成され、かつ前記立ち上がり部に形成されている、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記リードは、前記切欠部以外の位置に、前記第1面から前記電極に向かって突き出した突起部を有し、
前記突起部の先端は前記電極に接している、請求項1または請求項2に記載の半導体装置。 - 前記リードは、前記第1面に前記切欠部から延びる複数の溝を有し、
前記複数の溝には前記はんだ層が充填されている、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記リードは、前記第1面に前記切欠部から離れた複数の凹部を有し、
前記複数の凹部には前記はんだ層が充填されている、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、前記第1面から前記第2面まで貫通する切欠部とを有するリードの前記切欠部に固体状態のはんだ材を挟む工程と、
前記リードの前記切欠部に挟まれた前記はんだ材を半導体素子の電極に接触させる工程と、
前記はんだ材を前記半導体素子の前記電極に接触させた状態で、前記はんだ材を溶融させることで前記電極に前記リードをはんだ付けする工程と、を備えた、半導体装置の製造方法。 - 前記はんだ材は、前記リードの前記第1面から前記第2面とは反対側へ突き出すように前記リードの前記切欠部に挟まれる、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記はんだ材は、前記リードの前記第1面と前記電極との間に位置するように前記切欠部に挟まれる、請求項6または請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記はんだ材は凹み部を有し、
前記はんだ材が前記リードの前記切欠部に挟まれた状態において、前記はんだ材の前記凹み部に前記リードが挿入されている、請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体装置を有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路と、
前記主変換回路を制御する制御信号を前記主変換回路に出力する制御回路と、
を備えた、電力変換装置。
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JP (1) | JP2021101453A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2024018795A1 (ja) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
-
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- 2019-12-24 JP JP2019232962A patent/JP2021101453A/ja active Pending
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WO2024018795A1 (ja) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
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