JP2021055126A5

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Info

Publication number: JP2021055126A5
Application number: JP2019176823A
Authority: JP
Filing date: 2019-09-27
Publication date: 2022-10-05
Anticipated expiration: 2039-09-27

Claims

水素を含む冷媒を圧縮する圧縮機であって、
窒素を含有した非晶質の炭素皮膜が基材に施された摺動部材を備え、
前記摺動部材は、前記冷媒が存在する雰囲気に配置され、
前記炭素皮膜における窒素含有率が、12～20原子％である、
圧縮機。
第１スクロール、および前記第１スクロールに対して公転旋回運動する第２スクロールを含むスクロール圧縮機構と、
前記第２スクロールに連結され、回転可能に支持されるシャフトと、
前記シャフトにおける一端側で前記スクロール圧縮機構からのスラスト荷重を受けるスラスト軸受と、
前記シャフトの他端部からスラスト荷重を受けるスラスト部材と、を備え、
前記摺動部材は、
前記スラスト軸受と、
前記スラスト部材と、
前記スラスト軸受および前記第２スクロールに係合して前記第２スクロールの自転を規制するオルダムリンクと、
前記第１スクロールのラップと、
前記第２スクロールのラップとの少なくともいずれかに該当する、
請求項１に記載の圧縮機。
シリンダ、前記シリンダの内側で回転されるピストンロータ、前記シリンダの内側の空間を仕切るブレードを含むロータリー圧縮機構と、
前記ロータリー圧縮機構からのスラスト荷重を受けるスラスト軸受と、を備え、
前記摺動部材は、
前記スラスト軸受および前記ブレードの少なくともいずれかに該当する、
請求項１に記載の圧縮機。
水素を含む冷媒を圧縮する圧縮機を構成する摺動部材であって、
前記冷媒が存在する雰囲気に配置され、
窒素を含有した非晶質の炭素皮膜が基材に施され、
前記炭素皮膜における窒素含有率が、12～20原子％である、
摺動部材。
前記摺動部材は、
前記圧縮機に備わるスクロール圧縮機構からのスラスト荷重を受けるスラスト軸受である、
請求項４に記載の摺動部材。
前記摺動部材は、
前記圧縮機に備わるスクロール圧縮機構に用いられるオルダムリンクである、
請求項４に記載の摺動部材。
前記摺動部材は、
前記圧縮機に備わるロータリー圧縮機構を構成するブレードである、
請求項４に記載の摺動部材。
冷媒が存在する雰囲気下で使用される摺動部材であって、
窒素を含有した非晶質の炭素皮膜が基材に施され、
前記炭素皮膜における窒素含有率が、12～20原子％である、
摺動部材。
請求項４から８のいずれか一項に記載の摺動部材を製造する方法であって、
グリッドレスイオンビーム発生装置を用いて窒素イオンビームを前記基材に照射しながら、フィルタードカソーディック真空アーク法により前記基材に炭素を蒸着する成膜ステップを実施することで、窒素を含有した非晶質の炭素皮膜を前記基材に施す、
摺動部材の製造方法。
前記成膜ステップにおいて、前記グリッドレスイオンビーム発生装置に導入される窒素ガスの流量を設定することにより、
前記炭素皮膜に、12～20 原子％の窒素含有率を与える、
請求項９に記載の摺動部材の製造方法。
前記成膜ステップの前に、
不活性ガスから生成されたイオンビームを前記基材に照射する、
請求項９または１０に記載の摺動部材の製造方法。