JP2021050062A - 物体搬送用テーブルおよび搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブルおよび搬送装置において、作業者にとって不快な騒音の発生の低減を図り、作業者の作業環境を改善することができるようにした物体搬送用テーブルおよび搬送装置を提供する。【解決手段】流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブルにおいて、上面に穿設された穴から流体を噴き出して、上記流体の圧力により物体を浮上させる本体部と、上記本体部内に配設されるとともに、予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰する吸音機構とを有するようにした。【選択図】 図２

Description

本発明は、物体搬送用テーブルおよび搬送装置に関する。さらに詳細には、本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）製造工程などのような各種の作業工程において、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板などのような各種の物体を搬送する際などに用いて好適な物体搬送用テーブルおよび搬送装置に関する。

一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）あるいは低温ポリシリコン薄膜トランジスタ（ＬＴＰＳ−ＴＦＴ：Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｐｏｌｙ Ｓｉｌｉｃｏｎ−Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などを含むフラットパネルディスプレイ製造工程の分野においては、各作業工程においてフラットパネルディスプレイ用のガラス基板を搬送したり姿勢変更したりするための装置として、エアー（空気）の圧力を利用してガラス基板などの物体を浮上させて非接触で搬送する搬送装置が用いられている。

こうした搬送装置としては、例えば、特許文献１として提示する特開平１０−１３９１６０号公報などに開示された構成を備えたものが知られている。

ここで、図１（ａ）（ｂ）には、上記した特開平１０−１３９１６０号公報などに開示された従来の物体搬送用テーブルおよび搬送装置の一例が示されている。

即ち、図１（ａ）（ｂ）には、従来の物体搬送用テーブルおよび搬送装置の概略構成を模式的に示す構成説明図があらわされている。なお、図１（ａ）は、一部を破断して示した図１（ｂ）のＡ矢視説明図である。また、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線により一部を破断して示した断面説明図である。

図１（ａ）（ｂ）に示すように、従来の搬送装置１００は、略中空長方体形状の箱形状の物体搬送用テーブル１０２と、物体搬送用テーブル１０２へのエアーの供給源となるコンプレッサー１０４と、物体搬送用テーブル１０２とコンプレッサー１０４との間に配置されてコンプレッサー１０４から物体搬送用テーブル１０２へ供給されるエアーの圧力をガラス基板などの物体２００の搬送に好適な圧力に調整する圧力調整手段としてのレギュレーター１０６と、物体搬送用テーブル１０２とレギュレーター１０６とを連結する第１ダクト１０８と、レギュレーター１０６とコンプレッサー１０４とを連結する第２ダクト１１０とを有して構成されている。

より詳細には、物体搬送用テーブル１０２は、略長方形状の底板部１０２ａと、底板部１０２ａの前縁部から底板部１０２ａに対して略直角に上方に立ち上がり形成された前板部１０２ｂと、底板部１０２ａの後縁部から底板部１０２ａに対して略直角に上方に立ち上がり形成された後板部１０２ｃと、底板部１０２ａの左縁部から底板部１０２ａに対して略直角に上方に立ち上がり形成された左側板１０２ｄと、底板部１０２ａの右縁部から底板部１０２ａに対して略直角に上方に立ち上がり形成された右側板１０２ｅと、前板部１０２ｂと後板部１０２ｃと左側板１０２ｄと右側板１０２ｅとにより形成された上方開口部を塞ぐ略長方形状の上板部１０２ｆとを有している。

ここで、前板部１０２ｂと後板部１０２ｃと左側板１０２ｄと右側板１０２ｅとの高さ方向の長さは略同一に設定されていて、底板部１０２ａと上板部１０２ｆとが平行に配置され、前板部１０２ｂと後板部１０２ｃとが平行に配置され、左側板１０２ｄと右側板１０２ｅとが平行に配置されている。

物体搬送用テーブル１０２においては、底板部１０２ａと前板部１０２ｂと後板部１０２ｃと左側板１０２ｄと右側板１０２ｅと上板部１０２ｆとにより、予め設定された容量のエアチャンバー１１２が形成されている。

物体搬送用テーブル１０２の上板部１０２ｆには、上下方向に貫通する小径の穴１１４が複数穿設されている。従って、エアチャンバー１１２内にエアーＡＩＲが供給されると、エアチャンバー１１２内に供給されたエアーＡＩＲは穴１１４を通過して外部へ噴出し、この外部へ噴き出したエアーＡＩＲの圧力によりガラス基板などの物体２００を浮上させて搬送する。

ここで、穴１１４は、浮上させる物体２００の各部位において浮上量に差が出ることなく、同一平面を維持して浮上させることができるように、直径、穴長ならびに穴の数や配列などは予め設定されている。

また、物体搬送用テーブル１０２の底板部１０２ａには、第１ダクト１０８の一方の端部の開口部１０８ａと連通する大径の連通孔１１６が複数個穿設されている。なお、第１ダクト１０８の他方の端部１０８ｂの開口部は、レギュレーター１０６に接続されている。

そして、第２ダクト１１０の一方の端部１１０ａの開口部がレギュレーター１０６に接続され、かつ、第２ダクト１１０の他方の端部１１０ｂがコンプレッサー１０４に接続されている。

以上の構成において、従来の搬送装置１００によれば、コンプレッサー１０４から第２ダクト１１０、レギュレーター１０６および第１ダクト１０８を介して物体搬送用テーブル１０２のエアーチャンバー１１２へエアーＡＩＲを供給すると、上板板１０２ｆに穿設された穴１１４を通過してエアーＡＩＲが外部へ噴出する。

この上板板１０２ｆに穿設された穴１１４から外部へ噴き出したエアーＡＩＲの圧力により物体２００を浮上させて、物体２００を非接触で搬送することができる。

しかしながら、上記したような従来の搬送装置においては、ガラス基板などの物体を非接触で搬送することができるものであるが、物体搬送用テーブルの穴からエアーが噴出する際に、物体搬送用テーブルの穴からの噴き出し音として作業者にとって不快な騒音（例えば、周波数３０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚの音波である。）が発生し、作業者の作業環境が悪化するという問題点があった。

特開平１０−１３９１６０号公報

本発明は、上記したような従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブルおよび搬送装置において、作業者にとって不快な騒音の発生の低減を図り、作業者の作業環境を改善することができるようにした物体搬送用テーブルおよび搬送装置を提供しようとするものである。

上記目的を達成するために、本発明は、流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブル内に、予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰して、当該周波数あるいは周波数帯域における騒音レベルを低減する効果を備えた吸音機構を設けるようにしたものである。

従って、本発明によれば、吸音機構により減衰する音波の周波数あるいは周波数帯域を、作業者にとって不快な騒音の周波数あるいは周波数帯域（例えば、周波数３０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚである。）に設定することによって、作業者にとって不快な騒音の発生の低減を図ることができるようになり、作業者の作業環境を改善することができるものである。

即ち、本発明による物体搬送用テーブルは、流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブルにおいて、上面に穿設された穴から流体を噴き出して、上記流体の圧力により物体を浮上させる本体部と、上記本体部内に配設されるとともに、予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰する吸音機構とを有するようにしたものである。

また、本発明による物体搬送用テーブルは、上記した本発明による物体搬送用テーブルにおいて、上記吸音機構は、単数あるいは複数のヘルムホルツ共鳴器として作用する構造を備えているようにしたものである。

また、本発明による物体搬送用テーブルは、上記した本発明による物体搬送用テーブルにおいて、上記吸音機構は、上面部から底面部に向けて第１の厚さ貫通した第１の開口径を備えた第１段貫通孔部と、第１段貫通孔部の下端から上記底面部までの第２の厚さ貫通した第２の開口径を備えた第２段貫通孔部とよりなる貫通孔を備えるとともに、上記第１の開口径は上記第２の開口径よりも細径な共鳴ボックスと、上記共鳴ボックスの上記底面部における上記第２段貫通孔部の開口部を遮蔽する遮蔽部とを有するようにしたものである。

また、本発明による物体搬送用テーブルは、上記した本発明による物体搬送用テーブルにおいて、上記遮蔽部材は、上記共鳴ボックスの上記底面部の全面を被覆するパッキンと、上記パッキンの底面部の全面を被覆する底蓋とを有し、上記吸音機構は、上記共鳴ボックスと上記底蓋とが上記パッキンとを介して互いに密着して緊密に結合されたものである。

また、本発明による物体搬送用テーブルは、上記した本発明による物体搬送用テーブルにおいて、上記吸音機構は、多孔質材料を用いた吸音構造、または、板振動または膜振動を利用した吸音構造を備えているようにしたものである。

また、本発明による物体搬送用テーブルは、上記した本発明による物体搬送用テーブルにおいて、上記吸音機構は、上記本体部内に単数または複数配設されたものである。

また、本発明による物体搬送用テーブルは、上記した本発明による物体搬送用テーブルにおいて、上記流体は、気体である。

また、本発明による搬送装置は、上記した本発明による物体搬送用テーブルを備えるようにしたものである。

本発明は、以上説明したように構成されているので、流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブルおよび搬送装置において、作業者にとって不快な騒音の発生の低減を図り、作業者の作業環境を改善することができるようになるという優れた効果を奏するものである。

図１（ａ）（ｂ）は、従来の物体搬送用テーブルおよび搬送装置の概略構成を模式的に示す構成説明図である。なお、図１（ａ）は、一部を破断して示した図１（ｂ）のＡ矢視説明図である。また、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線により一部を破断して示した断面説明図である。 図２（ａ）（ｂ）は、本発明の実施の形態の一例による物体搬送用テーブルおよび搬送装置の概略構成を模式的に示す構成説明図である。なお、図２（ａ）は、一部を破断して示した図２（ｂ）のＣ矢視説明図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＤ−Ｄ線により一部を判断して示した断面説明図である。 図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は、図２（ａ）（ｂ）に示す搬送装置の物体搬送用テーブル内に設置された吸音機構における共鳴ボックスの概略構成を模式的に示す構成説明図である。なお、図３（ａ）は、図３（ｂ）のＥ矢視説明図である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＦ−Ｆ線により破断して示した断面説明図である。また、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＧ矢視説明図である。 図４は、本願発明者により行った実験における測定ポイントを示す説明図である。 図５は、図４に示す測定ポイントにより測定した測定結果を示すグラフである。なお、グラフの縦軸は１／３オクターブ毎のＡ特性騒音レベル（ｄＢ）であり、グラフの横軸は音波の周波数（Ｈｚ）である。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明による物体搬送用テーブルおよび搬送装置の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。

なお、以下の説明においては、上記において図１（ａ）（ｂ）を参照しながら説明した従来の物体搬送用テーブルおよび搬送装置と同一または相当する構成については、それぞれ同一の符号を付して示すことにより、それらの詳細な構成ならびに作用の説明については適宜に省略する。

ここで、図２（ａ）（ｂ）には、本発明の実施の形態の一例による物体搬送用テーブルおよび搬送装置の概略構成を模式的に示す構成説明図があらわされている。なお、図２（ａ）は、一部を破断して示した図２（ｂ）のＣ矢視説明図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＤ−Ｄ線により一部を判断して示した断面説明図である。

また、図３（ａ）（ｂ）（ｃ）には、図２（ａ）（ｂ）に示す搬送装置の物体搬送用テーブル内に設置された吸音機構における共鳴ボックスの概略構成を模式的に示す構成説明図があらわされている。なお、図３（ａ）は、図３（ｂ）のＥ矢視説明図である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＦ−Ｆ線により破断して示した断面説明図である。また、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＧ矢視説明図である。

この本発明の実施の形態の一例による搬送装置１０は、上記において説明した従来の搬送装置１００と比較すると、物体搬送用テーブル１０２内に予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰する吸音機構２０が配設されている点において、従来の搬送装置１００と異なる。

なお、本発明の理解を容易にするために、説明の便宜上、本発明の実施の形態の一例による搬送装置１０における吸音機構２０を配設した物体搬送用テーブルについては、符号１１として示すこととすると、物体搬送用テーブル１１は、従来の物体搬送用テーブル１０２と比較すると、エアーチャンバー１１２内に吸音機構２０を配設した点において、従来の物体搬送用テーブル１０２と異なることとなる。

また、物体搬送用テーブル１１における吸音機構２０を除くその他の構成については、従来の物体搬送用テーブル１０２と異なるものではないが、当該構成については「本体部」と称することとする。

従って、物体搬送用テーブル１１は、本体部内に吸音機構２０を備えている点において、従来の物体搬送用テーブル１０２と異なるものと言える。

この物体搬送用テーブル１１の本体部内に配設された吸音機構２０は、略長方体形状を備えており、上板部１０２ｆの下面１０２ｆａから高さ方向下方において予め設定された距離Ｌだけ離れた位置に当該吸音機構２０を配置するため、高さ位置調整用のカラー３０を介してボルト３２により底板部１０２ａに固定されている。

以下に、物体搬送用テーブル１１の本体部内に配設された吸音機構２０の詳細な構成について説明する。

吸音機構２０は、共鳴ボックス２２とパッキン２４と底蓋２６と有して構成されており、これら共鳴ボックス２２とパッキン２４と底蓋２６とは、ネジ２８により互いに締結されることによって一体化されている。

ここで、共鳴ボックス２２は、高さ方向において厚さＴ１を備えるとともに、上面部２２ａが上板部１０２ｆと平行な平面であり、かつ、底面部２２ｂが底板部１０２ａと平行な平面である略板状体形状を備えている。この共鳴ボックス２２は、例えば、金属や樹脂などにより形成することができる。

また、共鳴ボックス２２には、高さ方向に沿って上面部２２ａから底面部２２ｂまで貫通する貫通孔４０が複数穿設されている。この貫通孔４０は、上面部２２ａから底面部２２ｂに向けて厚さＴ１ａまでの第１段貫通孔部４０ａの開口径（第１段開口径）Ｄ１は細径であるが、第１段開口径Ｄ１を備えた細径の第１段貫通孔部４０ａの下方側、即ち、第１段貫通孔部４２ａの下端から底面部２２ｂまでの厚さＴ１ｂの第２段貫通孔部４０ｂの開口径（第２段開口径）Ｄ２は大径とされている。

ここで、図２乃至図３において図示した例においては、厚さＴ１ａは厚さＴ１ｂよりも薄く設定（Ｔ１ａ＜Ｔ１ｂ）されているが、これに限られるものではなく、厚さＴ１ａと厚さＴ１ｂとを同一に設定（Ｔ１ａ＝Ｔ１ｂ）したり、あるいは、厚さＴ１ａを厚さＴ１ｂよりも厚く設定（Ｔ１ａ＞Ｔ１ｂ）するようにしてもよい。

また、第１段開口径Ｄ１は、第２段開口径Ｄ２よりも細径に設定されている（Ｄ１＜Ｄ２）。

従って、後においても詳述するように、共鳴ボックス２２の底面部２２ｂが、パッキン２４を介して底蓋２６と緊密に締結されることにより、貫通孔４０のそれぞれはヘルムホルツ共鳴器として作用する。

なお、パッキン２４と底蓋２６とにより、共鳴ボックス２２の底面部２２ｂにおける第２段貫通孔部４０ｂの開口部を遮蔽する遮蔽部が構成されている。

ここで、第１段貫通孔部４０ａおよび第２段貫通孔部４０ｂよりなる貫通孔４０の寸法や数あるいは配列などは、吸音機構２０により低減させる音波の周波数あるいは周波数帯域に応じて適宜に設定すればよい。

パッキン２４は、厚さＴ２を備えるとともに、共鳴ボックスの底面部２２ｂの下面の全面を被覆するように配置されている。このパッキン２４は、例えば、ゴムやシリコンなどにより形成することができる。

また、底蓋２６は、厚さＴ３を備えるとともに、パッキン２４の下面の全面を被覆するように配置されている。この底蓋２６は、例えば、金属や樹脂などにより形成することができる。

ネジ２８は、共鳴ボックス２２と底蓋２６とがパッキン２４を介して互いに密着して緊密に結合されるように、共鳴ボックス２２とパッキン２４と底蓋２６とを一体的に締結している。これにより、共鳴ボックス２２とパッキン２４との間やパッキン２４と蓋２６との間からエアーが漏れることが防止される。

なお、共鳴ボックス２２における符号３４は、ボルト３２を挿通する貫通孔である。また、共鳴ボックス２２における符号３６は、ネジ２８を挿通する貫通孔である。

以上の構成において、搬送装置１０によれば、コンプレッサー１０４から第２ダクト１１０、レギュレーター１０６および第１ダクト１０８を介して物体搬送用テーブル１１のエアーチャンバー１１２へエアーＡＩＲを供給すると、上板板１０２ｆに穿設された穴１１４を通過してエアーＡＩＲが外部へ噴出する。

この上板板１０２ｆに穿設された穴１１４から外部へ噴き出したエアーＡＩＲの圧力により物体２００を浮上させて、物体２００を非接触で搬送することができる。

この際に、物体搬送用テーブル１１の本体部内に配設された吸音機構２０により、ヘルムホルツ共鳴を利用して予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波が減衰され、物体搬送用テーブル１１の穴１１４からエアーが噴出する際における噴き出し音から、当該周波数あるいは周波数帯域における騒音レベルが低減される。

従って、吸音機構２０により減衰する音波の周波数あるいは周波数帯域を、作業者にとって不快な騒音の周波数あるいは周波数帯域（例えば、周波数３０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚである。）に設定することにより、搬送装置１０においては不快な騒音の発生の低減を図ることができる。

ここで、図４には、本願発明者により行った実験における測定ポイントを示す説明図があらわされている。

また、図５には、図４に示す測定ポイントにより測定した測定結果を示すグラフがあらわされている。なお、図５に示すグラフの縦軸は１／３オクターブ毎のＡ特性騒音レベル（ｄＢ）であり、図５に示すグラフの横軸は音波の周波数（Ｈｚ）である。

この本願発明者による実験は、以下の条件・寸法等により構成した搬送装置１０を用いて、図４の説明図に示す測定ポイントにより騒音を測定した。

（１）物体搬送用テーブル１１における寸法：長さＬ１＝３１５ｍｍ，幅Ｗ１＝８０ｍｍ、高さＨ１＝４０ｍｍ，穴１１４の開口径＝φ１．５ｍｍ，穴１１４の個数＝略均一の間隔で１００個配置

（２）共鳴ボックス２２の寸法：長さＬ２＝１３６ｍｍ，幅Ｗ２＝４６ｍｍ、厚さＴ１ａ＝６ｍｍ，厚さＴ１ｂ＝５ｍｍ

（３）貫通穴４０の寸法：第１段開口径Ｄ１＝φ１．５ｍｍ，第２段開口径Ｄ２＝φ６．６〜７．４ｍｍ，貫通穴４０の個数＝略均一の間隔で６７個配置

（４）パッキン２４の寸法：厚さＴ２＝２ｍｍ

（５）底蓋２６の寸法：厚さＴ３＝３ｍｍ

（６）エアーＡＩＲの条件：圧力＝０．４ｋＰａ、流量＝２０１Ｌ／ｍｉｎ

なお、上記（１）乃至（６）において示した条件・寸法等において、上記（２）ならびに上記（３）については対象騒音（作業者にとって不快な周波数あるいは周波数帯域の騒音）に応じて変化させて設定するが、上記（１）および上記（４）乃至（６）については対象騒音とは関係なく設定してよい。

また、第２段開口径Ｄ２の寸法は、対象騒音の周波数に幅がある場合には広く設定し、あまり幅がない場合には狭く設定することにより、対象騒音を効果的に低減することができるが、第１段開口径Ｄ１や厚さＴ１ｂの寸法に幅を持たせることによっても同様な効果を得ることができる。

上記した条件・寸法等において、騒音計としてリオン社製「ＮＬ−５２」を用いて図４に示す測定ポイントで騒音を測定したところ、図５に示すように、作業者にとって不快な騒音の周波数あるいは周波数帯域として設定した周波数３０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚの音波が減衰されており、作業者にとって不快な騒音の発生の低減が図られている。

この本願発明者の実験より、上記した本発明による搬送装置１０によれば、上記（２）ならびに上記（３）に示す各種の条件・寸法等を変更することにより、物体搬送用テーブル１１の上板部１０２ｆに穿設された穴１１４からエアーが噴出する際の噴き出し音中における低減したい周波数あるいは周波数帯域の音波（例えば、作業者にとって不快の周波数あるいは周波数帯域の音波である。）を目標として、その目標とした周波数あるいは周波数帯域の音波の低減を図ることができることが理解される。

また、上記した目標とする音波の周波数あるいは周波数帯域が複数あっても、目標とするそれぞれの周波数あるいは周波数帯域の音波の低減に資するように共鳴ボックス２２を設計することにより、目標とするそれぞれの周波数あるいは周波数帯域の音波の低減を図ることができる。

具体的には、例えば、低減の目標とする音波の周波数として周波数帯Ａと周波数帯Ｂとの２つの周波数帯がある場合には、共鳴ボックス２２の貫通孔４０の一部については周波数帯Ａの音波を低減可能に設計するとともに、共鳴ボックス２２の貫通孔４０の残部については周波数帯Ｂの音波を低減可能に設計するなどしてもよい。

なお、本願発明者は、実験環境の温度を変化させて実験を行ったところ、いずれの温度においても図５に示すと同様の実験結果が得られた。

即ち、本発明による搬送装置１０によれば、搬送装置１０の設置環境に関わらず、上記した目標とする周波数の音波を低減することができる。

以上において説明したように、上記した本発明による物体搬送用テーブル１１ならびに搬送装置１０によれば、物体搬送用テーブル１１を配置する位置や、物体搬送用テーブル１１の上板部１０２ｆに穿設された穴１１４の直径、穴長ならびに穴の数や配列などを変更することなく、また、何らの動力源や作動機構などを用いることなしに、穴１１４からの噴き出し音による作業者にとって不快な周波数あるいは周波数帯域の騒音を低減することができる。

また、本発明による物体搬送用テーブル１１ならびに搬送装置１０においては、穴１１４からの噴き出し音による作業者にとって不快な周波数あるいは周波数帯域の騒音を低減することができるため、穴１１４からの噴き出し音の全体の騒音レベルも下げることができる。

なお、上記において説明した実施の形態は例示に過ぎないものであり、本発明は他の種々の形態で実施することができる。即ち、本発明は、上記において説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。

例えば、上記において説明した実施の形態は、以下の（１）乃至（９）に示すように変形するようにしてもよい。

（１）上記において説明した実施の形態においては、本発明の理解を容易にするために、本発明による搬送装置１０が単一の物体搬送用テーブル１１を備えた場合について図示して説明したが、これに限られるものではないことは勿論である。即ち、本発明による搬送装置１０は、複数の物体搬送用テーブル１１を備えるようにしてもよいことは勿論である。また、複数の物体搬送用テーブル１１を備えるようにした場合には、各物体搬送用テーブル１１のそれぞれがコンプレッサー１０４などのエアーの供給源を備えるようにしてもよいし、あるいは、複数の物体搬送用テーブル１１がコンプレッサー１０４などのエアーの供給源を共用するようにしてもよい。

（２）上記において説明した実施の形態においては、本発明の理解を容易にするために、本発明による物体搬送用テーブル１１内に単一の吸音機構２０を設けた場合について図示して説明したが、これに限られるものではないことは勿論である。即ち、本発明による物体搬送用テーブル１１は、単一の物体搬送用テーブル１１内に複数の吸音機構２０を設けるようにしてもよいことは勿論である。また、単一の物体搬送用テーブル１１内に複数の吸音機構２０を設けるようにした場合には、各吸音機構２０は同一の周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰するようにしてもよいし、あるいは、各吸音機構２０はそれぞれ異なる周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰するようにしてもよい。

（３）上記した実施の形態においては、吸音機構２０は、それぞれ別体として形成された共鳴ボックス２２とパッキン２４と底蓋２６とを一体的に連結して、貫通孔４０がヘルムホルツ共鳴器として作用するように構成したが、これに限られるものではないことは勿論である。即ち、本発明による吸音機構２０においては、金属や樹脂などの種々の材料を一体成型してヘルムホルツ共鳴器として作用する構造を形成するようにしてもよい。

（４）上記した実施の形態においては、吸音機構２０は、複数の貫通孔４０がヘルムホルツ共鳴器として作用するように構成している。換言すれば、上記した実施の形態においては、吸音機構２０が複数のヘルムホルツ共鳴器を備えている。しかしながら、本発明はこれに限られるものではないことは勿論である。即ち、本発明による吸音機構２０は、単数のヘルムホルツ共鳴器を備えるようにしてもよい。

（５）上記した実施の形態においては、吸音機構２０は、それぞれ別体として形成された共鳴ボックス２２とパッキン２４と底蓋２６とをネジ２８により一体的に連結するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。即ち、本発明による吸音機構２０においては、それぞれ別体として形成された共鳴ボックス２２とパッキン２４と底蓋２６とを接着剤により一体的に連結するようにしてもよい。

（６）上記において説明した実施の形態においては、吸音機構２０がヘルムホルツ共鳴を利用して予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。吸音機構２０は、例えば、多孔質材料を用いた吸音構造を備えるようにしてもよいし、あるいは、板振動や膜振動を利用した吸音構造を備えるようにしてもよい。

（７）上記した実施の形態においては、流体としてエアーを用いた場合について説明したが、これに限られるものではないことは勿論である。流体としては、例えば、窒素やアルゴンなどのような不活性ガスなどの他の気体を用いるようにしてもよい。

（８）上記した実施の形態において、図４ならびに図５を参照しながら説明した実験における条件・寸法等は一例に過ぎないものであり、本発明は上記した条件・寸法等に限定されるものではないことは勿論である。

（９）上記した各実施の形態ならびに上記した（１）乃至（８）に示す各実施の形態や変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよいことは勿論である。

本発明は、フラットパネルディスプレイ製造工程などのような各種の作業工程において、各種の物体を搬送したり姿勢変更したりする際などに利用することができる。

１０ 搬送装置
１１ 物体搬送用テーブル
２０ 吸音機構
２２ 共鳴ボックス
２２ａ 上面部
２２ｂ 底面部
２４ パッキン
２６ 底蓋
２８ ネジ
３０ カラー
３２ ボルト
３４ 貫通孔
３６ 貫通孔
４０ 貫通孔
４０ａ 第１段貫通孔部
４０ｂ 第２段貫通孔部
１００ 搬送装置
１０２ 物体搬送用テーブル
１０２ａ 底板部
１０２ｂ 前板部
１０２ｃ 後板部
１０２ｄ 左側板
１０２ｅ 右側板
１０２ｆ 上板部
１０２ｆａ 下面
１０４ コンプレッサー
１０６ レギュレーター
１０８ 第１ダクト
１０８ａ 開口部
１０８ｂ 端部
１１０ 第２ダクト
１１０ａ 端部
１１０ｂ 端部
１１２ エアーチャンバー
１１４ 穴
１１６ 連通孔
２００ 物体
ＡＩＲ エアー

Claims (8)

1. 流体の圧力により物体を浮上させて搬送する物体搬送用テーブルにおいて、
   上面に穿設された穴から流体を噴き出して、前記流体の圧力により物体を浮上させる本体部と、
   前記本体部内に配設されるとともに、予め設定された周波数あるいは周波数帯域の音波を減衰する吸音機構と
   を有することを特徴とする物体搬送用テーブル。
2. 請求項１に記載の物体搬送用テーブルにおいて、
   前記吸音機構は、単数あるいは複数のヘルムホルツ共鳴器として作用する構造を備えている
   ことを特徴とする物体搬送用テーブル。
3. 請求項２に記載の物体搬送用テーブルにおいて、
   前記吸音機構は、
   上面部から底面部に向けて第１の厚さ貫通した第１の開口径を備えた第１段貫通孔部と、第１段貫通孔部の下端から前記底面部までの第２の厚さ貫通した第２の開口径を備えた第２段貫通孔部とよりなる貫通孔を備えるとともに、前記第１の開口径は前記第２の開口径よりも細径な共鳴ボックスと、
   前記共鳴ボックスの前記底面部における前記第２段貫通孔部の開口部を遮蔽する遮蔽部と
   を有することを特徴とする物体搬送用テーブル。
4. 請求項３記載の物体搬送用テーブルにおいて、
   前記遮蔽部材は、
   前記共鳴ボックスの前記底面部の全面を被覆するパッキンと、
   前記パッキンの底面部の全面を被覆する底蓋と
   を有し、
   前記吸音機構は、前記共鳴ボックスと前記底蓋とが前記パッキンとを介して互いに密着して緊密に結合された
   ことを特徴とする物体搬送用テーブル。
5. 請求項１に記載の物体搬送用テーブルにおいて、
   前記吸音機構は、多孔質材料を用いた吸音構造、または、板振動または膜振動を利用した吸音構造を備えている
   ことを特徴とする物体搬送用テーブル。
6. 請求項１、２、３、４または５のいずれか１項に記載の物体搬送用テーブルにおいて、
   前記吸音機構は、前記本体部内に単数または複数配設された
   ことを特徴とする物体搬送用テーブル。
7. 請求項１、２、３、４、５または６のいずれか１項に記載の物体搬送用テーブルにおいて、
   前記流体は、気体である
   ことを特徴とする物体搬送用テーブル。
8. 請求項１、２、３、４、５、６または７のいずれか１項に記載の物体搬送用テーブルを備える
   ことを特徴とする搬送装置。

Images