JP2021046310A - 部品搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品を安定的に搬送しつつ単位時間の電子部品の処理数を増やす部品搬送装置を提供する。【解決手段】収容体Ｐのポケットｐ内の電子部品Ｗを収容体Ｑのポケットｑに収容する部品搬送装置１０において、収容体Ｐを移動させ、Ｎ個（Ｎ≧２）のポケットｐに収容されているＮ個の電子部品Ｗを、直線状に並べた状態で入り側位置Ｓ１に配する上流側ユニット１１と、入り側位置Ｓ１に配されたＮ個の電子部品Ｗをそれぞれ取得し吸着する直線状に並んだＮ個のチャック１２、１２ａからなるチャック群３５が回転テーブル１３の回転方向に間隔を空けて取り付けられ、回転テーブル１３の回転により各チャック群３５に保持されているＮ個の電子部品Ｗを出側位置Ｓ２に配する搬送ユニット１４と、収容体Ｑを移動させ、Ｎ個の空のポケットｑを、出側位置Ｓ２で、チャック群３５からＮ個の電子部品Ｗを受け入れ可能な状態とする下流側ユニット１５とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、収容体に収められている電子部品を搬送して別の収容体に収容する部品搬送装置に関する。

一の収容体のポケットに収められている電子部品をチャックで吸着して搬送し他の収容体のポケットに収める部品搬送装置（特許文献１参照）は、単位時間当たりに処理（一の収容体から他の収容体に移動）できる電子部品の数を増やすことが求められる。単位時間当たりの処理数の増加は、収容体のポケットからチャックが電子部品を取得する速さや、電子部品を吸着しているチャックの移動速度等を上げることによって達成することができる。

特許第６１６４６２４号公報

しかしながら、電子部品を取得する速さやチャックの移動速度の上昇は、電子部品の取得失敗の可能性やチャックからの電子部品の落下を招く可能性を高めることから、これらの方法によって、単位時間当たりの処理数を増加させるのには限界がある。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、電子部品の安定的な搬送を確保しつつ、単位時間当たりの電子部品の処理数を増加させる部品搬送装置を提供することを目的とする。

前記目的に沿う本発明に係る部品搬送装置は、収容体Ｐのポケットｐにそれぞれ収められている電子部品を別の収容体Ｑのポケットｑに収容する部品搬送装置において、前記収容体Ｐを移動させ、Ｎ個の前記ポケットｐにそれぞれ収容されているＮ個の前記電子部品を、直線状に並べた状態で入り側位置に配する上流側ユニットと、前記入り側位置に配された前記Ｎ個の電子部品をそれぞれ取得して吸着する直線状に並んだＮ個のチャックからなるチャック群が回転テーブルの回転方向に間隔を空けて取り付けられ、該回転テーブルの回転により前記各チャック群に保持されている前記Ｎ個の電子部品を出側位置に順次、配する搬送ユニットと、前記収容体Ｑを移動させ、Ｎ個の空の前記ポケットｑを、前記出側位置で、前記チャック群からの前記Ｎ個の電子部品の受け入れが可能な状態とする下流側ユニットとを備える。但し、Ｎは２以上の自然数である。

本発明に係る部品搬送装置は、Ｎ個のポケットｐにそれぞれ収容されているＮ個の電子部品を、直線状に並べた状態で入り側位置に配する上流側ユニットと、入り側位置に配されたＮ個の電子部品をそれぞれ取得して吸着する直線状に並んだＮ個のチャックからなるチャック群が回転テーブルの回転方向に間隔を空けて取り付けられ、回転テーブルの回転により各チャック群に保持されているＮ個の電子部品を出側位置に順次、配する搬送ユニットと、収容体Ｑを移動させ、Ｎ個の空のポケットｑを、出側位置で、チャック群からのＮ個の電子部品の受け入れが可能な状態とする下流側ユニットとを備えるので、Ｎ個の電子部品が、入り側位置で搬送ユニットに取得され、搬送ユニットによって出側位置まで移動され、出側位置で収容体Ｑに受け入れ可能な状態になるまで、Ｎ個の電子部品が直線状に並んだ状態を維持することができ、電子部品を安定的に搬送した上で、単位時間当たりの電子部品の処理数を増加させることが可能である。

本発明の一実施の形態に係る部品搬送装置の説明図である。 同部品搬送装置の搬送ユニットの説明図である。 アームの先部とそれに取り付けられた各種部材の斜視図である。 （Ａ）はアームの先部及びそれに取り付けられた各種部材の平面図であり、（Ｂ）はアームの先部に取り付けられた各種部材の説明図である。 変形例に係るチャック群の説明図である。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係る部品搬送装置１０は、収容体Ｐのポケットｐにそれぞれ収められている電子部品Ｗを別の収容体Ｑのポケットｑに収容する装置であって、収容体Ｐを移動させ、ポケットｐ内の電子部品Ｗを入り側位置Ｓ１に配する上流側ユニット１１と、入り側位置Ｓ１に配された電子部品Ｗを吸着するチャック１２、１２ａが取り付けられた回転テーブル１３を有し電子部品Ｗを出側位置Ｓ２に移動させる搬送ユニット１４と、収容体Ｑを移動させ、ポケットｑを出側位置Ｓ２で電子部品Ｗの受け入れ可能な位置に配する下流側ユニット１５とを備える。以下、これらについて詳細に説明する。

部品搬送装置１０によって収容体Ｐのポケットｐから収容体Ｑのポケットｑに移動する電子部品Ｗは、例えば、ダイオード、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるが、これらに限定されない。
本実施の形態において、収容体Ｐは、図１に示すように、矩形状のトレイであり、ポケットｐが長手方向に並べられたポケット列が幅方向に複数行配列されている。ポケットｐからの電子部品Ｗの移動処理を行う前、収容体Ｐは全てのポケットｐに１つずつ電子部品Ｗが収容されている。

上流側ユニット１１は、収容体Ｐを移動させるトレイ移動機構１６と、収容体Ｐのポケットｐから電子部品Ｗを吸着して取得する図示しないピックアップ機構と、ピックアップ機構から電子部品Ｗを取得し、複数の電子部品Ｗを直線状に間隔を空けて並べた状態で吸着保持して移動させ入り側位置Ｓ１に配するシャトル機構１７とを備えている。

ここで、直線状に並んだポケットｐに収容されている電子部品Ｗを、収容体Ｐの移動によって入り側位置Ｓ１に配置して、搬送ユニット１４が直接収容体Ｑのポケットｐから電子部品Ｗを取得できるようにするトレイ移動機構を採用してもよい。この場合、搬送ユニット１４は、ポケットｐに収容されて直線状に並んだＮ個の電子部品Ｗを一度に取得する。
また、収容体Ｐはトレイに限定されず、例えば、各ポケットに電子部品が収容されたキャリアテープであってもよい。

搬送ユニット１４は、図１、図２に示すように、チャック１２、１２ａが移動可能に取り付けられた回転テーブル１３と、チャック１２、１２ａを押して移動させる押圧機構１８を具備している。回転テーブル１３は、図１〜図３に示すように、それぞれ幅広の先部にＮ個の可動部材１９、１９ａが取り付けられた複数本（本実施の形態では１２本）のアーム２１を備えている。回転テーブル１３は回転軸２２を中心とした３０°の時計回りの回転と一時停止とを繰り返し、各アーム２１は回転テーブル１３の回転動作の度に移動する。
アーム２１の先部の一時停止位置はアーム２１と同数の１２箇所存在し、アーム２１先部の１２箇所の一時停止位置のいくつか（本実施の形態では、入り側位置Ｓ１及び出側位置Ｓ２にそれぞれ対応する２箇所を含む２〜６箇所）には、上方に押圧機構１８が設けられている。

本実施の形態において、回転軸２２は鉛直に配され、チャック１２、１２ａ及び可動部材１９、１９ａはアーム２１に昇降可能に取り付けられ押圧機構１８によって押し下げられる。
なお、図１では、回転テーブル１３を円盤状に描いているが、実際は、１２本のアーム２１が回転軸２２を中心に放射状に配されている。また、図１では押圧機構１８及び可動部材１９、１９ａ等の記載を省略している。

可動部材１９、１９ａは、図２、図３に示すように、鉛直方向に長く、それぞれスプリングばね２３、２３ａが装着された状態で、アーム２１の先部を鉛直に貫通している。
可動部材１９のアーム２１の先部から下側に突出した下端部（先部）には、図２、図３、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、略直方体状の昇降ブロック２４が連結されている。昇降ブロック２４の一の側壁部（回転軸２２までの距離が長い側の側壁部）には、チャック１２を支持するチャック支持具２５が複数（本実施の形態では２つ）の螺子部材２６によって固定されている。

チャック支持具２５は、平面視してアーム２１の長手方向に垂直な方向に長く、昇降ブロック２４に接触している基側領域２７と、昇降ブロック２４に対して回転テーブル１３の回転方向に突出した突出領域２７ａを具備している。鉛直方向に長いチャック１２は、チャック支持具２５の突出領域２７ａに取り付けられた螺子部材２８によって、突出領域２７ａに固定され、電子部品Ｗを吸着する下端部（先部）が突出領域２７ａの直下に位置している。

アーム２１の先部の回転方向一側の下側には、図２、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、鉛直方向に長いガイド部材２９が連結され、ガイド部材２９に昇降自在に装着された可動ブロック３０に、昇降ブロック２４の他の側壁部（回転軸２２までの距離が短い側の側壁部）が固定されている。従って、チャック１２は、チャック支持具２５、昇降ブロック２４、可動ブロック３０及びガイド部材２９を介してアーム２１の先部に取り付けられている。

可動部材１９ａのアーム２１の先部から下側に突出した下端部（先部）には、図２、図３、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、昇降ブロック２４を基準として回転テーブル１３の回転方向側に配された昇降ブロック２４ａが連結されている。昇降ブロック２４ａの側壁部には、チャック１２ａを支持するチャック支持具２５ａが固定されている。チャック支持具２５ａは、昇降ブロック２４に非接触な状態で昇降ブロック２４、２４ａの間に位置している。

鉛直方向に長いチャック１２ａは、チャック支持具２５ａに取り付けられた螺子部材２８ａによって、チャック支持具２５ａに固定され、電子部品Ｗを吸着する下端部（先部）がチャック支持具２５ａの直下に位置している。
アーム２１の先部の回転方向他側の下側には、図２、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、鉛直方向に長いガイド部材２９ａが連結され、ガイド部材２９ａに昇降自在に装着された可動ブロック３０ａに、昇降ブロック２４ａが固定されている。従って、チャック１２ａは、チャック支持具２５ａ、昇降ブロック２４ａ、可動ブロック３０ａ及びガイド部材２９ａを介してアーム２１の先部に取り付けられている。
チャック１２、１２ａは、図示しない真空ポンプに接続され、負圧状態となって電子部品Ｗを吸着し、正圧状態又は大気圧状態となって吸着している電子部品Ｗを解放する。

また、押圧機構１８は、図２、図４（Ａ）に示すように、回転テーブル１３の上方に設けられている支持部材３１に固定され、モータ３２、３２ａ、可動部材１９の上側に位置している可動体の一例である長尺体３３及び可動部材１９ａの上側に位置している長尺体３３ａを有している。
長尺体３３は、モータ３２の正転駆動によって下降し、下端部が可動部材１９に接触し、チャック１２を、可動部材１９、昇降ブロック２４、チャック支持具２５及び可動ブロック３０と共に下降させる。長尺体３３がモータ３２の逆転駆動によって上昇すると、可動部材１９に作用するスプリングばね２３の上向きの弾性力によって、チャック１２、可動部材１９、昇降ブロック２４、チャック支持具２５及び可動ブロック３０は一体的に上昇する。

長尺体３３ａは、モータ３２ａの駆動力によって下降し、下端部が可動部材１９ａに接触し、チャック１２ａを、可動部材１９ａ、昇降ブロック２４ａ、チャック支持具２５ａ及び可動ブロック３０ａと共に下降させる。長尺体３３ａがモータ３２ａの駆動力を与えられずに上昇すると、可動部材１９ａに作用するスプリングばね２３ａの弾性力によって、チャック１２ａ、可動部材１９ａ、昇降ブロック２４ａ、チャック支持具２５ａ及び可動ブロック３０ａが一体的に上昇する。

モータ３２、３２ａはそれぞれ独立して駆動することから、本実施の形態では、チャック１２の昇降動作とチャック１２ａの昇降動作とはそれぞれ独立して制御される。従って、押圧機構１８は、チャック１２、１２ａのいずれか一方のみを下降させることや、チャック１２、１２ａの双方を下降させることができる。

本実施の形態では、図１、図２、図３、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、チャック１２、１２ａと一体となって昇降する可動部材１９、１９ａ、昇降ブロック２４、２４ａ、チャック支持具２５、２５ａ及び可動ブロック３０、３０ａを合わせて、チャック保持体３４とし、各アーム２１の先部に設けられたチャック保持体３４に固定されている直線状に並んだＮ個のチャック１２、１２ａをチャック群３５とする。ここで、各アーム２１の先部にチャック保持体３４を介してチャック群３５が取り付けられていることから、チャック群３５は回転テーブル１３の回転方向に間隔を空けて取り付けられていることとなる。

また、本実施の形態において、図１、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、回転軸２２（回転テーブル１３の回転中心）を中心とする円を仮想円Ｔとして、各チャック群３５は、Ｎ個のチャック１２、１２ａが仮想円Ｔの径方向（アーム２１の長手方向）に間隔を空けて並び、各押圧機構１８は、長尺体３３、３３ａが仮想円Ｔの周方向（回転テーブル１３の回転方向）に間隔を空けて並んでいる。

チャック１２、１２ａの間隔は、図４（Ｂ）に示すように、昇降ブロック２４を、昇降ブロック２４に対し仮想円Ｔの径方向の長さが異なる昇降ブロックに入れ替えることで変えることが可能である。本実施の形態では、チャック支持具２５が昇降ブロック２４に螺子取り付けされているので、昇降ブロック２４を他の昇降ブロックに取り替える作業を容易に行うことができる。そして、長尺体３３、３３ａを仮想円Ｔの周方向（即ち、チャック１２、１２ａが並んでいる方向に垂直な方向）に配置しているのは、仮想円Ｔの径方向に配置する場合に比べ、押圧機構の設計を簡素にするためである。

また、収容体Ｑは、電子部品Ｗを収容可能なポケットｑが直線状に等ピッチで並んだキャリアテープであり、電子部品Ｗが収められたポケットｑは、収容体Ｑを移動させる下流側ユニット１５によって、カバーテープが貼り付けられて閉じられる。
下流側ユニット１５は、収容体Ｑを間欠的に移動させ、Ｎ個の空のポケットｑを出側位置Ｓ２に順次配置して、出側位置Ｓ２でチャック群３５からのＮ個の電子部品Ｗの受け入れが可能な状態とする。なお、下流側ユニットは、出側位置Ｓ２でチャック群３５から一度にＮ個の電子部品Ｗを受け取る機構と、その機構が収容体Ｑの空のポケットｑに電子部品Ｗを収容できるように、収容体Ｑを間欠的に移動する別の機構を有して構成してもよい。

また、収容体Ｑはキャリアテープに限定されず、例えば、多数のポケットが設けられたトレイであってもよい。収容体Ｑとしてトレイを採用する場合、搬送ユニット１４はＮ個のチャック１２、１２ａに吸着されているＮ個の電子部品Ｗを直接トレイのＮ個のポケットにそれぞれ投入するようにしてもよいし、Ｎ個のチャック１２、１２ａに吸着されているＮ個の電子部品Ｗがシャトル機構及び他の機構を介してトレイのポケットに収容されるようにしてもよい。

次に、部品搬送装置１０が電子部品Ｗを収容体Ｐのポケットｐ内から収容体Ｑのポケットｑ内に移動させる動作について説明する。
上流側ユニット１１において、トレイ移動機構１６は、収容体Ｐを移動させて、それぞれ電子部品Ｗが収容されている直線状に並んだＮ個（Ｎ≧２、自然数）のポケットｐ（一のポケット列の隣り合ったＮ個のポケットｐ）を、ピックアップ機構が当該Ｎ個のポケットｐからＮ個の電子部品Ｗを取得可能な位置に順次配する。ピックアップ機構は一度にＮ個の電子部品Ｗを収容体Ｐのポケットｐから取得してシャトル機構１７に渡し、シャトル機構１７はＮ個の電子部品を直線状に配した状態で移動させ、Ｎ個の電子部品Ｗを仮想円Ｔの径方向に直線状に並べた状態で入り側位置Ｓ１に配する。

搬送ユニット１４において、入り側位置Ｓ１に配されている押圧機構１８は、モータ３２、３２ａの作動により長尺体３３、３３ａを下降して、電子部品Ｗを吸着していない２つ（Ｎ個）のチャック１２、１２ａ（チャック群３５）を下降させる。チャック１２、１２ａは、各下端部が、シャトル機構１７により入り側位置Ｓ１に配された２つ（Ｎ個）の電子部品Ｗをそれぞれ接触して吸着する。その後、入り側位置Ｓ１に配されている押圧機構１８は、モータ３２、３２ａの逆転駆動により長尺体３３、３３ａを上げて、チャック１２、１２ａにそれぞれ吸着されている２つの電子部品Ｗをチャック１２、１２ａと共に上昇させる。

そして、搬送ユニット１４は、回転テーブル１３（１２本のアーム２１）の３０°の回転により、電子部品Ｗを未吸着のチャック１２、１２ａを入り側位置Ｓ１に配すると共に、チャック１２、１２ａに吸着保持されている２つの電子部品Ｗを出側位置Ｓ２に配する。従って、搬送ユニット１４は、回転テーブル１３の回転により各チャック群３５に保持されているＮ個の電子部品Ｗを出側位置Ｓ２に順次、配することとなる。

出側位置Ｓ２に配されたチャック群３５は、出側位置Ｓ２に配された押圧機構１８の長尺体３３、３３ａの下降に伴って下降して、チャック１２、１２ａに吸着している電子部品Ｗを収容体Ｑの２つの空のポケットｑ（下流側ユニット１５において、電子部品Ｗの受け入れが可能な状態とされた直線状に並んだＮ個の空のポケットｑ）に投入し、長尺体３３、３３ａの上昇に伴って上昇する。電子部品Ｗが投入された２つのポケットｑはカバーテープの収容体Ｑへの貼り付けによって閉じられる。

このように、本実施の形態では、上流側ユニット１１が一度にＮ個の電子部品Ｗを直線状に並べた状態で入り側位置Ｓ１に配し、搬送ユニット１４の１つの回転テーブル１３に並列的に設けたＮ個（即ち、複数）の搬送経路に沿って入り側位置Ｓ１から出側位置Ｓ２に電子部品Ｗを移動させて、出側位置Ｓ２で下流側ユニット１５がチャック群３５からＮ個の電子部品Ｗを受け入れ可能な状態にするので、収容体Ｐから収容体Ｑに電子部品Ｗを効率的に移動することができる。

しかも、収容体ＰのＮ個のポケットｐに直線状に収容されていたＮ個の電子部品Ｗは、上流側ユニット１１から搬送ユニット１４への受け渡しと、搬送ユニット１４による搬送と、搬送ユニット１４から収容体ＱのＮ個のポケットｑへの投入が、全て、直線状の配列を維持されたまま行われるので、電子部品Ｗの配列を途中で変える場合に比べ、電子部品Ｗの落下を抑制した上で、電子部品Ｗの単位時間当たりの処理速度を向上させることが可能である。

ここまで説明した部品搬送装置１０は、各チャック群３５のＮ個のチャック１２、１２ａが仮想円Ｔの径方向に並んでいるが、これに限定されず、例えば、図５に示すように、チャック群４１を構成するＮ個のチャック４０、４０ａが仮想円Ｔの接線方向に並ぶようにしてもよい。
また、チャック保持体に、チャック群のＮ個のチャックの直線状に並べられた列の回転テーブルに対する角度を変える角度変更機構を設けるようにしてもよい。角度変更機構を設ければ、例えば、入り側位置で、Ｎ個のチャックを、回転テーブルの回転中心を中心とする仮想円の接線方向に並ぶように配置して収容体Ｐのポケットｐから電子部品を取得し、出側位置で、Ｎ個のチャックを同仮想円の径方向に並ぶように配置して収容体Ｑのポケットｑに投入することができる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、搬送ユニットは複数の回転テーブルを有することができる。搬送ユニットが２つの回転テーブルを有する場合、例えば、各回転テーブルが水平軸を中心に回転するようにし、各回転テーブルにおいて各チャックが径方向に進退することで、一方の回転テーブルに取り付けられているチャックで収容体Ｐのポケットｐから電子部品を取得し、当該チャックから、他方の回転テーブルに取り付けられているチャックが電子部品を取得して、収容体Ｑのポケットｑに電子部品を投入するように設計可能である。

また、押圧手段のＮ個の可動体は、回転テーブルの回転中心を中心とする仮想円の周方向に並んでいる必要はなく、例えば、同仮想円の接線方向や径方向に並んでいても良い。
更に、各チャック群において、Ｎ個のチャックは、回転テーブルの回転中心を中心とする仮想円の径方向及び接線方向のいずれに対しても非平行な方向に並んでいてもよい。
そして、搬送ユニットによる入り側位置から出側位置への電子部品の搬送経路上で電子部品の外観検査や電気特性検査を行い、良品との検査結果となった電子部品のみを収容体Ｑのポケットｑに収めるようにし、不良品との検査結果となった電子部品を収容体Ｐ、Ｑとは別の収容体に投入するように設計可能である。

１０：部品搬送装置、１１：上流側ユニット、１２、１２ａ：チャック、１３：回転テーブル、１４：搬送ユニット、１５：下流側ユニット、１６：トレイ移動機構、１７：シャトル機構、１８：押圧機構、１９、１９ａ：可動部材、２１：アーム、２２：回転軸、２３、２３ａ：スプリングばね、２４、２４ａ：昇降ブロック、２５、２５ａ：チャック支持具、２６：螺子部材、２７：基側領域、２７ａ：突出領域、２８、２８ａ：螺子部材、２９、２９ａ：ガイド部材、３０、３０ａ：可動ブロック、３１：支持部材、３２、３２ａ：モータ、３３、３３ａ：長尺体、３４：チャック保持体、３５：チャック群、４０、４０ａ：チャック、４１：チャック群、ｐ：ポケット、Ｐ：収容体、ｑ：ポケット、Ｑ：収容体、Ｓ１：入り側位置、Ｓ２：出側位置、Ｔ：仮想円、Ｗ：電子部品

Claims (4)

1. 収容体Ｐのポケットｐにそれぞれ収められている電子部品を別の収容体Ｑのポケットｑに収容する部品搬送装置において、
   前記収容体Ｐを移動させ、Ｎ個の前記ポケットｐにそれぞれ収容されているＮ個の前記電子部品を、直線状に並べた状態で入り側位置に配する上流側ユニットと、
   前記入り側位置に配された前記Ｎ個の電子部品をそれぞれ取得して吸着する直線状に並んだＮ個のチャックからなるチャック群が回転テーブルの回転方向に間隔を空けて取り付けられ、該回転テーブルの回転により前記各チャック群に保持されている前記Ｎ個の電子部品を出側位置に順次、配する搬送ユニットと、
   前記収容体Ｑを移動させ、Ｎ個の空の前記ポケットｑを、前記出側位置で、前記チャック群からの前記Ｎ個の電子部品の受け入れが可能な状態とする下流側ユニットとを備えることを特徴とする部品搬送装置。
   但し、Ｎは２以上の自然数である。
2. 請求項１記載の部品搬送装置において、前記各チャック群は、前記Ｎ個のチャックが前記回転テーブルの回転中心を中心とする仮想円の径方向に並んでいることを特徴とする部品搬送装置。
3. 請求項１記載の部品搬送装置において、前記各チャック群は、前記Ｎ個のチャックが前記回転テーブルの回転中心を中心とする仮想円の接線方向に並んでいることを特徴とする部品搬送装置。
4. 請求項１記載の部品搬送装置において、前記各チャック群の前記Ｎ個のチャックの直線状に並べられた列の前記回転テーブルに対する角度を変える角度変更機構を、更に備えることを特徴とする部品搬送装置。
   

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