JP2021028284A - カーボンナノチューブの製造装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本実施形態に係るカーボンナノチューブの製造装置1の概略図である。当該製造装置1は、カーボンナノチューブを合成する合成炉2と、合成炉2にカーボンナノチューブを合成するための触媒原料を供給する触媒原料供給ノズル3と、触媒原料供給ノズル3の内腔部4の温度を合成炉2の反応場5の温度よりも高温に設定可能なノズル温度調整手段6とを備える。
本実施形態のカーボンナノチューブの製造方法では、上記のとおり、カーボンナノチューブを合成する合成炉2の反応場5の温度よりも、合成炉2にカーボンナノチューブを合成するための触媒原料を供給する触媒原料供給ノズル3の内腔部4の温度を高温に設定して触媒原料を加熱し分解する。熱分解された触媒原料を合成炉2に供給し、CVD温度まで急速冷却することにより、触媒粒子が凝集することなく、カーボンナノチューブが製造できる。
CNTの結晶性は、例えばレーザー顕微ラマン分光分析により分析することができる。レーザー顕微ラマン分光分析において、1590cm-1付近に現れるピークは、G-bandと呼ばれ、六員環構造を有する炭素原子の面内方向の伸縮振動に由来するものである。また、1350cm-1付近に現れるピークは、D-bandと呼ばれ、六員環構造に欠陥があると現れやすくなる。相対的なCNTの結晶性は、D-bandに対するG-bandのピーク強度比IG/ID(G/D比)によって評価することができる。G/D比が高いほど結晶性の高いCNTであるといえる。200cm-1付近に現れるピークは、RBM(Radial Breathing Mode)と呼ばれる単層カーボンナノチューブ(SWCNT)に特有のもので、チューブの直径方向に振動するモードである。本実施例では、レーザー顕微ラマン分光計(型番:HR−800、堀場製作所社製)にCNT塊状試料を設置し、488nmのレーザー波長を用いて、レーザー顕微ラマン分光分析を行った。
炭素材料の分析における熱重量示差熱分析(TG−DTA)では、5℃/min程度で1000℃程度まで昇温させ、燃焼のピーク温度や残渣を分析することで、炭素材料の構成元素や質を評価する。例えばFCCVDにおける生成物は、鉄(Fe)等の触媒原料に含まれる金属や、CNT、アモルファスカーボン(a−C)、グラフィティックカーボン(g−C)の混合物である。炭素材料を上記の条件で昇温すると、例えば鉄(Fe)等の金属が含まれている場合、当該金属の酸化による質量増加が観察される。通常、a−Cは350〜450℃程度で燃焼し、CNTやg−Cは400℃程度で燃焼し始め、700℃程度で完全に燃焼する。本実施例では、熱分析装置(型番:TG8120、リガク製)を用いて、空気流通下、昇温速度5℃/minで熱重量示差熱分析を行った。
熱重量示差熱分析後の残渣は酸化金属であるため、これらをEDS定量分析し、炭素(C)、鉄(Fe)およびアルミニウム(Al)の元素比率を算出した。本実施例では、走査型電子顕微鏡(SEM)(型番:S−4800、日立ハイテクノロジーズ社製)−エネルギー分散X線分析(EDX)装置(型番:EDAX Genesis、AMETEK社製)を用いて残渣の定量分析を行った。
図8に生産性および元素比率の結果を示す。生産性は、CNTの収量と合成時間から、単位時間当たりの収量として算出した。生産性は、実施例1が5.73mg/minであり、比較例1の2.80mg/minn、および比較例2の3.81mg/minに比べて高かった。
図9は製造されたCNTのラマンスペクトルである。IG/ID(G/D比)を算出した結果、実施例1が57であり、比較例1の11、および比較例2の55に比べて高かった。200cm-1付近に現れるRBMピークも観察された。よって、実施例1では、結晶性が高いSWCNTを製造することができることが示された。
図10上図は製造されたCNTの熱重量分析(TG)結果を示す図であり、図10下図は示差熱分析(DTA)の結果を示す図である。表2に熱重量示差熱分析による評価結果を示す。TGの結果において、実施例1では、初めに触媒である鉄(Fe)の酸化により質量が増加した(図中(1))。実施例1の質量増加のピークは比較例1および比較例2に比べて小さかった。燃焼は350℃付近から開始された。DTAのピーク変化から、約350℃〜約420℃がアモルファスカーボン(a−C)の燃焼であり(図10中(2))、約420℃〜約650℃がCNTの燃焼(図中(3))と同定できる。実施例1では残渣の灰の量は燃焼前の22wt%となり、比較例1の30wt%、および比較例2の43wt%に比べて少なかった。よって、実施例1では、触媒の利用効率を向上することができることが示された。
図11は、実施例1により製造されたCNTのSEM写真図(a)およびTEM写真図(b)である。SEM写真図より、粒子数が少ないことが示された。すなわち、CNTの合成に使用されなかった触媒金属粒子が少なく、CNTの成長に有効な触媒金属粒子数が増加したことが示された。
実施例1と同じ装置を用い、実施例1と同じ条件で触媒原料供給管14に触媒原料供給部11から触媒原料を含むアルゴン(Ar)ガスを流通し、炭素源としてエチレン(C2H4)に代えてメタン(CH4)を用いてカーボンナノチューブを合成した。実施例2a〜2hのその他の合成条件は表3の通りであり、合成炉2の温度は1150℃〜1200℃の範囲で変えて実験を行った。触媒原料供給ノズルの内腔部の温度は図6の通りであり、合成炉2の温度より高い領域が20mm程度あるように設定した。
図31は、本発明の実施例3に係るCNTの製造装置1の構成の一例を部分的に示す概略図である。
2 合成炉
3 触媒原料供給ノズル
4 内腔部
5 反応場
6 ノズル温度調整手段
7 ヒーター
8 保温手段
9 電極
11 触媒原料供給部
12 炭素原料供給部
13 不活性ガス供給部
14 触媒原料供給管
15 炭素原料供給管
17 炭素原料流通路
18 スリット
19 炭素原料流出口
21 コイル
22 伝熱棒
23 断熱材
31 カーボンナノチューブの凝集体
32 単層カーボンナノチューブ(SWCNT)
41 孔
Claims (10)
- カーボンナノチューブを合成する合成炉と、
前記合成炉に前記カーボンナノチューブを合成するための触媒原料を供給する触媒原料供給ノズルと、
前記触媒原料供給ノズルの内腔部の温度を前記合成炉の反応場の温度よりも高温に設定可能なノズル温度調整手段とを備えるカーボンナノチューブの製造装置。 - 前記触媒原料供給ノズルの内腔部の温度が、触媒原料が熱分解し、触媒金属蒸気を生じる温度であり、前記合成炉の反応場の温度が、触媒金属粒子を生成し、CNTを生成する温度である、請求項1に記載の製造装置。
- 前記ノズル温度調整手段が前記触媒原料供給ノズルの内部に設けられる請求項1または2に記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 前記ノズル温度調整手段がヒーターである請求項1〜3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 前記ヒーターが炭素で構成され、前記ヒーターを通電加熱して前記触媒原料供給ノズルの内腔部の温度を調整する請求項4に記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 前記触媒原料供給ノズルを複数備える請求項1〜5のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 前記触媒原料供給ノズルの外周部外側に、炭素原料を流通させる炭素原料流通路を備える請求項1〜6のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- カーボンナノチューブを合成する合成炉の反応場の温度よりも、前記合成炉に前記カーボンナノチューブを合成するための触媒原料を供給する触媒原料供給ノズルの内腔部の温度を高温に設定して前記触媒原料を加熱するカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記触媒原料供給ノズルの内腔部の温度が触媒原料を熱分解し触媒金属蒸気を生成する温度であり、前記合成炉の反応場の温度がCNTを生成する温度である、請求項8に記載の製造方法。
- 前記触媒原料供給ノズルの内部に設けたノズル温度調整手段により、前記触媒原料供給ノズルの内腔部の温度を調整する請求項8または9に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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