JP2021022700A - 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
プラズマ生成空間と処理空間とを有する処理室と、
前記プラズマ生成空間の周囲に配されるコイル電極と、
前記処理空間で処理される基板が載置される基板載置部と、
前記処理室内にて前記基板載置部を移動させる移動機構部と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記移動機構部を制御する制御部と、
を有する技術が提供される。
以下に、本開示の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
処理対象となる基板としては、例えば、半導体集積回路装置(半導体デバイス)が作り込まれる半導体ウエハ基板(以下、単に「ウエハ」という。)が挙げられる。なお、本明細書において「ウエハ」という言葉を用いた場合は、「ウエハそのもの」を意味する場合や、「ウエハとその表面に形成された所定の層や膜等との積層体(集合体)」を意味する場合(すなわち、表面に形成された所定の層や膜等を含めてウエハと称する場合)がある。また、本明細書において「ウエハの表面」という言葉を用いた場合は、「ウエハそのものの表面(露出面)」を意味する場合や、「ウエハ上に形成された所定の層や膜等の表面、すなわち、積層体としてのウエハの最表面」を意味する場合がある。本明細書において「基板」という言葉を用いた場合も、「ウエハ」という言葉を用いた場合と同義である。
また、ウエハに対して行う処理としては、例えば、酸化処理、拡散処理、イオン打ち込み後のキャリア活性化や平坦化のためのリフローやアニール、成膜処理等がある。本実施形態では、特にウエハ面上の膜の改質処理(酸化処理)を行う場合を例に挙げる。
まず、本実施形態に係る基板処理装置の概略構成例について、図1を用いて説明する。
図1は、本実施形態に係る基板処理装置の概略構成図である。
本実施形態に係る基板処理装置(以下、単に「処理装置」という。)100は、ウエハ200をプラズマ処理する処理炉202を備えている。処理炉202には、処理室201を構成する処理容器203が設けられている。処理容器203は、第1の容器であるドーム型の上側容器210と、第2の容器である碗型の下側容器211と、を備えている。上側容器210が下側容器211の上に被さることにより、処理室201が形成される。上側容器210は、例えば酸化アルミニウム(Al2O3)または石英(SiO2)等の非金属材料で形成されている。下側容器211は、例えばアルミニウム(Al)で形成されている。
処理室201の底側中央には、ウエハ200を載置する基板載置部としてのサセプタ217が配置されている。サセプタ217は、例えば窒化アルミニウム(AlN)、セラミックス、石英等の非金属材料から形成されており、ウエハ200上に形成される膜等に対する金属汚染を低減することができるように構成されている。
処理室201の上方、つまり上側容器210の上部には、ガス供給ヘッド236が設けられている。ガス供給ヘッド236は、キャップ状の蓋体233と、ガス導入口234と、バッファ室237と、開口238と、遮蔽プレート240と、ガス吹出口239とを備え、反応ガスを処理室201内へ供給できるように構成されている。バッファ室237は、ガス導入口234より導入される反応ガスを分散する分散空間としての機能を持つ。
下側容器211の側壁には、処理室201内から反応ガスを排気するガス排気口235が設けられている。ガス排気口235には、ガス排気管231の上流端が接続されている。ガス排気管231には、上流側から順に圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)242、開閉弁としてのバルブ243b、真空排気装置としての真空ポンプ246が設けられている。
処理室201の外周部、すなわち上側容器210の側壁の外側には、処理室201を囲うように、螺旋状のコイル電極(以下、「共振コイル」ともいう。)212が設けられている。共振コイル212には、RFセンサ272、高周波電源273、高周波電源273のインピーダンスや出力周波数の整合を行う整合器274が接続されている。
図2は、本実施形態に係る基板処理装置のプラズマ生成原理を説明する説明図である。
本実施形態に係る処理装置100は、図1に示すように、制御部(制御手段)としてのコントローラ221を備えている。
図3は、本実施形態に係る基板処理装置のコントローラの構成例を示すブロック図である。
また、コントローラ221には、例えばタッチパネルやディスプレイ等として構成された入出力装置222や、外部記憶装置223が、接続されている。さらに、コントローラ221は、受信部263を介して、処理装置100の上位装置となるホスト装置(ホストコンピュータ)270が接続可能に構成されている。なお、本開示での接続とは、各部が物理的なケーブル(信号線)で繋がっているという意味も含むが、各部の信号(電子データ)が直接または間接的に送信/受信可能になっているという意味も含む。
次に、本実施形態に係る基板処理工程について、主に図4を用いて説明する。
図4は、本実施形態に係る基板処理工程の手順の概要を示すフロー図である。図5は、本実施形態に係る基板処理工程で処理される、溝(トレンチ)が形成された基板の例を示す説明図である。
まず、上記のウエハ200を処理室201内に搬入する。具体的には、サセプタ昇降機構268がウエハ200の搬送位置までサセプタ217を下降させて、サセプタ217の貫通孔217aにウエハ突上げピン266を貫通させる。その結果、ウエハ突き上げピン266が、サセプタ217表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。
続いて、処理室201内に搬入されたウエハ200の昇温を行う。ヒータ217bは予め加熱されており、ヒータ217bが埋め込まれたサセプタ217上にウエハ200を保持することで、例えば150〜750℃の範囲内の所定値にウエハ200を加熱する。ここでは、ウエハ200の温度が600℃となるよう加熱する。また、ウエハ200の昇温を行う間、真空ポンプ246によりガス排気管231を介して処理室201内を真空排気し、処理室201内の圧力を所定の値とする。真空ポンプ246は、少なくとも後述の基板搬出工程(S160)が終了するまで作動させておく。
次に、反応ガスとして、酸素含有ガスであるO2ガスと水素含有ガスであるH2ガスの供給を開始する。具体的には、バルブ253aおよび253bを開け、MFC252aおよび252bにて流量制御しながら、処理室201内へO2ガスおよびH2ガスの供給を開始する。このとき、O2ガスの流量を、例えば20〜2000sccm、好ましくは20〜1000sccmの範囲内の所定値とする。また、H2ガスの流量を、例えば20〜1000sccm、好ましくは20〜500sccmの範囲内の所定値とする。より好適な例として、O2ガスとH2ガスの合計流量を1000sccmとし、流量比はO2/H2≧950/50とすることが好ましい。
処理室201内の圧力が安定したら、共振コイル212に対して高周波電源273からRFセンサ272を介して、高周波電力の印加を開始する。本実施形態では、高周波電源273から共振コイル212に27.12MHzの高周波電力を供給する。共振コイル212に供給する高周波電力は、例えば100〜5000Wの範囲内の所定の電力であって、好ましくは100〜3500Wであり、より好ましくは約3500Wとする。電力が100Wより低い場合、プラズマ放電を安定的に生じさせることが難しい。
O2ガスおよびH2ガスの供給を停止したら、ガス排気管231を介して処理室201内を真空排気する。これにより、処理室201内のO2ガスやH2ガス、これらガスの反応により発生した排ガス等を、処理室201外へと排気する。その後、APC242の開度を調整し、処理室201内の圧力を処理室201に隣接する真空搬送室(ウエハ200の搬出先。図示せず)と同じ圧力(例えば100Pa)に調整する。
処理室201内が所定の圧力となったら、サセプタ217をウエハ200の搬送位置まで下降させ、ウエハ突上げピン266上にウエハ200を支持させる。そして、ゲートバルブ244を開き、ウエハ搬送機構を用いてウエハ200を処理室201外へ搬出する。以上により、本実施形態に係る基板処理工程を終了する。
次に、上述した基板処理工程においてコントローラ221が行う制御処理の手順について、具体例を挙げて説明する。ここでは、特に、プラズマ処理工程(S140)において、プラズマ生成空間201a内に生成されたプラズマを利用してウエハ200に対する基板処理を行う際の制御処理を、具体例として挙げる。
上述した基板処理工程で処理されるウエハ200は、トレンチ301が予め形成されているといったように(図5参照)、その表面に所定処理が施されている。その場合に、ウエハ200においては、所定処理の処理分布に面内ばらつきが生じていることがあり得る。具体的には、ウエハ200の内周側と外周側とで、所定処理後の処理状態(例えば表面状態)が異なっていることがあり得る。
図6は、本実施形態に係る基板処理工程で処理対象となる基板表面の面内ばらつきの例を示す説明図である。
例えば、ウエハ200上のシリコン層にCMPを行った場合には、図6に示すように、CMP後の膜厚分布に面内ばらつきが生じていることがあり得る。具体的には、例えば、図中に示す分布Aのように、ウエハ200の内周側が厚く外周側が薄くなるように断面凸状の膜厚分布が生じたり、あるいは、図中に示す分布Bのように、ウエハ200の内周側が薄く外周側が厚くなるように断面凹状の膜厚分布が生じたりすることがある。
基板処理工程にあたっては、これに先立ち、処理対象となるウエハ200を図示しない測定装置に移載し、その測定装置で表面の処理分布の状態を測定する。これにより、処理対象となるウエハ200については、その表面の処理分布の状態の測定結果をデータ化した処理分布情報が特定される。なお、測定装置は、処理分布情報を特定し得るものであれば、特に限定されることはなく、公知技術を利用して構成されたものを用いればよい。
処理分布情報を得た後は、プラズマ処理工程(S140)を開始する。プラズマ処理工程(S140)では、処理分布情報に応じて、処理対象となるウエハ200(すなわち、サセプタ217上に保持されているウエハ200)とプラズマ生成を行う共振コイル212の端部(具体的には下端)との間の距離を可変させるように、サセプタ昇降機構268によるサセプタ217の昇降動作を制御する。
ここで、例えば、図6に示すように、処理対象となるウエハ200について受信した処理分布情報が、凸状の処理分布(図中の分布A参照)の情報である場合を考える。その場合には、まず、凸状の処理分布の勾配(すなわち、内周側と外周側との差の割合)を所定閾値と比較する。所定閾値は、記憶装置221cのテーブル221gに予め記録されているものとする。
また、ここでは、所定閾値として一つの閾値が設定され、その閾値との大小関係を処理分布情報判断部221fが判断する場合を例に挙げるが、必ずしもこれに限定されることはない。すなわち、テーブル221gには、所定閾値として複数の閾値が設定されていてもよい。複数の閾値が設定されている場合には、例えば、それぞれの閾値に応じてウエハ200が複数の異なる高さ(距離)に位置するように、サセプタ昇降機構268によるサセプタ217の昇降動作を制御することが実現可能となる。
また、処理分布の勾配が所定閾値よりも大きいと、ウエハ200と共振コイル212の下端との間を所定距離よりも近づけるように、サセプタ昇降機構268によるサセプタ217の昇降動作を制御する。これにより、特に、ウエハ200の外周側に対して高いエネルギーのプラズマが処理を行うようになり、勾配が是正される傾向が比較的強くなる。
また、処理分布の勾配が所定閾値よりも小さいと、ウエハ200と共振コイル212の下端との間を所定距離よりも遠ざけるように、サセプタ昇降機構268によるサセプタ217の昇降動作を制御する。これにより、プラズマが失活して比較的低いエネルギーのプラズマがウエハ200を処理することになるので、勾配が是正される傾向が比較的弱くなる。
処理対象となるウエハ200について受信する処理分布情報には、上述した凸状の処理分布の場合の他に、凹状の処理分布(図6中の分布B参照)の場合もあり得る。つまり、必ずしも凸状の処理分布のウエハ200が搬入されるとは限らない。
サセプタ217の昇降制御は、処理分布情報が凸状の処理分布であるか凹状の処理分布であるかの別を問わず、ウエハ200に対するプラズマ処理の過程で行うようにしてもよい。つまり、共振コイル212がプラズマ生成空間201aにプラズマを生成している期間中に、ウエハ200と共振コイル212の下端との間の距離を可変させるようにしてもよい。
なお、ウエハ200と共振コイル212の下端との間の距離可変によって得られる作用効果を確実なものとするためには、プラズマ生成空間201aに安定したプラズマを生成することが必要となる。
本実施形態によれば、以下に示す一つまたは複数の効果を奏する。
以上に、本開示の一実施形態を具体的に説明したが、本開示が上述の実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。
以下に、本開示の好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
プラズマ生成空間と処理空間とを有する処理室と、
前記プラズマ生成空間の周囲に配されるコイル電極と、
前記処理空間で処理される基板が載置される基板載置部と、
前記処理室内にて前記基板載置部を移動させる移動機構部と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記移動機構部を制御する制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記制御部は、前記処理分布情報が凸状の処理分布である場合に、前記処理分布の勾配が所定閾値よりも大きいと、前記基板と前記コイル電極の端部との間を所定距離よりも近づけるようにし、前記処理分布の勾配が前記所定閾値よりも小さいと、前記基板と前記コイル電極の端部との間を所定距離よりも遠ざけるようにする
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記制御部は、前記処理分布情報が凸状の処理分布であれば、前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を所定距離に設定し、前記処理分布情報が凹状の処理分布であれば、前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を前記所定距離よりも長い距離に設定する
付記1または2に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コイル電極が前記プラズマ生成空間にプラズマを生成している期間中に前記距離を可変させるように前記制御部が前記移動機構部を制御する
付記1から3のいずれか1態様に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コイル電極は、前記基板載置部の移動方向に沿って延びるように巻回されて配される
付記1から4のいずれか1態様に記載の基板処理装置が提供される。
本開示の他の一態様によれば、
処理室内を移動可能な基板載置部に基板を載置する工程と、
コイル電極によって前記処理室内にプラズマ生成空間を形成しつつ前記処理室内の処理空間で前記基板を処理する工程と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記基板載置部を移動させる工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
本開示のさらに他の一態様によれば、
処理室内を移動可能な基板載置部に基板を載置する手順と、
コイル電極によって前記処理室内にプラズマ生成空間を形成しつつ前記処理室内の処理空間で前記基板を処理する手順と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記基板載置部を移動させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムが提供される。
本開示のさらに他の一態様によれば、
処理室内を移動可能な基板載置部に基板を載置する手順と、
コイル電極によって前記処理室内にプラズマ生成空間を形成しつつ前記処理室内の処理空間で前記基板を処理する手順と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記基板載置部を移動させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムが記録された記録媒体が提供される。
Claims (6)
- プラズマ生成空間と処理空間とを有する処理室と、
前記プラズマ生成空間の周囲に配されるコイル電極と、
前記処理空間で処理される基板が載置される基板載置部と、
前記処理室内にて前記基板載置部を移動させる移動機構部と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記移動機構部を制御する制御部と、
を有する基板処理装置。 - 前記制御部は、前記処理分布情報が凸状の処理分布であれば、前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を所定距離に設定し、前記処理分布情報が凹状の処理分布であれば、前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を前記所定距離よりも長い距離に設定する
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記コイル電極が前記プラズマ生成空間にプラズマを生成している期間中に前記距離を可変させるように前記制御部が前記移動機構部を制御する
請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記コイル電極は、前記基板載置部の移動方向に沿って延びるように巻回されて配される
請求項1から3のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 処理室内を移動可能な基板載置部に基板を載置する工程と、
コイル電極によって前記処理室内にプラズマ生成空間を形成しつつ前記処理室内の処理空間で前記基板を処理する工程と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記基板載置部を移動させる工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 処理室内を移動可能な基板載置部に基板を載置する手順と、
コイル電極によって前記処理室内にプラズマ生成空間を形成しつつ前記処理室内の処理空間で前記基板を処理する手順と、
前記基板についての処理分布情報に応じて前記基板と前記コイル電極の端部との間の距離を可変させるように前記基板載置部を移動させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
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