JP2021022643A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021022643A5 JP2021022643A5 JP2019137804A JP2019137804A JP2021022643A5 JP 2021022643 A5 JP2021022643 A5 JP 2021022643A5 JP 2019137804 A JP2019137804 A JP 2019137804A JP 2019137804 A JP2019137804 A JP 2019137804A JP 2021022643 A5 JP2021022643 A5 JP 2021022643A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- hand
- hands
- robot
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 210000004247 hand Anatomy 0.000 description 27
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 11
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 11
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019137804A JP7303686B2 (ja) | 2019-07-26 | 2019-07-26 | ロボットにおけるワーク位置検出方法 |
CN202010703131.1A CN112297036B (zh) | 2019-07-26 | 2020-07-21 | 机器人中的工件位置检测方法 |
TW109124800A TWI718081B (zh) | 2019-07-26 | 2020-07-22 | 機器人中的工件位置檢測方法 |
KR1020200091562A KR102386597B1 (ko) | 2019-07-26 | 2020-07-23 | 로봇에 있어서의 워크 위치 검출 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019137804A JP7303686B2 (ja) | 2019-07-26 | 2019-07-26 | ロボットにおけるワーク位置検出方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021022643A JP2021022643A (ja) | 2021-02-18 |
JP2021022643A5 true JP2021022643A5 (es) | 2022-07-13 |
JP7303686B2 JP7303686B2 (ja) | 2023-07-05 |
Family
ID=74483551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019137804A Active JP7303686B2 (ja) | 2019-07-26 | 2019-07-26 | ロボットにおけるワーク位置検出方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7303686B2 (es) |
KR (1) | KR102386597B1 (es) |
CN (1) | CN112297036B (es) |
TW (1) | TWI718081B (es) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000071187A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Komatsu Ltd | ワーク搬送ロボット |
JP3339840B2 (ja) * | 1999-09-28 | 2002-10-28 | タツモ株式会社 | 水平多関節型産業用ロボット及びその制御方法 |
JP3955499B2 (ja) * | 2001-08-07 | 2007-08-08 | 日本電産サンキョー株式会社 | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 |
TW550651B (en) * | 2001-08-08 | 2003-09-01 | Tokyo Electron Ltd | Substrate conveying apparatus, substrate processing system, and substrate conveying method |
DE112004001210T5 (de) * | 2003-07-04 | 2006-06-08 | Rorze Corp. | Transportvorrichtung und Transportsteuerverfahren für eine dünne Platte |
JP2005193303A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 基板搬送装置 |
US20060216137A1 (en) * | 2004-07-02 | 2006-09-28 | Katsunori Sakata | Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate |
JP2008135630A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Jel:Kk | 基板搬送装置 |
JP5146641B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2013-02-20 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法 |
KR101502130B1 (ko) * | 2008-07-10 | 2015-03-13 | 주식회사 원익아이피에스 | 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는진공처리시스템 |
US8958907B2 (en) * | 2011-03-31 | 2015-02-17 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Robot arm apparatus |
JP5664570B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-02-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP5532110B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-25 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送方法 |
KR102181121B1 (ko) * | 2016-09-20 | 2020-11-20 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 장치 및 기판 이송 장치의 제어 방법 |
JP6593316B2 (ja) * | 2016-12-15 | 2019-10-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
JP7023094B2 (ja) * | 2017-12-05 | 2022-02-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | ロボット |
-
2019
- 2019-07-26 JP JP2019137804A patent/JP7303686B2/ja active Active
-
2020
- 2020-07-21 CN CN202010703131.1A patent/CN112297036B/zh active Active
- 2020-07-22 TW TW109124800A patent/TWI718081B/zh active
- 2020-07-23 KR KR1020200091562A patent/KR102386597B1/ko active IP Right Grant
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101570574B1 (ko) | 기판 반송 로봇 및 기판 반송 방법 | |
KR101421351B1 (ko) | 병렬로봇 | |
CN107428463B (zh) | 负载收纳装置 | |
US7905699B2 (en) | Transfer robot, transfer method, and control method | |
JP2010162635A (ja) | 自走式ロボットの位置および姿勢の補正方法 | |
CN108217537B (zh) | 物品搬送车 | |
TWI684500B (zh) | 機器人之診斷方法 | |
CN109834710B (zh) | 机器人和机器人系统 | |
KR101606223B1 (ko) | 산업용 로보트 | |
WO2016125752A1 (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板搬送方法 | |
JP2007283436A (ja) | ロボット、ロボットシステム及びハンド装置の姿勢制御方法 | |
KR102308091B1 (ko) | 기판 반송 장치 및 기판 반송 로봇과 기판 재치부의 위치 관계를 구하는 방법 | |
JP2019166657A5 (es) | ||
JP4506255B2 (ja) | ウェハ位置教示方法およびそのロボット | |
TW201314827A (zh) | 搬送車 | |
JP2021022643A5 (es) | ||
JP5590411B2 (ja) | スタッカークレーン | |
KR102209497B1 (ko) | 산업용 로봇의 보정값 산출 방법 | |
JP7303686B2 (ja) | ロボットにおけるワーク位置検出方法 | |
JP2010152618A (ja) | ロボット、及びロボットの教示位置の直進開始位置の較正方法 | |
JP5118896B2 (ja) | 搬送ロボットシステム | |
JP6923688B2 (ja) | ロボットおよびロボットシステム | |
JP6756397B2 (ja) | 物品搬送車 | |
KR101331368B1 (ko) | 사행 보상 기능을 구비하는 기판 반송용 로봇 및 그의 사행 보상 방법 | |
JP5665417B2 (ja) | 産業用ロボット |