JP2021020411A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置、液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】寸法精度を確保し、積層枚数の増加を抑制する。【解決手段】複数のノズル４にそれぞれ連通する複数の圧力室６に連通する共通供給流路１０を形成する共通流路部材２０は、複数の板状部材２１（２１Ａ〜２１Ｆ）を金属拡散接合して構成し、複数の板状部材２１の内、板状部材２１Ａ〜２１Ｅには、それぞれ共通供給流路１０を構成する貫通穴２５が設けられ、貫通穴２５が設けられた板状部材２１Ａ〜２１Ｅの内、個別流路部材４０と接着剤６０で接合する板状部材２１Ａの厚み最も薄くしている。【選択図】図３

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、複数の板状部材を積層接合して流路部材を構成するものがある。

例えば、同じ厚みの流路板、ハウジング板を積層して拡散接合によって接合するものが知られている（特許文献１）。同様に、板厚の異なる複数の金属プレートを金属拡散接合した金属プレート組を使用するものが知られている（特許文献２）。

特開２００７−２１６６３３号公報 特開２００６−１８１９５８号公報

しかしながら、特許文献１、２に開示の構成にあっては、例えば流路精度を高めるために板厚を薄くするに伴って積層枚数が増加するという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、流路部材の寸法精度を高めながら積層枚数の増加を抑制することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室に連通する共通流路を形成する流路部材を備え、
前記流路部材は、前記共通流路を構成する貫通穴を形成した複数の板状部材を積層接合して構成され、
前記複数の板状部材は、厚みが最も薄い少なくとも１つの前記板状部材を含む
構成とした。

本発明によれば、流路部材の寸法精度を高めながら積層枚数の増加を抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 本発明の第１実施形態における共通流路部材の平面説明図である。 図２のＡ−Ａ線に相当するノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 比較例１の共通流路部材の断面説明図である。 比較例２の共通流路部材の断面説明図である。 本発明の第２実施形態における共通流路部材の図３のＢ−Ｂ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第３実施形態における共通流路部材の図３のＢ−Ｂ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図である。

液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合（図１のように複数の板状部材を重ねて接着剤等で接合することを指す）している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッド１００のフレーム部材を兼ねている本発明に係る流路部材である共通流路部材２０とを備えている。

ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。

流路板２は、複数のノズル４に通じる複数の圧力室６と、各圧力室６にそれぞれ通じる流体抵抗部を含む個別供給流路７と、１又は複数の個別供給流路７に通じる液導入部となる中間供給流路８を形成している。

振動板部材３は、流路板２の圧力室６の壁面を形成する変位可能な複数の振動板（振動領域）３０を有する。ノズル板１、流路板２及び振動板部材３を相互に接着剤接合して個別流路部材４０を構成している。

そして、振動板部材３には圧力室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接合した圧電部材にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。そして、圧電素子１２は、振動板部材３の振動領域３０に形成した厚肉部である凸部３０ａに接合している。

この圧電素子１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極（端面電極）に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材が接続される。

共通流路部材２０は、複数の圧力室６に通じる共通供給流路１０を形成している。共通供給流路１０は、振動板部材３に設けた開口部９を介して中間供給流路８に連通し、中間供給流路８を介して個別供給流路７に通じている。

共通流路部材２０は、他の部材である個別流路部材４０と接着剤６０で接合されている。

また、振動板部材３は、共通供給流路１０の壁面を形成する復元可能に変形可能なダンパ９１を形成している。流路板２は、ダンパ９１をはさんで共通供給流路１０と反対側にダンパ室９２を形成し、ダンパ室９２は連通路９３を介して大気に通じている。

この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１２が収縮し、振動板部材３の振動領域３０が引かれて圧力室６の容積が膨張することで、圧力室６内に液体が流入する。

その後、圧電素子１２に印加する電圧を上げて圧電素子１２を積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて圧力室６の容積を収縮させることにより、圧力室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。

次に、本発明の第１実施形態における共通流路部材について図２及び図３を参照して説明する。図２は同共通流路部材の平面説明図、図３は同共通流路部材の図２のＡ−Ａ線に相当するノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。

共通流路部材２０は、共通供給流路１０と、２つの共通供給流路１０、１０間に配置され圧電アクチュエータ１１が挿入されるアクチュエータ挿入穴２２と、共通供給流路１０にそれぞれ外部から液体を供給する供給口２４とを有している。

また、共通流路部材２０は、位置合わせ用貫通穴２３を有している。位置合わせ用貫通穴２３は、共通流路部材２０と個別流路部材４０とを接着剤６０で接合するとき、共通流路部材２０と個別流路部材４０の位置合わせをするための貫通穴である。

この共通流路部材２０は、複数、ここでは、５枚の金属プレートである板状部材２１（２１Ａ〜２１Ｆ）を金属拡散接合して構成している。金属拡散接合は、接合面に接着剤が介在せず、接合後は剥離できないという特徴を有している。

ここで、複数の板状部材２１の内、板状部材２１Ａ〜２１Ｅには、それぞれ共通供給流路１０を構成する貫通穴２５が設けられている。そして、貫通穴２５が設けられた板状部材２１Ａ〜２１Ｅの内、個別流路部材４０と接着剤６０で接合する板状部材２１Ａの厚み最も薄くしている。

最も薄い板状部材は１枚である必要はなく、例えば、板状部材２１Ａと接合した板状部材２１Ｂも板状部材２１Ａと同じ厚みにすることもできる。

したがってまた、本実施形態では、共通流路部材２０を構成する複数枚の板状部材２１（２１Ａ〜２１Ｆ）の内、他の部材である個別流路部材４０と接着剤６０で接合する表面を形成する板状部材２１Ａの厚みを最も薄くしている。

次に、このように構成した実施形態の作用について図４及び図５も参照して説明する。図４は比較例１の共通流路部材の断面説明図、図５は比較例２の共通流路部材の断面説明図である。

本実施形態における共通流路部材２０の高さをＨ１とするとき、比較例１は、５枚の板状部材２１Ａ〜２１Ｅを積層した構成、比較例２は、１０枚の板状部材２１Ａ〜２１Ｊを積層した構成である。

高解像度の印字を可能とするためには高精細なパターンの流路形成が必要であり、薄い板状部材（薄板）にエッチング工法で流路パターンを形成し、複数の板状部材を積層することで流路部材を構成することが好ましい。

エッチング工法で流路パターンを形成するとき、寸法精度は板状部材の板厚に依存しており、薄いほど高い寸法精度を得ることができる。ヘッド内の流路の構成は、高画質化のために高精細化しており、液体流路に対しても、より高い寸法精度が要求されている。必要な寸法精度を得るためにはより、薄い板状部材で構成することが求められる。

例えば、２．５ｍｍの厚さ（高さＨ１）の共通流路部材２０を作製する場合、厚さ０．５ｍｍの板状部材２１を積層するのであれば、図４に示す比較例１のように、５枚の板状部材２１Ａ〜２１Ｅで構成することができる。しかしながら、１枚の板状部材の板厚が厚いために必要な流路パターンの寸法精度が得られなくなる。

一方、厚さ０．２５ｍｍの板状部材２１を使用することで、高い寸法精度が得られるものの、図５に示す比較例２のように、１０枚の板状部材２１Ａ〜２１Ｊを積層しなければならず、部品コストが高くなる。

そこで、流路パターンの寸法精度は、特に他の部材との接合面において重要であることから、本実施形態では、共通流路部材２０と接合する他の部材である個別流路部材４０との接合面を形成する板状部材２１Ａの厚みを最も薄くし、所要の寸法精度を確保している。

そして、その他の板状部材２１Ｂ〜２１Ｆの厚みは板状部材２１Ａの厚みよりも相対的に厚くすることで、板状部材の積層枚数を抑制している。

本実施形態では、６枚の板状部材２１Ａ〜２１Ｆによって共通流路部材２０の高さ（厚さ）Ｈ１を確保しており、比較例１よりも高い寸法精度を確保しつつ、比較例２よりも積層枚数を減らすことができている。

次に、本発明の第２実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態における共通流路部材の図３のＢ−Ｂ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

本実施形態では、位置合わせ用貫通穴２３は、相対的の小径の基準となる貫通穴（基準穴）２３ａと、基準穴２３ａより大経の貫通穴２３ｂとで構成されている。

つまり、共通流路部材２０と個別流路部材４０とを接着剤６０で接合するとき、高い位置合わせ精度で接着できるように位置合わせ用貫通穴２３を設ける。このとき、複数の板状部材２１を積層して拡散接合する場合、全ての板状部材２１に同じ径の貫通穴を形成すると、拡散接合時にずれが生じたとき、位置合わせ用のピン部材を通すことができなくなる。

そこで、複数の板状部材２１の内の１枚に高い寸法精度で基準穴２３ａを形成し、他の板状部材２１には基準穴２３ａよりも大きい貫通穴２３ｂを形成する。

ここで、本実施形態では、複数の板状部材２１Ａ〜２１Ｆの内、位置合わせて用の基準穴２３ａを形成する板状部材２１Ａの厚さを最も薄くしている。

これにより、位置合わせ用の基準穴について高い寸法精度を確保し、積層枚数を抑制できる。

また、本実施形態では、前記第１実施形態と同様に、複数の板状部材２１Ａ〜２１Ｆの内、個別流路部材４０との接合面を形成する最も薄い板状部材２１Ａに基準穴２３ａを形成している。

これにより、１枚の板状部材を最も薄くすることで、流路及び基準穴の寸法精度を確保でき、他の板状部材の厚みを厚くすることができる。

次に、本発明の第３実施形態について図７を参照して説明する。図７は同実施形態における共通流路部材の図３のＢ−Ｂ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

本実施形態では、複数の板状部材２１Ａ〜２１Ｆの内、位置合わせて用の基準穴２３ａを形成する板状部材２１Ｂの厚さを最も薄くしている。この場合、位置合わせて用の基準穴２３ａを形成する板状部材２１Ｂは、両面に、板状部材２１Ａ、２１Ｃが接合される板状部材である。

つまり、位置合わせの精度を求める場合、板状部材の厚さの調整のみでは必要な貫通穴の径精度を得ることが難しいことがある。この場合、後加工で、リーマ加工により基準穴を形成することがある。後加工で処理する場合、必要な穴径よりも小さな穴径で作成し、接合後に加工する。このリーマ加工によりバリが発生することがある。

このとき、前記第２実施形態のように、他の部材との接合面を形成する板状部材２１（２１Ａ）に基準穴２３ａを形成すると、バリが表面より外部に出て他の部材との接合不良が発生する可能性がある。

そこで、本実施形態のように、両面に板状部材が接合される板状部材である内側に位置する板状部材２１Ｂに基準穴２３ａを形成することで、基準穴２３ａの後加工によってバリが発生しても、接合面にバリが出ることがなく、他の部材との接合における接合不良を防止できる。

また、本実施形態で、板状部材２１Ａ、２１Ｂをそれぞれ最も厚みの薄い板状部材とすることができる。これにより、他の部材である個別流路部材４０との接合面を形成する板状部材２１と、基準穴２３ａを形成する板状部材とに分けることができ、流路及び基準穴の寸法精度の確保、積層枚数の増加の抑制、接合不良の防止を図ることができる。

上記各実施形態において、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を実施するには、複数の板状部材２１を積層して拡散接合で共通流路部材２０を作製する工程と、作製した共通流路部材２０と個別流路部材４０とを接着剤６０で接合する工程とを行えばよい。

次に、本発明の第４実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態の係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッド１００は、循環型液体吐出ヘッドであり、前記第１実施形態と同様に、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材２０とを備えている。

流路板２は、複数のノズル４に各々ノズル連通路５を介して通じる複数の圧力室６と、複数の圧力室６に各々通じる複数の個別供給流路７と、１又は複数の個別供給流路７に通じる１又は複数の中間供給流路８を形成している。中間供給流路８は、振動板部材３の供給側の開口部９を介して共通供給流路１０に通じている。

また、流路板２は、複数の圧力室６にノズル連通路５を介して各々通じる流路板２の面方向に沿う複数の個別回収流路５６と、１又は複数の個別回収流路５６に通じる１又は複数の中間排出流路５８を形成している。中間排出流路５８は、振動板部材３の回収側の開口部５９を介して共通回収流路５０に通じている。

共通流路部材２０は、共通供給流路１０と、共通回収流路５０とを形成している。

本実施形態において、流路板２は、本発明に係る流路部材であり、複数の板状部材１０２（１０２Ａ〜１０２Ｇ）を積層して拡散接合して形成している。

ここで、複数の板状部材１０２の内、ノズル板１と接着接合する接合面を形成する板状部材１０２Ａと、振動板部材３と接着接合する接合面を形成する板状部材１０２Ｇとは最も厚さの薄い板状部材としている。

これにより、前記第１実施形態と同様に、流路の寸法精度を確保し、積層枚数の増加を抑制することができる。

なお、流路板２にノズル板１、振動板部材３との位置合わせ用貫通穴を設ける場合には、前記第２実施形態あるいは第３実施形態を適用することができる。

また、本実施形態において、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を実施するには、複数の板状部材１０２を積層して拡散接合で流路板２を作製する工程と、作製した流路板２とノズル板及び振動板部材３とを接着剤で接合する工程とを行えばよい。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の概略説明図、図１０は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。

この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連帳紙、シート材などの連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。

連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。

この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。

ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。

各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。

ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同装置の要部平面説明図、図１２は同装置の要部側面説明図である。

この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１３を参照して説明する。図１３は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。

なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１４を参照して説明する。図１４は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
４ ノズル
２ 流路板
３ 振動板部材
６ 圧力室
７ 個別供給流路
１０ 共通供給流路
１１ 圧電アクチュエータ
２０ 共通流路部材
２１ 板状部材
５０ 共通回収流路
１００ 液体吐出ヘッド
１０２ 板状部材
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０ ヘッドユニット

Claims (10)

1. 複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室に連通する共通流路を形成する流路部材を備え、
   前記流路部材は、複数の板状部材を積層接合して構成され、
   前記複数の板状部材の内の前記共通流路を構成する貫通穴が設けられた２以上の前記板状部材には、厚みが最も薄い少なくとも１つの前記板状部材を含む
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 少なくとも、複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室を形成する流路部材を備え、
   前記流路部材は、前記圧力室を構成する貫通穴を形成した複数の板状部材を積層接合して構成され、
   前記複数の板状部材は、厚みが最も薄い少なくとも１つの前記板状部材を含む
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 前記複数の板状部材の内、他の部材と接着接合される表面を形成する前記板状部材の厚みが最も薄い
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記複数の板状部材には、それぞれ、他の部材と接合するときの位置合わせ用貫通穴が設けられ、
   他の位置合わせ用貫通穴より小径の位置合わせ用貫通穴を形成している前記板状部材の厚みが最も薄い
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記他の位置合わせ用貫通穴よりも小径の位置合わせ用貫通穴を形成している前記板状部材は、両面に他の前記板状部材が接合されている
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
7. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
   ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ユニット。
8. 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項６若しくは７に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
9. 厚みの異なる２以上の板状部材を拡散接合して流路部材を作製する工程と、
   前記流路部材を他の部材と接着剤で接合する工程と、を行う
   ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
10. 前記流路部材が、少なくとも、複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室を形成する流路板、又は、前記複数の圧力室に連通する共通流路を形成する共通流路部材である
    ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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