JP2021018198A - ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置 - Google Patents

ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2021018198A
JP2021018198A JP2019135187A JP2019135187A JP2021018198A JP 2021018198 A JP2021018198 A JP 2021018198A JP 2019135187 A JP2019135187 A JP 2019135187A JP 2019135187 A JP2019135187 A JP 2019135187A JP 2021018198 A JP2021018198 A JP 2021018198A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
line
line image
shaking
sensor
sensor unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019135187A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7314679B2 (ja
Inventor
琢也 古川
Takuya Furukawa
琢也 古川
一男 濱田
Kazuo Hamada
一男 濱田
高広 井桁
Takahiro Iketa
高広 井桁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2019135187A priority Critical patent/JP7314679B2/ja
Publication of JP2021018198A publication Critical patent/JP2021018198A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7314679B2 publication Critical patent/JP7314679B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

【課題】結像光学系とラインセンサとが組み込まれた光学センサユニットの指向揺れを当該ラインセンサの出力信号のみに基づいて測定する方法および装置を提供する。【解決手段】光学センサユニット(100)を振動させ、ラインセンサ(101)に直交する第一ライン画像(302x)のセンサ出力値の変化から第一ライン画像の揺れを検出し、ラインセンサから所定角度(θ)だけ傾斜した第二ライン画像(302y)のセンサ出力値の変化から第二ライン画像の揺れを検出し、第一ライン画像の揺れから光学センサユニットの第一方向の揺れを測定し、第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定される。【選択図】図5

Description

本発明は結像光学系および光学センサを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する技術に関する。
近年、光学センサの解像度が大きく向上したことに伴い、光学センサに伝わる微小振動が光学性能の劣化の大きな要因となっている。このような振動による影響を考慮して光学性能の劣化を軽減するために、光学センサの振動特性を高精度に測定することが必要である。
測定対象の振動特性の測定方法として、たとえば、特許文献1に、エリアセンサを用いた平面振動計測法方法が開示されている。より詳しくは、参照ミラーと測定物体とを異なる周波数で振動させながら、参照ミラーからの反射光と測定物体からの反射光との干渉画像をエリアセンサで撮像する。この撮像される干渉画像の時間的変化を測定することで、測定物体の2次元的な振動特性分布を取得することができる。
また、特許文献2には、ラインセンサを利用した光学装置の振れ検出方法が開示されている。特許文献2によれば、測距用のラインセンサで水平方向の振れを測定し、測距用ラインセンサとは直交する方向に配置されたラインセンサで垂直方向の振れを測定する。
特開2017−003397号公報 特開2001−165622号公報
しかしながら、エリアセンサを用いて振動特性を測定する方法は、光学センサとしてラインセンサのみが搭載された光学センサユニットには適用できない。適用しようとすれば、測定用のエリアセンサを光学センサユニットに別途設ける必要がある。本来の光学センサとしてのラインセンサに加えて測定用のエリアセンサを設置するのであるから、光学センサユニットの重量を増加させるだけでなく、エリアセンサの設置空間を確保するために設計自由度が大きく制限される。また、測定用のエリアセンサを測定後に取り外すと、エリアセンサの有無により光学センサユニットの振動特性が変化するので、そもそも正確な振動特性の測定ができない。
また、もともと搭載されたラインセンサを利用した振れ検出方法では、本来のラインセンサで垂直方向の揺れを検出し、別途設けたラインセンサで水平方向の振れを検出する必要がある。すなわち、2次元方向の振れを検出するためには、2本のラインセンサを必要とする。したがって、この方法は、光学センサとして一方向のみのラインセンサが搭載された光学センサユニットには適用できない。適用しようとすれば、異なる方向の測定用ラインセンサを光学センサユニットに別途設ける必要がある。このようなラインセンサの設置は光学センサユニットの重量を増加させるだけでなく、設置空間を必要とするために設計自由度を制限する。また、測定後に測定用ラインセンサを取り外せば、上述したように正確な測定ができなくなる。
通常、衛星に搭載する光学センサユニットには、光学センサとして一方向のラインセンサと、その上に結像画像を形成するための複数の反射鏡からなる結像光学系と、が組み込まれている。衛星では、他の機器で発生した振動が衛星本体を通して光学センサユニットに伝達されるために、上述したように、衛星に搭載される光学センサユニット単体での振動特性の正確な測定が必要である。しかも、衛星に搭載するためには、できるだけ小型かつ軽量であることが要求される。上述した背景技術による測定方法では、上述したように、小型軽量化の条件を満たしつつ光学センサユニット単体での正確な振動特性を測定することができない。
そこで、本発明の目的は、結像光学系とラインセンサとが組み込まれた光学センサユニットの指向揺れを当該ラインセンサの出力信号のみに基づいて測定する方法および装置を提供することにある。
本発明の第一の態様によれば、結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法は、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする。
本発明の第二の態様によれば、結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法は、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、ことを特徴とする。
本発明の第三の態様によれば、結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する装置は、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、前記光学センサユニットへ振動を与える加振手段と、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する測定手段と、を有し、前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする。
本発明の第四の態様によれば、結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する装置は、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、前記光学センサユニットへ振動を与える加振手段と、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する測定手段と、ことを特徴とする。
本発明によれば、結像光学系とラインセンサとが組み込まれた光学センサユニットの指向揺れを当該ラインセンサの出力信号のみに基づいて測定することができる。
図1は本発明の実施形態による指向揺れ測定装置における加振装置の一部破断の側面構成図である。 図2は図1における加振装置の平面図である。 図3は本発明の第1実施形態による指向揺れ測定方法におけるラインチャートの結像画像の横揺れとそのセンサ出力変化との関係を模式的に示す図である。 図4は図3に示す結像画像の横揺れによるエッジ画素位置の時間的な変動を示す横方向エッジプロファイル図である。 図5は第1実施形態による指向揺れ測定方法におけるラインチャートの結像画像の縦揺れとそのセンサ出力変化との関係を模式的に示す図である。 図6は図5におけるラインチャートの傾斜角度θに対する横揺れ(X)/縦揺れ(Y)の感度の変化の一例を示すグラフである。 図7は図5におけるラインチャートの傾斜角度θに対する横揺れ(X)感度の変化の一例と、縦揺れ感度における横揺れの影響度の一例とを示すテーブルである。 図8は第1実施形態による指向揺れ測定装置の概略的構成を示すブロック図である。 図9は図8に示す指向揺れ測定装置の動作を示すフローチャートである。 図10は本発明の第2実施形態による振動特性測定方法におけるラインチャートおよびその結像画像の一例を模式的に示す図である。 図11は第2実施形態による指向揺れ測定装置の概略的構成を示すブロック図である。 図12は図11に示す指向揺れ測定装置の動作を示すフローチャートである。
<実施形態の概要>
本発明の実施形態によれば、結像光学系とラインセンサとが組み込まれた完成品としての光学センサユニットを振動させつつラインチャート画像をラインセンサで読み取り、ラインセンサ出力だけを用いて光学センサユニットの指向揺れ特性を測定することができる。より詳しくは、ラインセンサに対して直交したラインチャートの縦方向ライン画像と、ラインセンサに対して所定角度だけ傾斜したラインチャートの斜めライン画像とを用いて、これらのライン画像の揺れを検出することで2次元的な揺れ方向成分を所望の精度で測定する。したがって、振動特性測定用だけの光学センサを用いることなく、本来の光学センサであるラインセンサの出力だけから揺れ特性を測定できる。完成品としての光学センサユニットを分解する必要もなく、余分な部品も不要となるので、小型軽量化でき、かつ所望の精度で2次元的揺れを測定可能となる。
本発明の第1実施形態によれば、1本線のラインチャートを用いる。1本線のライン像をラインセンサに対して直交させたときのラインセンサ出力信号の変化から横方向揺れ成分を取得し、1本線のライン像をラインセンサに対して微小角度傾斜させたときのラインセンサ出力信号の変化から所望の精度で縦方向揺れ成分を取得する。傾斜ライン像によるラインセンサ出力の変化には縦方向揺れ成分だけでなく横方向揺れ成分が含まれているが、傾斜角度を小さくすることで横方向揺れ成分の割合を十分に小さくすることができ、必要な精度の縦方向揺れ成分を取得することができる。
本発明の第2実施形態によれば、直角から所定角度ずれた2本線のラインチャートを用いる。一方のライン像をラインセンサの所定の画素部分で直交させ、他方のライン像をラインセンサの別の画素部分で微小角度傾斜させて配置する。これらのライン像によるラインセンサ出力信号の変化から横方向および縦方向の揺れ成分を取得する。上述したように、傾斜ライン像により取得された揺れ成分は、縦方向揺れ成分だけでなく横方向揺れ成分が含まれている。第2実施形態によれば、傾斜ライン像によるラインセンサ出力を縦方向ライン像によるラインセンサ出力により補正することで、正確な縦方向揺れ成分を算出できる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。ただし、以下の実施形態に記載されている構成要素は単なる例示であって、本発明の技術範囲をそれらのみに限定する趣旨ではない。まず、本発明の実施形態に用いる装置構成を図1および図2に例示する。
<装置構成>
図1および図2に例示するように、光学センサユニット100は、振動特性の測定対象であり、その内部にラインセンサ101と結像光学系M1とが最終製品として組み込まれている。結像光学系M1は、下方から入射する平行光(矢印)をラインセンサ101の受光面に結像する光学系であればよい。結像光学系M1は、たとえば複数の反射鏡あるいはレンズ等の光学要素を組み合わせて構成されうる。図1では、簡略化のために、複数の光学要素をまとめて結像光学系M1として図示している。
光学センサユニット100は、加振装置の加振用フレーム200の上部に固定され、加振機201により所定周波数および所定方向の振動が与えられる。加振用フレーム200の下端は防振台300に取り付けられ、防振台300の中央部には光源301が設けられている。防振台300の光源301上にはラインチャート302が配置され、さらにその上にコリメータ303が配置されている。したがって、加振機201により加振用フレーム200に固定された光学センサユニット100は振動するが、防振台300上に取り付けられた光源301、ラインチャート302およびコリメータ303は振動しない。
ラインチャート302は透明板に1本あるいは2本の遮光ラインが形成されたものであってもよいし、遮光板に1本あるいは2本の透光ラインが形成されたものであってもよい。あるいは、液晶パネルのように電気的に所望のラインパターンを表示できる透過型表示パネルを用いることもできる。また、ラインチャート302は不透明版にラインが印刷されたものであっても良い。
光源301からの照射光はラインチャート302を通してコリメータ303に入射し、矢印で示す平行光として光学センサユニット100に入射する。この平行光が結像光学系M1に入射することにより、ラインセンサ101の受光面にラインチャート302のライン像が結像する。ラインチャート302のライン方向によりラインセンサ101上のライン像を所望の向きに設定することができる。加振機201が加振用フレーム200を振動させることで、光学センサユニット100のラインセンサ101に対して、ラインチャート302のライン像が揺動する。なお、ラインチャート302のライン像がラインセンサ101上で結像すればよいのであるから、光源301からの照射光がラインチャート302を透過する必要はなく、ラインチャート302で反射して結像光学系M1に入射しても良い。
上述したように、光学センサユニット100内には、複数の光学要素からなる結像光学系M1とラインセンサ101が配置されている。これらの光学要素およびラインセンサ101はそれぞれの質量が異なり、光学センサユニット100内でそれぞれのポジションに配置されている。したがって、光学センサユニット101は、一つの組立体として固有の振動特性を有する。以下に述べる実施形態によれば、指向揺れ測定装置400は、光学センサユニット101を振動させた状態でラインセンサ101の出力信号を入力し、そのセンサ出力だけに基づいて当該光学センサユニット100の指向揺れを測定する。これによりラインセンサ101の出力だけで振動特性の評価が可能となる。
以下、便宜上、ラインセンサ101の長手方向(図の紙面左右方向)を横方向(X方向)、ラインセンサ101に直交する方向(図の紙面上下方向)を縦方向(Y方向)と呼び、指向揺れを横方向の揺れあるいは縦方向の揺れとして定義する。
1.第1実施形態
1.1)横方向の揺れの検出
図3に例示するように、所定方向のラインチャート302によって、ラインセンサ101上にラインセンサの長手方向と直交する縦方向ライン画像302xを結像させる。これにより、ラインセンサ101のセンサ出力プロファイル102は、縦方向ライン画像302xのエッジ付近の画素で出力レベルが大きく変化する形状を有する。
縦方向ライン画像302xは、上述したように加振機201を駆動することで横方向および縦方向に揺れる。図3から分かるように、縦方向ライン画像302xの縦方向の揺れはセンサ出力の変化に反映されないが、横方向の揺れはセンサ出力プロファイル102のエッジ画素位置Pedgeの時間変化として現れる。図4に例示するように、時間とともに変化するエッジ画素位置Pedgeをプロットした横方向エッジプロファイルをフーリエ解析することにより、横揺れの周波数と振幅の測定ができる。
1.2)縦方向の揺れの検出
図5に例示するように、ラインチャート302を所定角度回転させた状態にすることで、ラインセンサ101上にラインセンサの長手方向とわずかに傾いた傾斜ライン画像302yを結像させる。これにより、ラインセンサ101のセンサ出力プロファイル103は、傾斜ライン画像302yのエッジ付近の画素で出力レベルがプロファイル102より緩慢に変化する形状を有する。傾斜ライン画像302yがラインセンサ101を斜めに横切っているので、ラインセンサ101におけるどこかの画素出力にプロファイル103に示す形状の変化が現れる。
なお、ライン画像とラインセンサ101とは完全に平行ではないことが必要である。その理由は、第1に、ライン画像のエッジ部をラインセンサ101の画素幅以内に位置合わせすることが容易ではないからである。第2に、平行ライン画像により得られる画像信号は全画素に渡って白と黒の中間となるために、センサ出力値が大きく変化している箇所、すなわちエッジを見分けられない。これに対して、本実施形態のようにライン画像302yを微小角度傾けることにより、ラインセンサのどこかの画素範囲で白から黒に変化する部分が現れ、センサ出力値からエッジの特定が容易になる。
傾斜ライン画像302yは、上述したように加振機201を駆動することで横方向および縦方向に揺れる。図5から分かるように、傾斜ライン画像302yの揺れは、センサ出力プロファイル103のエッジ画素位置Pedgeの時間変化として現れるが、このプロファイル103のエッジ画素位置の変化は縦方向の揺れと横方向の揺れの両方を反映している。しかしながら、傾斜角度θが十分小さい場合には、次に説明するように、横方向の揺れ成分を実質的に無視することができる。したがって、十分小さい傾斜角度θでセンサ出力プロファイル103のエッジ画素位置Pedgeの時間変化を検出することで、光学センサユニット100の縦方向揺れの特性を十分な精度で測定することが可能となる。以下、詳述する。
図6および図7は、縦揺れ感度、横揺れ感度、および縦揺れ感度に対する横揺れ感度の影響度をシミュレートした結果を示す。ここでは、傾斜ライン画像302yがラインセンサ101の一画素を横方向に横切った状態で、縦方向の揺れと横方向の揺れとが同じ大きさで発生しているものと仮定している。
図6に例示するように、傾斜ライン画像302yの角度θが0から45°まで大きくなるに従って横方向の揺れ感度が上昇する。このことは、図5に示す傾斜ライン画像302yが縦方向に立ち上がる(θが大きくなる)に従って、センサ出力の画素位置に対する変化が大きくなり、横方向の揺れ感度が上昇することから明白である。これに対して、縦方向の揺れ感度はほとんど変化しない。すなわち、横方向の揺れによるセンサ画素出力の変化は傾斜角度θに依存するのに対して、縦方向の揺れによるセンサ画素出力の変化は揺れの振幅にほぼ比例するだけで傾斜角度θに依存しない。
したがって、図7に例示するように、傾斜角度θ設定により横方向揺れの影響を所望レベル以下にすることができる。たとえば、傾斜角度θを0°より大きく6°以下に設定すればセンサ出力の変化における横揺れの影響度を10%以下にでき、傾斜角度θを0°より大きく3°以下に設定すればセンサ出力の変化における横揺れの影響度を5%以下にできる。言い換えれば、所望の傾斜角度θを設定することで、当該傾斜角度θに対応した精度で縦方向揺れを測定できる。たとえばθ=3°でセンサ出力プロファイル103のエッジ画素位置Pedgeの時間変化を検出すれば、光学センサユニット100の縦方向揺れを5%以下の不確定性で測定できる。
傾斜角度θは、必要される測定精度に依存するが、通常、不確定性が10%以下となる0°より大きく6°以下に設定することが望ましい。
こうして、時間とともに変化するエッジ画素位置Pedgeをプロットした縦方向エッジプロファイルをフーリエ解析することにより、縦揺れの周波数と振幅の測定ができる。
1.3)指向揺れ測定装置
図8に例示するように、本実施形態による指向揺れ測定装置400は、ラインチャート302のライン画像が縦方向ライン画像302xであるか傾斜ライン画像302yであるかに応じて、ラインセンサ101から時系列で入力するセンサ画素出力データをセンサ出力プロファイル102あるいは103として記憶部401に格納する。
エッジ検出部402は、センサ出力プロファイル102からエッジ検出を行い、エッジ位置情報を時系列に記憶部403へ出力し、これによって記憶部403に横方向エッジプロファイルが格納される。また、エッジ検出部402は、センサ出力プロファイル103からエッジ検出を行い、エッジ位置情報を時系列に記憶部404へ出力し、これによって記憶部404に縦方向エッジプロファイルが格納される。
指向揺れ評価部405は、横方向および縦方向のエッジプロファイルをフーリエ解析することで横方向および縦方向の揺れの周波数および振幅をそれぞれ算出する。
コントローラ406は、上記エッジ検出部402、指向揺れ評価部405および記憶部401,403および404を制御することで、上記指向揺れ測定を実行する。なお、コントローラ406は、加振機201の駆動制御、ラインチャート302の表示制御等の各種制御を実行することもできる。
なお、指向揺れ測定装置400の上記指向揺れ測定機能は、図示しないCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサがプログラムメモリ407に格納されたプログラムを実行することで実現することもできる。以下、図9を参照しながら、指向揺れ測定装置400が加振機201を制御する場合を一例として、本実施形態による指向揺れ測定方法について詳述する。
1.4)指向揺れ測定
図9において、まず、図2に示す横方向の揺れを測定する方向にラインチャート302を設定した後(動作S501)、指向揺れ測定装置400は、加振機201の振動周波数、振動方向等を初期設定する(動作S502)。続いて、指向揺れ測定装置400は、光源301によりラインチャート302を照射するとともに、加振機201を駆動する(動作S503)。これにより、ラインセンサ101上に図2に示すライン画像302xが結像し、光学センサユニット100の振動に伴ってライン画像302xがラインセンサ101に対して横方向に揺動する。
ライン画像302xがラインセンサ101上を横方向に揺動する状態で、指向揺れ測定装置400は、ラインセンサ101のセンサ出力データを所定周期で入力することで、記憶部401にセンサ出力プロファイル102を時系列で格納する(動作S504)。続いて、エッジ検出部402は、センサ出力プロファイル102から、時間経過に伴うエッジ部の変動を示す横方向エッジプロファイルを生成し、記憶部403に格納する(動作S505)。
続いて、図5に示すように、ライン画像302yがラインセンサ101に対して所定の角度θで傾くようにラインチャート302を設定する(動作S506)。傾斜角度θは、上述したように、十分な縦揺れ検出精度が得られるように十分小さい値に設定される。指向揺れ測定装置400は、上記動作S503と同様に、光源301によりラインチャート302を照射するとともに加振機201を駆動する。これにより、図5に示すように、傾斜ライン画像302yがラインセンサ101上を横方向/縦方向に揺動する。この揺動状態で、指向揺れ測定装置400は、ラインセンサ101のセンサ出力データを所定周期で入力し、記憶部401にセンサ出力プロファイル103を時系列で格納する(動作S507)。続いて、エッジ検出部402は、センサ出力プロファイル103から、すでに述べたように、時間経過に伴うエッジ部の変動を示す縦方向エッジプロファイルを生成し、記憶部404に格納する(動作S508)。
指向揺れ評価部405は、こうして取得されたエッジプロファイルを用いて各指向揺れを評価する(動作S509)。指向揺れ測定装置400は、上記動作S503〜S509を振動周波数等の振動態様を変えながら繰り返し、光学センサユニット100の振動特性を測定する。
1.5)効果
以上述べたように、本発明の第1実施形態によれば、縦方向ライン画像302xの揺れにより横方向の揺れ成分を取得し、ラインセンサに対して微小角度θだけ傾斜させた傾斜ライン画像302yの揺れにより所望の精度で縦方向揺れ成分を取得する。したがって、ラインチャート302を用意し、光学センサユニット100に搭載された光学センサとしてのラインセンサの出力信号だけで、光学センサユニット100の振動特性を測定することが可能となる。すなわち、光学センサユニット100に振動特性測定用のセンサを設ける必要がないために、小型軽量化を達成でき、かつ所望の精度で指向揺れを測定できる。
2.第2実施形態
本発明の第2実施形態による指向揺れ測定装置では、図3および図5に示す2つのライン方向にそれぞれ対応する2本のラインを有するラインチャートを用い、傾斜ライン画像に基づいて検出された揺れを横方向の揺れを用いて補正することで、横方向の揺れおよび縦方向の揺れを同時に、かつ正確に測定する。
2.1)揺れ補正
図10に例示するように、本発明の第2実施形態で用いるラインチャート302は2本のライン601および602を有し、ライン601とライン602とは直角から所定の角度θだけずれて交差している。このラインチャート302が光学センサユニット100内のラインセンサ101上に結像すると、ライン601に対応する縦方向ライン画像601xと、ライン602に対応する傾斜ライン画像602yとがそれぞれラインセンサ101の異なる画素部分で交差する。
縦方向ライン画像601xが交差した部分でのラインセンサ101の出力信号は、図3に例示したセンサ出力プロファイル102と同様であり、傾斜ライン画像602yが交差した部分でのラインセンサ101の出力信号は、図5に例示したセンサ出力プロファイル103と同様である。したがって、第1実施形態と同様の方法を用いて、横方向揺れと縦方向揺れとを同時に測定することができる。
さらに、ラインセンサ101から一度に読み出された信号からセンサ出力プロファイル102および103を同時に取得できるので、第2実施形態では、傾斜ライン画像602yによるセンサ出力プロファイル103の変動をセンサ出力プロファイル102から正確に得られる横方向揺れで補正することが可能である。以下、詳述する。
図5〜図6で述べたように、センサ出力プロファイル103のエッジ画素位置の変化(揺れ)は縦方向の揺れと横方向の揺れの両方を反映している。これに対して、センサ出力プロファイル102のエッジ画素位置の変化は正確に横方向の揺れを表している。したがって、センサ出力プロファイル103の揺れから横方向の揺れ成分を除去することで、正確な縦方向の揺れを算出することができる。
2.2)指向揺れ測定装置
図11に例示するように、本実施形態による指向揺れ測定装置700は、縦方向ライン画像601xの画素部分であるか傾斜ライン画像602yの画素部分であるかに応じて、ラインセンサ101から入力するセンサ画素出力データのそれぞれの画素部分をセンサ出力プロファイル102あるいは103として記憶部701に格納する。
エッジ検出部702は、センサ出力プロファイル102からエッジ検出を行い、横方向揺れのエッジ位置情報を時系列に記憶部703へ出力する。これによって、記憶部703には横方向エッジプロファイルが格納される。また、エッジ検出部702は、センサ出力プロファイル103からエッジ検出を行い、縦/横方向揺れを含むエッジ情報を時系列に縦揺れ算出部704へ出力する。
縦揺れ算出部704は、センサ出力プロファイル102から得られた横方向揺れのエッジ位置情報を時系列に入力すると同時に、センサ出力プロファイル103から得られた縦/横方向揺れのエッジ位置情報を時系列に入力する。上述したように、横方向揺れのエッジ位置情報と縦/横方向揺れのエッジ位置情報とは同じ揺れに起因する。したがって、縦揺れ算出部704は、縦/横方向揺れのエッジ位置から横方向揺れのエッジ位置成分を減算することで、縦方向揺れのみのエッジ位置情報を算出することができる。縦揺れ算出部704から縦方向揺れのみのエッジ位置情報を入力することよって、記憶部705には縦方向エッジプロファイルが格納される。
指向揺れ評価部706は、それぞれのエッジプロファイルをフーリエ解析することで横方向および縦方向の揺れの周波数および振幅をそれぞれ測定する。
コントローラ707は、上記エッジ検出部702、縦揺れ算出部704、指向揺れ評価部706および記憶部701、703、704を制御することで、上記指向揺れ測定を実行する。なお、コントローラ707は、加振機201の駆動制御、ラインチャート302の表示制御等の各種制御を実行することもできる。
なお、指向揺れ測定装置700の上記指向揺れ測定機能は、図示しないCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサがプログラムメモリ708に格納されたプログラムを実行することで実現することもできる。以下、図12を参照しながら、指向揺れ測定装置700が加振機201を制御する場合を一例として、本実施形態による指向揺れ測定方法について詳述する。
2.3)指向揺れ測定
図12において、まず、図10に示すラインチャート302を設定した後(動作S801)、指向揺れ測定装置700は、加振機201の振動周波数、振動方向等を初期設定する(動作S802)。続いて、指向揺れ測定装置700は、光源301によりラインチャート302を照射するとともに、加振機201を駆動する(動作S803)。これにより、ラインセンサ101上に図10に示すライン画像601xおよび602yが結像し、光学センサユニット100の振動に伴ってライン画像601xおよび602yがラインセンサ101に対して揺動する。
ライン画像601xおよび602yがラインセンサ101上を揺動する状態で、指向揺れ測定装置700は、ラインセンサ101のセンサ出力データを所定周期で入力することで、記憶部701にセンサ出力プロファイル102および103を同時に格納する(動作S804)。続いて、エッジ検出部702は、センサ出力プロファイル102から、時間経過に伴うエッジ部の変動を示す横方向エッジプロファイルを生成し、記憶部703に格納する(動作S805)。これと同時に、縦揺れ算出部704は、センサ出力プロファイル103から得られたエッジ変動から横方向揺れ成分を減算することで、縦方向揺れ成分を算出する(動作S806)。こうして縦方向のエッジ変動を示す縦方向エッジプロファイルが記憶部705に格納される(動作S807)。
指向揺れ評価部706は、こうして取得されたエッジプロファイルを用いて各指向揺れを評価する(動作S808)。指向揺れ測定装置700は、上記動作S803〜S808を振動周波数等の振動態様を変えながら繰り返し、光学センサユニット100の振動特性を測定する。
2.4)効果
以上述べたように、本発明の第2実施形態によれば、縦方向ライン画像601xの揺れにより横方向の揺れ成分を取得し、それと同時に、ラインセンサ101に対して微小角度θだけ傾斜させた傾斜ライン画像602yの揺れを横方向の揺れ成分で補正することにより縦方向揺れ成分を取得する。したがって、ラインチャート302を用意し、光学センサユニット100に搭載された光学センサとしてのラインセンサの出力信号だけで、光学センサユニット100の振動特性を測定することが可能となる。すなわち、光学センサユニット100に振動特性測定用のセンサを設ける必要がないために、小型軽量化を達成でき、かつ所望の精度で指向揺れを測定できる。
3.付記
上述した実施形態および実施例の一部あるいは全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、これらに限定されるものではない。
(付記1)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法であって、
ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、
加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、
測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、
前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、
前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定し、
前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする指向揺れ測定方法。
(付記2)
前記第二ライン画像の傾斜角度は6°以下に設定されることを特徴とする付記1に記載の指向揺れ測定方法。
(付記3)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法であって、
ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、
加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、
測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、
前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
ことを特徴とする指向揺れ測定方法。
(付記4)
前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする付記3に記載の指向揺れ測定方法。
(付記5)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する装置であって、
ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、前記光学センサユニットへ振動を与える加振手段と、
前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する測定手段と、
を有し、前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする指向揺れ測定装置。
(付記6)
前記第二ライン画像の傾斜角度は6°以下に設定されることを特徴とする付記5に記載の指向揺れ測定装置。
(付記7)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する装置であって、
ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、前記光学センサユニットへ振動を与える加振手段と、
前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する測定手段と、
ことを特徴とする指向揺れ測定装置。
(付記8)
前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする付記7に記載の指向揺れ測定装置。
(付記9)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
加振手段が、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、記光学センサユニットを振動させ、
測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、
前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、
前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
ように前記コンピュータを機能させ、
前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とするプログラム。
(付記10)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
加振手段が、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、記光学センサユニットを振動させ、
測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、
前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
ように前記コンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
(付記11)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法であって、
少なくとも1本のラインを有するラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、
加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、
エッジ検出手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のエッジを検出して前記第一ライン画像の揺れを示す第一プロファイルを取得し、前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のエッジを検出して前記第二ライン画像の揺れを示す第二プロファイルを取得し、
測定手段が、前記第一プロファイルから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二プロファイルから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定し、
前記第二ライン画像の傾斜角度が、0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されることを特徴とする指向揺れ測定方法。
(付記12)
結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法であって、
少なくとも1本のラインを有するラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、
加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、
エッジ検出手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のエッジを検出して前記第一ライン画像の揺れを示す第一プロファイルを取得し、前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のエッジを検出して前記第二ライン画像の揺れを示す第二プロファイルを取得し、
測定手段が、前記第一プロファイルから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二第二ライン画像のエッジ画素位置を前記第一ラインが図のエッジ画素位置により補正して前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
ことを特徴とする指向揺れ測定方法。
本発明は衛星に搭載される光学望遠鏡等の光学センサユニットの振動特性測定装置に適用可能である。
100 光学センサユニット
101 ラインセンサ
102 センサ出力プロファイル
103 センタ出力プロファイル
200 加振用フレーム
201 加振機
300 防振台
301 光源
302 ラインチャート
302x 縦方向ライン画像
302y 傾斜ライン画像
303 コリメータ
400、700 指向揺れ測定装置
401、701 記憶部
402、702 エッジ検出部
403、404、703、705 記憶部
405、706 指向揺れ評価部
406、707 コントローラ
407、708 プログラムメモリ
601、602 ライン
601x 縦方向ライン画像
602y 傾斜ライン画像
704 縦揺れ算出部

Claims (10)

  1. 結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法であって、
    ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、
    加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、
    測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、
    前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、
    前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
    前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定し、
    前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする指向揺れ測定方法。
  2. 前記第二ライン画像の傾斜角度は6°以下に設定されることを特徴とする請求項1に記載の指向揺れ測定方法。
  3. 結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する方法であって、
    ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、
    加振手段が前記光学センサユニットを振動させ、
    測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、
    前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
    前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
    ことを特徴とする指向揺れ測定方法。
  4. 前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする請求項3に記載の指向揺れ測定方法。
  5. 結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する装置であって、
    ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、前記光学センサユニットへ振動を与える加振手段と、
    前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する測定手段と、
    を有し、前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする指向揺れ測定装置。
  6. 前記第二ライン画像の傾斜角度は6°以下に設定されることを特徴とする請求項5に記載の指向揺れ測定装置。
  7. 結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定する装置であって、
    ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、前記光学センサユニットへ振動を与える加振手段と、
    前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する測定手段と、
    ことを特徴とする指向揺れ測定装置。
  8. 前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とする請求項7に記載の指向揺れ測定装置。
  9. 結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
    加振手段が、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、記光学センサユニットを振動させ、
    測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れを検出し、
    前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像のセンサ出力値の変化から前記第二ライン画像の揺れを検出し、
    前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
    前記第二ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
    ように前記コンピュータを機能させ、
    前記第二ライン画像の傾斜角度が0°より大きく前記第二ライン画像が前記画素を前記第一方向に横切る最大角度より小さい角度に設定されたことを特徴とするプログラム。
  10. 結像光学系と第一方向に画素が配列されたラインセンサとを組み込んだ光学センサユニットの指向揺れを測定装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
    加振手段が、ラインチャートのライン画像が前記結像光学系を通して前記ラインセンサ上に結像するように、前記ラインチャートを前記光学センサユニットに対向して配置し、記光学センサユニットを振動させ、
    測定手段が、前記ラインセンサに直交する第二方向の第一ライン画像と前記ラインセンサの前記第一方向から所定角度だけ傾斜した第二ライン画像とのセンサ出力値の変化から前記第一ライン画像の揺れと前記第二ライン画像の揺れとを同時に検出し、
    前記第一ライン画像の揺れから前記光学センサユニットの前記第一方向の揺れを測定し、
    前記第二ライン画像の揺れを前記第一ライン画像の揺れを用いて補正することで前記光学センサユニットの前記第二方向の揺れを測定する、
    ように前記コンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。

JP2019135187A 2019-07-23 2019-07-23 ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置 Active JP7314679B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019135187A JP7314679B2 (ja) 2019-07-23 2019-07-23 ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019135187A JP7314679B2 (ja) 2019-07-23 2019-07-23 ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021018198A true JP2021018198A (ja) 2021-02-15
JP7314679B2 JP7314679B2 (ja) 2023-07-26

Family

ID=74563150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019135187A Active JP7314679B2 (ja) 2019-07-23 2019-07-23 ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7314679B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113777549A (zh) * 2021-07-29 2021-12-10 中国电力科学研究院有限公司武汉分院 基于压电陶瓷原理的光学互感器局部振动试验方法和装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001165622A (ja) * 1999-12-06 2001-06-22 Canon Inc 光学装置
JP2001350224A (ja) * 2000-06-06 2001-12-21 Noritsu Koki Co Ltd 焦点調整用治具および同焦点調整用治具を用いた焦点調整方法
JP2002368957A (ja) * 2001-06-04 2002-12-20 Ricoh Co Ltd 画像読取装置
JP2005341003A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Noritsu Koki Co Ltd 耐振性能評価チャート及びフィルムスキャナの耐振性能評価方法
JP2013025267A (ja) * 2011-07-26 2013-02-04 Sony Corp 評価方法、手振れモデル波形生成方法および情報処理装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001165622A (ja) * 1999-12-06 2001-06-22 Canon Inc 光学装置
JP2001350224A (ja) * 2000-06-06 2001-12-21 Noritsu Koki Co Ltd 焦点調整用治具および同焦点調整用治具を用いた焦点調整方法
JP2002368957A (ja) * 2001-06-04 2002-12-20 Ricoh Co Ltd 画像読取装置
JP2005341003A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Noritsu Koki Co Ltd 耐振性能評価チャート及びフィルムスキャナの耐振性能評価方法
JP2013025267A (ja) * 2011-07-26 2013-02-04 Sony Corp 評価方法、手振れモデル波形生成方法および情報処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113777549A (zh) * 2021-07-29 2021-12-10 中国电力科学研究院有限公司武汉分院 基于压电陶瓷原理的光学互感器局部振动试验方法和装置
CN113777549B (zh) * 2021-07-29 2023-12-01 中国电力科学研究院有限公司武汉分院 基于压电陶瓷原理的光学互感器局部振动试验方法和装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP7314679B2 (ja) 2023-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100268366B1 (ko) 디스플레이 방법 및 장치
JP5145013B2 (ja) 測量機
EP2564156B1 (en) Profile measuring apparatus
KR940003917B1 (ko) 3차원 곡면형상의 측정장치
JP5401940B2 (ja) 投写光学系のズーム比測定方法、そのズーム比測定方法を用いた投写画像の補正方法及びその補正方法を実行するプロジェクタ
KR20100015475A (ko) 형상 측정 장치 및 형상 측정 방법
CN108810499B (zh) 光纤扫描成像设备投影几何变形的校正系统
JP7314679B2 (ja) ラインチャートを用いた光学センサユニットの指向揺れ測定方法および装置
WO2019198534A1 (ja) 振動解析装置、振動解析装置の制御方法、振動解析プログラムおよび記録媒体
JP6699019B2 (ja) 壁面計測装置、飛行ロボットおよび壁面検査システム
JP4275661B2 (ja) 変位測定装置
WO2019097577A1 (ja) 計測システム、補正処理装置、補正処理方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
CN112345206B (zh) 振镜测试装置、方法、设备及计算机可读存储介质
WO2010021173A1 (ja) ワイヤボンディング装置及びキャピラリの振幅測定方法
JP6932039B2 (ja) 振れ補正機能付き光学機器の振れ補正特性評価装置
JP7161877B2 (ja) レンズ特性測定装置及びレンズ特性測定装置の作動方法
JP4098194B2 (ja) 角度検出装置およびそれを備えたプロジェクタ
JP2021015239A (ja) 測定システムおよび測定方法
JP4074527B2 (ja) 角度検出装置およびそれを備えたプロジェクタ
JPH10311705A (ja) 画像入力装置
JP2021162739A (ja) 測定システムおよび測定方法
JP6854986B2 (ja) 測距補正装置、測距補正システム、測距補正方法、および測距補正プログラム
CN117761064A (zh) 一种光学检测装置和光学检测方法
JP3597986B2 (ja) 非接触振動検出装置
JP6196769B2 (ja) レーザ光の透過位置計測方法及びその計測方法を用いた位置計測方法並びに計測システム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220606

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230310

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230314

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230613

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230626

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7314679

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151