JP2021162739A - 測定システムおよび測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】可動体の回動中心となる第１軸線、第２軸線からずれた位置に可動体の変位検知機構が配置され、かつ、第１軸線、第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で駆動用コイルと駆動用磁石とが対向していても、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数と、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数とを自動で適切に特定することが可能な測定システムを提供する。【解決手段】第１軸線Ｒ１は、変位検知機構２７と変位検知機構２８との間に挟まれ、第２軸線Ｒ２は、第１軸線Ｒ１の軸線方向で変位検知機構２７、２８の一方側に配置されている。この測定システムでは、変位検知機構２７の第１出力電圧と変位検知機構２８の第２出力電圧との差である減算電圧に基づいて第１軸線Ｒ１回りの可動体３の共振周波数を特定し、第１出力電圧と第２出力電圧との和である加算電圧に基づいて第２軸線Ｒ２回りの可動体３の共振周波数を特定する。【選択図】図２

Description

本発明は、可動体の共振周波数を測定するための測定システムおよび測定方法に関する。

従来、光学像の振れを補正するための像振れ補正機能を有する振れ補正機能付き光学ユニットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の光学ユニットは、レンズモジュールが組み込まれる振れ補正装置を備えている。この振れ補正装置は、図５に示す振れ補正装置１００のように、レンズモジュールが取り付けられる可動体１０１と、ジンバル機構１０２を介して可動体１０１を揺動可能に支持する支持体１０３と、支持体１０３に対して可動体１０１を揺動させる振れ補正用駆動機構とを備えている。レンズモジュールが有するレンズの光軸の方向（光軸方向）から見たときの振れ補正装置１００の外形は、正方形状となっている。

可動体１０１は、支持体１０３に対して、光軸に直交する軸線（第１軸線）Ｒ１０１を回動中心とする回動と、光軸と軸線Ｒ１０１とに直交する軸線（第２軸線）Ｒ１０２を回動中心とする回動とが可能になっている。具体的には、可動体１０１は、支持体１０３に対して、光軸方向から見たときの外形が正方形状となる振れ補正装置１００の一方の対角線を回動中心とする回動と、振れ補正装置１００の他方の対角線を回動中心とする回動とが可能となっている。

振れ補正駆動機構は、可動体１０１に固定される駆動用磁石１０５、１０６と、支持体１０３に固定されるとともに駆動用磁石１０５、１０６に対向配置される駆動用コイル１０７、１０８とを備えている。具体的には、振れ補正駆動機構は、２個の駆動用磁石１０５および２個の駆動用磁石１０６と、２個の駆動用コイル１０７および２個の駆動用コイル１０８とを備えている。駆動用磁石１０５と駆動用コイル１０７とは、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１０１に対して図５の時計回りの方向（時計方向）に４５°ずれた位置で対向している。駆動用磁石１０６と駆動用コイル１０８とは、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１０１に対して図５の反時計回りの方向（反時計方向）に４５°ずれた位置で対向している。

また、振れ補正装置１００は、支持体１０３に対する可動体１０１の位置を検知するためのセンサ１０９、１１０を備えている。センサ１０９、１１０は、ホール素子を有するホールセンサである。センサ１０９は、駆動用磁石１０５に対向する位置で支持体１０３側に取り付けられ、センサ１１０は、駆動用磁石１０６に対向する位置で支持体１０３側に取り付けられている。振れ補正装置１００では、センサ１０９、１１０の検知結果に基づいて駆動用コイル１０７、１０８に印加される電圧が制御される。

特開２０１９−１７４７９０号公報

特許文献１に記載の光学ユニットが組立後に工場から出荷される前には、一般に、個々の光学ユニットごとに可動体１０１の共振周波数が測定される。可動体１０１の共振周波数を測定するときには、たとえば、センサ１０９、１１０を用いて可動体１０１の変位を検知する。また、可動体１０１の共振周波数を測定するときには、一般に、予め設定された掃引開始周波数から掃引終了周波数まで入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１０７、１０８に入力電圧を印加する。掃引開始周波数および掃引終了周波数は、掃引開始周波数と掃引終了周波数との間に、可動体１０１の共振周波数が含まれるように設定されている。

図５に示す振れ補正装置１００の場合、可動体１０１は、支持体１０３に対して、軸線Ｒ１０１を回動中心とする回動と、軸線Ｒ１０２を回動中心とする回動とが可能になっているため、可動体１０１の共振周波数として、軸線Ｒ１０１を回動中心とする可動体１０１の揺動動作の共振周波数と、軸線Ｒ１０２を回動中心とする可動体１０１の揺動動作の共振周波数とを求めることになる。

しかしながら、本願発明者の検討によると、図５に示す振れ補正装置１００の場合、軸線Ｒ１０１に直交する方向に対して傾くとともに軸線Ｒ１０２に直交する方向に対して傾いた方向（具体的には、軸線Ｒ１０１、Ｒ１０２に対して４５°傾いた方向）で、駆動用磁石１０５と駆動用コイル１０７とが対向するとともに駆動用磁石１０６と駆動用コイル１０８とが対向し、かつ、軸線Ｒ１０１、Ｒ１０２からずれた位置にセンサ１０９、１１０が配置されているため、たとえば、入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１０７に入力電圧を印加したときの、センサ１０９の出力電圧の振幅Ｖ１０９、および、センサ１１０の出力電圧の振幅Ｖ１１０が、駆動用コイル１０７に印加される入力電圧の周波数に応じて図６のように変動することが明らかになった。

また、図６に示すように、振幅Ｖ１０９、Ｖ１１０の波形の２箇所にピークが現れるため、図６に示す振幅Ｖ１０９、Ｖ１１０の波形に基づいて、軸線Ｒ１０１を回動中心とする可動体１０１の揺動動作の共振周波数と、軸線Ｒ１０２を回動中心とする可動体１０１の揺動動作の共振周波数とを自動で特定することが困難であることが本願発明者の検討によって明らかになった。

なお、入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１０８に入力電圧を印加した場合には、振幅Ｖ１０９が図６の振幅Ｖ１１０と同様に変動し、振幅Ｖ１１０が図６の振幅Ｖ１０９と同様に変動するため、この場合であっても、軸線Ｒ１０１を回動中心とする可動体１０１の揺動動作の共振周波数と、軸線Ｒ１０２を回動中心とする可動体１０１の揺動動作の共振周波数とを自動で特定することが困難であることが本願発明者の検討によって明らかになった。

そこで、本発明の課題は、支持体に揺動可能に支持される可動体の共振周波数を測定するための測定システムにおいて、可動体の回動中心となる第１軸線および第２軸線からずれた位置に、可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構が配置され、かつ、第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で、可動体を揺動させるための駆動用コイルと駆動用磁石とが対向していても、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数と、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数とを自動で適切に特定することが可能な測定システムを提供することにある。

また、本発明の課題は、支持体に揺動可能に支持される可動体の共振周波数を測定するための測定方法において、可動体の回動中心となる第１軸線および第２軸線からずれた位置に、可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構が配置され、かつ、第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で、可動体を揺動させるための駆動用コイルと駆動用磁石とが対向していても、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数と、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数とを自動で適切に特定することが可能となる測定方法を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の測定システムは、可動体と、支持機構を介して可動体を揺動可能に支持する支持体と、駆動用コイルおよび駆動用磁石を有し支持体に対して可動体を揺動させる磁気駆動機構とを備える測定対象製品の可動体の共振周波数を測定する測定システムであって、支持体に対する可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構と、第１変位検知機構から出力される電圧である第１出力電圧と第２変位検知機構から出力される電圧である第２出力電圧とが入力される計測器とを備え、可動体は、支持体に対して、第１軸線を回動中心とする回動と第２軸線を回動中心とする回動とが可能になっており、第１軸線と第２軸線とは、第１軸線および第２軸線に直交する方向である直交方向から見たときに交差しており、直交方向から見たときに、駆動用コイルと駆動用磁石とは、第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で対向し、直交方向から見たときに、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、第１変位検知機構と第２変位検知機構との間に第１軸線を挟むように配置されるとともに、第１軸線の軸線方向において第２軸線の一方側に配置され、計測器は、可動体の共振周波数の測定時に正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイルに入力電圧を印加し、各周波数における第１出力電圧と第２出力電圧との差である減算電圧と各周波数における第１出力電圧と第２出力電圧との和である加算電圧とを算出するとともに、減算電圧に基づいて第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を特定し、かつ、加算電圧に基づいて第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を特定することを特徴とする。

また、上記の課題を解決するため、本発明の測定方法は、可動体と、支持機構を介して可動体を揺動可能に支持する支持体と、駆動用コイルおよび駆動用磁石を有し支持体に対して可動体を揺動させる磁気駆動機構とを備える測定対象製品の可動体の共振周波数を測定する測定方法であって、支持体に対する可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構と、第１変位検知機構から出力される電圧である第１出力電圧と第２変位検知機構から出力される電圧である第２出力電圧とが入力される計測器とを用いるとともに、可動体は、支持体に対して、第１軸線を回動中心とする回動と第２軸線を回動中心とする回動とが可能になっており、第１軸線と第２軸線とは、第１軸線および第２軸線に直交する方向である直交方向から見たときに交差しており、直交方向から見たときに、駆動用コイルと駆動用磁石とは、第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で対向し、直交方向から見たときに、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、第１変位検知機構と第２変位検知機構との間に第１軸線を挟むように配置されるとともに、第１軸線の軸線方向において第２軸線の一方側に配置され、計測器は、可動体の共振周波数の測定時に正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイルに入力電圧を印加し、各周波数における第１出力電圧と第２出力電圧との差である減算電圧と各周波数における第１出力電圧と第２出力電圧との和である加算電圧とを算出するとともに、減算電圧に基づいて第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を特定し、かつ、加算電圧に基づいて第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を特定することを特徴とする。

本発明では、第１軸線および第２軸線に直交する直交方向から見たときに、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、第１変位検知機構と第２変位検知機構との間に第１軸線を挟むように配置されている。そのため、本発明では、正弦波状に変動する入力電圧が所定の周波数で駆動用コイルに印加されて、第１軸線を回動中心とする揺動動作のみを可動体が行ったときに、第１変位検知機構から出力される第１出力電圧の位相と、第２変位検知機構から出力される第２出力電圧の位相とを逆位相にすることが可能になる。すなわち、第１出力電圧の位相と第２出力電圧の位相とを１８０°ずらすことが可能になる。

また、本発明では、計測器は、各周波数における第１出力電圧と第２出力電圧との差である減算電圧を算出しているが、第１軸線を回動中心とする揺動動作のみを可動体が行ったときに、第１出力電圧の位相と第２出力電圧の位相とを逆位相にすることが可能になるため、本願発明者の検討によると、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数においてのみ、減算電圧の振幅の最大値がピークに達するようにすることが可能になる。

さらに、本発明では、計測器は、減算電圧に基づいて第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を特定しているため、減算電圧の振幅の最大値がピークに達したときの周波数を、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数として特定することで、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になる。

また、本発明では、直交方向から見たときに、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、第１軸線の軸線方向において第２軸線の一方側に配置されているため（すなわち、直交方向から見たときに、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、第１軸線の軸線方向において第２軸線に対して一方側に配置されているため）、正弦波状に変動する入力電圧が所定の周波数で駆動用コイルに印加されて、第２軸線を回動中心とする揺動動作のみを可動体が行ったときに、第１変位検知機構から出力される第１出力電圧の位相と、第２変位検知機構から出力される第２出力電圧の位相とを同位相にすることが可能になる。

また、本発明では、計測器は、各周波数における第１出力電圧と第２出力電圧との和である加算電圧とを算出しているが、第２軸線を回動中心とする揺動動作のみを可動体が行ったときに、第１出力電圧の位相と第２出力電圧の位相とを同位相にすることが可能になるため、本願発明者の検討によると、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数においてのみ、加算電圧の振幅の最大値がピークに達するようにすることが可能になる。

さらに、本発明では、計測器は、加算電圧に基づいて第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を特定しているため、加算電圧の振幅の最大値がピークに達したときの周波数を、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数として特定することで、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になる。

すなわち、本発明では、第１軸線および第２軸線からずれた位置に第１変位検知機構および第２変位検知機構が配置され、かつ、第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で駆動用コイルと駆動用磁石とが対向していても、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になるとともに、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になる。

本発明において、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、支持体に対する可動体の位置を検知するために測定対象製品の内部に設置される位置検知機構を備え、位置検知機構は、測定対象製品の一部分を構成していることが好ましい。このように構成すると、可動体の共振周波数の測定を行う際に、測定対象製品の一部分を構成する位置検知機構を用いて可動体の変位を検知することが可能になる。したがって、可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構を別途設置する必要をなくすことが可能になり、その結果、可動体の共振周波数の測定を行う工程の設備費を低減することが可能になる。

本発明において、位置検知機構は、ホール素子を有するホールセンサであり、駆動用磁石の磁力を検知可能な位置で可動体および支持体のいずれか一方に取り付けられ、駆動用磁石は、可動体および支持体のいずれか他方に取り付けられ、位置検知機構と駆動用磁石とによって、第１変位検知機構および第２変位検知機構が構成されていることが好ましい。このように構成すると、可動体の共振周波数の測定を行う際に、支持体に対して可動体を揺動させるための駆動用磁石を用いて、支持体に対する可動体の変位を検知することが可能になる。したがって、測定対象製品の構成を簡素化することが可能になる。

本発明において、たとえば、直交方向から見たときに、第１軸線と第２軸線とは、直交しており、測定対象製品は、駆動用コイルおよび駆動用磁石として、直交方向から見たときに、第１軸線に対して４５°傾いた方向で対向する第１駆動用コイルおよび第１駆動用磁石を備えるとともに、駆動用コイルおよび駆動用磁石として、直交方向から見たときに、第１軸線と第２軸線との交点に対して第１駆動用コイルおよび第１駆動用磁石から９０°ずれた位置で対向する第２駆動用コイルおよび第２駆動用磁石を備え、計測器は、可動体の共振周波数の測定時に第１駆動用コイルまたは第２駆動用コイルに入力電圧を印加する。

本発明において、たとえば、直交方向から見たときの測定対象製品の形状は、正方形状となっており、直交方向から見たときに、第１軸線および第２軸線は、測定対象製品の対角線と一致している。

本発明において、たとえば、測定対象製品は、像振れ補正機能を有する振れ補正機能付き光学ユニットである。

以上のように、本発明では、可動体の回動中心となる第１軸線および第２軸線からずれた位置に、可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構が配置され、かつ、第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で、可動体を揺動させるための駆動用コイルと駆動用磁石とが対向していても、第１軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数と、第２軸線を回動中心とする可動体の揺動動作の共振周波数とを自動で適切に特定することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる測定システムの構成を説明するためのブロック図である。 図１に示す測定システムによって可動体の共振周波数が測定される測定対象製品の概略平面図である。 図１に示す第１変位検知機構の第１出力電圧および第２変位検知機構の第２出力電圧の一例を示すグラフである。 （Ａ）は、図１に示す演算部で算出される減算電圧の振幅の最大値の一例を示すグラフであり、（Ｂ）は、図１に示す演算部で算出される加算電圧の振幅の最大値の一例を示すグラフである。 従来技術にかかる振れ補正装置の構成を説明するための概略平面図である。 従来技術の問題点を説明するためのグラフである。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（測定システムの構成および測定対象製品の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる測定システム１の構成を説明するためのブロック図である。図２は、図１に示す測定システム１によって可動体３の共振周波数が測定される測定対象製品２の概略平面図である。

以下の説明では、図２に示すように、互いに直交する３方向のそれぞれをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向とし、Ｘ方向を左右方向、Ｙ方向を前後方向、Ｚ方向を上下方向とする。また、左右方向の一方側である図２のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図２のＸ２方向側を「左」側とし、前後方向の一方側である図２のＹ１方向側を「前」側とし、その反対側である図２のＹ２方向側を「後ろ」側とする。また、上下方向の一方側である図２のＺ１方向側を「上」側とし、その反対側を「下」側とする。

本形態の測定システム１は、測定対象製品２の可動体３の共振周波数を測定するためのシステムである。本形態の測定対象製品２は、像振れ補正機能を有する振れ補正機能付き光学ユニットである。また、測定対象製品２は、携帯電話等の携帯機器、ドライブレコーダあるいは監視カメラシステム等に搭載される小型かつ薄型のカメラであり、可動体３として、レンズおよび撮像素子を有するカメラモジュールを備えている。以下の説明では、測定対象製品２を「光学ユニット２」とし、可動体３を「カメラモジュール３」とする。

光学ユニット２は、カメラモジュール３に加えて、支持機構６を介してカメラモジュール３を揺動可能に支持する支持体４と、支持体４に対してカメラモジュール３を揺動させる磁気駆動機構５と、支持体４に対するカメラモジュール３の位置を検知するための位置検知機構８、９とを備えている。光学ユニット２は、全体として上下方向の厚さが薄い略直方体状に形成されている。上下方向から見たときの光学ユニット２の形状は、正方形状となっている。

なお、支持体４に対してカメラモジュール３が傾いていないとき（すなわち、カメラモジュール３が所定の基準位置に配置されているとき）には、カメラモジュール３の光軸Ｌの方向（光軸方向）は、上下方向と略一致している。また、支持体４に対するカメラモジュール３の揺動角度は、それほど大きくない。そのため、光軸方向から見たときの光学ユニット２の形状も、正方形状となっている。

カメラモジュール３は、光軸方向から見たときの形状が略正方形状となる直方体状に形成されている。カメラモジュール３は、上述のように、レンズおよび撮像素子を備えている。撮像素子は、カメラモジュール３の下端側に取り付けられており、光学ユニット２では、上側に配置される被写体が撮影される。カメラモジュール３は、たとえば、レンズを光軸方向へ移動させるレンズ駆動機構を備えている。

カメラモジュール３の左右方向の側面は、カメラモジュール３が基準位置に配置されているときに左右方向に直交する平面となっており、カメラモジュール３の前後方向の側面は、カメラモジュール３が基準位置に配置されているときに前後方向に直交する平面となっている。また、カメラモジュール３には、光軸方向から見たときの形状が略正方形状となるカメラモジュール３の一方の対角線に沿って外周側に突出する２個の突出部３ａが形成されている。２個の突出部３ａのうちの一方の突出部３ａは、右斜め後方に突出し、他方の突出部３ａは、左斜め前方に突出している。

上下方向から見たときの支持体４の形状は、正方形状となっている。支持体４は、支持体４の右側面を構成する平板状の側面部４ａと、支持体４の左側面を構成する平板状の側面部４ｂと、支持体４の前側面を構成する平板状の側面部４ｃと、支持体４の後側面を構成する平板状の側面部４ｄとを備えている。４個の側面部４ａ〜４ｄは、カメラモジュール３の側面の外側に配置されている。

側面部４ａの前端と側面部４ｃの右端とは繋がっている。側面部４ｂの後端と側面部４ｄの左端とは繋がっている。側面部４ａの後端と側面部４ｄの右端との間には、右斜め後方に突出する突出部３ａが配置され、側面部４ｂの前端と側面部４ｃの左端との間には、左斜め前方に突出する突出部３ａが配置されている。側面部４ａ〜４ｄの外側面には、軟磁性材料で形成されるとともに平板状に形成される磁性片１２が固定されている。

磁気駆動機構５は、光軸Ｌが左右方向に傾くようにカメラモジュール３を回動させるための２個の駆動用磁石１４および２個の駆動用コイル１５と、光軸Ｌが前後方向に傾くようにカメラモジュール３を回動させるための２個の駆動用磁石１６および２個の駆動用コイル１７とを備えている。駆動用磁石１４、１６は、長方形の平板状に形成されている。駆動用磁石１４、１６は、カメラモジュール３に取り付けられている。具体的には、駆動用磁石１４は、カメラモジュール３の左右方向の側面に固定され、駆動用磁石１６は、カメラモジュール３の前後方向の側面に固定されている。

駆動用コイル１５、１７は、空芯状に巻回された空芯コイルである。駆動用コイル１５、１７は、たとえば、略長方形の枠状に巻回されて形成されている。駆動用コイル１５は、支持体４の側面部４ａの左面および側面部４ｂの右面に固定されており、所定の隙間を介して駆動用磁石１４と左右方向で対向している。駆動用コイル１７は、側面部４ｃの後面および側面部４ｄの前面に固定されており、所定の隙間を介して駆動用磁石１６と前後方向で対向している。なお、駆動用コイル１５、１７は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）上に形成されていても良い。

支持機構６は、カメラモジュール３および支持体４の側面部４ａ〜４ｄの外周側に配置される可動枠２０と、カメラモジュール３に固定される球体支持部材２１と、支持体４に固定される球体支持部材２２とを備えている。可動枠２０は、正方形の枠状に形成されている。正方形の枠状に形成される可動枠２０の４辺のうちの２辺は、前後方向と平行になるように配置され、残りの２辺は、左右方向と平行になるように配置されている。可動枠２０の内周面の四隅には、球体２３が固定されている。球体２３は、金属材料で形成されており、レーザ溶接等によって可動枠２０に接合されている。

球体支持部材２１は、突出部３ａの先端部に取り付けられている。球体支持部材２１は、たとえば、突出部３ａの先端部に固定される板バネと、球体２３が接触する樹脂製の受け部材とから構成されている。受け部材は、板バネに固定されている。受け部材には、球体２３の一部が配置される半球状の凹部が形成されている。受け部材は、球体２３の表面に沿って摺動可能となっている。

球体支持部材２２は、側面部４ａと側面部４ｃとの接続部、および、側面部４ｂと側面部４ｄとの接続部に取り付けられている。球体支持部材２２は、たとえば、側面部４ａと側面部４ｃとの接続部、および、側面部４ｂと側面部４ｄとの接続部に固定される板バネと、球体２３が接触する樹脂製の受け部材とから構成されている。球体支持部材２１の受け部材と同様に、球体支持部材２２の受け部材は、板バネに固定され、この受け部材には、球体２３の一部が配置される半球状の凹部が形成されている。受け部材は、球体２３の表面に沿って摺動可能となっている。

カメラモジュール３および可動枠２０は、支持体４に対して、球体支持部材２２と球体２３との接触部分を支点とする回動が可能になっている。カメラモジュール３は、可動枠２０に対して、球体支持部材２１と球体２３との接触部分を支点とする回動が可能となっている。そのため、カメラモジュール３は、支持体４に対して、球体支持部材２１と球体２３との接触部分を支点とする回動と、球体支持部材２２と球体２３との接触部分を支点とする回動とが可能になっている。

すなわち、支持機構６は、２軸のジンバル機構であり、カメラモジュール３は、支持体４に対して、２箇所に形成される球体支持部材２１と球体２３との接触部分を通過する軸線Ｒ１を回動中心とする回動と、２箇所に形成される球体支持部材２２と球体２３との接触部分を通過する軸線Ｒ２を回動中心とする回動とが可能になっている。本形態の軸線Ｒ１は、第１軸線であり、軸線Ｒ２は、第２軸線である。

軸線Ｒ１と光軸Ｌとは直交している。同様に軸線Ｒ２と光軸Ｌとは直交している。光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とは交差している。具体的には、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とは、光軸Ｌにおいて交差している。また、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とは直交している。光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１、Ｒ２は、光学ユニット２の対角線と一致している。本形態では、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とは、光軸方向において同じ位置に配置されており、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とが実際に交差している。本形態の光軸方向は、軸線Ｒ１および軸線Ｒ２に直交する直交方向である。

本形態では、光軸方向から見たときに、駆動用磁石１４と駆動用コイル１５とは、軸線Ｒ１に直交する方向（すなわち、軸線Ｒ２の軸線方向）に対して傾くとともに軸線Ｒ２に直交する方向（すなわち、軸線Ｒ１の軸線方向）に対して傾いた方向で対向している。また、光軸方向から見たときに、駆動用磁石１６と駆動用コイル１７とは、軸線Ｒ１に直交する方向に対して傾くとともに軸線Ｒ２に直交する方向に対して傾いた方向で対向している。

具体的には、駆動用磁石１４と駆動用コイル１５とは、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１に対して４５°傾いた方向で対向し、駆動用磁石１６と駆動用コイル１７とは、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２との交点（すなわち、光軸Ｌ）に対して駆動用磁石１４および駆動用コイル１５から９０°ずれた位置で対向している。すなわち、光軸方向から見たときに、駆動用磁石１４と駆動用コイル１５とは、軸線Ｒ１に対して図２の時計方向に４５°傾いた方向で対向し、駆動用磁石１６と駆動用コイル１７とは、軸線Ｒ１に対して図２の反時計方向に４５°傾いた方向で対向している。本形態の駆動用磁石１４は、第１駆動用磁石であり、駆動用コイル１５は、第１駆動用コイルであり、駆動用磁石１６は、第２駆動用磁石であり、駆動用コイル１７は、第２駆動用コイルである。

上述のように、側面部４ａ〜４ｄの外側面には、磁性片１２が固定されている。本形態では、駆動用磁石１４、１６と磁性片１２とによって、カメラモジュール３を付勢する磁気バネが構成されており、磁気バネは、支持体４に対してカメラモジュール３が傾いていないカメラモジュール３の基準位置に向かってカメラモジュール３を付勢している。

位置検知機構８、９は、ホール素子を有するホールセンサである。位置検知機構８は、側面部４ａに取り付けられ、位置検知機構９は、側面部４ｄに取り付けられている。すなわち、位置検知機構８、９は、支持体４に取り付けられている。また、位置検知機構８、９は、光学ユニット２の内部に設置されており、光学ユニット２の一部分を構成している。位置検知機構８は、空芯状に巻回された駆動用コイル１５の内周側に配置され、位置検知機構９は、空芯状に巻回された駆動用コイル１７の内周側に配置されている。また、位置検知機構８は、駆動用磁石１４の磁力を検知可能な位置に配置され、位置検知機構９は、駆動用磁石１６の磁力を検知可能な位置に配置されている。

前後方向を回動（揺動）の軸方向としてカメラモジュール３が揺動すると、位置検知機構８から出力される電圧である出力電圧Ｖ１が変動する。また、左右方向を回動（揺動）の軸方向としてカメラモジュール３が揺動すると、位置検知機構９から出力される電圧である出力電圧Ｖ２が変動する。本形態では、前後方向を回動の軸方向とするカメラモジュール３の揺動方向において支持体４に対するカメラモジュール３の相対位置が位置検知機構８の出力電圧Ｖ１に基づいて検知され、左右方向を回動の軸方向とするカメラモジュール３の揺動方向において支持体４に対するカメラモジュール３の相対位置が位置検知機構９の出力電圧Ｖ２に基づいて検知される。

測定システム１は、支持体４に対するカメラモジュール３の変位を検知するための変位検知機構２７、２８を備えている。本形態では、位置検知機構８と駆動用磁石１４とによって、前後方向を回動の軸方向として揺動するカメラモジュール３の変位を検知するための変位検知機構２７が構成され、位置検知機構９と駆動用磁石１６とによって、左右方向を回動の軸方向として揺動するカメラモジュール３の変位を検知するための変位検知機構２８が構成されている。

すなわち、本形態では、光学ユニット２の一部分を構成する位置検知機構８、９および駆動用磁石１４、１６は、測定システム１の一部分も構成している。本形態の変位検知機構２７は、第１変位検知機構であり、変位検知機構２８は、第２変位検知機構である。また、本形態では、出力電圧Ｖ１は、第１変位検知機構から出力される電圧である第１出力電圧となっており、出力電圧Ｖ２は、第２変位検知機構から出力される電圧である第２出力電圧となっている。

光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、変位検知機構２７と変位検知機構２８との間に軸線Ｒ１を挟むように配置されている。また、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、軸線Ｒ１の軸線方向において軸線Ｒ２の一方側に配置されている。すなわち、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、軸線Ｒ１の軸線方向において軸線Ｒ２に対して一方側に配置されている。具体的には、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、軸線Ｒ２よりも右斜め後ろ側に配置されている。

また、測定システム１は、変位検知機構２７（具体的には、位置検知機構８）から出力される出力電圧Ｖ１および変位検知機構２８（具体的には、位置検知機構９）から出力される出力電圧Ｖ２が入力される計測器２９を備えている。計測器２９は、電圧印加部３０と演算部３１と周波数特定部３２とを備えている。また、計測器２９は、各種の情報が表示される液晶ディスプレイ等の表示部を備えている。以下、計測器２９の具体的な構成と、カメラモジュール３の共振周波数の測定方法を説明する。

（計測器の構成およびカメラモジュールの共振周波数の測定方法）
図３は、図１に示す変位検知機構２７、２８の出力電圧Ｖ１、Ｖ２の一例を示すグラフである。図４（Ａ）は、図１に示す演算部３１で算出される減算電圧の振幅の最大値Ｖｓの一例を示すグラフであり、図４（Ｂ）は、図１に示す演算部３１で算出される加算電圧の振幅の最大値Ｖａの一例を示すグラフである。

上述のように、カメラモジュール３は、支持体４に対して、軸線Ｒ１を回動中心とする回動と軸線Ｒ２を回動中心とする回動とが可能になっている。そのため、本形態では、カメラモジュール３の共振周波数として、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数と、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数とが測定される。カメラモジュール３の共振周波数を測定するときには、変位検知機構２７、２８と計測器２９とが用いられる。

計測器２９は、上述のように、電圧印加部３０と演算部３１と周波数特定部３２とを備えている。カメラモジュール３の共振周波数の測定時には、電圧印加部３０は、正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５または駆動用コイル１７に入力電圧を印加する。本形態では、電圧印加部３０は、一定の振幅で正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５のみに入力電圧を印加する。なお、電圧印加部３０は、駆動用コイル１７のみに入力電圧を印加しても良い。

正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５に入力電圧を印加すると、所定の周波数において、カメラモジュール３は、軸線Ｒ１を回動中心とする揺動動作のみを行う。すなわち、カメラモジュール３は、軸線Ｒ２を回動中心とする揺動動作を行うことなく、軸線Ｒ１を回動中心とする揺動動作を行う。また、正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５に入力電圧を印加すると、所定の周波数において、カメラモジュール３は、軸線Ｒ２を回動中心とする揺動動作のみを行う。すなわち、カメラモジュール３は、軸線Ｒ１を回動中心とする揺動動作を行うことなく、軸線Ｒ２を回動中心とする揺動動作を行う。

演算部３１には、一定の振幅で正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５に入力電圧を印加したときの、位置検知機構８の出力電圧Ｖ１と位置検知機構９の出力電圧Ｖ２とが入力される。演算部３１は、各周波数における出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との差である減算電圧と、各周波数における出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との和である加算電圧とを算出する。周波数特定部３２には、演算部３１で算出された減算電圧と加算電圧とが入力される。周波数特定部３２は、減算電圧に基づいて軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を特定し、かつ、加算電圧に基づいて軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を特定する。

本形態では、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、変位検知機構２７と変位検知機構２８との間に軸線Ｒ１を挟むように配置されているため、一定の振幅で正弦波状に変動する入力電圧が所定の周波数で駆動用コイル１５に印加されて、軸線Ｒ１を回動中心とする揺動動作のみをカメラモジュール３が行うと（すなわち、カメラモジュール３が、軸線Ｒ２を回動中心とする揺動動作を行うことなく、軸線Ｒ１を回動中心とする揺動動作を行うと）、図３（Ａ）に示すように、変位検知機構２７の正弦波状の出力電圧Ｖ１の位相と変位検知機構２８の正弦波状の出力電圧Ｖ２の位相とが逆位相になる。すなわち、正弦波状の出力電圧Ｖ１の位相と正弦波状の出力電圧Ｖ２の位相とが１８０°ずれる。

また、本形態では、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、軸線Ｒ２よりも右斜め後ろ側に配置されているため、一定の振幅で正弦波状に変動する入力電圧が所定の周波数で駆動用コイル１５に印加されて、軸線Ｒ２を回動中心とする揺動動作のみをカメラモジュール３が行うと（すなわち、カメラモジュール３が、軸線Ｒ１を回動中心とする揺動動作を行うことなく、軸線Ｒ２を回動中心とする揺動動作を行うと）、図３（Ｂ）に示すように、変位検知機構２７の正弦波状の出力電圧Ｖ１の位相と変位検知機構２８の正弦波状の出力電圧Ｖ２の位相とが同位相になる。

したがって、本願発明者の検討によると、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数において、減算電圧の振幅が大きくなり、その結果、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数においてのみ、減算電圧の振幅の最大値Ｖｓがピークに達する（図４（Ａ）参照）。また、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数において、加算電圧の振幅が大きくなり、その結果、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数においてのみ、加算電圧の振幅の最大値Ｖａがピークに達する（図４（Ｂ）参照）。

周波数特定部３２は、減算電圧の振幅の最大値Ｖｓがピークに達したときの周波数ｆ１（図４（Ａ）参照）を、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数として特定する。また、周波数特定部３２は、加算電圧の振幅の最大値Ｖａがピークに達したときの周波数ｆ２（図４（Ｂ）参照）を、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数として特定する。

このように、本形態では、計測器２９は、カメラモジュール３の共振周波数の測定時に正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５に入力電圧を印加し、各周波数における出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との差である減算電圧と各周波数における出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との和である加算電圧とを算出するとともに、減算電圧に基づいて軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を特定し、かつ、加算電圧に基づいて軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を特定する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、変位検知機構２７と変位検知機構２８との間に軸線Ｒ１を挟むように配置されている。また、本形態では、演算部３１は、一定の振幅で正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５に入力電圧を印加したときの、各周波数における出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との差である減算電圧を算出し、周波数特定部３２は、減算電圧の振幅の最大値Ｖｓがピークに達したときの周波数ｆ１を、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数として特定している。そのため、本形態では、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になる。

また、本形態では、光軸方向から見たときに、変位検知機構２７、２８は、軸線Ｒ２よりも右斜め後ろ側に配置されており、演算部３１は、一定の振幅で正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら駆動用コイル１５に入力電圧を印加したときの、各周波数における出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との差である加算電圧を算出し、周波数特定部３２は、加算電圧の振幅の最大値Ｖａがピークに達したときの周波数ｆ２を、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数として特定している。そのため、本形態では、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になる。

すなわち、本形態では、駆動用磁石１４と駆動用コイル１５とが、軸線Ｒ１に直交する方向に対して傾くとともに軸線Ｒ２に直交する方向に対して傾いた方向で対向し、駆動用磁石１６と駆動用コイル１７とが、軸線Ｒ１に直交する方向に対して傾くとともに軸線Ｒ２に直交する方向に対して傾いた方向で対向し、かつ、軸線Ｒ１、Ｒ２上に、変位検知機構２７、２８が配置されていなくても、軸線Ｒ１を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になるとともに、軸線Ｒ２を回動中心とするカメラモジュール３の揺動動作の共振周波数を自動で適切に特定することが可能になる。

本形態では、光学ユニット２の一部分を構成する位置検知機構８、９および駆動用磁石１４、１６を用いて、カメラモジュール３の共振周波数の測定を行っている。そのため、本形態では、カメラモジュール３の共振周波数の測定を行う工程において、カメラモジュール３の変位を検知するための変位検知機構を別途設置する必要がない。したがって、本形態では、カメラモジュール３の共振周波数の測定を行う工程の設備費を低減することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、位置検知機構８、９は、たとえば、発光素子と受光素子とを有する反射型の光学式センサであっても良い。この場合には、たとえば、位置検知機構８、９は、支持体４に取り付けられており、位置検知機構８、９の発光素子は、カメラモジュール３に取り付けられた反射層に向かって光を射出する。この場合には、位置検知機構８と、位置検知機構８の発光素子から射出された光を反射する反射層とによって変位検知機構２７が構成され、位置検知機構９と、位置検知機構９の発光素子から射出された光を反射する反射層とによって変位検知機構２８が構成されている。

ただし、上述した形態のように、位置検知機構８、９がホールセンサである場合には、カメラモジュール３の共振周波数の測定を行う際に、支持体４に対してカメラモジュール３を移動させるための駆動用磁石１４、１６を用いて、支持体４に対するカメラモジュール３の変位を検知することが可能になるため、光学ユニット２の構成を簡素化することが可能になる。

上述した形態において、測定システム１は、支持体４に対するカメラモジュール３の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構として、光学ユニット２の外部に配置されるレーザ変位計またはレーザドップラー速度計を備えていても良い。この場合であっても、光軸方向から見たときに、第１変位検知機構および第２変位検知機構は、第１変位検知機構と第２変位検知機構との間に軸線Ｒ１を挟むように配置されるとともに、軸線Ｒ１の軸線方向において軸線Ｒ２の一方側に配置されている。たとえば、第１変位検知機構および第２変位検知機構がレーザ変位計である場合には、レーザ変位計は、カメラモジュール３の右端部の前後方向の中心位置の上方と、カメラモジュール３の後端部の左右方向の中心位置の上方との２箇所に配置されている。

上述した形態において、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とが光軸方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。すなわち、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とがねじれの位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とが直交していなくても良い。さらに、上述した形態において、軸線Ｒ１と軸線Ｒ２とが光軸Ｌにおいて交差していなくても良い。また、上述した形態において、光軸方向から見たときに、軸線Ｒ１、Ｒ２は、光学ユニット２の対角線と一致してなくても良い。

上述した形態において、駆動用磁石１４、１６が支持体４に取り付けられ、位置検知機構８、９および駆動用コイル１５、１７がカメラモジュール３に取り付けられていても良い。また、上述した形態において、支持機構６は、板バネであっても良い。この場合には、磁性片１２が不要になる。さらに、上述した形態において、測定対象製品２は、振れ補正機能付き光学ユニット以外の製品であっても良い。たとえば、測定対象製品２は、触覚で振動を認識させる触覚デバイスであっても良い。この触覚デバイスは、たとえば、特開２０１５−２３０６０２号公報や特開２０１９−４６００９号公報等に開示されている。

１ 測定システム
２ 光学ユニット（振れ補正機能付き光学ユニット、測定対象製品）
３ カメラモジュール（可動体）
４ 支持体
５ 磁気駆動機構
６ 支持機構
８、９ 位置検知機構
１４ 駆動用磁石（第１駆動用磁石）
１５ 駆動用コイル（第１駆動用コイル）
１６ 駆動用磁石（第２駆動用磁石）
１７ 駆動用コイル（第２駆動用コイル）
２７ 変位検知機構（第１変位検知機構）
２８ 変位検知機構（第２変位検知機構）
２９ 計測器
Ｒ１ 軸線（第１軸線）
Ｒ２ 軸線（第２軸線）
Ｖ１ 第１出力電圧
Ｖ２ 第２出力電圧

Claims (7)

1. 可動体と、支持機構を介して前記可動体を揺動可能に支持する支持体と、駆動用コイルおよび駆動用磁石を有し前記支持体に対して前記可動体を揺動させる磁気駆動機構とを備える測定対象製品の前記可動体の共振周波数を測定する測定システムであって、
   前記支持体に対する前記可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構と、前記第１変位検知機構から出力される電圧である第１出力電圧と前記第２変位検知機構から出力される電圧である第２出力電圧とが入力される計測器とを備え、
   前記可動体は、前記支持体に対して、第１軸線を回動中心とする回動と第２軸線を回動中心とする回動とが可能になっており、
   前記第１軸線と前記第２軸線とは、前記第１軸線および前記第２軸線に直交する方向である直交方向から見たときに交差しており、
   前記直交方向から見たときに、前記駆動用コイルと前記駆動用磁石とは、前記第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに前記第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で対向し、
   前記直交方向から見たときに、前記第１変位検知機構および前記第２変位検知機構は、前記第１変位検知機構と前記第２変位検知機構との間に前記第１軸線を挟むように配置されるとともに、前記第１軸線の軸線方向において前記第２軸線の一方側に配置され、
   前記計測器は、前記可動体の共振周波数の測定時に正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら前記駆動用コイルに前記入力電圧を印加し、各周波数における前記第１出力電圧と前記第２出力電圧との差である減算電圧と各周波数における前記第１出力電圧と前記第２出力電圧との和である加算電圧とを算出するとともに、前記減算電圧に基づいて前記第１軸線を回動中心とする前記可動体の揺動動作の共振周波数を特定し、かつ、前記加算電圧に基づいて前記第２軸線を回動中心とする前記可動体の揺動動作の共振周波数を特定することを特徴とする測定システム。
2. 前記第１変位検知機構および前記第２変位検知機構は、前記支持体に対する前記可動体の位置を検知するために前記測定対象製品の内部に設置される位置検知機構を備え、
   前記位置検知機構は、前記測定対象製品の一部分を構成していることを特徴とする請求項１記載の測定システム。
3. 前記位置検知機構は、ホール素子を有するホールセンサであり、前記駆動用磁石の磁力を検知可能な位置で前記可動体および前記支持体のいずれか一方に取り付けられ、
   前記駆動用磁石は、前記可動体および前記支持体のいずれか他方に取り付けられ、
   前記位置検知機構と前記駆動用磁石とによって、前記第１変位検知機構および前記第２変位検知機構が構成されていることを特徴とする請求項２記載の測定システム。
4. 前記直交方向から見たときに、前記第１軸線と前記第２軸線とは、直交しており、
   前記測定対象製品は、前記駆動用コイルおよび前記駆動用磁石として、前記直交方向から見たときに、前記第１軸線に対して４５°傾いた方向で対向する第１駆動用コイルおよび第１駆動用磁石を備えるとともに、前記駆動用コイルおよび前記駆動用磁石として、前記直交方向から見たときに、前記第１軸線と前記第２軸線との交点に対して前記第１駆動用コイルおよび前記第１駆動用磁石から９０°ずれた位置で対向する第２駆動用コイルおよび第２駆動用磁石を備え、
   前記計測器は、前記可動体の共振周波数の測定時に前記第１駆動用コイルまたは前記第２駆動用コイルに前記入力電圧を印加することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の測定システム。
5. 前記直交方向から見たときの前記測定対象製品の形状は、正方形状となっており、
   前記直交方向から見たときに、前記第１軸線および前記第２軸線は、前記測定対象製品の対角線と一致していることを特徴とする請求項４記載の測定システム。
6. 前記測定対象製品は、像振れ補正機能を有する振れ補正機能付き光学ユニットであることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の測定システム。
7. 可動体と、支持機構を介して前記可動体を揺動可能に支持する支持体と、駆動用コイルおよび駆動用磁石を有し前記支持体に対して前記可動体を揺動させる磁気駆動機構とを備える測定対象製品の前記可動体の共振周波数を測定する測定方法であって、
   前記支持体に対する前記可動体の変位を検知するための第１変位検知機構および第２変位検知機構と、前記第１変位検知機構から出力される電圧である第１出力電圧と前記第２変位検知機構から出力される電圧である第２出力電圧とが入力される計測器とを用いるとともに、前記可動体は、前記支持体に対して、第１軸線を回動中心とする回動と第２軸線を回動中心とする回動とが可能になっており、前記第１軸線と前記第２軸線とは、前記第１軸線および前記第２軸線に直交する方向である直交方向から見たときに交差しており、前記直交方向から見たときに、前記駆動用コイルと前記駆動用磁石とは、前記第１軸線に直交する方向に対して傾くとともに前記第２軸線に直交する方向に対して傾いた方向で対向し、前記直交方向から見たときに、前記第１変位検知機構および前記第２変位検知機構は、前記第１変位検知機構と前記第２変位検知機構との間に前記第１軸線を挟むように配置されるとともに、前記第１軸線の軸線方向において前記第２軸線の一方側に配置され、
   前記計測器は、前記可動体の共振周波数の測定時に正弦波状に変動する入力電圧の周波数を掃引しながら前記駆動用コイルに前記入力電圧を印加し、各周波数における前記第１出力電圧と前記第２出力電圧との差である減算電圧と各周波数における前記第１出力電圧と前記第２出力電圧との和である加算電圧とを算出するとともに、前記減算電圧に基づいて前記第１軸線を回動中心とする前記可動体の揺動動作の共振周波数を特定し、かつ、前記加算電圧に基づいて前記第２軸線を回動中心とする前記可動体の揺動動作の共振周波数を特定することを特徴とする測定方法。

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