JP2021009128A - 白色光の干渉により現れる色を用いた測定装置、システム及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】測定物を撮像した１枚の画像から当該測定物に係る測定を行うこと。【解決手段】白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、干渉により現れる色から測定するための情報を記憶した記憶部と、各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像から、記憶部に記憶された情報に基づき、各画素に係る光路差を測定する演算部とを含む装置。【選択図】図６

Description

本発明は、白色光の干渉を利用した測定に関する。

従来の白色干渉計を用いた微細形状測定では、一般に、ワーク高さ方向、即ち測定物を載置した平面をＸＹ平面としたときに当該平面に直交するＺ軸方向への精密走査を実施してＺ軸の各位置において測定物を撮像し、積算画像を取得する必要がある（例えば、［先行技術文献］に記載の文献を参照。）。これは、測定物の各部のＺ軸位置を干渉縞のピークが現れた画像のＺ軸位置として計算するためである。

特開２０１６−９９２１３ 特開２０１０−１１２８６５

北川克一，「光干渉法による三次元計測」，計測と制御，公益社団法人 計測自動制御学会，第５０巻，第２号，２０１１年２月号，ｐ．９７〜１０４

このような手法においては、アルゴリズム等を工夫して精密走査を短時間に行ったとしても、振動の影響を完全に排除できるわけではないため、積算画像を構成する画像間の位置ズレ等について考慮せざるを得ない。

本発明は、以上に鑑みてなされたものであり、測定物を撮像した１枚の画像から当該測定物に係る測定を行うことを課題とする。

本発明の第１態様は、白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、干渉により現れる色から測定するための情報を記憶した記憶部と、各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像から、記憶部に記憶された情報に基づき、各画素に係る光路差を測定する演算部とを含む装置である。

ここで、記憶部に記憶する情報は、色の構成要素の比率を導出可能な値と、当該比率に対応した光路差を導出可能な値との複数の組から構成されたテーブルであってよい。

かかる装置によれば、白色光の干渉により生ずる干渉縞を撮像した１枚の画像から、各画素に至る干渉する２つの光路の光路差を測定することができる。従って、振動の影響により生ずる、画像間の少なくともＸＹ軸方向のズレを考慮する必要がなくなる。

なお、通常、上記画像においては測定物が撮像されている。上記演算部は、更に、測定された各画素に係る光路差から、測定物の形状を測定してよく、上記装置は、測定物の測定された形状を表示するための表示部を更に含んでいてよい。

そうすれば、測定物を含めて白色光の干渉により生ずる干渉縞を撮像した１枚の画像から、当該測定物の形状を確認することができる。

本発明の第２態様は、上記装置と、光学系とを含むシステムである。光学系は、白色光を生成する光源部と、上記画像を生成する撮像部と、参照物と、光源部から撮像部までの第１光路であって、少なくとも参照物により折り返された光路と、光源部から撮像部までの第２光路であって、少なくとも測定物により折り返された光路とを含み、第１光路を通過する光と第２光路を通過する光とが干渉するように構成されたものである。ここで、記憶部に記憶された情報は、光学系及び測定物に少なくとも部分的に基づき定められたものであることが好ましい。

なお、上記光学系は、干渉による光の強めあいが最大となる、ゼロに最も近い光路差が、光の波長によって異なるように構成されていることが好ましい。

かかるシステムによれば、１枚の画像を生成するだけで、即ち、Ｚ軸方向への走査をして複数の画像を生成することなく、測定物の形状を得ることができる。そのために、従来に比して極めて高速に測定物の形状測定が可能である。

本発明の第３態様は、コンピュータのためのプログラムである。コンピュータには、白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、干渉により現れる色から測定するための情報が記憶されている。プログラムは、当該コンピュータに、各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像から、記憶された上記情報に少なくとも基づき、各画素に係る光路差を測定させるものである。

かかるプログラムによれば、白色光の干渉により生ずる干渉縞を撮像した１枚の画像から、各画素に至る干渉する２つの光路の光路差を測定することができる。

本発明の実施例であるシステム１１００の概略構成を表すブロック図である。 顕微鏡１００の外観を表している。 顕微鏡１００が構成する光学系１１１０の概要を表している。 カメラ３４０により撮像された画像１３００を表している。 理想的な光学系を用いた場合の、干渉に係る２つの光路の光路差ｄと、当該干渉が生じたときの光の強さとの関係を表すグラフである。 通常利用可能な光学系を用いた場合の、干渉に係る２つの光路の光路差ｄと、当該干渉が生じたときの光の強さとの関係を表すグラフである。 光学系１１１０に関する各距離を表している。 システム１１００の概略動作を表すフローチャートである。 コンピュータのハードウエア構成例を表すブロック図である。

以下、図面を参照しながら本発明の実施例について詳細に説明する。以下の説明は、本発明の実施の例示にすぎない。従って、本発明は以下に説明するものに限定されず、その要旨を逸脱しない範囲内において様々な変更が可能であることに留意されたい。

１ 本発明の実施例の構成
図１は、本発明の実施例であるシステム１１００の概略構成を表すブロック図である。なお、本発明の別実施例は、システム１１００が含む構成を全て含んでいる必要はない。

システム１１００は、光学系１１１０と、記憶部１１２０と、演算部１１３０と、表示部１１４０と含んでいる。具体的には、本実施例において、光学系１１１０は図２Ａにその外観を表す顕微鏡１００により、記憶部１１２０と、演算部１１３０と、表示部１１４０とはコンピュータにより構成されている。

１−１ 顕微鏡１００
図２Ａにその外観が表された顕微鏡１００は、有限補正光学系で、図示しない被観察物の観察部位の位置や状態などにより、倍率を適宜切り替えできる。

この顕微鏡１００は、載置台２００と、顕微鏡本体３００とを備えている。

載置台２００は、例えば観察のための図示しない作業台上に載置固定される台座部２１０を備えている。この台座部２１０には、軸方向が鉛直方向に略沿った支柱部２２０が一体的に設けられている。

さらに、台座部２１０には、Ｘ軸移動部２３０と、Ｙ軸移動部２４０とが配設されている。そして、これらＸ軸移動部２３０およびＹ軸移動部２４０には、台座部２１０に対して水平方向で移動可能な載置板２５０が設けられている。この載置板２５０は、Ｘ軸移動部２３０のＸ軸回転操作部２３１の回転操作により平面方向でＸ軸方向となる一方向に移動され、Ｙ軸移動部２４０のＹ軸回転操作部２４１の回転操作により平面方向で一方向に対して直交するＹ軸方向となる他方向に移動される。

また、載置板２５０には、例えば透過照明による測定が可能なように載置ガラス２５１が設けられている。

顕微鏡本体３００は、載置台２００の支柱部２２０に鉛直方向に沿って移動可能に配設されている。この顕微鏡本体３００は、筐体３１０を備えている。この筐体３１０には、回転操作可能に配設され回転操作により筐体３１０を鉛直方向に沿って移動させるＺ軸回転操作部３２０が配設されている。更に、筐体３１０には、接眼レンズ３３０及びカメラ３４０が配設されている。カメラ３４０は、光学系１１１０の撮像部を構成するもので、顕微鏡１００のＸＹ平面即ちＺ軸に垂直な平面に平行な平面を撮像するものである。また、カメラ３４０は、カラーカメラ、即ち、各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像を生成可能なものである。色を表す情報の一例は、ＲＧＢ値である。カメラ３４０は図示しないコンピュータに有線又は無線により接続され、カメラ３４０が撮像した画像を表すデータが当該コンピュータに伝送される。

また、筐体３１０内には、反射ミラーやハーフミラー等の各種光学系部材が配設されている。さらに、筐体３１０には、光学系１１１０の光源部を構成する光源３５０が配設されている。この光源３５０は、略鉛直方向に沿って下方に向けて光を出射する状態に配設されている。光源３５０は、例えばハロゲンランプ、キセノンランプ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、ＬＥＤ等の広帯域スペクトルを有する白色光源である。

光源３５０から出射された光は、各種光学系部材により被観察物へ照射される。また、被観察物を反射した光は、各種光学系部材により接眼レンズ３３０及びカメラ３４０へと至る。

また、顕微鏡本体３００の筐体３１０の下面には、対物レンズ切替装置４００が配設されている。この対物レンズ切替装置４００は、複数、例えば２つの有限補正光学系の対物レンズ５００が着脱可能に装着され、観察者の操作により対物レンズ５００を光軸上に位置する状態に切り替える。顕微鏡１００において、対物レンズ５００のうちの少なくとも１つは、干渉対物レンズ５１０である。

以下、図２Ｂを参照して、干渉対物レンズ５１０について説明する。図２Ｂは、顕微鏡１００が構成する光学系１１１０の概要を表しているが、説明のために単純化されたものであり、省略された各種光学系部材があり、また、示されている光学系部材の形状、寸法及び配置等は実際とは異なりうることに留意されたい。

図２Ｂにその概要が表された例示の光学系１１１０は、顕微鏡タイプで微小な視野を高分解能で測定するミロー型干渉計に対応する。光源３５０からの白色光１２１０を、例えばハーフミラーであるビームスプリッタ１２２０を介し、干渉対物レンズ５１０を透過させて被観察物（以下、「測定物」という。）１２３０に照射する。干渉対物レンズ５１０の中では、ビームスプリッタ１２４０を透過する光と反射する光に分けられ、ビームスプリッタ１２４０で反射された光は、参照物である好ましくは微小な参照ミラー１２５０で反射され、再びビームスプリッタ１２４０で反射されて、カメラ３４０へと向かう参照光となる。一方、ビームスプリッタ１２４０を透過して測定物１２３０を照射し反射された測定光は、ビームスプリッタ１２４０を透過して、参照光と重なりカメラ３４０へと向かう。

即ち、光学系１１１０は、光源３５０からカメラ３４０までの第１光路であって、少なくとも参照ミラー１２５０により折り返された光路と、光源３５０からカメラ３４０までの第２光路であって、少なくとも測定物１２３０により折り返された光路とを含み、第１光路を通過する光と第２光路を通過する光とが干渉するように構成されている。

なお、後述するように、システム１１００は、白色光の干渉により現れる干渉縞を利用する。当業者にはよく知られているように、白色光の干渉により現れる干渉縞は、干渉に係る２つの光路の光路差が極めて狭い範囲にあるときのみ現れる。そのため、干渉対物レンズ５１０としては、その焦点深度が干渉縞の生じる範囲とおおよそ一致するものが好適である。なぜなら、このような干渉対物レンズ５１０によれば、ピントの合ったときに干渉縞を撮像できるからである。

１−２ 記憶部１１２０と、演算部１１３０と、表示部１１４０とを構成するコンピュータ
本実施例において、記憶部１１２０と、演算部１１３０と、表示部１１４０とは、ソフトウエア即ちプログラムとハードウエア資源との協働により実現される機能手段である。当該コンピュータは一般的なパーソナル・コンピュータであってよいが、本明細書の最後の節にて説明するようなハードウエア構成を有する任意のコンピュータであってよい。また、別実施例において、顕微鏡１００に相当するものに、当該コンピュータに相当するものが組み込まれている場合がある。

記憶部１１２０は、白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、干渉により現れる色から測定するための情報を記憶するものである。当該情報については、後で詳述する。

演算部１１３０は、各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像から、記憶部に記憶された情報に少なくとも基づき、各画素に係る光路差を測定するものである。演算部１１３０は、更に、測定された各画素に係る光路差から、測定物１２３０の形状を測定するものであってよい。当該測定については、後で詳述する
表示部１１４０は、測定物１２３０の測定された形状を表示するものである。表示の手法は、測定物１２３０の三次元レンダリング表示や所定の断面の形状の二次元表示等、任意である。

２ 本発明の実施例に係る原理
２−１ 干渉に係る２つの光路の光路差の測定について
図３は、顕微鏡１００を用いてある測定物１２３０を撮像することにより得られた画像１３００である。測定物１２３０は、画像１３００において、方向１３１０において同じ高さ（Ｚ軸位置）を有し、方向１３１５において一定の傾きで高さが減少するものである。１３２０は白色光の干渉により現れた干渉縞を示している。なお、実際に得られる画像はカラー画像であり、従って干渉縞には様々な色が現れていることに留意されたい。

白色光の干渉により現れる干渉縞は、白色光に含まれる様々な波長の光の強めあい及び弱めあいの結果として生じるものである。図４Ａ及び４Ｂは、白色光に含まれる光のうちの異なる波長を有する３つの光について、干渉に係る２つの光路の光路差ｄと、当該干渉が生じたときの各波長の光の強さ（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）との関係を表すグラフであり、１４１０、１４１２及び１４１４は、それぞれ当該３つの光に係るプロットを示している。

図４Ａは理想的な光学系を用いた場合のものであり、グラフは光路差ｄ＝０ｍｍに対して対称である。一方、図４Ｂは通常利用可能な光学系を用いた場合のものであり、グラフは光路差ｄ＝０ｍｍに対して対称でない。

図４Ｂについて、図２Ｂを再度参照して説明する。光源３５０から最初にビームスプリッタ１２４０に達した光は、少なくとも、ビームスプリッタ１２４０の底面を反射する光（参照光となる。）と、反射せずに測定物１２３０へと達する光（測定光となる。）とに分けられる。ここで、前者の光は、ビームスプリッタ１２４０の底面から上面を通過し、参照ミラー１２５０で反射され、再度ビームスプリッタ１２４０の上面から底面へと至り、測定物１２３０を反射した光と合成される。即ち、参照光は、測定光に対して、ビームスプリッタ１２４０の上面と底面との間を、少なくとも２回余分に通過し、その分の位相遅延が生じる。そして、この位相遅延の大きさは、通常は光の波長に依存する。そのため、光路差ｄ＝０ｍｍであったとしても、参照光にのみ生ずる位相遅延の影響により、１４１０、１４１２及び１４１４に係る光の強めあいは厳密には最大とはならず、図４Ｂに表されるグラフのようになる。なお、以上の説明ではビームスプリッタ１２４０についてのみ説明したが、このような位相遅延は、その他の各種光学系部材や測定物１２３０においても生じ、参照光及び測定光の両者において生じる位相遅延は、両者の光路長が等しい場合であっても相違し得る。言い換えると、通常利用可能な光学系は、干渉による光の強めあいが最大となる、ゼロに最も近い光路差が、光の波長によって異なるように構成されている。

図４Ｂについて、更に説明する。光路差ｄが１４２０で示すときの１４１０に係る光の強さ１４３０は、光路差ｄが１４２２で示すときと等しい。しかしながら、光路差ｄが１４２０で示すときの１４１２及び１４１４に係る光の強さは、光路差ｄが１４２２で示すときと相違する。言い換えると、１４１０、１４１２及び１４１４に係る光の強さ、より詳細には当該強さによって定まる色の構成要素の比率から、光路差ｄが１４２０で示すときと光路差ｄが１４２２で示すときとは区別可能である。

出願人の実験によると、１４１０、１４１２及び１４１４に係る光をそれぞれ光の三原色の赤、緑及び青に対応するものとした場合、干渉縞が現れる光路差の範囲において、光の色の構成要素即ち赤、緑及び青の比率から、光路差ｄは一意に定まることが分かっている。ここで、赤、緑及び青の比率は、図３に表されるような画像１３００における各画素のＲＧＢ値から容易に求めることが可能である。

２−２ 測定物１２３０の形状の導出について
図５は、図２Ｂでその概要を表した光学系１１１０の一部を拡大したものである。１５１０は、任意に設定された基準となるＺ軸位置（以下、「基準Ｚ軸位置」という。）を示しており、１５１５は、光路差ｄがゼロとなるＺ軸位置を示している。また、１５２０は、基準Ｚ軸位置１５１０と載置板２５０の上面との間のＺ軸距離ｄ_１を示しており、１５２５は、基準Ｚ軸位置１５１０とＺ軸位置１５１５との間のＺ軸距離ｄ_２を示している。更に、１５３０は、測定物１２３０の点１５４０におけるＺ軸位置とＺ軸位置１５１５との間のＺ軸距離ｄ_３を示しており、１５３５は、測定物１２３０の点１５４０と載置板２５０の上面とのＺ軸距離ｈを示している。

距離ｄ_１及びｄ_２は、測定物１２３０に依存しない、事前に測定し記憶可能な値である。なお、基準Ｚ軸位置１５１０を載置台２５０の上面のＺ軸位置とおけば、距離ｄ_１はゼロとなる。また、距離ｄ_３は図４Ｂに表されたグラフのＸ軸の値ｄ即ち光路差を物理的距離に変換したものに対応し、正負両値を取り得る。光路差ｄから距離ｄ_３への変換係数も、測定物１２３０に依存しない、事前に測定し記憶可能な値である。

従って、２−１にて述べた原理により、画像１３００における点１５４０に対応する画素の色からｄを測定すれば、点１５４０における距離ｈは以下の式により測定可能である。

ｈ＝（ｄ_１−ｄ_２）＋ｄ_３ （１）
測定物１２３０の各点についての距離ｈを測定すれば、測定物１２３０の形状は公知の手法により測定可能である。

２−３ 記憶部１１２０が記憶する情報について
２−１にて述べた原理により、白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、干渉により現れる色から測定するための情報は、事前に生成し、記憶部１１２０に記憶しておくことができる。

本実施例における記憶部１１２０が記憶する情報は、色の構成要素の比率を導出可能な値と、当該比率に対応した光路差ｄを導出可能な値との複数の組から構成されたテーブルである。より詳細には、本実施例における「色の構成要素の比率を導出可能な値」は、ＲＧＢ値の比率（例えば、［１．０，０．５，０］）である。別実施例における「色の構成要素の比率を導出可能な値」は、画素が含むであろうＲＧＢ値そのもの（例えば、［１２８，６４，０］）、当該ＲＧＢ値をＨＳＶ値に変換したもの（例えば、［３０，１００，５０］）等、色の構成要素の比率を導出可能な任意の値であってよい。また、本実施例における「光路差ｄを導出可能な値」は、光路差ｄの値そのものである。別実施例における「光路差ｄを導出可能な値」は、式（１）におけるｈ、ｄやｈを定数倍しオフセットを加えたもの等、光路差ｄを導出可能な任意の値であってよい。

このようなテーブルは、形状が既知の測定物１２３０、即ち、式（１）における距離ｈが各点において既知である測定物１２３０を用いて画像１３００を取得し、各点の既知の距離ｈと、各点に対応する、画像１３００における画素の色の構成要素の比率とに基づいて生成することができる。例えば、十分に平坦な板に既知の高さのゲージを挟み込ませて傾斜させたものを測定物１２３０として用いれば、上記テーブルは生成可能であろう。

なお、色の構成要素の比率と、当該比率に対応した光路差との対応関係は、測定物１２３０の材質によって相違し得る。これは、光が測定物１２３０で反射する際に、その材質に依存した位相遅延が発生する場合があるためである（石英ガラス等、位相遅延がゼロの材質も存在する）。従って、上記テーブルは、実際に測定する測定物１２３０と同じ材質のものを用いて生成することが好ましい。

別実施例における記憶部１１２０に相当するものが記憶する情報は、色の構成要素を表す値例えばＲＧＢ値から、当該値に対応した光路差ｄを導出する理論式による数値計算を実装したプログラムである。

３ システム１１００の概略動作
図６は、システム１１００の概略動作を表すフローチャート１６００である。

１６１０は、測定物１２３０を載置板２５０に乗せ、Ｘ軸回転操作部２３１、Ｙ軸回転操作部２４１及びＺ軸回転操作部３２０を操作して顕微鏡本体３００を載置板２５０に対して相対的に移動させて、測定物１２３０がカメラ３４０の撮像範囲に含まれ、且つ、白色光による干渉縞が現れるように調節するステップである。

１６２０〜１６６０は、演算部１１３０が、カメラ３４０が撮像した画像１３００から、記憶部１１２０に記憶された情報に基づき、画像１３００の各画素に係る光路差ｄを測定するステップである。

より詳細には、１６２０は、カメラ３４０から画像１３００を取得するステップを示している。

１６３０は、取得した画像１３００における１つの画素の色を取得するステップを示している。具体的には、本実施例におけるこのステップは、画素のＲＧＢ値を取得するステップである。

１６４０は、取得した色から、記憶部１１２０に記憶された情報に基づき、当該画素に係る光路差ｄを測定するステップを示している。具体的には、本実施例におけるこのステップは、画素のＲＧＢ値の比率と、記憶部１１２０に記憶されているテーブルにおける色の構成要素の比率とを比較して、一致するか又は最も近い比率を決定し、決定された比率に対応した光路差ｄを取得するステップである。

１６５０は、測定した光路差ｄを、当該画素に関連付けて、少なくとも一時的に記憶するステップを示している。

１６６０は、まだ光路差ｄを測定していない画素が存在するかを判定するステップを示している。存在する場合にはステップ１６３０に戻り、存在しない場合にはステップ１６７０に進む。

１６７０は、演算部１１３０が、測定した各画素に係る光路差ｄから、測定物１２３０の形状を測定するステップを示している。具体的には、このステップは、各画素に係る式（１）における距離ｈを導出し、導出した各画素に係る距離ｈから、公知の手法により測定物１２３０の形状を測定するステップであってよい。

１６８０は、表示部１１４０が、測定物１２３０の測定された形状を表示するステップを示している。

４ コンピュータの概要
図７は、コンピュータのハードウエア構成の一例を表している。同図に示すように、コンピュータ１７００は、ハードウエア資源として、主に、プロセッサ１７１０と、主記憶装置１７２０と、補助記憶装置１７３０と、入出力インターフェース１７４０と、通信インターフェース１７５０とを備えており、これらはアドレスバス、データバス、コントロールバス等を含むバスライン１７６０を介して相互に接続されている。なお、バスライン１７６０と各ハードウエア資源との間には適宜インターフェース回路（図示せず）が介在している場合もある。また、バスライン１７６０が存在せず、各ハードウエア資源が直接接続されている場合もある。

プロセッサ１７１０は、コンピュータの全体の制御を行うものである。プロセッサ１７１０は、各々がコンピュータの一部又は全体の制御を行なう、複数のプロセッサにより構成されていてもよい。

主記憶装置１７２０は、プロセッサ１７１０に対して作業領域を提供するものであり、例えばＳＲＡＭ、ＤＲＡＭ等の揮発性メモリである。

補助記憶装置１７３０は、ソフトウエアであるプログラム（コンピュータ実行可能命令を含む）等や各種データ等を格納する、例えば、ハードディスクドライブ、フラッシュメモリ等の不揮発性メモリである。プログラムは、任意の時点で補助記憶装置１７３０からバスライン１７６０を介して主記憶装置１７２０へとロードされ、プロセッサ１７１０に各種処理、方法又はステップを実行させる。

入出力インターフェース１７４０は、各種周辺機器との接続を行うものであり、例えば、キーボード、マウス、トラックパッド、トラックポインタ、ディスプレイ、タッチパネル・ディスプレイ、マイク、スピーカ、加速度センサ、カメラ、スキャナ、プリンタ等をコンピュータ１７００に接続するものである。なお、これら周辺機器は、コンピュータ１７００の一部と見なす場合があることに留意されたい。

通信インターフェース１７５０は、ネットワーク１７７０と接続されるものであり、ネットワーク１７７０を介してデータを送受する。通信インターフェース１７５０とネットワーク１７７０とは、有線又は無線で接続されうる。通信インターフェース１７５０は、ネットワークに係る情報、例えば、Ｗｉｆｉのアクセスポイントに係る情報、通信キャリアの基地局に関する情報等も取得することがある。なお、通信インターフェース１７５０は、本発明の実施例において必須ではない。

１００……顕微鏡
２００……載置台
２１０……台座部
２２０……支柱部
２３０……Ｘ軸移動部
２３１……Ｘ軸回転操作部
２４０……Ｙ軸移動部
２４１……Ｙ軸回転操作部
２５０……載置板
２５１……載置ガラス
３００……顕微鏡本体
３１０……筐体
３３０……接眼レンズ
３４０……カラーカメラ
３５０……白色光源
４００……対物レンズ切替装置
５００……対物レンズ
５１０……干渉対物レンズ
１１００……本発明の実施例であるシステム
１２１０……白色光
１２２０，１２４０……ビームスプリッタ
１２３０……測定物
１２５０……参照ミラー
１３００……測定物１２３０が撮像された画像
１３１０……撮像された測定物１２３０が同じ高さを有する方向
１３１５……撮像された測定物１２３０の高さが減少する方向
１３２０……干渉縞
１４１０，１４１２，１４１４……異なる波長の光に係るプロット
１５１０……任意に設定された基準となるＺ軸位置
１５１５……干渉に係る２つの光路の光路差ｄがゼロとなるＺ軸位置
１６００……システム１１００の概略動作を表すフローチャート

Claims (6)

1. 白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、前記干渉により現れる色から測定するための情報を記憶した記憶部と、
   各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像から、前記記憶部に記憶された前記情報に少なくとも基づき、各画素に係る前記光路差を測定する演算部と
   を含む装置。
2. 請求項１に記載された装置であって、前記記憶部に記憶された前記情報は、色の構成要素の比率を導出可能な値と、当該比率に対応した前記光路差を導出可能な値との複数の組から構成されたテーブルである、装置。
3. 請求項１に記載された装置であって、
   前記画像においては測定物が撮像されており、
   前記演算部は、更に、測定された各画素に係る前記光路差から、前記測定物の形状を測定し、
   前記測定物の測定された前記形状を表示するための表示部を更に含む装置。
4. 請求項１から３の何れか一項に記載された装置と、
   光学系であって、
   前記白色光を生成する光源部と、
   前記画像を生成する撮像部と、
   参照物と、
   前記光源部から前記撮像部までの第１光路であって、少なくとも前記参照物により折り返された光路と、
   前記光源部から前記撮像部までの第２光路であって、少なくとも測定物により折り返された光路と
   を含み、前記第１光路を通過する光と前記第２光路を通過する光とが干渉するように構成された光学系と
   を含むシステムであって、前記記憶部に記憶された前記情報は、前記光学系及び前記測定物に少なくとも部分的に基づき定められた、システム。
5. 請求項４に記載のシステムであって、前記光学系は、前記干渉による光の強めあいが最大となる、ゼロに最も近い前記光路差が、前記光の波長によって異なるように構成された、システム。
6. 白色光の干渉に係る２つの光路の光路差を、前記干渉により現れる色から測定するための情報が記憶されたコンピュータに、各々色を表す情報を含む複数の画素により構成された画像から、記憶された前記情報に少なくとも基づき、各画素に係る前記光路差を測定させるプログラム。