JP2020534557A - フォトリソグラフィシステムの圧力容器内のシールを保護するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2017年9月21日に出願された米国非仮特許出願番号第15/711,678号の優先権を主張する。これは援用により全体が本願に含まれる。
1.溶融ターゲット材料送出システムを有するフォトリソグラフィシステムであって、溶融ターゲット材料送出システムは溶融ターゲット材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出し、フォトリソグラフィシステムは、
第1の位置と第2の位置との間の流体経路に配置され、第1の位置及び第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁と、
容器壁内に配置され、内部体積空間を少なくとも第1の体積空間と第2の体積空間に分割するパーティションであって、パーティションは、内部体積空間内に溶融材料が存在しない場合は第1の体積空間と第2の体積空間との間のガス連通を可能とするように構成され、第1の体積空間は、第2の体積空間に溶融ターゲット材料が存在する場合は第1の体積空間内に存在するガスの少なくとも一部を貯留するように構成されている、パーティションと、
入口ポートと、
出口ポートであって、第2の体積空間は入口ポート及び出口ポートの双方と流体連通している、出口ポートと、
第2の体積空間に溶融ターゲット材料が存在しない場合は第1の体積空間及び第2の体積空間とガス連通するように配置されたシールであって、第2の体積空間に溶融ターゲット材料が存在する場合は第1の体積空間内の貯留ガスとガス連通すると共に第2の体積空間とガス連通しないように構成されているシールと、
を含む容器を備える、フォトリソグラフィシステム。
2.溶融ターゲット材料は溶融スズである、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
3.容器は圧力容器である、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
4.シールはエラストマで形成されている、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
5.シールはOリングである、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
6.第1の体積空間はシールの方へ向かうにつれて細くなるテーパ形状を有する、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
7.パーティションは第1の体積空間と第2の体積空間との間の1つ以上の貫通孔を含む、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
8.入口ポート及び出口ポートのうち少なくとも1つは、突出体を有する回転防止インサートを用いて流体ラインに結合されている、条項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
9.溶融ターゲット材料送出システムを有するフォトリソグラフィシステムであって、溶融ターゲット材料送出システムは溶融ターゲット材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出し、フォトリソグラフィシステムは、
第1の位置と第2の位置との間の流体経路に配置され、第1の位置及び第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁と、
内部体積空間を第1の体積空間と第2の体積空間に分割するパーティションであって、第1の体積空間及び第2の体積空間は、第2の体積空間に第1の量の溶融ターゲット材料が存在する場合はガス連通するように構成され、第1の体積空間及び第2の体積空間は、第2の体積空間に第2の量の溶融ターゲット材料が存在する場合は溶融ターゲット材料によって遮断されるため相互にガス連通しないように構成され、第2の量の溶融ターゲット材料は第1の量の溶融ターゲット材料よりも多い、パーティションと、
第1の体積空間とガス連通しているシールと、
を含む容器を備える、フォトリソグラフィシステム。
10.溶融ターゲット材料は溶融スズである、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
11.容器は圧力容器である、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
12.シールはエラストマで形成されている、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
13.シールはOリングである、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
14.第1の体積空間はシールの方へ向かうにつれて細くなるテーパ形状を有する、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
15.パーティションは第1の体積空間と第2の体積空間との間の1つ以上の貫通孔を含む、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
16.入口ポート及び出口ポートのうち少なくとも1つは、突出体を有する回転防止インサートを用いて流体ラインに結合されている、条項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
17.流体材料送出システムを有するフォトリソグラフィシステムであって、流体材料送出システムは流体材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出し、フォトリソグラフィシステムは、
第1の位置と第2の位置との間の流体経路に配置され、第1の位置及び第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁であって、内部体積空間は第1の体積空間及び第2の体積空間を含み、第1の体積空間及び第2の体積空間は、第2の体積空間に第1の量の流体材料が存在する場合はチャネルを介してガス連通するように構成され、第1の体積空間及び第2の体積空間は、第2の体積空間に第2の量の流体材料が存在する場合は流体材料によってチャネルが遮断されるためチャネルを介してガス連通しないように構成され、第2の量の流体材料は第1の量の流体材料よりも多い、容器壁と、
第1の体積空間とガス連通しているシールと、
を含む容器を備える、フォトリソグラフィシステム。
18.第2の体積空間に第2の量の溶融材料が存在する場合、シールは第2の体積空間とガス連通しない、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
19.第2の体積空間に第2の量の溶融材料が存在する場合、流体材料とシールとの間にある量の貯留ガスが配置される、条項18に記載のフォトリソグラフィシステム。
20.流体材料は溶融スズである、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
21.シールはOリングである、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
22.第1の体積空間はシールの方へ向かうにつれて細くなるテーパ形状を有する、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
23.パーティションは第1の体積空間と第2の体積空間との間の1つ以上の貫通孔を含む、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
24.入口ポート及び出口ポートのうち少なくとも1つは、突出体を有する回転防止インサートを用いて流体ラインに結合されている、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
25.第2の体積は閾値体積よりも大きく、閾値体積はチャネルのジオメトリに依存する、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
26.第2の体積は閾値体積よりも大きく、閾値体積はチャネルのジオメトリ及び重力に対する容器の配向に依存する、条項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
27.流体材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出する流体材料送出システムであって、
第1の位置と第2の位置との間の流体経路に配置され、第1の位置及び第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁であって、内部体積空間は第1の体積空間及び第2の体積空間を含み、第1の体積空間及び第2の体積空間は、第2の体積空間に第1の量の流体材料が存在する場合はチャネルを介してガス連通するように構成され、第1の体積空間及び第2の体積空間は、第2の体積空間に第2の量の流体材料が存在する場合は流体材料によってチャネルが遮断されるためチャネルを介してガス連通しないように構成され、第2の量の流体材料は第1の量の流体材料よりも多い、容器壁と、
第1の体積空間とガス連通しているシールと、
を含む容器を備える、流体材料送出システム。
Claims (23)
- 溶融ターゲット材料送出システムを有するフォトリソグラフィシステムであって、前記溶融ターゲット材料送出システムは溶融ターゲット材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出し、前記フォトリソグラフィシステムは、
前記第1の位置と前記第2の位置との間の流体経路に配置され、前記第1の位置及び前記第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁と、
前記容器壁内に配置され、前記内部体積空間を少なくとも第1の体積空間と第2の体積空間に分割するパーティションであって、前記パーティションは、前記内部体積空間内に溶融材料が存在しない場合は前記第1の体積空間と前記第2の体積空間との間のガス連通を可能とするように構成され、前記第1の体積空間は、前記第2の体積空間に溶融ターゲット材料が存在する場合は前記第1の体積空間内に存在するガスの少なくとも一部を貯留するように構成されている、パーティションと、
入口ポートと、
出口ポートであって、前記第2の体積空間は前記入口ポート及び前記出口ポートの双方と流体連通している、出口ポートと、
前記第2の体積空間に前記溶融ターゲット材料が存在しない場合は前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間とガス連通するように配置されたシールであって、前記第2の体積空間に前記溶融ターゲット材料が存在する場合は前記第1の体積空間内の前記貯留ガスとガス連通すると共に前記第2の体積空間とガス連通しないように構成されているシールと、
を含む容器を備える、フォトリソグラフィシステム。 - 前記溶融ターゲット材料は溶融スズである、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記容器は圧力容器である、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記シールはエラストマで形成されている、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記シールはOリングである、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記第1の体積空間は前記シールの方へ向かうにつれて細くなるテーパ形状を有する、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記パーティションは前記第1の体積空間と前記第2の体積空間との間の1つ以上の貫通孔を含む、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記入口ポート及び前記出口ポートのうち少なくとも1つは、突出体を有する回転防止インサートを用いて流体ラインに結合されている、請求項1に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 溶融ターゲット材料送出システムを有するフォトリソグラフィシステムであって、前記溶融ターゲット材料送出システムは溶融ターゲット材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出し、前記フォトリソグラフィシステムは、
前記第1の位置と前記第2の位置との間の流体経路に配置され、前記第1の位置及び前記第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁と、
前記内部体積空間を第1の体積空間と第2の体積空間に分割するパーティションであって、前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間は、前記第2の体積空間に第1の量の溶融ターゲット材料が存在する場合はガス連通するように構成され、前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間は、前記第2の体積空間に第2の量の溶融ターゲット材料が存在する場合は前記溶融ターゲット材料によって遮断されるため相互にガス連通しないように構成され、前記第2の量の溶融ターゲット材料は前記第1の量の前記溶融ターゲット材料よりも多い、パーティションと、
前記第1の体積空間とガス連通しているシールと、
を含む容器を備える、フォトリソグラフィシステム。 - 前記溶融ターゲット材料は溶融スズである、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記容器は圧力容器である、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記シールはエラストマで形成されている、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記シールはOリングである、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記第1の体積空間は前記シールの方へ向かうにつれて細くなるテーパ形状を有する、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記パーティションは前記第1の体積空間と前記第2の体積空間との間の1つ以上の貫通孔を含む、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記入口ポート及び前記出口ポートのうち少なくとも1つは、突出体を有する回転防止インサートを用いて流体ラインに結合されている、請求項9に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 流体材料送出システムを有するフォトリソグラフィシステムであって、前記流体材料送出システムは流体材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出し、前記フォトリソグラフィシステムは、
前記第1の位置と前記第2の位置との間の流体経路に配置され、前記第1の位置及び前記第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁であって、前記内部体積空間は第1の体積空間及び第2の体積空間を含み、前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間は、前記第2の体積空間に第1の量の流体材料が存在する場合はチャネルを介してガス連通するように構成され、前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間は、前記第2の体積空間に第2の量の流体材料が存在する場合は前記流体材料によって前記チャネルが遮断されるため前記チャネルを介してガス連通しないように構成され、前記第2の量の流体材料は前記第1の量の前記流体材料よりも多い、容器壁と、
前記第1の体積空間とガス連通しているシールと、
を含む容器を備える、フォトリソグラフィシステム。 - 前記流体材料は溶融スズである、請求項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記シールはOリングである、請求項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記第1の体積空間は前記シールの方へ向かうにつれて細くなるテーパ形状を有する、請求項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記パーティションは前記第1の体積空間と前記第2の体積空間との間の1つ以上の貫通孔を含む、請求項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記入口ポート及び前記出口ポートのうち少なくとも1つは、突出体を有する回転防止インサートを用いて流体ラインに結合されている、請求項17に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 流体材料を少なくとも第1の位置から第2の位置へ送出する流体材料送出システムであって、
前記第1の位置と前記第2の位置との間の流体経路に配置され、前記第1の位置及び前記第2の位置の双方と流体連通している容器であって、
少なくとも内部体積空間を閉鎖する容器壁であって、前記内部体積空間は第1の体積空間及び第2の体積空間を含み、前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間は、前記第2の体積空間に第1の量の流体材料が存在する場合はチャネルを介してガス連通するように構成され、前記第1の体積空間及び前記第2の体積空間は、前記第2の体積空間に第2の量の流体材料が存在する場合は前記流体材料によって前記チャネルが遮断されるため前記チャネルを介してガス連通しないように構成され、前記第2の量の流体材料は前記第1の量の前記流体材料よりも多い、容器壁と、
前記第1の体積空間とガス連通しているシールと、
を含む容器を備える、流体材料送出システム。
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