JP5653033B2 - ノズルヘッド充填装置及びその充填方法 - Google Patents

Description

本発明は、被塗布物に向けて液滴を噴射するノズルヘッドに液体を充填するためのノズ
ルヘッド充填装置及びその充填方法に関する。

ノズルヘッド充填装置は、被塗布物に向けて液滴を噴射するノズルヘッドに液体を充填
する装置である。

またノズルヘッドは、例えばインクジェットヘッド等が挙げられ、物品としての被塗布
物を製造するために用いる塗布装置に搭載されて利用されている。具体的には、例えば液
晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置、電子放
出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な表示装置（被塗布物）を
製造するために利用されている。

従来、この種のノズルヘッド充填装置においては、気泡の残留による液滴の噴射不良を
防止することが重要な課題となっている。

この課題を解決するためのノズルヘッド充填装置として、例えば、特許文献１に提案さ
れている。このノズルヘッド充填装置１０１では、図１３に示すように、ノズルヘッド１
０２に対して液体の充填を行う際、全てのノズルＮ’を塞ぐためのキャップＣ’がノズル
プレート１０２ｂのノズル面Ｍに密着し、且つ覆うようにノズルヘッド１０２に着脱可能
に取り付けられている。

そして、このノズルヘッド充填装置１０１においては、ノズルヘッド１０２に液体を充
填する際には、キャップＣ’をノズルプレート１０２ｂのノズル面Ｍに密着させて全ての
ノズルＮ’を塞いでおき、ノズルヘッド本体１０２ａに設けた支持傾斜部１０３によりノ
ズルヘッド１０２を、真下を向いた基準位置から１３５度、傾けた状態で液体供給部１０
４から液体流路Ｒ’に液体を供給する。次に支持傾斜部１０３によりノズルヘッド１０２
を４５度に傾けた状態で液体流路Ｒ’から液体が排出されるとノズルヘッド１０２を９０
度に傾け、液体流路Ｒ´内の気泡を排出させるために所定の時間加圧した後、ノズルヘッ
ド１０２を１８０度に傾けて上向き状態した後、キャップＣ´を取り外してノズルＮ´内
の残留気泡を排出させている。

特開２００８−１７８８２０号

しかし、従来のノズルヘッド充填装置１０１では、キャップＣ´はノズルヘッド１０２
に、ノズルＮ´を塞いで、且つノズル面Ｍに密着して取り付けられている。そのため、ノ
ズルＮ’及び液室Ｅ’の気体の逃げ道がなく、ノズルＮ´や液室Ｅ´に液体を供給し難く
、ノズルＮ´や液室Ｅ´の一部に液体を供給することができず、気体を閉じ込めて気泡を
生じさせることがあった。このような気泡が一度生じると、ノズルＮ´や液室Ｅ´内を液
体で満たすことが難しくなると共に、ノズルＮ´から気泡が排出し難くなり、その結果、
液滴の不噴射や噴射ヨレ等の噴射不良を引き起こす原因となっていた。

そこで、本発明は気泡の発生を低減させることが可能なノズルヘッド充填装置及びその
充填方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様のノズルヘッド充填装置は、複数のノズルが形成されたノズル面、前記複数のノズルにそれぞれ連通し、液体を収納する複数の液室、及び前記液室に液体を供給・排出する液体流路を有するノズルヘッドと、前記ノズルヘッドに着脱可能に取り付けられ、前記ノズル面との間に空隙を有して前記ノズルを覆うキャップと、前記液体流路に供給する液体を収容する液体供給部と、前記液体供給部に接続し、前記ノズル面が横向きの時、前記キャップの前記空隙内に供給される液体により液体が供給されていないノズルを塞がないように液体の流量を調整する流量調整手段と、を備えることを特徴としている。

また、上記目的を達成するために、本発明の他の態様のノズルヘッドの充填方法は、本発明の一態様のノズル充填装置において、前記ノズル面を横向きにし、前記流量調整手段により、前記キャップの前記空隙内に供給される液体が、液体が供給されていないノズルを塞がないように流量を調整しながら前記液室及び前記ノズル内に液体を供給する工程と、を含むことを特徴としている。

本発明では、気泡の発生を低減させるノズルヘッド充填装置及びその充填方法を提供す
る。

本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置の概略構成を示す模式図。 本発明の実施形態に係る液室とノズルを示す上面図。 図２のＡ−Ａ線に沿う液室とノズルの断面図。 適した流量より小さい流量の場合のノズルヘッドとキャップにおける液体の充填状態を示した断面図。 適した流量より大きい流量の場合のノズルヘッドとキャップにおける液体の充填状態を示した断面図。 適した流量の場合のノズルヘッドとキャップにおける液体の充填状態を示した断面図。 本発明の実施形態に係る各コックの開閉の状態を示す図。 図１に示すノズルヘッド充填装置が行う充填方法の流れを示すフローチャート。 本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置の流量調整手段による流量が２ｍｌ／ｍｉｎの場合におけるノズルヘッド内の流量と圧力の変化を時間の経過ごとに示した図。 本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置の流量調整手段による流量が３ｍｌ／ｍｉｎの場合におけるノズルヘッド内の流量と圧力の変化を時間の経過ごとに示した図。 本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置の流量調整手段による流量が４ｍｌ／ｍｉｎの場合におけるノズルヘッド内の流量と圧力の変化を時間の経過ごとに示した図。 本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置の流量調整手段による流量が５ｍｌ／ｍｉｎの場合におけるノズルヘッド内の流量と圧力の変化を時間の経過ごとに示した図。 従来のノズルヘッド充填装置の概略構成を示す模式図。

以下、本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置及びその充填方法を、図面を参照
して説明する。

図1は本発明の実施形態に係るノズルヘッド充填装置の概略構成を示す模式図である。
図１に示すように、本実施形態のノズルヘッド充填装置１は、液滴を噴射するノズルヘッ
ド２と、このノズルヘッド２を支持し、且つ回動する支持傾斜部３と、ノズルヘッド２に
インク等の液体を供給する第１及び第２液体供給部４、５と、液体の流量の制御を行う流
量調整手段６と、液体やガスの供給を開閉する切り替え部（第１乃至第４コック７ａ、７
ｂ、７ｃ、７ｄ）とを備えている。

ノズルヘッド２は、箱型形状のノズルヘッド本体２ａと、そのノズルヘッド本体２ａの
液体を吐出する側の一面Ｍ１に取り付けられたノズルプレート２ｂとを備えている。

ノズルヘッド本体２ａには、第１液体供給部４から供給される液体が流入する供給口Ｈ
１と、ノズルヘッド２から液体が流出する排出口Ｈ２とが設けられている。これらの供給
口Ｈ１及び排出口Ｈ２は、ノズルヘッド本体２ａのノズルプレート２ｂが設けられた一面
Ｍ１と反対側の反対面Ｍ２に形成されている。

ノズルヘッド本体２ａの内部には、供給口Ｈ１から排出口Ｈ２まで連通する液体流路Ｒ
と、その液体流路Ｒにそれぞれ連通し、後述するノズルプレート２ｂの複数のノズルＮに
供給する液体をそれぞれ収納する複数の液室Ｅとが設けられている。

各液室Ｅは、ノズルヘッド本体２ａにおけるノズルプレート２ｂ側に設けられ、これら
の液室Ｅには、液体流路Ｒから液体が流入して供給される。

図２は液室ＥとノズルＮとの一部を拡大して示す上面図で、図３は図２のＡ−Ａ線に沿
う断面図である。

図２及び図３に示すように、複数のノズルＮは、ノズルプレート２ｂに供給口Ｈ１方向か
ら排出口Ｈ２方向に沿って列状に設けられ、各液室Ｅは、その列状のノズルＮを挟んで両
側に、且つ交互に設けられ、各ノズルＮと連通している。また、各液室Ｅは、ノズルＮ側
が狭くてノズルＮ側と反対側が広く、しかも階段状に形成され、液体が供給し難く、気泡
が残留し易い構造になっている。なお、このノズルプレート２ｂにおいて、ノズルヘッド
本体２ａの面Ｍ１との接着面と反対の面がノズル面Ｍとなる。

図１に戻り、ノズルプレート２ｂには、ノズルヘッド２に対して液体の充填を行う際、
ノズルＮから吐出される液体を貯留するためのキャップＣが取り付けられる。このキャッ
プＣは、充填中の液体の垂れ流しを防止するための部材であり、各ノズルＮが設けられて
いるノズル面Ｍを覆うように、ノズルヘッド２に着脱可能に取り付けられている。また、
このキャップＣはノズル面Ｍに密着させずに、吐出した液体を貯留する空隙Ｃ１が形成さ
れており、ノズルＮから吐出された液体が溜まるようになっている。また、ノズルヘッド
本体２ａの排出口Ｈ２側に位置するキャップＣの側面には、気体を排出するための排出口
Ｈ３が設けられている。

これにより、ノズルヘッド２に対して液体の充填を行う際、ノズルＮや液室Ｅの気体が
キャップＣの空隙Ｃ１に排出され、最終的に排出口Ｈ３から外部に放出される。そのため
、ノズルＮや液室Ｅへの液体の供給がスムーズに行われ、また気体が閉じ込められないた
め、ノズルＮや液室Ｅ内に気泡が生じることを低減することができる。

支持傾斜部３は、ノズルヘッド２を支持し、軸心Ｚを中心に回動可能に設けられており
、ノズルヘッド２を基準位置から所定角度だけ傾ける役割を果たしている。ここで、「基
準位置」とは、ノズルヘッド２のノズル面Ｍが重力方向、すなわち真下を向いている状態
における支持傾斜部３の回動角度０度を意味する。なお、図１は支持傾斜部３を９０度回
転させた状態である。また、ノズルヘッド２は支持傾斜部３に対してボルト等の締結部材
により着脱可能に取り付けられる。

第１液体供給部４と第２液体供給部５は、液体を一時的に収容する部分であり、それら
の液体供給部４，５には、その部内を加圧するための窒素（Ｎ_２）ガス等の加圧手段が設
けられている。また、第１液体供給部４は、第２液体供給部５から液体が供給され、その
液体を供給口Ｈ１からノズルヘッド２内へと供給する。

第２液体供給部５は、例えばＮ_２ガス等を供給することで内部が加圧される。そして、
第２液体供給部５内が加圧されることにより、液体が第１液体供給部４へと供給される。

また第２液体供給部５は、第２液体供給部５が満たされたときの液面と、ノズルヘッド
２を支持傾斜部３により９０度回動させて液体を充填させたときの液面との差（水頭差）
が、生じるように設置し、ノズルヘッド２に負圧がかからないようにする。なお、ノズル
ヘッド２のノズル面Ｍが重力方向、すなわち真下を向いている状態における支持傾斜部３
の回動角度を０度（上記「基準位置」）とする。ちなみに、図１に示すノズルヘッド２の
状態が、支持傾斜部３を基準位置より９０度回動させた状態である。

流量調整手段６は、効率良く液体の供給を行うための手段であり、ノズルヘッド２の液体流路Ｒ内を流れる液体の流量を調整するために、第２液体供給部５と第１液体供給部４の間に設けられており、例えばマスフローコントローラ等を使用する。なお、流量を調整する際は、キャップＣの空隙Ｃ１に溜められた液体の液面と液体流路Ｒを流れる液体の液面がほぼ同じ高さになるよう適した流量に設定することが望ましい。その理由は以下のような理由による。

図４に示すように、適した流量より小さい場合では、複雑な形状のノズルＮや液室Ｅに
液体が入り込む際に管路抵抗が生じるため、ノズルＮや液室Ｅに液体が入り込む圧力が小
さく、時間がかかり、液体流路Ｒ内の方に早く液体が供給される。その結果、ノズルＮや
液室Ｅにおいて、液体が入り込んでいない部分が出てくる。また、供給口Ｈ１側のノズル
Ｎや液室Ｅに液体が入り込んだ所から空隙Ｃ１へと液体が吐出し、空隙Ｃ１内に溜まった
液体が、まだ液体が入り込んでいない所を塞いでしまい、気泡が閉じ込められてしまう。
なお、ノズルＮは口径が小さいため、空隙Ｃ１内に溜まった液体が入り込むことは困難で
ある。

図５に示すように、適した流量より大きい場合では、ノズルＮや液室Ｅに入り込むため
の圧力は有するが、液体流路Ｒ内の方に早く液体が供給される。液体流路Ｒ内に早く液体
が供給されると、排出口Ｈ２側のノズルＮや液室Ｅに液体を供給するための圧力損失が起
こる。圧力損失が起こる理由としては、液体流路Ｒ内を流れる際に生じる摩擦等によるた
めである。そのため、排出口Ｈ２側のノズルＮや液室Ｅへと液体が入り込むのが遅くなる
。一方、供給口Ｈ１側のインクが入り込んだ所から液体が吐出して空隙Ｃ１内に溜まり、
まだ液体が入り込んでない所を塞ぎ、気泡を閉じ込めてしまう。

図６に示すように、適した流量の場合では、摩擦等による圧力損失が無く、一定の圧力
で液体を供給することができるので、供給口Ｈ１側のズルＮや液室Ｅから順次、排出口Ｈ
２側のノズルＮや液室Ｅに液体が入り込み、また液体が入り込んでいない所を塞ぐことな
く空隙Ｃ１内の液体が溜まっていく。

以上の理由から、キャップＣの空隙Ｃ１に溜められた液体の液面と液体流路Ｒを流れる
液体の液面がほぼ同じ高さになるよう適した流量に設定することが望ましいことが分かる
。なお、適した流量は、液体の粘度や液体流路Ｒ、液室Ｅの形状等の条件により異なるの
で、充填に際しては予め求めておく必要がある。

切り替え部は、第１コック７ａ、第２コック７ｂ、第３コック７ｃ、第４コック７ｄと
で構成される。

図７に示すように、第１コック７ａは、第１液体供給部４とノズルヘッド２の間に設け
られ、第１液体供給部４内と第２液体供給部５内に液体が満たされるまで閉じており、こ
れらの液体供給部４、５内が液体で満たされると開かれる。

第２コック７ｂは、第１液体供給部４と流量調整手段６の間に設けられ、第１液体供給
部４と第２液体供給部５への液体の供給開始から、ノズルヘッド２内の液体の充填が終了
するまで開いており、ノズルヘッド２内への液体の充填が終了すると閉じる。

第３コック７ｃは、排出口Ｈ２から排出される液体の調整を行っており、ノズルヘッド
２に供給された液体が排出口Ｈ２から排出されるまで開き、液体が排出されると閉じる。

第４コック７ｄは、第１液体供給部４内の圧力を高くする、例えばＮ_２ガス等の供給の
調整を行っている。第４コック７ｄは、ノズルヘッド２内の液体の充填が終わるまで閉じ
ており、ノズルヘッド２内への液体の充填が終わると開かれる。

次に、上記構造のノズルヘッド充填装置１において、ノズルヘッド２に液体を充填する
方法について、図８を参照して説明する。まず第１液体供給部４と第２液体供給部５内を
液体で満たす。この時、第１コック７ａと第４コック７ｄは閉じており、第２コック７ｂ
と第３コック７ｃは開いた状態である（ステップＳ１）。

そして、第１液体供給部４と第２液体供給部５内が液体で満たされると、支持傾斜部３
により、ノズルヘッド２を基準位置から９０度回動させ、図１に示すように、ノズル面Ｍ
を横向きにする。なお、支持傾斜部３の回動方向は、図１中の時計回り方向をプラスとし
ている（ステップＳ２）。

その後、ノズルヘッド２に液体を供給するため、第２液体供給部５に例えばＮ_２ガス等
の気体を供給して加圧する。そして、第２液体供給部５から第１液体供給部４へ液体を供
給する際は、流量調整手段６により流量を調整しながら供給する。そして、第１液体供給
部４は第２液体供給部５から供給された液体で加圧され、ノズルヘッド２の供給口Ｈ１へ
と液体を供給する（ステップＳ３）。

次に、ノズルヘッド２の排出口Ｈ２からインクの排出がみられると、第３コック７ｃを
閉め、第１液体供給部４から供給される液体により加圧し、ノズルＮや液室Ｅ内の気泡を
キャップＣへと排出すると同時にキャップＣ内を液体で満たす。キャップＣ内を液体で満
たすことにより、キャップＣ内の気泡がノズルＮや液室Ｅに入り込むのを防ぐためである
（ステップＳ４）。

その後、第２コック７ｂを閉じ、第４コック７ｄを開き、第１液体供給部４に、例えば
Ｎ_２ガス等の気体を供給して加圧して液体を送り出して、ノズルヘッド２内を加圧させ、
支持傾斜部３を基準位置の０度に戻し、ノズルヘッド２に設けられているキャップＣを取
り外し、液体の充填を終える（ステップＳ５）。

［実施例］
次に、本実施形態の実施例について説明する。本実施例では、ノズルヘッド２に充填す
る液体として粘度が２．４ｃＰのＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を使用した。またノ
ズルヘッド２は、ノズル径３５μｍのノズルＮが２５６本、設けられたものを使用した。

まず、第１液体供給部４及び第２液体供給部５に液体を満たし、ノズルヘッド２を支持
傾斜部３により９０度回動させた。そして、第２液体供給部５内が１００ｋＰａ以上の圧
力になるようにＮ_２ガスを供給し、また第２液体供給部５から第１液体供給部４に供給さ
れる液体の流量が約３ｍｌ／ｍｉｎになるように流量調整手段６により調整し、第２液体
供給部５から第１液体供給部４へ液体を供給した。また同時に第１液体供給部４からノズ
ルヘッド２へ流量約３ｍｌ／ｍｉｎで液体を供給した。流量を約３ｍｌ／ｍｉｎになるよ
うに調整する理由を以下に説明する。

流量の値を、２ｍｌ／ｍｉｎ、３ｍｌ／ｍｉｎ、４ｍｌ／ｍｉｎ、５ｍｌ／ｍｉｎにそ
れぞれ設定し、支持傾斜部３が９０度の位置まで回動するステップＳ２、ノズルヘッド２
に液体を供給して充填するステップＳ３、そして排出口Ｈ２から液体が出るまでの流量と
時間について測定を行った。その結果を図９乃至図１２に示す。

図９は流量が２ｍｌ／ｍｉｎの場合の結果で、スタートから約７０秒間は支持傾斜部３
が回動し、約７０〜１７０秒までの１００秒間はノズルヘッド２に液体を供給して充填を
行い、それ以降は排出口Ｈ２から液体が排出されていることを示している。

図１０は流量が３ｍｌ／ｍｉｎの場合の結果で、スタートから約６０秒間は支持傾斜部
３が回動し、約６０〜２３０秒までの１７０秒間はノズルヘッド２に液体を供給して充填
を行い、それ以降は排出口Ｈ２から液体が排出されていることを示している。

図１１は流量が４ｍｌ／ｍｉｎの場合の結果で、スタートから約７０秒間は支持傾斜部
３が回動し、約７０〜１２０秒までの５０秒間はノズルヘッド２に液体を供給して充填を
行い、それ以降は排出口Ｈ２から液体が排出されていることを示している。

図１２は流量が５ｍｌ／ｍｉｎの場合の結果で、スタートから約６５秒間は支持傾斜部
３が回動し、約６５〜１００秒までの３５秒間はノズルヘッド２に液体を供給して充填を
行い、それ以降は排出口Ｈ２から液体が排出されていることを示している。

上述の２〜５ｍｌ／ｍｉｎの結果の中で、ノズルヘッド２に液体を供給している時間を
比較すると、液体の供給時間は、３ｍｌ／ｍｉｎの場合が最も長く、５ｍｌ／ｍｉｎの場
合が最も短い。これは、液体流路Ｒ内を流れる液体の速度が速く、液体を供給するための
圧力が液室ＥやノズルＮに対してより、液体流路Ｒを流れる方に対して費やされているこ
とが分かる。これは４ｍｌ／ｍｉｎの場合でも同じことが言える。

また、３ｍｌ／ｍｉｎより流速の遅い２ｍｌ／ｍｉｎの方が、供給時間が短い理由とし
て、複雑な形状のノズルＮや液室Ｅに液体が入り込む際に管路抵抗が生じ、ノズルＮや液
室Ｅに液体が入り込む圧力が小さいために時間がかかり、液体流路Ｒ内の方が早く液体が
供給され、結果的に３ｍｌ／ｍｉｎよりも早く液体が排出口Ｈ２から排出されたことが分
かる。以上の理由から、流量が約３ｍｌ／ｍｉｎの場合が特に望ましいと言える。

その後、ノズルヘッド２の排出口Ｈ２から液体を流出させ、キャップＣ内を液体で満たした後、第１液体供給部４内が約２０ｋＰａになるようにＮ２ガスを供給して液体をノズルヘッド２内に供給し、ノズルヘッド２内を加圧する。そして、加圧を行いながら支持傾斜部３を基準位置の０度に戻してキャップＣを取り外す。

実際に、従来のノズルヘッド充填装置１０１で充填した後、吐出の確認を１０回行った
場合では、３〜４回の確率で全てのノズルから液体が吐出されない不具合が確認された。
これに対して、本実施形態のノズルヘッド充填装置１を使用し、特に望ましい流速の条件
で充填し、吐出の確認を同様に行った場合では、同様の吐出不良は１回以下に減少するこ
とが確認できた。このことから、本実施形態の方が、ノズルＮ内に気泡が発生して吐出不
良を引き起こす割合が低減していることが分かる。

以上説明したように、本発明の実施形態によれば、キャップＣはノズルヘッド２のノズ
ル面Ｍに密着せずに、ノズルＮから吐出した液体を貯留する空隙Ｃ１を有する。従って、
ノズルＮや液室Ｅに液体を供給する際、ノズルＮや液室Ｅの気体が空隙Ｃ１に排出される
ため、キャップＣをノズルヘッド２のノズル面Ｍに密着させた場合に比べて、ノズルＮや
液室Ｅに液体を供給し易く、また気体が閉じ込められなくなり、ノズルＮや液室Ｅ内に気
泡が生じることを低減することができる。

更に第２液体供給部５と第１液体供給部４の間に流量調整手段６を設け、且つ適した流
量を供給することで、供給口Ｈ１側のズルＮや液室Ｅから順次、排出口Ｈ２側のノズルＮ
や液室Ｅに、気泡の発生を低減させながら液体を供給することができる。そのため、より
一層、ノズルＮや液室Ｅ内に気泡が生じることを低減することができる。また、ノズルヘ
ッド２を回動させる回数が従来の技術より少ないため、充填にかかる時間を短縮させる効
果が期待できる。

なお、本発明は各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるも
のではない。

１，１０１…ノズルヘッド充填装置
２，１０２…ノズルヘッド
２ａ，１０２ａ…本体
２ｂ，１０２ｂ…ノズルプレート
３，１０３…支持傾斜部
４…第１液体供給部
５…第２液体供給部
６…流量調整手段
７ａ…第１コック
７ｂ…第２コック
７ｃ…第３コック
７ｄ…第４コック
１０４…液体供給部
Ｃ，Ｃ´…キャップ
Ｃ１…空隙
Ｒ，Ｒ´…液体流路
Ｅ，Ｅ´…液室
Ｎ，Ｎ´…ノズル
Ｂ…気泡
Ｚ…軸心
Ｈ１…供給口
Ｈ２、Ｈ３…排出口
Ｍ…ノズル面
Ｍ１…ノズルヘッド本体の一面
Ｍ２…ノズルヘッド本体の反対面

Claims (11)

1. 複数のノズルが形成されたノズル面、前記複数のノズルにそれぞれ連通し、液体を収納する複数の液室、及び前記液室に液体を供給・排出する液体流路を有するノズルヘッドと、
   前記ノズルヘッドに着脱可能に取り付けられ、前記ノズル面との間に空隙を有して前記ノズルを覆うキャップと、
   前記液体流路に供給する液体を収容する液体供給部と、
   前記液体供給部に接続し、前記ノズル面が横向きの時、前記キャップの前記空隙内に供給される液体により液体が供給されていないノズルを塞がないように液体の流量を調整する流量調整手段と、
   を備えることを特徴とするノズルヘッド充填装置。
2. 前記流量調整手段は、前記キャップの前記空隙に溜められた液体の液面と、前記液体流路を流れる液体の液面とがほぼ同じ高さとなるように流量を調整することを特徴とする請求項１に記載のノズルヘッド充填装置。
3. 前記液体供給部は、前記液体流路に供給する液体を収容する第１液体供給部と前記第１液体供給部に供給する液体を収容する第２液体供給部とを備え、
   更に、前記第１液体供給部と前記第２液体供給部との間に流量調整手段を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のノズルヘッド充填装置。
4. 前記ノズルヘッドを支持し、回動する支持傾斜部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３記載のノズルヘッド充填装置。
5. 前記キャップが排出口を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４記載のノズルヘッド充填装置。
6. 前記流量調整手段は、マスフローコントローラであることを特徴とする請求項１乃至請求項５記載のノズルヘッド充填装置。
7. 請求項１記載のノズルヘッド充填装置において、
   前記ノズル面を横向きにし、前記流量調整手段により、前記キャップの前記空隙内に供給される液体が、液体が供給されていないノズルを塞がないように流量を調整しながら前記液室及び前記ノズル内に液体を供給する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルヘッドの充填方法。
8. 前記流量調整手段により前記キャップの前記空隙に溜められた液体の液面と、前記液体流路を流れる液体の液面とがほぼ同じ高さとなるように流量を調整することを特徴とする請求項７に記載のノズルヘッドの充填方法。
9. 前記ノズルヘッド充填装置の前記液体供給部は、前記液体流路に供給する液体を収容する第１液体供給部と前記第１液体供給部に供給する液体を収容する第２液体供給部とを備え、更に、前記第１液体供給部と前記第２液体供給部との間に流量調整手段を備えてなり、
   前記液室及び前記ノズル内に液体を供給する工程は、前記流量調整手段により前記第２液体供給部から前記第１液体供給部に供給する液体の流量を調整することにより行うことを特徴とする請求項７又は請求項８記載のノズルヘッドの充填方法。
10. 更に、前記ノズルヘッドを支持し、回動する支持傾斜部を有しており、
    前記支持傾斜部により前記ノズルヘッドを回動させて前記ノズル面を横向きにし、前記液体供給部から前記液体流路に液体を供給する工程を含むことを特徴とする請求項７乃至請求項９記載のノズルヘッドの充填方法。
11. 前記液室及び前記ノズル内に液体を供給する工程は、前記液体流路に対する液体供給側の前記液室及び前記ノズルから液体排出側の前記液室及び前記ノズルに向かって、順次、行うことを特徴とする請求項７乃至請求項１０記載のノズルヘッドの充填方法。

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