JP2020531900A - 露光システムアライメントおよび較正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- チャック上の基準マークの画像を撮像することと、
前記チャック上の前記基準マークの初期位置を特定することと、
前記基準マークの初期位置から基準モデルを作成することと、
基準プレート上のアライメントマークの画像を撮像することと、
前記基準プレート上の前記アライメントマークの位置を特定することと、
前記アライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成することと、
前記基準モデルおよび前記基準プレートモデルからマッピングモデルを作成することと
を含む、方法。 - 前記マッピングモデルを作成することが、
基準マークの位置におけるシフトの逆を適用することと、
前記基準プレートモデルに基づいて、前記基準プレートにおけるシフトを適用することと
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記マッピングモデルを使用して少なくとも1つのブランクプレート上に第1の層を印刷することと、
前記基準マークの画像を再び撮像することと、
前記基準マークの後の位置を特定することと
前記基準マークの後の位置を前記基準マークの初期位置と比較することと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記基準マークが前記チャックから除去可能である、請求項1に記載の方法。
- アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第2の装置で使用するように設計された第2の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記アクティブな基準マーク位置と前記基準マークの初期位置との差に基づいて、バリエーションモデルを作成することと、
前記バリエーションモデルおよび前記マッピングモデルに基づいて、アクティブなアライメントモデルを作成することと、
補正モデルとして前記アクティブなアライメントモデルの逆を適用することと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - チャック上の基準マークの初期位置から基準モデルを作成することと、
第1の基準プレート上のアライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成することと、
前記基準モデルおよび前記基準プレートモデルからマッピングモデルを作成することと
を含む、方法。 - アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第2の装置で使用するように設計された第2の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記アクティブな基準マーク位置と前記基準マークの初期位置との差に基づいて、バリエーションモデルを作成することと、
前記バリエーションモデルおよび前記マッピングモデルに基づいて、アクティブなアライメントモデルを作成することと、
補正モデルとして前記アクティブなアライメントモデルの逆を適用することと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 前記基準モデルを作成することが、
前記チャック上の基準マークの画像を撮像することと、
前記チャック上の前記基準マークの初期位置を特定することと
を含み、
前記基準プレートモデルを作成することが、
基準プレート上のアライメントマークの画像を撮像することと、
前記基準プレート上の前記アライメントマークの位置を特定することと
を含む、請求項6に記載の方法。 - アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第2の装置で使用するように設計された第2の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記第2の基準プレートからの前記アライメントマークを、メモリに保存することと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 基準マークの初期位置から基準モデルを作成することが、
前記チャックをX方向にスキャンすることと、
前記基準マークの画像を撮像することと、
隣接するアイに移動することと、
前記基準マークの全ての画像が撮像されるまで、前記スキャン及び前記移動を繰り返すことと、
前記基準マークの位置を計算することと、
前記基準マークの位置をメモリに保存することと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - アライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成することが、
前記第1の基準プレートをX方向にスキャンすることと、
前記アライメントマークの画像を撮像することと、
隣接するアイへ移動することと、
前記アライメントマークの全ての画像が撮像されるまで、前記スキャン及び移動を繰り返すことと、
前記アライメントマークの位置を計算することと、
前記アライメントマークの位置をメモリに保存することと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第2の装置で使用するように設計された第2の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記アクティブな基準マーク位置と前記基準マークの初期位置との差に基づいて、バリエーションモデルを作成することと、
前記バリエーションモデルおよび前記マッピングモデルに基づいて、アクティブなアライメントモデルを作成することと、
補正モデルとして前記アクティブなアライメントモデルの逆を適用することと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - チャック上の基準マークの画像を撮像することと、
前記チャック上の前記基準マークの初期位置を特定することと、
前記基準マークの初期位置をメモリに保存することと、
基準プレート上のアライメントマークの画像を撮像することと、
前記基準プレート上の前記アライメントマークの位置を特定することと、
前記アライメントマークの位置をメモリに保存することと
を含む、方法。 - 少なくとも1つのブランクプレート上に印刷することと、
前記チャック上の前記基準マークの画像を再び撮像することと、
前記基準マークの後の位置を特定することと、
前記基準マークの後の位置を前記基準マークの初期位置と比較することと
をさらに含む、請求項13に記載の方法。 - 前記基準マークの位置および前記アライメントマークの位置に基づいて、基準ツールモデルを作成することをさらに含む、請求項13に記載の方法。
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