JP2020522457A - 単結晶の磁場印加引き上げに用いられる磁性体、および単結晶の磁場印加引き上げ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1電流リードは第1銅線端と、前記第1銅線端に接続される第1超電導端とを含み、前記第1超電導端は前記低温液体内に延在し、前記複数のコイルが直列に接続された正極ポートに接続されることを含む。
前記第2電流リードは第2銅線端と、前記第2銅線端に接続される第2超電導端とを含み、前記第2超電導端は前記低温液体内に延在し、前記複数のコイルが直列に接続された負極ポートに接続されることを含む。
前記コールドヘッド1段は、前記第1電流リードおよび前記第2電流リードを冷却するように構成され、前記コールドヘッド2段は、前記低温容器内の低温液体を凝縮するように構成される。
単結晶炉の外部に、上記磁性体を配置し、前記磁性体に通電することと、
前記単結晶炉内に、インゴットが載置されたルツボを加熱する加熱器を配置することと、
CZ法により、単結晶シリコンを取得することと、を含む、
単結晶の磁場印加引き上げ方法を更に提供する。
20 加熱器
30 ルツボ
1 コイル
11 1次コイル
12 2次コイル
2 低温容器
21 第1電流リード
22 第2電流リード
23 逃がしバルブ
25 信号線インタフェース
26 真空バルブ
24 冷凍機
241 コールドヘッド1段
242 コールドヘッド2段
Claims (15)
- 複数のコイル(1)を備え、前記複数のコイル(1)が、直列に接続され、且つ、単結晶炉(10)の外周を囲むように配置され、前記複数のコイル(1)のうち、対向して配置された2つのコイル(1)が前記単結晶炉(10)の中心軸を中心として対称に配置され、且つ、各前記コイル(1)の中心軸が前記単結晶炉(10)の中心点を通過し、各前記コイル(1)は、同軸に配置された1次コイル(11)および2次コイル(12)を含み、前記2次コイル(12)は、前記1次コイル(11)に対して前記単結晶炉(10)から離れるように配置され、
前記コイル(1)に通電すると、前記1次コイル(11)内の電流方向と前記2次コイル(12)内の電流方向とは逆となる、
単結晶の磁場印加引き上げに用いられる磁性体。 - 前記1次コイル(11)と前記2次コイル(12)との間に、所定の距離が設けられている、
請求項1に記載の磁性体。 - 各前記コイル(1)の中心軸は、前記単結晶炉(10)の中心軸に直交する、
請求項1または2に記載の磁性体。 - 各前記コイル(1)の中心軸は、前記単結晶炉(10)の中心軸と第1角度をなす、
請求項1または2に記載の磁性体。 - 前記複数のコイル(1)のうち、各2つの隣接する前記コイル(1)の中心軸間の角度は同じである、
請求項1から4のいずれか1項に記載の磁性体。 - 前記複数のコイル(1)のうち、各2つの隣接する前記コイル(1)の中心軸の間に、角度が形成され、且つ、隣接する前記角度は異なり、対向する前記角度は同じである、
請求項1から4のいずれか1項に記載の磁性体。 - 前記複数のコイル(1)の数は4つであり、前記4つのコイル(1)のうちの2つのコイル(1)が前記単結晶炉(10)の第1側に配置され、前記4つのコイル(1)のうちの他の2つのコイル(1)が前記単結晶炉(10)の第2側に対向して配置される、
請求項6に記載の磁性体。 - 前記4つのコイル(1)のうちの前記単結晶炉(10)の第1側にある隣接する2つのコイル(1)の中心軸間の角度、および前記4つのコイル(1)のうちの前記単結晶炉(10)の第2側にある隣接する2つのコイル(1)の中心軸間の角度は、いずれも所定の角度であり、
前記所定の角度の範囲は50°〜70°である、
請求項7に記載の磁性体。 - 前記複数のコイル(1)は超電導コイルである、
請求項1から8のいずれか1項に記載の磁性体。 - 前記単結晶炉(10)の周辺に配置される低温容器(2)を更に備える、
請求項1から9のいずれか1項に記載の磁性体。 - 前記低温容器(2)内に低温液体が充填され、前記複数のコイル(1)が前記低温液体内に置かれている、
請求項10に記載の磁性体。 - 第1電流リード(21)の常温端が電源の正極に接続され、前記第1電流リード(21)の超電導端が前記コイルの正極ポートに接続されることと、
第2電流リード(22)の常温端が前記電源の負極に接続され、前記第2電流リード(22)の超電導端が前記コイルの負極ポートに接続されることと、を更に含む、
請求項10または11に記載の磁性体。 - 前記第1電流リード(21)の超電導端が前記コイルの正極ポートに接続されることは、
前記第1電流リード(21)は第1銅線端と、前記第1銅線端に接続される第1超電導端とを含み、前記第1超電導端は前記低温液体内に延在して前記コイルの正極ポートに接続されることを含み、
前記第2電流リード(22)の超電導端が前記コイルの負極ポートに接続されることは、
前記第2電流リード(22)は第2銅線端と、前記第2銅線端に接続される第2超電導端とを含み、前記第2超電導端は前記低温液体内に延在して前記コイルの負極ポートに接続されることを含む、
請求項12に記載の磁性体。 - 前記低温容器(2)に冷凍機(24)が配置され、冷凍機(24)に、上から下へ順次配置されたコールドヘッド1段(241)およびコールドヘッド2段(242)が設けられ、
前記コールドヘッド1段(241)は、前記第1電流リード(21)および前記第2電流リード(22)を冷却するように構成され、
前記コールドヘッド2段(242)は、前記低温容器(2)内の低温液体を凝縮するように構成される、
請求項12または13に記載の磁性体。 - 単結晶炉(10)の外部に、請求項1から14のいずれか1項に記載の磁性体を配置し、前記磁性体に通電することと、
前記単結晶炉(10)内に、インゴットが載置されたルツボ(30)を加熱する加熱器(20)を配置することと、
CZ法により、単結晶シリコンを取得することと、を含む、
単結晶の磁場印加引き上げ方法。
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