JP2020522127A5

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Info

Publication number: JP2020522127A5
Application number: JP2019564033A
Authority: JP
Filing date: 2017-12-11
Publication date: 2021-01-28
Anticipated expiration: 2037-12-11

Claims

少なくとも１個のセットアップパラメタに関しゾーナル分析を用いレシピセットアップ手順を実行するステップと、
少なくとも１個の計量指標に関し前記ゾーナル分析を用い計量ツールで計量計測を実行するステップと、
を有し、
前記ゾーナル分析が少なくとも１つのウェハに亘る前記少なくとも１個のセットアップパラメタの空間変数値を含み、前記ゾーナル分析が前記レシピセットアップ手順のランク付けフェーズ中に適用され、前記ゾーナル分析が少なくともウェハ中心をウェハエッジから区別するよう構成された同心ゾーン群に関して実行される、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記ゾーナル分析が前記レシピセットアップ手順のデータ収集フェーズ中と詳細標本化フェーズ中の少なくともいずれかに用いられる、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記少なくとも１個のセットアップパラメタが複数個のセットアップパラメタを含み、前記ゾーナル分析が相異なるパラメタに関する相異なるウェハゾーンを含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記少なくとも１個のセットアップパラメタが、感度、少なくとも１個の正確性指示子、少なくとも１個の目標品質指示子、少なくとも１個の性能指示子及び少なくとも１個のプロセス指示子のうちいずれかを含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記少なくとも１個の計量指標が複数個の計量指標を含み、前記ゾーナル分析が相異なる指標に関する相異なるウェハゾーンを含む、方法。
請求項５に記載の方法であって、前記少なくとも１個の計量指標が、オーバレイ、残差、ツール性能パラメタ及び質指標のうちいずれかを含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記少なくとも１個の計量指標が、オーバレイ、残差、ツール性能パラメタ及び質指標のうちいずれかを含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記ゾーナル分析が空間連続様式で実行される、方法。
請求項８に記載の方法であって、前記ゾーナル分析が可調スペクトル照明に関して実行され、前記少なくとも１個のセットアップパラメタが照明波長を含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記ゾーナル分析が複数のウェハに関して実行される、方法。
請求項１に記載の方法であって、少なくとも部分的に、少なくとも１個のコンピュータプロセッサにより実行される、方法。
非一時的コンピュータ可読格納媒体を備えるコンピュータプログラム製品であって、前記非一時的コンピュータ可読格納媒体が、前記コンピュータプログラム製品によって体現されるコンピュータ可読プログラムを有し、該コンピュータ可読プログラムが請求項１に記載の方法を実行するよう構成されている、コンピュータプログラム製品。
請求項１２に記載のコンピュータプログラム製品を備える計量モジュール。