JP2020521975A - ひずみゲージならびにこうしたひずみゲージを有する金属帯 - Google Patents
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Abstract
Description
箔ひずみゲージの複数の測定格子を共通の基板上でラテラル方向に相並ぶように設けることは、従来技術から公知である。箔ひずみゲージの測定格子は、同じ配向方向または異なる配向方向を有することができ、後者はロゼットひずみゲージとしても公知である。全ての箔ひずみゲージに対して、抵抗素子から成る1つの測定格子が共通に存在しており、当該抵抗素子は、例えば予めプラスチック基板にラミネートされたコンスタンタン箔からエッチングプロセスを用いて形成される。このような箔ひずみゲージは製造の点で比較的複雑であり、また、抵抗素子間の短絡を回避するため、(エッチングプロセスに基づいて)相互に相対的に離間されて配置された測定格子が要求される。
したがって、本発明は、冒頭に言及した形式の複数の測定格子を有するひずみゲージが低コストに製造可能となり、かつまたその測定データが温度障害量(Temperaturstoergroesse)に対してロバストに評価可能となるよう、当該ひずみゲージを構造的に変更することを課題とする。
図1および図1aに例として示した、第1の実施例によるひずみゲージ1は、第1の測定格子2と第2の測定格子3とを有する。第1の測定格子2は2つの端子20.1,20.2間に展開されており、第2の測定格子3は2つの電気端子30.1,30.2間に展開されており、ここで、2つの測定格子2,3は、終端部側で端子20.2,30.2へ短絡されている。2つの測定格子2,3は、基板4上に設けられており、共通の平面9に配置されている。図1および図1aから見て取れるように、当該測定格子2,3は、ラテラル方向で相並ぶように基板4上に設けられている。
R(ε,T)=RT0(1+kε+α1(T−T0))
により記述可能である。ここで、RT0は基準温度T0でひずみのない場合の各測定格子の定格抵抗であり、kはk係数であり、αは温度係数であり、εはひずみであり、Tは測定格子の温度である。ここで、測定格子102,103への適用から、2つの方程式と2つの未知の量すなわち温度およびひずみとから成る方程式系、すなわち
R102(ε,T)=R102,T0(1+k1ε+α1(T−T0))
R103(ε,T)=R103,T0(1+k2ε+α2(T−T0))
が得られる。当該方程式系を解くことにより、測定格子102,103に共通の温度およびひずみを計算することができる。
Claims (15)
- 第1の測定格子(2,102)、第2の測定格子(3,103)、および該2つの測定格子(2,3または102,103)を共通の平面(9)に配置した基板(4)を有する、ひずみゲージにおいて、
前記多層基板(4)は、金属層(5)と電気絶縁層(6)とを有し、
前記電気絶縁層(6)上に、ピエゾ抵抗材料(10.1,10.2)から成る前記2つの測定格子(2,3または102,103)が被着されている、
ことを特徴とするひずみゲージ。 - 前記第2の測定格子(3)は、前記第1の測定格子(2)に対して直角に配向され、前記第1の測定格子(2)のひずみ測定値を温度補償するための受動の測定格子(3)として構成されており、このために前記2つの測定格子(2,3)は同じピエゾ抵抗材料(10)から成る、
請求項1記載のひずみゲージ。 - 前記第1の測定格子(2)と前記第2の測定格子(3)とは、等しい定格抵抗(R0)を有する、
請求項2記載のひずみゲージ。 - 前記第1の測定格子(2)および前記第2の測定格子(3)は、それぞれ少なくとも1つの蛇行状に延在する格子区間(2.1,2.2,2.3,2.4または3.1,3.2,3.3,3.4)を有し、前記第1の測定格子(2)の1つの格子区間(2.1,2.2,2.3)は、前記第2の測定格子(3)の2つの格子区間(3.1,3.2または3.2,3.3または3.3,3.4)の間に配置されている、
請求項2および3のいずれか1項記載のひずみゲージ。 - 前記測定格子(2,3)のそれぞれは、蛇行状に延在する複数の格子区間(2.1,2.2,2.3,2.4または3.1,3.2,3.3,3.4)を有し、該格子区間(2.1,2.2,2.3,2.4または3.1,3.2,3.3,3.4)は交互に連続するように配置されている、
請求項4記載のひずみゲージ。 - 前記第1の測定格子(2)の格子区間(2.1,2.2,2.3,2.4)は、複数の、特には2つの、相並んで延在する蛇行列(7,8)を有する、
請求項4または5記載のひずみゲージ。 - 第2の格子区間(3.1,3.2,3.3,3.4)の少なくとも1つの格子幅(b3.1,b3.2,b3.3,b3.4)に対する第1の格子区間(2.1,2.2,2.3,2.4)の少なくとも1つの格子長さ(l2.1,l2.2,l2.3,l2.4)の比は、1:0.75から1:1.25であり、好ましくは1:0.9から1:1.1であり、特には1:1である、
請求項4から6までのいずれか1項記載のひずみゲージ。 - 各前記測定格子(2,3)の前記格子区間(2.1,2.2,2.3,2.4または3.1,3.2,3.3,3.4)は、同様に延在するように、特には等しく、構成されている、
請求項4から7までのいずれか1項記載のひずみゲージ。 - 前記第1の測定格子(102)と前記第2の測定格子(103)とは同方向に配向されており、かつ能動の測定格子(102,103)として、相互に異なる温度係数(α1,α2)と相互に異なるひずみ係数(k1,k2)とを有するそれぞれ1つのピエゾ抵抗材料を有する、
請求項1記載のひずみゲージ。 - 前記第1の測定格子(102)および前記第2の測定格子(103)は、蛇行状に延在するそれぞれ1つの格子区間(102.1,103.1)を有する、
請求項9記載のひずみゲージ。 - 前記格子区間(102.1,103.1)は、組み合うように配置されて同様に延在している、
請求項10記載のひずみゲージ。 - 前記2つの測定格子(102,103)は2重蛇行状に延在している、
請求項9から11までのいずれか1項記載のひずみゲージ。 - 前記基板(4)の前記金属層(4.1)は、アルミニウムテープ、または鋼テープ、またはアルミニウムもしくは鋼から成るシートである、
請求項1から12までのいずれか1項記載のひずみゲージ。 - 前記基板(4)の前記電気絶縁層(6)は、プライマー、または絶縁レジスト層、または有機もしくは無機のプレコーティングである、
請求項1から13までのいずれか1項記載のひずみゲージ。 - コーティングと、請求項1から14までのいずれか1項記載のひずみゲージ(1,100)とを有する金属帯であって、
前記金属帯は、前記ひずみゲージ(1,100)の前記基板(4)の金属層(5)を形成しており、前記コーティングは、前記ひずみゲージ(1,100)の前記基板(4)の電気絶縁層(6)を形成している、金属帯。
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