JP2020521633A - ノズル装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 90
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 83
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000012377 drug delivery Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- YTAHJIFKAKIKAV-XNMGPUDCSA-N [(1R)-3-morpholin-4-yl-1-phenylpropyl] N-[(3S)-2-oxo-5-phenyl-1,3-dihydro-1,4-benzodiazepin-3-yl]carbamate Chemical compound O=C1[C@H](N=C(C2=C(N1)C=CC=C2)C1=CC=CC=C1)NC(O[C@H](CCN1CCOCC1)C1=CC=CC=C1)=O YTAHJIFKAKIKAV-XNMGPUDCSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- -1 oxide Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 44
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 18
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 10
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 7
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 6
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 5
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 4
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 150000002605 large molecules Chemical class 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05B15/40—Filters located upstream of the spraying outlets
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
- B01D63/08—Flat membrane modules
- B01D63/089—Modules where the membrane is in the form of a bag, membrane cushion or pad
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- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
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Abstract
Description
ノズル装置は液体を霧化するように、すなわち液体のエアロゾルを作るように構成され得る。この種のノズル装置は基板を含み得る。基板は、霧化すべき液体に含まれている好ましくない大きな粒子を濾過して除去するためのフィルタが設けられているフィルタ側を有する。基板は、複数のオリフィスを有する噴霧膜が設けられている噴霧側も有し得る。噴霧膜およびフィルタは液体連通するように構成される。霧化処理では、液体はまずフィルタを通過し、ここでわずかな圧力降下が得られる。濾過された液体は次に膜のオリフィスを通過することによって、液体が霧化される。
上記に鑑みて、本開示の全体的な目的は、先行技術の問題を解決するまたは少なくとも緩和するノズル装置を提供することである。
本開示の第3の局面によると、液体を霧化するためのノズル装置を製造する方法が提供され、当該方法は、a)第1のウェハを設けることと、c)第1のウェハの第1の側にシーブ側膜層を設けることと、d)シーブ側膜層にシーブ側オリフィスを設けることによってシーブ側膜を得ることと、e)シーブ側膜まで延在する第1のキャビティ部を第1のウェハに設けることと、f)第2のウェハを設けることと、h)第2のウェハの第1の側に噴霧側膜層を設けることと、i)噴霧側膜層に噴霧側オリフィスを設けることによって噴霧側膜を得ることと、j)噴霧側膜まで延在する第2のキャビティ部を第2のウェハに設けることと、k)第1のウェハの第2の側を第2のウェハの第2の側に接合することよって基板を形成することとを含み、シーブ側膜はノズル装置のシーブ側を形成し、噴霧側膜はノズル装置の噴霧側を形成し、その結果、第2のキャビティ部は第1のキャビティ部から噴霧側膜まで延在することによって、シーブ側オリフィスと噴霧側オリフィスとの間に流体連通軸に沿った流体連通を提供し、第1のキャビティ部の断面積は第2のキャビティ部の断面積よりも大きく、当該断面は流体連通軸に対する断面である。
一実施形態によると、ステップj)は第2のウェハに複数の第2のキャビティ部を設けることを含み、複数の第2のキャビティ部の各々は噴霧側膜まで延在する。
例示的な実施形態が示されている添付の図面を参照して、発明の概念を以下にさらに詳しく説明する。しかし、発明の概念は多くの異なる形態で具体化されてもよく、本明細書に記載される実施形態に限定されると解釈されるべきでない。むしろ、これらの実施形態は、本開示が完全かつ完璧であり、発明の概念の範囲を当業者に十分に伝えるように、一例として提供される。説明全体にわたって同様の番号は同様の要素を指す。
Claims (15)
- 液体を霧化するためのノズル装置(1−1;1−2;1−3)であって、前記ノズル装置(1−1;1−2;1−3)は、
基板(3)と、
複数のシーブ側オリフィス(5a)を備えるシーブ側膜(5)とを備え、前記シーブ側膜(5)は前記基板(3)のシーブ側(3c)に設けられており、前記ノズル装置はさらに、
複数の噴霧側オリフィス(7a)を備える噴霧側膜(7)を備え、前記噴霧側膜(7)は前記基板(3)の噴霧側(3d)に設けられており、
前記基板(3)は、前記シーブ側膜(5)まで延在する第1のキャビティ部(4a)と、前記第1のキャビティ部(4a)から前記噴霧側膜(7)まで延在する第2のキャビティ部(4b)とを有することによって、前記シーブ側オリフィス(5a)と前記噴霧側オリフィス(7a)との間に流体連通軸(9)に沿った流体連通を提供し、前記第1のキャビティ部(4a)の断面積(11)は前記第2のキャビティ部(4b)の断面積(13)よりも大きく、当該断面は前記流体連通軸(9)に対する断面である、ノズル装置。 - 前記第1のキャビティ部(4a)の任意の断面積は前記第2のキャビティ部(4b)の任意の断面積よりも大きい、請求項1に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- 各噴霧側オリフィス(7a)の断面積は、前記シーブ側オリフィス(5a)のうちのいずれかの断面積以上である、請求項1または2に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- シーブ側オリフィス(5a)の数は噴霧側オリフィス(7a)の数よりも多い、前述の請求項のいずれか1項に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- 前記シーブ側オリフィス(5a)が前記シーブ側膜(5)上に占める面積は、前記噴霧側オリフィス(7a)が前記噴霧側膜(7)上に占める面積よりも大きい、前述の請求項のいずれか1項に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- 前記基板(3)は、前記第1のキャビティ部(4a)が設けられている第1のウェハ(3a)と、前記第2のキャビティ部(4b)が設けられている第2のウェハ(3b)とを備え、前記第1のウェハ(3a)および前記第2のウェハ(3b)は互いに接合されて前記基板(3)を形成する、前述の請求項のいずれか1項に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- 前記基板(3)は半導体材料からなる、前述の請求項のいずれか1項に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- 前記シーブ側膜(5)および前記噴霧側膜(7)は、非酸化物セラミック、酸化物、シリコンまたは金属のうちの1つを備える、前述の請求項のいずれか1項に記載のノズル装置(1−1;1−2;1−3)。
- 前記基板(3)は複数の第2のキャビティ部(4b)を備え、前記複数の第2のキャビティ部は前記第1のキャビティ部(4a)から前記噴霧側膜(7)まで延在することよって、前記シーブ側オリフィス(5a)と前記噴霧側オリフィス(7a)との間にそれぞれの流体連通軸(9)に沿った流体連通を提供し、前記第1のキャビティ部(4a)の断面積は前記第2のキャビティ部(4b)のうちのいずれかの断面積よりも大きい、前述の請求項のいずれか1項に記載のノズル装置(1−1;1−3)。
- 前記流体連通軸(9)に対する前記第2のキャビティ部(4b)の全断面積は、前記シーブ側オリフィス(5a)が設けられている前記シーブ側膜(5)の面積よりも小さい、請求項9に記載のノズル装置(1−1;1−3)。
- 請求項1から10のいずれか1項にノズル装置(1−1;1−2;1−3)を備える薬剤送達装置(15)。
- 前記薬剤送達装置(15)は吸入器または点眼器である、請求項11に記載の薬剤送達装置(15)。
- 液体を霧化するためのノズル装置(1−1;1−2;1−3)を製造する方法であって、前記方法は、
a) 第1のウェハ(3a)を設けることと、
c) 前記第1のウェハ(3a)の第1の側にシーブ側膜層を設けることと、
d) 前記シーブ側膜層にシーブ側オリフィス(5a)を設けることによってシーブ側膜(5)を得ることと、
e) 前記シーブ側膜(5)まで延在する第1のキャビティ部(4a)を前記第1のウェハ(3a)に設けることと、
f) 第2のウェハ(3b)を設けることと、
h) 前記第2のウェハ(3b)の第1の側に噴霧側膜層を設けることと、
i) 前記噴霧側膜層に噴霧側オリフィス(7a)を設けることによって噴霧側膜(7)を得ることと、
j) 前記噴霧側膜(7)まで延在する第2のキャビティ部(4b)を前記第2のウェハ(3b)に設けることと、
k) 前記第1のウェハ(3a)の第2の側を前記第2のウェハ(3b)の第2の側に接合することよって基板(3)を形成することとを備え、前記シーブ側膜(5)は前記ノズル装置(1−1;1−2;1−3)のシーブ側を形成し、前記噴霧側膜(7)は前記ノズル装置(1−1;1−2;1−3)の噴霧側を形成し、
その結果、前記第2のキャビティ部(4b)は前記第1のキャビティ部(4a)から前記噴霧側膜(7)まで延在することによって、前記シーブ側オリフィス(5a)と前記噴霧側オリフィス(7a)との間に流体連通軸(9)に沿った流体連通を提供し、前記第1のキャビティ部(4a)の断面積(11)は前記第2のキャビティ部(4b)の断面積(13)よりも大きく、当該断面は前記流体連通軸(9)に対する断面である、方法。 - ステップd)、e)、i)およびj)はエッチングを含む、請求項13に記載の方法。
- ステップj)は前記第2のウェハ(3b)に複数の第2のキャビティ部(4b)を設けることを含み、前記複数の第2のキャビティ部の各々は前記噴霧側膜(7)まで延在する、請求項13または14に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17173695 | 2017-05-31 | ||
EP17173695.2 | 2017-05-31 | ||
PCT/EP2018/063769 WO2018219798A1 (en) | 2017-05-31 | 2018-05-25 | Nozzle device and a method of manufacturing the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020521633A true JP2020521633A (ja) | 2020-07-27 |
JP6944544B2 JP6944544B2 (ja) | 2021-10-06 |
Family
ID=58873735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019566305A Active JP6944544B2 (ja) | 2017-05-31 | 2018-05-25 | ノズル装置およびその製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11383251B2 (ja) |
EP (1) | EP3630365B1 (ja) |
JP (1) | JP6944544B2 (ja) |
KR (1) | KR102366748B1 (ja) |
CN (1) | CN110621411B (ja) |
TW (1) | TWI690345B (ja) |
WO (1) | WO2018219798A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3096089B1 (fr) | 2019-05-14 | 2022-08-05 | Aptar France Sas | Procédé d'assemblage d'une pompe à précompression haute pression |
FR3096090B1 (fr) | 2019-05-14 | 2022-10-28 | Aptar France Sas | Pompe à précompression haute pression |
FR3095968B1 (fr) | 2019-05-14 | 2021-10-01 | Aptar France Sas | Dispositif de distribution de produit fluide |
KR102642086B1 (ko) * | 2019-11-06 | 2024-02-29 | 에스에이치엘 메디컬 아게 | 분사 노즐 칩 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08501979A (ja) * | 1992-09-29 | 1996-03-05 | ベーリンガー インゲルハイム インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 噴霧ノズル及びフィルター並びに噴霧発生装置 |
US20030178507A1 (en) * | 2000-08-28 | 2003-09-25 | Maria Rijn Van Cornelis Johannes | Nozzle device and nozzle for atomisation and/or filtration and methods for using the same |
US20120012105A1 (en) * | 2009-04-23 | 2012-01-19 | Medspray Xmems B.V. | Atomising body, atomising device, inhaler, manufacturing method of manufacturing an atomising body and assembly method for assembling an atomising device |
WO2015194962A1 (en) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | Medspray B.V. | Aerosol or spray device, spray nozzle unit and method of manufacturing the same |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3990797A (en) | 1975-05-27 | 1976-11-09 | Xerox Corporation | Diffraction monitoring of Rayleigh mode jets |
JP2790014B2 (ja) | 1993-09-16 | 1998-08-27 | オムロン株式会社 | 超音波式吸入器用メッシュ部材及びその製造方法 |
AU728998B2 (en) | 1996-07-08 | 2001-01-25 | Corning Incorporated | Rayleigh-breakup atomizing devices and methods of making rayleigh-breakup atomizing devices |
CN1126720C (zh) | 1997-12-19 | 2003-11-05 | 康宁股份有限公司 | 制备金属氧化物烟灰的燃烧器和方法 |
JP3821095B2 (ja) | 2000-10-05 | 2006-09-13 | オムロンヘルスケア株式会社 | 液体噴霧装置 |
KR100400044B1 (ko) | 2001-07-16 | 2003-09-29 | 삼성전자주식회사 | 간격 조절 장치를 가지는 웨이퍼 처리 장치의 샤워 헤드 |
KR100503482B1 (ko) | 2002-12-30 | 2005-07-25 | 삼성전자주식회사 | 경화변형 방지부를 갖는 모노리식 버블-잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
ITTO20080980A1 (it) * | 2008-12-23 | 2010-06-24 | St Microelectronics Srl | Processo di fabbricazione di una membrana di ugelli integrata in tecnologia mems per un dispositivo di nebulizzazione e dispositivo di nebulizzazione che utilizza tale membrana |
JP5157000B1 (ja) | 2012-03-28 | 2013-03-06 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧器用メッシュ |
CN105408028B (zh) | 2013-07-22 | 2018-11-09 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于在雾化器中使用的网筛以及制作该网筛的方法 |
-
2018
- 2018-05-25 EP EP18727006.1A patent/EP3630365B1/en active Active
- 2018-05-25 CN CN201880031702.2A patent/CN110621411B/zh active Active
- 2018-05-25 WO PCT/EP2018/063769 patent/WO2018219798A1/en active Application Filing
- 2018-05-25 US US16/616,359 patent/US11383251B2/en active Active
- 2018-05-25 JP JP2019566305A patent/JP6944544B2/ja active Active
- 2018-05-25 KR KR1020197035298A patent/KR102366748B1/ko active IP Right Grant
- 2018-05-28 TW TW107118135A patent/TWI690345B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08501979A (ja) * | 1992-09-29 | 1996-03-05 | ベーリンガー インゲルハイム インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 噴霧ノズル及びフィルター並びに噴霧発生装置 |
US20030178507A1 (en) * | 2000-08-28 | 2003-09-25 | Maria Rijn Van Cornelis Johannes | Nozzle device and nozzle for atomisation and/or filtration and methods for using the same |
US20120012105A1 (en) * | 2009-04-23 | 2012-01-19 | Medspray Xmems B.V. | Atomising body, atomising device, inhaler, manufacturing method of manufacturing an atomising body and assembly method for assembling an atomising device |
WO2015194962A1 (en) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | Medspray B.V. | Aerosol or spray device, spray nozzle unit and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110621411B (zh) | 2021-08-10 |
TWI690345B (zh) | 2020-04-11 |
WO2018219798A1 (en) | 2018-12-06 |
EP3630365A1 (en) | 2020-04-08 |
KR20190140061A (ko) | 2019-12-18 |
EP3630365B1 (en) | 2021-06-23 |
CN110621411A (zh) | 2019-12-27 |
US20200094268A1 (en) | 2020-03-26 |
US11383251B2 (en) | 2022-07-12 |
TW201902523A (zh) | 2019-01-16 |
JP6944544B2 (ja) | 2021-10-06 |
KR102366748B1 (ko) | 2022-02-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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