JP2020502742A5 - イオンビーム装置のためのガス圧入システム及びガス圧入システムのための引出しプレートを製造する方法 - Google Patents

Claims (15)

1. イオンビーム装置のためのガス圧入システムであって、
   該ガス圧入システムは、引出しプレートを通ってのイオンビームの通過を可能にするための引出しアパーチャを有する引出しプレートを備え、
   該引き出しプレートは、さらに、該引き出しプレートからのガスの排出を容易にするための前記引き出しプレートに形成されたガススロットを有する、ガス圧入システム。
2. 前記ガススロットと前記引き出しプレートに取り付けたガス多岐管との間の前記引き出しプレートを通って伸びる、ガス管を、さらに、備える、請求項１記載のガス圧入システム。
3. 前記ガス多岐管に流体連結して接続された第１のガス源を、さらに、備え、該第１のガス源は、第１の残留物除去ガスを含む、請求項２記載のガス圧入システム。
4. 前記ガス多岐管に流体連結して接続された第２のガス源を、さらに、備え、該第２のガス源は、前記第１の残留物除去ガスと異なる第２の残留物除去ガスを含む、請求項３記載のガス圧入システム。
5. 前記ガス管は、前記引き出しプレートを通って、前記引き出しプレートのエッジから伸びる穴により画定される、請求項２記載のガス圧入システム。
6. 前記ガス管は、前記引き出しプレートの前面及び後面のうちの少なくとも１つに形成される経路により画定される、請求項２記載のガス圧入システム。
7. 前記ガス多岐管は、第１の位置と第２の位置との間の選択的に調整できるバルブを含み、前記第１の位置において、前記ガスは前記引き出しプレートの中へ流れることができ、前記第２の位置において、前記ガスは前記引き出しプレートから周囲の外気へ排気することができる、請求項２記載のガス圧入システム。
8. 前記ガス多岐管に連結された多岐管カバーを、さらに、備え、該多岐管カバーは、前記バルブに連結され、前記バルブを前記第１の位置と前記第２の位置との間を動かすように適合された電子的に制御可能な駆動機構を含む、請求項７記載のガス圧入システム。
9. 前記ガススロットは、前記引き出しアパーチャの第１の側に配置された第１のガススロットであり、前記ガス圧入システムは、さらに、前記引き出しアパーチャの前記第１の側とは反対の第２の側に配置された第２のガススロットを備える、請求項１記載のガス圧入システム。
10. ガス圧入システムのための引出しプレートを製造する方法であって、該方法は、
    細長い引出しアパーチャをプレートに形成するステップと、
    前記プレートの第１の側の前記引出しアパーチャの第１の側にガススロットを形成するステップと、
    前記ガススロットをガス源に流体連結して中に入れるための管のネットワークを前記プレートに形成するステップであって、該管のネットワークは前記ガススロットと交差するスロット管を含むステップと、を有する、方法。
11. 前記管のネットワークは、
    前記プレートのエッジから伸びる多岐管と、
    前記多岐管と前記スロット管との間を伸びる相互接続管とを、さらに、備える、請求項１０記載の方法。
12. 前記管のネットワークを形成するステップは、前記プレートの前記第１の側に平行な方向に、前記プレートにドリルで十字形の穴を開けるステップを有する、請求項１０記載の方法。
13. 前記管のネットワークを形成するステップは、前記プレートの前記第１の側、及び、前記第１の側の反対の前記プレートの第２の側のうちの少なくとも１つに経路を設定するステップを有する、請求項１０記載の方法。
14. 前記ガススロットは第１のガススロットであり、前記方法は、前記プレートの第１の側の、前記引出しアパーチャの前記第１の側とは反対の前記引出しアパーチャの第２の側に第２のガススロットを形成するステップを、さらに、有する、請求項１０記載の方法。
15. 前記ガス源は第１のガス源であり、前記管のネットワークは第１の管のネットワークであり、前記方法は、前記第２のガススロットを第２のガス源に流体連結して中に入れるための第２の管のネットワークを前記プレートに形成するステップを、さらに、有する、請求項１４記載の方法。