JP2020501945A5 - - Google Patents

Claims (31)

1. 印刷ヘッドであって、
   圧送チャンバの少なくとも上面を画定する変形可能部分を備える支持構造と、
   前記支持構造の変形可能部分上に配置されるアクチュエータであって、溝が、前記アクチュエータの上面内に画定され、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、アクチュエータと
   を備える、印刷ヘッド。
2. 前記アクチュエータへの電圧の印加は、前記アクチュエータを前記溝に沿って変形させ、それによって、前記変形可能部分の変形部に、流体の液滴を前記圧送チャンバから吐出させる、請求項１に記載の印刷ヘッド。
3. 複数の半径方向の溝を備え、前記複数の半径方向の溝のそれぞれは、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
4. 前記複数の半径方向の溝の内の半径方向の溝は、前記半径方向の溝が前記溝に出会う点において前記溝に対して垂直に配向される、請求項３に記載の印刷ヘッド。
5. 前記溝と前記変形可能部分の周との間の距離は、前記溝と前記変形可能部分の上面の中央領域との間の距離よりも大きい、請求項１に記載の印刷ヘッド。
6. 前記溝と前記変形可能部分の周との間の距離は、前記溝と前記変形可能部分の上面の中央領域との間の距離よりも小さい、請求項１に記載の印刷ヘッド。
7. 前記溝は、前記変形可能部分の周の一部から内向きにオフセットされたループの少なくとも一部を画定する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
8. 前記溝は、第１の溝であり、さらに、前記アクチュエータの上面内に画定される第２の溝を備え、前記第２の溝は、前記第１の溝から半径方向外向きに延在する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
9. 前記第２の溝の第１の端部は、前記第１の溝に接続され、前記第２の溝の第２の端部は、前記アクチュエータの上面内に画定される第３の溝に接続され、前記第３の溝は、丸みを帯びた形状を有する、請求項８に記載の印刷ヘッド。
10. 前記溝の幅は、０．１マイクロメートル〜１０マイクロメートルである、請求項１に記載の印刷ヘッド。
11. 前記溝は、前記アクチュエータの上面から前記支持構造の変形可能部分の上面までの前記アクチュエータの厚さを通して延在する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
12. 前記溝は、前記変形可能部分の周の少なくとも一部に重複する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
13. 前記溝は、第１のループの少なくとも一部を画定する第１の溝であり、第２の溝が、前記アクチュエータの上面内に形成され、前記第２の溝は、前記第１のループから分離される第２のループの少なくとも一部を画定する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
14. 前記溝は、第１の溝であり、第２の溝が、前記アクチュエータの上面内に形成され、さらに、前記第１の溝および前記第２の溝は、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在し、かつ相互に平行である、請求項１に記載の印刷ヘッド。
15. 前記溝は、第１の溝であり、第２および第３の溝が、前記アクチュエータの上面内に形成され、前記第１の溝は、前記アクチュエータの上面の中央領域から半径方向外向きに延在し、かつ前記第２の溝を前記第３の溝に接続し、前記第２の溝および前記第３の溝は、前記アクチュエータの上面の少なくとも一部の周囲に円周方向に延在する、請求項１に記載の印刷ヘッド。
16. 前記溝は、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、第１の溝であり、
    第２、第３、および第４の溝が、前記アクチュエータの上面内に形成され、前記第２の溝は、前記アクチュエータの上面の少なくとも一部の周囲に円周方向に延在し、前記第３の溝は、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在し、前記第４の溝は、前記アクチュエータの上面の少なくとも一部の周囲に円周方向に延在し、
    前記第１の溝および前記第２の溝は、相互に接続され、前記第３の溝および前記第４の溝は、相互に接続され、前記第１および第２の溝は、前記第３および第４の溝から分離される、
    請求項１に記載の印刷ヘッド。
17. 前記圧送チャンバを含む複数の圧送チャンバと、
    前記アクチュエータを含む複数のアクチュエータと、
    をさらに備え、
    前記複数のアクチュエータの各々が、前記複数の圧送チャンバの対応する圧送チャンバと揃えられている、請求項１に記載の印刷ヘッド。
18. 装置であって、
    リザーバと、
    印刷ヘッドであって、前記印刷ヘッドは、
    圧送チャンバの少なくとも上面を画定する変形可能部分を備える支持構造と、
    前記リザーバから前記圧送チャンバに流体を移送するために前記リザーバから前記圧送チャンバに延在する流路と、
    前記支持構造の変形可能部分上に配置されるアクチュエータであって、溝が、前記アクチュエータの上面内に画定され、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、アクチュエータと
    を備え、前記アクチュエータへの電圧の印加は、前記アクチュエータを前記溝に沿って変形させ、それによって、前記支持構造の変形可能部分の変形部に、流体の液滴を前記圧送チャンバから吐出させる、印刷ヘッドと
    を備える、装置。
19. 前記溝は、前記変形可能部分の周の一部から内向きにオフセットされたループの少なくとも一部を画定する、請求項１８に記載の装置。
20. 前記溝は、第１の溝であり、さらに、前記アクチュエータの上面内に画定される第２の溝を含み、前記第２の溝は、前記第１の溝から半径方向外向きに延在する、請求項１９に記載の装置。
21. 前記溝は、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、請求項１８に記載の装置。
22. 前記溝は、前記アクチュエータの上面から前記支持構造の変形可能部分の上面までの前記アクチュエータの厚さを通して延在する、請求項１８に記載の装置。
23. 前記溝は、第１のループの少なくとも一部を画定する第１の溝であり、第２の溝が、前記アクチュエータの上面内に形成され、前記第２の溝は、前記第１のループから分離される第２のループの少なくとも一部を画定する、請求項１８に記載の装置。
24. 前記溝は、第１の溝であり、第２の溝が、前記アクチュエータの上面内に形成され、前記第１の溝および前記第２の溝は、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在し、かつ相互に平行である、請求項１８に記載の装置。
25. 前記印刷ヘッドは、
    前記圧送チャンバを含む複数の圧送チャンバと、
    前記アクチュエータを含む複数のアクチュエータと、
    を備え、
    前記複数のアクチュエータの各々が、前記複数の圧送チャンバの対応する圧送チャンバと揃えられている、請求項１８に記載の装置。
26. 方法であって、
    変形可能な支持構造上に配置される圧電性アクチュエータの電極に電圧を印加することであって、前記支持構造は、印刷ヘッドの圧送チャンバを画定する、ことと、
    前記電圧の印加に応答して、前記圧電性アクチュエータの上面内に画定される溝に沿って前記圧電性アクチュエータを変形させることであって、前記溝が、前記圧電性アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、ことと、
    前記圧電性アクチュエータの変形によってもたらされる前記支持構造の変形可能部分の変形によって、前記圧送チャンバから流体の液滴を吐出することと
    を含む、方法。
27. 方法であって、
    圧電性アクチュエータを印刷ヘッドの支持構造上に配置することであって、前記支持構造は、前記印刷ヘッドの圧送チャンバを画定する、ことと、
    前記アクチュエータの上面内に溝を、前記溝が、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在するように形成することと
    を含む、方法。
28. 前記溝を形成することは、前記溝が、前記支持構造の変形可能部分の周の一部から内向きにオフセットされたループの少なくとも一部を画定するように、前記溝を形成することを含む、請求項２７に記載の方法。
29. 前記溝は、第１の溝であり、本方法はさらに、前記アクチュエータの上面内に第２の溝を形成することを含み、前記第２の溝は、前記第１の溝から半径方向外向きに延在する、請求項２８に記載の方法。
30. 複数の半径方向の溝を形成することをさらに含み、前記複数の半径方向の溝のそれぞれは、前記アクチュエータの上面の中央領域から離れるように半径方向外向きに延在する、請求項２７に記載の方法。
31. 前記溝を形成することは、前記アクチュエータの上面から前記支持構造の変形可能部分の外部上面までの前記アクチュエータの厚さを通して前記溝を形成することを含む、請求項２７に記載の方法。